JP2008232628A - 半導体装置の押さえ機構および半導体装置の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配線25と、接地配線26とを備えるテスト用基板20と、押さえ部14を備える押さえ治具12を準備する。押さえ部14は導電性材料で形成されており、凹部15および絶縁性部材16を備える。接地配線26を接地電位として、押さえ治具12が、押さえ部14を接地配線26に接触させつつ、絶縁性部材16を介して半導体装置10をテスト用基板20に押付ける。
【選択図】図1
Description
その表面に、半導体装置を載せる領域と、該半導体装置を載せる領域に設けられる第1配線と、該半導体装置を載せる領域に隣接して設けられる接地用の第2配線とを備える基板と、
導電性材料からなる部位を備える押さえ治具であって、該導電性材料からなる部位に凹部が備えられ、該凹部の中に絶縁性部材を備える押さえ治具と、
を備えることを特徴とする。
その表面に、半導体装置を載せる領域と、該半導体装置を載せる領域に設けられる第1配線を備える基板を準備する工程と、
前記基板の前記半導体装置を載せる領域に、前記第1配線と接続するように半導体装置を載せる工程と、
前記基板に載せられた前記半導体装置を導電性部材が覆い、該導電性部材と該半導体装置との間に絶縁性部材が介在し、該導電性部材が該絶縁性部材を介して該半導体装置を前記基板に押付けている状態であって、かつ、該導電性部材が接地電位とされた状態で、前記第1配線を介して前記半導体装置を検査する検査工程と、
を含むことを特徴とする。
[実施の形態1の構成および動作]
図1は、本発明の実施の形態1の半導体装置の押さえ機構、およびこれを用いた検査方法を説明するための図である。図1は、半導体装置、テスト用基板、押さえ治具についての断面図である。符号10は半導体装置、符号20はテスト用基板を指している。半導体装置10は、高周波用半導体装置である。テスト用基板20は、半導体装置10を配置する側の面が絶縁層22となっている。絶縁層22の下層には、導体層24が設けられている。なお、テスト用基板20は、必要に応じ、導体層24の下層にさらに絶縁層、導体層などが積層されてなる多層配線基板とすることができる。
以下、図1乃至3の図とともに図4および図5を用いて、本実施形態の効果について説明する。以下の説明では、先ず、実装時の電磁界シールド状態(図4)について述べる。続いて、比較例として半導体装置の検査手法の一例(図5)を述べ、その後、本実施形態の効果を説明する。
実施形態1では、絶縁性部材16の材料に、例えばゴム材等の、弾力性のある弾性材料を用いている。しかしながら、本発明はこれに限られるものではない。必要に応じ、他の種々の絶縁材料を用いて、絶縁性部材16を形成することができる。また、絶縁性部材16の全てを弾性材料で形成することが常に求められるわけではない。例えば、半導体装置10との接触部位を部分的に弾性材料で形成してもよい。つまり、絶縁性部材16が半導体装置10の押付け方向に対して弾性変形可能とされるように、当該絶縁性部材16に弾性層を含ませることとすればよい。
[実施の形態2の構成および動作]
図6は、実施の形態2の構成並びに動作を説明するための図である。符号212は、半導体装置10をテスト用基板220に押付ける押さえ治具を指している。この押さえ治具212は、実施の形態1の押さえ治具12と同様に、導電性材料により形成された押さえ部214を備えている。押さえ部214には、実施の形態1と同様に、凹部215が設けられている。凹部215は、底部214aと、側壁214bとから構成されている。
[実施の形態3の構成および動作]
図7は、本発明の実施の形態3の構成並びに動作を説明するための図である。テスト用基板上に押さえ部を接触させる場合、加工精度のばらつきなどに起因してテスト用基板と押さえ部の間にすき間が生じる場合がある。このような場合、電磁界シールドの効果が低減してしまう。
[実施の形態4の構成および動作]
図9および10は、本発明の実施の形態4の構成ならびに動作を説明するための図である。図9および10では、実施形態4を、実施形態3の思想と組み合わせて用いている。実施形態3で説明した構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
テスト用基板 20、130、220、320、420
実装基板 120
導体層 24、124、134、224、324、424
配線 25、125、135、1
接地配線 26、126、226、326、426
非接地配線 430
押さえ治具 12、212、312
押さえ部 14、214、314
凹部 15、215、315
絶縁性部材 16、216、316
接地用プローブ 218
板ばね 318
電磁界シールド 112
Claims (11)
- その表面に、半導体装置を載せる領域と、該半導体装置を載せる領域に設けられる第1配線と、該半導体装置を載せる領域に隣接して設けられる接地用の第2配線とを備える基板と、
導電性材料からなる部位を備える押さえ治具であって、該導電性材料からなる部位に凹部が備えられ、該凹部の中に絶縁性部材を備える押さえ治具と、
を備えることを特徴とする半導体装置の押さえ機構。 - 前記押さえ治具の前記凹部の周縁の部位に、該凹部の開口方向と略平行な方向に向かって尖る先鋭部を備えることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の押さえ機構。
- 前記押さえ治具が備える前記凹部は底部と側壁とを有してなり、該側壁がばね部材とされていることを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置の押さえ機構。
- 前記第1配線が、前記半導体装置を載せる領域から前記基板の内部を通って延び、該基板の表面の前記押さえ治具との接触位置の外側の領域に露出していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の半導体装置の押さえ機構。
- 前記絶縁性部材が弾性層を備え、前記凹部の開口方向に弾性変形可能とされることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の半導体装置の押さえ機構。
- その表面に、半導体装置を載せる領域と、該半導体装置を載せる領域に設けられる第1配線を備える基板を準備する工程と、
前記基板の前記半導体装置を載せる領域に、前記第1配線と接続するように半導体装置を載せる工程と、
前記基板に載せられた前記半導体装置を導電性部材が覆い、該導電性部材と該半導体装置との間に絶縁性部材が介在し、該導電性部材が該絶縁性部材を介して該半導体装置を前記基板に押付けている状態であって、かつ、該導電性部材が接地電位とされた状態で、前記第1配線を介して前記半導体装置を検査する検査工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の検査方法。 - 前記基板は、前記半導体装置を載せる領域に隣接して設けられる第2配線をさらにその表面に備え、
前記検査工程は、
前記導電性部材としての導電性材料からなる部位を備える押さえ治具であって、該導電性材料からなる部位が凹部を備え、該凹部の中に前記絶縁性部材を備える押さえ治具を準備する工程と、
前記押さえ治具が、前記導電性材料からなる部位を該第2配線に接触させつつ、前記凹部の中の前記絶縁性部材を介して半導体装置を前記基板に押付けている状態で、前記第2配線を接地して前記半導体装置に対して検査を行う工程と、
を含むことを特徴とする請求項6記載の半導体装置の検査方法。 - 前記押さえ治具の前記凹部の周縁の部位に先鋭部が備えられ、該先鋭部が前記第2配線に接触することを特徴とする請求項7記載の半導体装置の検査方法。
- 前記押さえ治具が備える前記凹部は底部と側壁とを有してなり、該側壁がばね部材とされていることを特徴とする請求項7または8記載の半導体装置の検査方法。
- 前記第1配線が、前記半導体装置を載せる領域から前記基板の内部を通って延び、該基板表面の前記押さえ治具との接触位置の外側の領域に露出していることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項記載の半導体装置の検査方法。
- 前記絶縁性部材が弾性層を備え、前記凹部の開口方向に弾性変形可能とされることを特徴とする請求項6乃至10のいずれか1項記載の半導体装置試験装置。
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JPH11237434A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Fujitsu Ltd | 半導体素子試験用キャリア及び半導体素子試験方法及び半導体素子試験用装置 |
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