JP5655599B2 - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、検査装置1は、測定基板2と、ノズル3と、駆動機構4と、制御装置5とを備えている。
図3に示すように、検査対象であるモジュール100は、回路基板101と、回路基板101の部品実装面101aに実装されるICなどの半導体回路部品102および抵抗、コンデンサ、コイルなどの受動素子部品103と、部品実装面101aを封止するモールド層104と、導電性材料によりモールド層104の外側に部品実装面101aを覆って形成されるシールド導電層105と、回路基板101の裏面101bに形成された複数の実装用電極106a,106bとを備え、使用目的に応じて半導体回路部品102および受動素子103などの部品が選択されて部品実装面101aに実装されることにより、モジュール100は、種々の機能を実現することができる。
次に、検査装置1において実行される検査処理の一例について説明する。この実施形態では、複数のモジュール100がトレイ(図示省略)に並べて配置されており、トレイに配置されたモジュール100が1つずつ自動的に測定基板2の載置面2aに載置されることにより、連続的にモジュール100の検査が行われる。
2 測定基板
2a 載置面
3 ノズル(押圧部材、プローブ)
4 駆動機構(押圧手段)
5 制御装置(測定手段)
7 測定端子
100 モジュール
101 回路基板
101a 部品実装面
101b 裏面
101c 内部配線パターン(配線)
105 シールド導電層
106a,106b 実装用電極
Claims (3)
- 部品実装面がシールド導電層で覆われた回路基板を有するモジュールの裏面に形成された複数の実装用電極に接触する複数の測定端子が設けられた載置面を有する測定基板と、
前記載置面に載置された前記モジュールに前記各測定端子を介して検査用信号を入力することにより前記モジュールの特性を測定する測定手段と
を備える前記モジュールの検査装置において、
前記載置面に載置された前記モジュールの前記シールド導電層に当接するプローブと、
前記載置面に載置された前記モジュールを前記載置面に押圧する押圧手段とをさらに備え、
前記押圧手段は、
前記シールド導電層を押圧することで、前記載置面に載置された前記モジュールを前記載置面に押圧する押圧部材を備え、
前記押圧部材の少なくとも前記シールド導電層に接触する部分は、導電性材料により前記シールド導電層に当接するプローブとして形成され、
前記測定手段は、
前記シールド導電層に当接するプローブと、前記各測定端子のうち、前記シールド導電層と前記回路基板内の配線を介して電気的に接続された前記実装用電極と接触する前記測定端子との間で、導通状態を測定する
ことを特徴とする検査装置。 - 前記押圧部材は、前記シールド導電層を吸着して前記モジュールを保持するノズルであることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 部品実装面がシールド導電層で覆われた回路基板を有するモジュールの裏面に形成された複数の実装用電極に接触する複数の測定端子が設けられた測定基板の載置面に載置された前記モジュールに、前記各測定端子を介して検査用信号を入力することにより前記モジュールの特性を測定する検査方法において、
前記載置面に載置された前記モジュールを前記載置面に押圧する押圧手段が備える押圧部材により前記シールド導電層を押圧することで、前記載置面に載置された前記モジュールを前記載置面に押圧し、前記押圧部材の少なくとも前記シールド導電層に接触する部分を、導電性材料により前記シールド導電層に当接するプローブとして形成して、
前記載置面に載置された前記モジュールの前記シールド導電層に当接するプローブと、前記各測定端子のうち、前記シールド導電層と前記回路基板内の配線を介して電気的に接続された前記実装用電極と接触する前記測定端子との間で、導通状態を測定する
ことを特徴とする検査方法。
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