JP2008226956A - 抵抗器の製造法および抵抗器 - Google Patents
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Abstract
【課題】トリミングを行う装置の構造を複雑とせず、またその装置の制御を困難とせず、かつ短時間でトリミングを行う。
【解決手段】基板2上に形成された対となる抵抗用電極3の双方に接触する抵抗体膜4を有する抵抗素子5の抵抗値調整を行うトリミング工程を有する。そして、トリミング工程では、抵抗用電極3および抵抗体膜4が配置される面側であって、抵抗体膜4に沿うと共に脇部6となる位置の基板2を加熱する。そしてその加熱は、レーザー光の照射による。そしてレーザー光の照射によって脇部6に凹部7を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】基板2上に形成された対となる抵抗用電極3の双方に接触する抵抗体膜4を有する抵抗素子5の抵抗値調整を行うトリミング工程を有する。そして、トリミング工程では、抵抗用電極3および抵抗体膜4が配置される面側であって、抵抗体膜4に沿うと共に脇部6となる位置の基板2を加熱する。そしてその加熱は、レーザー光の照射による。そしてレーザー光の照射によって脇部6に凹部7を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、抵抗器の製造法および抵抗器に関する。
基板上に形成された対となる抵抗用電極の双方に接触する抵抗体膜を有する抵抗素子の抵抗値調整(トリミング)を行う技術については、基板の抵抗体膜配置面とは逆側の基板面にレーザーを照射して加熱することでトリミングするものが提案されている(特許文献1参照)。また、抵抗体膜への溝形成をしない程度の弱い出力のレーザーを照射によって抵抗体膜の表面を加熱するものが提案されている(特許文献2参照)。
基板の抵抗体膜配置面とは逆側の基板面を加熱すると、トリミング時の抵抗値の測定のための電極であるトリミングプローブを基板の抵抗体膜配置面に当接し、レーザーを照射は基板の抵抗体膜配置面に対して行う場合が多い。その場合には、トリミングを行う装置の構造が複雑となり、またその装置の制御も困難となる。
また、弱い出力のレーザーの照射によって抵抗体膜の表面を波状に加熱する場合、トリミングをしていない段階での抵抗値と、トリミングの目標とする抵抗値とが大きく異なる場合に、トリミングに長時間を要する。また、抵抗体膜にレーザーを照射する場合、抵抗体膜の変性や、レーザーの出力が強いと溝が形成されてしまうことを考慮し、弱い出力としているが、弱い出力の場合、安定したレーザーの照射は困難となり易い。
そこで、本発明の目的は、トリミングを行う装置の構造を複雑とせず、またその装置の制御を困難とせず、かつ短時間でトリミングを行うことである。
上記目的を達成するため、本発明の抵抗器の製造法は、基板上に形成された対となる抵抗用電極の双方に接触する抵抗体膜を有する抵抗素子の抵抗値調整を行うトリミング工程を有し、トリミング工程では、抵抗用電極および抵抗体膜が配置される面側であって、抵抗体膜に沿うと共に脇部となる位置の基板を加熱する。
この発明によれば、トリミング工程では、抵抗用電極および抵抗体膜が配置される基板面を加熱する。よって、トリミングプローブを当接する基板面と、レーザーを照射する基板面を同一にできるため、トリミングを行う装置の構造を複雑とせず、またその装置の制御を困難としない。また、加熱の温度を高く設定できることから、短時間でトリミングを行うことができる。
他の発明は、上述の抵抗器の製造法の発明に加え、加熱が、レーザー光の照射によることとしている。この方法を採用することによって、微小領域への高温の加熱が可能となる。
他の発明は、上述の抵抗器の製造法の発明に加え、レーザー光の照射によって脇部に凹部を形成する。この方法を採用することによって、凹部がトリミング工程終了の目印となる。また、抵抗体膜表面にオーバーコート膜を形成する場合には、オーバーコート膜が凹部に入り込み、オーバーコート膜の基板との密着強度が増す。
他の発明は、上述の抵抗器の製造法の発明に加え、加熱をする領域は、抵抗体膜の両脇部である。この方法を採用することによって、抵抗体膜の一方の端部の加熱し過ぎを抑制し、両端部へと加熱領域を分散できる。
他の発明は、上述の抵抗器の製造法の発明に加え、抵抗体膜が基板上に蛇行して形成され、抵抗体膜の脇部は、蛇行の外側端部である。この方法を採用することによって、トリミング工程終了後の抵抗値変化であるドリフトを抑制できる。
他の発明は、上述の抵抗器の製造法の発明に加え、トリミング工程では、加熱に加えて、抵抗体膜の電流路を狭めるように抵抗体膜の一部を除去する。この方法を採用することによって、トリミングの精度を向上できる。その理由を説明する。抵抗体膜を加熱するトリミングをすると、その抵抗体膜を有する抵抗器の抵抗値は、通常低くなる。それに対して、抵抗体膜の電流路を狭めるように抵抗体膜の一部を除去するトリミングをすると、抵抗値は高くなる。そのため、両方のトリミングを併用することで、一方のトリミングによって、トリミング前の抵抗値から目標とする抵抗値に近づけようとした結果、その目標とする抵抗値を超えてしまった場合でも、他方のトリミングによって、その超えた分を是正でき、トリミングの精度を向上できる。
他の発明は、上述の抵抗器の製造法の発明に加え、抵抗体膜の一部を除去するのを、基板領域を加熱する前に行う。この方法を採用することによって、抵抗体膜の一部を除去するトリミングを行って、目標とする抵抗値を超える高い抵抗値とした場合でも、抵抗体膜を加熱するトリミングをすることで、その超えた分を是正でき、トリミングの精度を向上できる。
他の発明は、上述の抵抗器の製造法の発明に加え、抵抗体膜の一部の除去によって、抵抗体膜を蛇行させ、または蛇行状態をさらに進める。この方法を採用することによって、形成が比較的困難な蛇行の形状の抵抗体膜形成を、容易に行うことができる。
上記目的を達成するため、本発明の抵抗器の製造法は、大型基板上に複数形成された、対となる抵抗用電極の双方に接触する抵抗体膜を有する抵抗素子を加熱して抵抗値調整を行うトリミング工程を有し、トリミング工程は、抵抗値を調整していない未調整抵抗体膜と大型基板との接触部の脇部を加熱して抵抗値調整し、調整済み抵抗体膜を得る第1トリミングを行い、その後、大型基板に形成された未調整抵抗体膜の脇部であって、調整済み抵抗体膜とは隣接しない脇部を加熱して抵抗値調整し、別の調整済み抵抗体膜を得る第2トリミングを繰り返す。
この発明によれば、トリミング工程では、抵抗用電極および抵抗体膜が配置される大型基板面を加熱する。よって、トリミングプローブを当接する大型基板面と、レーザーを照射する大型基板面を同一にできるため、トリミングを行う装置の構造を複雑とせず、またその装置の制御を困難としない。また、加熱の温度を高く設定できることから、短時間でトリミングを行うことができる。また、抵抗体膜が複数形成された大型基板に対してトリミングを行うため、複数の抵抗体膜の効率的なトリミングが可能となる。さらに第2トリミングにおいて、調整済み抵抗体膜とは隣接しない未調整抵抗体膜の端部の大型基板部分を加熱するため、調整済み抵抗体膜が再加熱によって抵抗値変動するのを抑制することができる。
上記課題を解決するため、本発明の抵抗器は、基板と、その基板上に形成された対となる抵抗用電極の双方に接触する抵抗体膜を有し、基板の抵抗体膜が配置される面側であって、抵抗体膜の脇部となる位置に凹部が設けられている。
この発明によれば、抵抗器の製造工程の一つであるトリミング工程でトリミングプローブを当接する基板面と、レーザーを照射する基板面を同一にできるため、トリミングを行う装置の構造を複雑とせず、またその装置の制御を困難としない。そして、抵抗体膜の脇部となる位置に設けられた凹部は、たとえばトリミング工程において、抵抗体膜を加熱して抵抗素子のトリミングする場合の加熱跡として形成できる。その場合は、加熱の温度を高く設定できることから、短時間でトリミングを行うことができる。また、抵抗体膜表面にオーバーコート膜を形成する場合には、オーバーコート膜が凹部に入り込み、オーバーコート膜の密着強度が増す。
本発明により、トリミングを行う装置の構造を複雑とせず、またその装置の制御を困難とせず、かつ短時間でトリミングを行うことができる。
本発明の第1,第2,第3および第4の実施の形態に係る抵抗器の製造法および抵抗器の構成について、図面を参照しながら以下に説明する。
(第1の実施の形態に係る抵抗器の製造法)
図1(A)、図2および図3を参照しながら、第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法を説明する。なお、図1(A)は、後述するオーバーコート膜およびめっき層の図示を省略した抵抗器1Aの平面図となっている。第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法は、基板2の一方の面上に形成された対となる抵抗用電極3の双方に接触する抵抗体膜4を有する抵抗素子5のトリミングを行うトリミング工程を有する。そして、トリミング工程では、抵抗用電極3および抵抗体膜4が配置される面側であって、抵抗体膜4に沿うと共に脇部6となる位置の基板2を加熱する。そしてその加熱は、レーザー光の照射による。そしてレーザー光の照射によって脇部6に凹部7を形成する。
図1(A)、図2および図3を参照しながら、第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法を説明する。なお、図1(A)は、後述するオーバーコート膜およびめっき層の図示を省略した抵抗器1Aの平面図となっている。第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法は、基板2の一方の面上に形成された対となる抵抗用電極3の双方に接触する抵抗体膜4を有する抵抗素子5のトリミングを行うトリミング工程を有する。そして、トリミング工程では、抵抗用電極3および抵抗体膜4が配置される面側であって、抵抗体膜4に沿うと共に脇部6となる位置の基板2を加熱する。そしてその加熱は、レーザー光の照射による。そしてレーザー光の照射によって脇部6に凹部7を形成する。
より具体的な第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法は、図2に示す大型基板2A上に複数形成された、対となる抵抗用電極3の双方に接触する抵抗体膜4を有する抵抗素子5を加熱してトリミングを行うトリミング工程を有する。そして、トリミング工程は、抵抗値を調整していない未調整抵抗体膜4Aと大型基板2Aとの接触部の脇部6によって抵抗用電極3および未調整抵抗体膜4Aが配置される面側の大型基板2Aを加熱してトリミングを行う。そして、調整済み抵抗体膜4Bを得る第1トリミングを終了させる。その後、大型基板2Aに形成された未調整抵抗体膜4Aの脇部6であって、調整済み抵抗体膜4Bとは隣接しない脇部6を加熱してトリミングを行う。そして、別の調整済み抵抗体膜を得る第2トリミングを繰り返す。そして、別の調整済み抵抗体膜4Bを得る第2トリミングが終了する。その後、この第2トリミングを繰り返す。以下では、未調整抵抗体膜4Aと調整済み抵抗体膜4Bを合わせて指すときには、適宜抵抗体膜4と記す。
第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法は、図2(A)から図2(I)へと進行する。この各過程について説明する。
まず、図2(A)に示す大型基板2Aを用意する。大型基板2Aは、アルミナセラミックからなるものである。そして、大型基板2Aの一方の面には、縦横に交差する分割用溝2Cを有している。縦横の分割用溝2Cで囲われる一単位が単位基板2Bとなる。ここで、大型基板2Aは、窒化アルミニウムまたはガラス繊維混入樹脂成形体等からなるものとすることができる。特に窒化アルミニウムは、放熱性が良好である。そのため、抵抗体膜4の加熱によって大型基板2Aに蓄積した熱を早期に放熱できる。よって、トリミングの終了後に大型基板2Aに蓄積した熱によって調整済み抵抗体膜4Bが加熱されてしまい、せっかくトリミングが終了した抵抗素子5の抵抗値が変動してしまうのを抑制できる利点がある。また、分割用溝2Cは、必要に応じて設ければ良い。たとえば後述する、一次および/または二次分割工程でダイシングソーを用いて大型基板2Aを分割する場合には、分割用溝2Cは必要でない。また、分割用溝2Cは、縦横に交差していなくても良く、縦横の一方のみ有していることとしても良い。また、分割用溝2Cは、大型基板2Aの一方の面だけでなく、両面に設けても良い。
(第1の電極形成工程)
図2(B)は、大型基板2Aの分割用溝2Cが形成されていない側の面に、裏面電極3Aを形成した状態を示している。裏面電極3Aを形成するためには、銀粉末のメタルグレーズペーストをスクリーン印刷法によって、図2(B)で反対側の基板面の縦横の分割用溝2Cの双方を跨いで長方形の帯状に配置し、それを焼成する。図2(C)は、大型基板2Aの分割用溝2Cが形成されている側の面に、対となる抵抗用電極3を形成した状態を示している。抵抗用電極3を形成するためには、銀−パラジウム合金粉末のメタルグレーズペーストをスクリーン印刷法によって、横方向の分割用溝2Cのみを跨いで長方形状に、かつ隣接する抵抗用電極3とは離して配置し、それを焼成する。ここで、抵抗用電極3および裏面電極3Aの材料は、導電性物質である他の材料、たとえばニッケル、エポキシ系またはアクリル系の導電性接着剤等を用いることができる。しかし、大気中での焼成・加熱による酸化がされ難く、かつ導電性に優れた銀、銀を基とする合金または金等を用いることが好ましい。隣接する抵抗用電極3は、短絡するとトリミング工程において、正確な抵抗値測定ができなくなる。その短絡の原因は、水分の存在下でイオン化した金属が電界によって引っ張られて移動するマイグレーション現象が主である。銀−パラジウム合金は、そのマイグレーション現象が起き難いため、抵抗用電極3の材料として好ましい。また、抵抗用電極3および裏面電極3Aの形成の際には、スクリーン印刷法等の厚膜技術ではなく、スパッタリング法等の薄膜技術を用いることができる。
図2(B)は、大型基板2Aの分割用溝2Cが形成されていない側の面に、裏面電極3Aを形成した状態を示している。裏面電極3Aを形成するためには、銀粉末のメタルグレーズペーストをスクリーン印刷法によって、図2(B)で反対側の基板面の縦横の分割用溝2Cの双方を跨いで長方形の帯状に配置し、それを焼成する。図2(C)は、大型基板2Aの分割用溝2Cが形成されている側の面に、対となる抵抗用電極3を形成した状態を示している。抵抗用電極3を形成するためには、銀−パラジウム合金粉末のメタルグレーズペーストをスクリーン印刷法によって、横方向の分割用溝2Cのみを跨いで長方形状に、かつ隣接する抵抗用電極3とは離して配置し、それを焼成する。ここで、抵抗用電極3および裏面電極3Aの材料は、導電性物質である他の材料、たとえばニッケル、エポキシ系またはアクリル系の導電性接着剤等を用いることができる。しかし、大気中での焼成・加熱による酸化がされ難く、かつ導電性に優れた銀、銀を基とする合金または金等を用いることが好ましい。隣接する抵抗用電極3は、短絡するとトリミング工程において、正確な抵抗値測定ができなくなる。その短絡の原因は、水分の存在下でイオン化した金属が電界によって引っ張られて移動するマイグレーション現象が主である。銀−パラジウム合金は、そのマイグレーション現象が起き難いため、抵抗用電極3の材料として好ましい。また、抵抗用電極3および裏面電極3Aの形成の際には、スクリーン印刷法等の厚膜技術ではなく、スパッタリング法等の薄膜技術を用いることができる。
(抵抗体膜形成工程)
図2(D)は、その後、抵抗体膜4を形成した状態を示している。抵抗体膜4を形成するためには、酸化ルテニウムと金属(銀等)との混合粉末のメタルグレーズペーストをスクリーン印刷によって、大型基板2Aの対となる抵抗用電極3の双方と一部重なり合うように各々の単位基板2Bに配置し、それを焼成して形成する。この結果、対となる抵抗用電極3の双方に抵抗体膜4が接触するように形成した抵抗素子5が、各々の単位基板2Bに1つずつ形成される。この抵抗素子5の抵抗値は、抵抗器1Aが目標とする規格抵抗値よりもおおよそ10〜15%程度高く、ばらついている。この理由は、スクリーン印刷およびその後の焼成のみでは、抵抗値の精度が良い抵抗素子5を形成するのが困難だからである。また、この抵抗体膜4は、現段階では未調整抵抗体膜4Aである。ここで、抵抗体膜4の形成の際には、スクリーン印刷法等の厚膜技術ではなく、スパッタリング法等の薄膜技術を用いることができる。また、抵抗体膜4の材料は、他に、カーボンまたはグラファイトの粉末を混入した樹脂系材料等、加熱によって導電率が変化するものとすることができる。
図2(D)は、その後、抵抗体膜4を形成した状態を示している。抵抗体膜4を形成するためには、酸化ルテニウムと金属(銀等)との混合粉末のメタルグレーズペーストをスクリーン印刷によって、大型基板2Aの対となる抵抗用電極3の双方と一部重なり合うように各々の単位基板2Bに配置し、それを焼成して形成する。この結果、対となる抵抗用電極3の双方に抵抗体膜4が接触するように形成した抵抗素子5が、各々の単位基板2Bに1つずつ形成される。この抵抗素子5の抵抗値は、抵抗器1Aが目標とする規格抵抗値よりもおおよそ10〜15%程度高く、ばらついている。この理由は、スクリーン印刷およびその後の焼成のみでは、抵抗値の精度が良い抵抗素子5を形成するのが困難だからである。また、この抵抗体膜4は、現段階では未調整抵抗体膜4Aである。ここで、抵抗体膜4の形成の際には、スクリーン印刷法等の厚膜技術ではなく、スパッタリング法等の薄膜技術を用いることができる。また、抵抗体膜4の材料は、他に、カーボンまたはグラファイトの粉末を混入した樹脂系材料等、加熱によって導電率が変化するものとすることができる。
(トリミング工程)
図2(E)は、その後、未調整抵抗体膜4Aを加熱して、抵抗素子5をトリミングした状態、すなわち、トリミング工程が終了した状態を示している。トリミングを行うためには、レーザートリマー(トリミング装置)を用いて、抵抗体膜4に沿うと共に脇部6となる位置の大型基板2Aの部分であって、抵抗体膜4の端部に沿って、かつ僅かに離れた位置に帯状にレーザー光を照射する。レーザー光の照射によって脇部6が蒸発してそこに凹部7が形成される。トリミング工程では、図3に示すように、対となる抵抗用電極3にそれぞれトリミングプローブ8を接触させ、抵抗素子5の抵抗値を測定しながらトリミングを実行する。加熱によって抵抗値が目標となる規格値に近づいて、その目標値よりも5%高い抵抗値になったらレーザー光の照射を止める。そして、余熱によって目標の抵抗値まで到達させる。
図2(E)は、その後、未調整抵抗体膜4Aを加熱して、抵抗素子5をトリミングした状態、すなわち、トリミング工程が終了した状態を示している。トリミングを行うためには、レーザートリマー(トリミング装置)を用いて、抵抗体膜4に沿うと共に脇部6となる位置の大型基板2Aの部分であって、抵抗体膜4の端部に沿って、かつ僅かに離れた位置に帯状にレーザー光を照射する。レーザー光の照射によって脇部6が蒸発してそこに凹部7が形成される。トリミング工程では、図3に示すように、対となる抵抗用電極3にそれぞれトリミングプローブ8を接触させ、抵抗素子5の抵抗値を測定しながらトリミングを実行する。加熱によって抵抗値が目標となる規格値に近づいて、その目標値よりも5%高い抵抗値になったらレーザー光の照射を止める。そして、余熱によって目標の抵抗値まで到達させる。
レーザー光の照射を止めるタイミングは、抵抗器の抵抗値等の規格、レーザー光の出力等の製造条件、または上述の余熱の放熱状況等によって適宜変更できる。たとえば目標の抵抗値よりも1%,2%,3%または4%高い抵抗値になったらレーザー光の照射を止めることとしても良い。また、目標の抵抗値になるまでレーザー照射を行うこととしても良い。また、抵抗体膜4の材質等によっては、加熱によって抵抗素子5の抵抗値が高くなる場合も想定される。その場合は、未調整抵抗体膜4Aを備えた抵抗素子5の抵抗値を目標値よりも低く製造し、トリミング工程において、目標値または目標値よりも所定値だけ低い抵抗値になったらレーザー光の照射を止めることとする。ここで、加熱の手段は、レーザー光の照射に限らない。たとえば電熱ヒータ等、他の加熱の手段を用いることができる。しかし、レーザー光の照射は、微小領域を加熱するのに適しており、大型基板2Aの中で隣接する抵抗素子5への熱的影響を抑制できるため好ましい。また、レーザー光の照射の際には、凹部7が形成されない程度に加熱温度(レーザー光の出力)を設定しても良い。
また、本実施の形態で用いるトリミング装置では、レーザー光自体を帯状に照射できるのではない。レーザー光の照射位置を固定すれば、レーザー光が照射される領域の形状は、略円形である。よって、帯状にレーザー光を照射するためは、レーザー光の照射位置を前回照射した略円形の照射領域と一部重なる位置にずらす。そして、ずらす都度にレーザー光を照射する。レーザー光の照射位置をずらす速度は、抵抗器の抵抗値等の規格、レーザー光の出力等の製造条件等によって適宜変更する。なお、ずらす都度にレーザー光を照射させず、レーザー光の照射を継続しつつ、照射位置をずらしていくようにしても良い。また、帯状の領域を加熱する必要は必ずしも無く、円形領域等、適宜加熱する領域の形状を選択できる。ただし、抵抗素子5の抵抗値を大きく変化させる必要がある場合、または、抵抗体膜4の一部の加熱し過ぎを抑制したい場合がある。その様な場合には、過剰な加熱で抵抗体膜4が損傷するのを抑制し、抵抗体膜4が加熱される領域を分散させるために、レーザー光の照射領域は抵抗体膜4の端部に沿った帯状の領域とすることが好ましい。さらに、より抵抗体膜4が加熱される部分を分散させるため、レーザー光の照射をする領域は、本第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの変形例である図1(B)の抵抗器1Bのように抵抗体膜4の両脇部6であることが好ましい。
図3は、大型基板2Aに形成された複数の抵抗素子5に対するトリミングが、(A)から(C)へと進む様子を示す図である。まず、図3(A)に示すように、未調整抵抗体膜4Aと大型基板2Aとの接触部の脇部6を加熱してトリミングを行い、調整済み抵抗体膜4Bを得る。これが前述した第1トリミングとなる。その後、図3(B)および(C)に示すように、y方向に隣り合う抵抗素子5に係る未調整抵抗体膜4Aと大型基板2Aとの接触部の脇部6であって、調整済み抵抗体膜4Bとは隣接しない部分を加熱してトリミングを行い、別の調整済み抵抗体膜4Bを得る。これが前述の第2トリミングとなる。この第2トリミングを、大型基板2Aに形成された複数の抵抗素子5の全てに対して行う。このようにトリミング工程を進めることで、調整済み抵抗体膜4Bの近辺、すなわち、トリミングが終了した単位基板2Bが加熱されないこととなる。よって、調整済み抵抗体膜4Bの再加熱によって抵抗値変動するのを抑制することができる。
第2トリミングでは、x方向に隣り合う抵抗素子5に対してトリミングを行っても良い。また第2トリミングでは、x方向またはy方向に1つ以上の抵抗素子5をはさんで隣り合う抵抗素子5に対してトリミングを行い、その後、トリミングを行っていない抵抗素子5に対してトリミングを行うこととしても良い。こうすることで、大型基板4の特定の領域を集中的に加熱するのを抑制できる。そのため、その特定の領域に蓄積された熱が調整済み抵抗体膜4Bを再加熱するのを抑制できる。ただし、トリミングを迅速に行う観点からは、x方向またはy方向に隣り合う抵抗素子5に対してトリミングを行うのが好ましい。
このように、抵抗体膜4の一部を除去せずに、加熱するのみでトリミングを行う第1の利点は、その除去する場合には、抵抗体膜4を保護するガラス膜等の保護膜を予め形成する工程が必要となるが加熱のみのトリミングではその工程を省略できる点である。第2の利点は、抵抗体膜4の過剰な損傷(マイクロクラック等)を回避できることから、高圧パルスに対する耐久性(耐パルス特性)に優れるものとなる点である。第3の利点は、抵抗体膜4の体積の減少を抑制できることから、抵抗器1A,1Bおよび後述する抵抗器1Cを大きな電力負荷が印加される用途に使用でき、かつさらに耐パルス特性に優れるものとできる点である。第4の利点は、抵抗体膜4の一部の除去の場合抵抗体膜4の材料である導電性の粉末が飛散し、既にトリミング済みの抵抗素子5等に付着してその抵抗素子の抵抗値を変化させる等の不都合が生ずるが、加熱のみのトリミングではその不都合が生じない点である。
(オーバーコート膜形成工程)
図2(F)は、その後、抵抗用電極3の一部と抵抗体膜4と凹部7を覆うようにオーバーコート膜9を形成した状態を示している。オーバーコート膜9を形成するためには、エポキシ系の樹脂ペーストをスクリーン印刷によって、抵抗体膜4を覆うように配置し、それを加熱し、硬化させて形成する。このオーバーコート膜9は、抵抗体膜4が大気中の水分等によって変性するのを抑制し、また機械的衝撃から抵抗体膜4を保護する役割を担う。ただし、このオーバーコート膜9の形成工程は必ずしも必要ではない。抵抗体膜4の材料である酸化ルテニウムと金属(銀等)との混合粉末のメタルグレーズペーストには、ガラスペーストが含まれている。そのため、焼成により粘度が低下した段階で比重の大きい酸化ルテニウムと金属(銀等)が沈殿し、焼成後には抵抗体膜4の上側の部分が主としてガラス膜となって、オーバーコート膜9と同様の役割をすることがある。オーバーコート膜9の材料は、アクリル系樹脂等のエポキシ系以外の樹脂、ガラス等の他の材料とすることができる。また、オーバーコート膜9がレーザー照射によって形成された凹部7に入り込み、オーバーコート膜9の基板4との密着強度が増す。
図2(F)は、その後、抵抗用電極3の一部と抵抗体膜4と凹部7を覆うようにオーバーコート膜9を形成した状態を示している。オーバーコート膜9を形成するためには、エポキシ系の樹脂ペーストをスクリーン印刷によって、抵抗体膜4を覆うように配置し、それを加熱し、硬化させて形成する。このオーバーコート膜9は、抵抗体膜4が大気中の水分等によって変性するのを抑制し、また機械的衝撃から抵抗体膜4を保護する役割を担う。ただし、このオーバーコート膜9の形成工程は必ずしも必要ではない。抵抗体膜4の材料である酸化ルテニウムと金属(銀等)との混合粉末のメタルグレーズペーストには、ガラスペーストが含まれている。そのため、焼成により粘度が低下した段階で比重の大きい酸化ルテニウムと金属(銀等)が沈殿し、焼成後には抵抗体膜4の上側の部分が主としてガラス膜となって、オーバーコート膜9と同様の役割をすることがある。オーバーコート膜9の材料は、アクリル系樹脂等のエポキシ系以外の樹脂、ガラス等の他の材料とすることができる。また、オーバーコート膜9がレーザー照射によって形成された凹部7に入り込み、オーバーコート膜9の基板4との密着強度が増す。
(一次分割工程)
図2(G)は、その後、大型基板2Aの一方の面に縦横に形成された分割用溝2Cのうち、抵抗用電極3が跨ぐ方の分割用溝2Cに沿って分割した状態を示している。この分割は分割用溝2Cを開く方向に大型基板2Aを曲げ、短冊状の基板2Eへと分割(以下、一次分割という。)する。一次分割の際には、分割用溝2Cに跨って形成されていた抵抗用電極3および裏面電極3Aが、分割用溝2Cに沿って同時に破断して、基板2の端面2D(破断面)が露出する。ここで一次分割により、大型基板2Aに形成した抵抗用電極3および裏面電極3Aの各端部が基板2から剥離するおそれがあると考えられる。しかし、その短部の剥離が生じたとしても、後述する端面2Dに銀(Ag)をスパッタリング法により被着させる工程(第2の電極形成工程)で、短冊状の基板2Eから抵抗用電極3および裏面電極3Aが剥離した部分にもAgが被着されることから、各電極3,3Aの端部が短冊状の基板2Eに固定され、抵抗器1Aとして機能することができる。
図2(G)は、その後、大型基板2Aの一方の面に縦横に形成された分割用溝2Cのうち、抵抗用電極3が跨ぐ方の分割用溝2Cに沿って分割した状態を示している。この分割は分割用溝2Cを開く方向に大型基板2Aを曲げ、短冊状の基板2Eへと分割(以下、一次分割という。)する。一次分割の際には、分割用溝2Cに跨って形成されていた抵抗用電極3および裏面電極3Aが、分割用溝2Cに沿って同時に破断して、基板2の端面2D(破断面)が露出する。ここで一次分割により、大型基板2Aに形成した抵抗用電極3および裏面電極3Aの各端部が基板2から剥離するおそれがあると考えられる。しかし、その短部の剥離が生じたとしても、後述する端面2Dに銀(Ag)をスパッタリング法により被着させる工程(第2の電極形成工程)で、短冊状の基板2Eから抵抗用電極3および裏面電極3Aが剥離した部分にもAgが被着されることから、各電極3,3Aの端部が短冊状の基板2Eに固定され、抵抗器1Aとして機能することができる。
(第2の電極形成工程)
図2(H)は、平面図である図2(G)の正面図に相当する図であり、第2の電極形成工程終了後の図である。図2(H)は、一次分割工程の後、スパッタリング法により端面2DにAgを被着させ、端面電極3Bを形成した状態を示している。このとき、抵抗用電極3および裏面電極3Aの破断面にもAgが被着されるため、抵抗用電極3と端面電極3Bとが、また、端面電極3Bと裏面電極3Aとがそれぞれ電気的に接続する。その結果、抵抗用電極3のうち、オーバーコート膜9から露出する部分、端面電極3Bおよび裏面電極3Aが一体となって、端子電極3Cが形成される。
図2(H)は、平面図である図2(G)の正面図に相当する図であり、第2の電極形成工程終了後の図である。図2(H)は、一次分割工程の後、スパッタリング法により端面2DにAgを被着させ、端面電極3Bを形成した状態を示している。このとき、抵抗用電極3および裏面電極3Aの破断面にもAgが被着されるため、抵抗用電極3と端面電極3Bとが、また、端面電極3Bと裏面電極3Aとがそれぞれ電気的に接続する。その結果、抵抗用電極3のうち、オーバーコート膜9から露出する部分、端面電極3Bおよび裏面電極3Aが一体となって、端子電極3Cが形成される。
(二次分割工程)
図2(I)は、その後、短冊状の基板2Eが有する分割用溝2Cに沿って短冊状の基板2Eを分割した状態を示している。この分割は、分割用溝2Cを開く方向に応力付与して、単位基板2Bへと分割(以下、二次分割という。)することとなる。ここで二次分割により、大型基板2Aの他方の面(裏面)に、縦横の分割用溝2Cの双方に跨って形成した裏面電極3Aの端部が、単位基板2Bから剥離するおそれがあると考えられる。しかし、通常、裏面電極3Aの二次分割時の破断面の面積は小さいため、容易に破断されるので、その破断の際の衝撃が小さい。そのことから、裏面電極3Aは、単位基板2B面との剥離に至ることは殆ど無い。この二次分割工程を経て、抵抗器1Aが完成する。
図2(I)は、その後、短冊状の基板2Eが有する分割用溝2Cに沿って短冊状の基板2Eを分割した状態を示している。この分割は、分割用溝2Cを開く方向に応力付与して、単位基板2Bへと分割(以下、二次分割という。)することとなる。ここで二次分割により、大型基板2Aの他方の面(裏面)に、縦横の分割用溝2Cの双方に跨って形成した裏面電極3Aの端部が、単位基板2Bから剥離するおそれがあると考えられる。しかし、通常、裏面電極3Aの二次分割時の破断面の面積は小さいため、容易に破断されるので、その破断の際の衝撃が小さい。そのことから、裏面電極3Aは、単位基板2B面との剥離に至ることは殆ど無い。この二次分割工程を経て、抵抗器1Aが完成する。
(めっき工程)
その後、バレルめっき法により、端子電極3Cの表面に、ニッケルめっき層(図示省略)を形成し、さらにニッケルめっき層表面にはんだめっき層(図示省略)を形成する。このバレルめっき法は、めっき浴中に浸漬した籠体内に、多数の抵抗器1Aを、ダミーボールと呼ばれる金属の粒状体と一緒に投入し、籠体を回転または振動等させ、かつ通電しながらめっきするものである。ニッケルめっき層は、端子電極3Cとはんだめっき層との合金化による、端子電極3Cの、いわゆるはんだ喰われを防止するように機能する。また、はんだめっき層は、実装回路板への表面実装の際に固着部材となる、はんだとの濡れ性を良好にするよう機能する。ここで、ニッケルめっき層およびはんだめっき層の厚みは、それぞれ3μm以上12μm以下となるよう、めっき時間および/または通電電流値等を調整する。めっき層厚みが3μm以上となると、めっき層の形成が十分となる。めっき層厚みが12μm以下となると、抵抗器1Aの外形寸法が意図したものとなる。特に、抵抗器1Aが小型化された場合には、その外形寸法の影響が大きくなる。以上で、第1の実施の形態に係る抵抗器の製造法が終了する。
その後、バレルめっき法により、端子電極3Cの表面に、ニッケルめっき層(図示省略)を形成し、さらにニッケルめっき層表面にはんだめっき層(図示省略)を形成する。このバレルめっき法は、めっき浴中に浸漬した籠体内に、多数の抵抗器1Aを、ダミーボールと呼ばれる金属の粒状体と一緒に投入し、籠体を回転または振動等させ、かつ通電しながらめっきするものである。ニッケルめっき層は、端子電極3Cとはんだめっき層との合金化による、端子電極3Cの、いわゆるはんだ喰われを防止するように機能する。また、はんだめっき層は、実装回路板への表面実装の際に固着部材となる、はんだとの濡れ性を良好にするよう機能する。ここで、ニッケルめっき層およびはんだめっき層の厚みは、それぞれ3μm以上12μm以下となるよう、めっき時間および/または通電電流値等を調整する。めっき層厚みが3μm以上となると、めっき層の形成が十分となる。めっき層厚みが12μm以下となると、抵抗器1Aの外形寸法が意図したものとなる。特に、抵抗器1Aが小型化された場合には、その外形寸法の影響が大きくなる。以上で、第1の実施の形態に係る抵抗器の製造法が終了する。
(第2の実施の形態に係る抵抗器の製造法)
第2の実施の形態に係る抵抗器1Cの製造法では、図1(C)に示す抵抗器1Cを製造する。なお、抵抗器1Aの構成部品と同一の部材、同一の機能を有する部材には、抵抗器1Aで示した符号と同一の符号を付して説明する。また、図1(C)では、オーバーコート膜9およびめっき層の図示を省略した抵抗器1Cの平面図となっている。
第2の実施の形態に係る抵抗器1Cの製造法では、図1(C)に示す抵抗器1Cを製造する。なお、抵抗器1Aの構成部品と同一の部材、同一の機能を有する部材には、抵抗器1Aで示した符号と同一の符号を付して説明する。また、図1(C)では、オーバーコート膜9およびめっき層の図示を省略した抵抗器1Cの平面図となっている。
抵抗器1Cは、抵抗体膜4Bが基板2上にS字状に蛇行して形成されている。そして、トリミング工程において加熱される抵抗体膜4Cの脇部6Aは、蛇行の外側端部である。第2の実施の形態に係る抵抗器1Cの製造法では、第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法における抵抗体膜形成工程およびトリミング工程以外の各工程を同様に行う。
抵抗体膜形成工程では、抵抗体膜4Cをスクリーン印刷によって配置する。その際に用いる製版の開口部形状をS字状に蛇行させた形状とする。それ以外は、第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法における抵抗体膜形成工程と同様に行う。因みに、第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法で用いた抵抗体ペースト印刷用の製版は、その開口部形状が長方形である。トリミング工程では、抵抗体膜4Cの蛇行の外側端部である2箇所の脇部6Aに帯状にレーザー光を照射し、加熱する以外は、第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法における抵抗体膜形成工程と同様に行う。以上で、第2の実施の形態に係る抵抗器1Cの製造法が終了する。
抵抗器1Cは、抵抗体膜4Cを基板2上にS字状に蛇行して形成しているため、耐サージ特性が抵抗器1A,1Bよりも良好である。このことは、後述する抵抗器1Eについても同様である。また抵抗器1Cは、トリミング工程において加熱される抵抗体膜4Cの脇部6Aは、蛇行の外側端部としているため、トリミング工程終了後の抵抗値変化であるドリフトを抑制できる。
抵抗体膜4Cは、蛇行の形状に斜めの部分を有していないが、斜めの部分を有するZ字状に蛇行する形状としても良い。また、蛇行をする回数は抵抗器1Cの使用目的等によって適宜増減できる。さらに、加熱する領域は蛇行の外側端部ではなく、内側端部とすることができる。
(第3の実施の形態に係る抵抗器の製造法)
第3の実施の形態に係る抵抗器1Dの製造法では、図1(D)に示す抵抗器1Dを製造する。なお、抵抗器1Aの構成部品と同一の部材、同一の機能を有する部材には、抵抗器1Aで示した符号と同一の符号を付して説明する。また、図1(D)では、オーバーコート膜9およびめっき層の図示を省略した抵抗器1Dの平面図となっている。
第3の実施の形態に係る抵抗器1Dの製造法では、図1(D)に示す抵抗器1Dを製造する。なお、抵抗器1Aの構成部品と同一の部材、同一の機能を有する部材には、抵抗器1Aで示した符号と同一の符号を付して説明する。また、図1(D)では、オーバーコート膜9およびめっき層の図示を省略した抵抗器1Dの平面図となっている。
抵抗器1Dは、トリミング工程において、加熱に加えて、抵抗体膜4Dの電流路を狭めるように抵抗体膜4Dの一部を除去する。そして、抵抗体膜4Dの一部を除去するのを、抵抗体膜4Dの脇部6の基板2の領域を加熱する前に行う。また、第3の実施の形態に係る抵抗器1Dの製造法では、第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法におけるトリミング工程以外の各工程を同様に行う。そして、第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法における抵抗体膜形成工程とトリミング工程の間に、抵抗体膜4Dをガラス膜で覆うガラス膜形成工程を行う。
ガラス膜形成工程は、ガラスペーストを用い、先に形成した抵抗体膜4Dを覆うようにスクリーン印刷によって配置し、それを焼成して形成する(図示省略)。ここで、ガラス膜は、抵抗用電極3のうち、後に端子電極3Cの一部となる部分を露出させる。ガラス膜は、トリミング工程において抵抗体膜4Dの一部を除去する際に、トリミングされない部分の抵抗体膜4Dを保護するのが主たる役割である。よって、トリミング溝11の形成がされると想定できる領域のみにガラス膜を形成することとしても良い。また、抵抗体膜4Dが破壊されにくいものである場合等では、このガラス膜形成工程を省略することができる。
第3の実施の形態に係る抵抗器1Dの製造法におけるトリミング工程では、抵抗体膜4Dの一方の側部にレーザー光を照射することによってガラス膜の一部を蒸発させる。そして、抵抗体膜4Dの電流路を狭めるようにレーザー光の照射位置を抵抗体膜4Dの中心方向にずらしながら抵抗体膜4Dの一部を除去し、トリミング溝11を形成する。なお、図1(D)のトリミング溝11は、基板2にできたレーザー光の照射痕を含めて示している。トリミング溝11の形成は、抵抗素子5Cの抵抗値を測定しながら目標となる抵抗値に近づけ、目標値となったらレーザー光の照射を止める。しかし、ドリフトが生じたり、レーザー光の照射を止める時期が遅くなったりして、目標値を超えた高い抵抗値となってしまう場合(オーバートリミング)がある。その場合、その超えた分の抵抗値を下げるために、トリミング溝11を形成した抵抗体膜4Dの一方の側部とは反対側の側部に隣接する脇部6Bにレーザー光を帯状に照射して加熱し、トリミングを行う。脇部6Bの加熱は、抵抗素子5Cの抵抗値の微調整となる場合が多く、脇部6Bへのレーザー光の照射領域は帯状とならず、図1Dに示すように円形状またはそれに近い形状となることが多い。このため凹部7Bも円形の凹部となる。この微調整によって、トリミング精度が向上する。なお、レーザー光の照射領域を他と同様に帯状にしても良い。
脇部6へのレーザー光の照射は、抵抗体膜4Dのトリミング溝11を形成した側と同一側に行うことができる。ただしその場合、トリミング溝11を形成した際に抵抗体膜4Dの一方の側部は既に加熱されているため、さらなる加熱による抵抗値変化量は小さい。また、さらなる加熱によってトリミング溝11が通常有するマイクロクラックを広げ、抵抗器1Dの耐パルス特性へ悪影響を及ぼす可能性もある。よって、レーザー光を照射して加熱する領域は、トリミング溝11を形成した抵抗体膜4Dの一方の側部とは反対側の端部に隣接する脇部6とするのが好ましい。また、第3の実施の形態に係る抵抗器1Dの製造法におけるオーバーコート膜形成工程では、トリミング溝11がオーバーコート膜9の材料によって埋められ、保護されることとなる。
第3の実施の形態に係る抵抗器1Dの製造法では、トリミング工程において抵抗体膜4Dの一部を除去するのを、抵抗体膜4Dの脇部6の基板2の領域を加熱する前に行っているが、その順番を逆にしても良い。たとえば抵抗体膜4Dの脇部6の基板2の領域を加熱するトリミングを行い、目標とする抵抗素子5Cの抵抗値よりも低くなってしまった場合に、その低くなった分を抵抗体膜4Dの一部を除去することで、微調整としてのトリミングを行う。この場合、レーザー光の照射領域は帯状とするのが好ましい。また、抵抗体膜4Dの一部を除去する方法は、レーザー光を照射する方法以外に、細かい絶縁性の粒子をぶつけて、機械的な衝撃を与えることで抵抗体膜4Dの一部を除去する、いわゆるサンドブラスト法としても良い。
(第4の実施の形態に係る抵抗器の製造法)
第4の実施の形態に係る抵抗器1Eの製造法では、図1(E)に示す抵抗器1Eを製造する。なお、抵抗器1Aの構成部品と同一の部材、同一の機能を有する部材には、抵抗器1Aで示す符号と同一の符号を付して説明する。また、図1(E)では、オーバーコート膜9およびめっき層の図示を省略した抵抗器1Eの平面図となっている。
第4の実施の形態に係る抵抗器1Eの製造法では、図1(E)に示す抵抗器1Eを製造する。なお、抵抗器1Aの構成部品と同一の部材、同一の機能を有する部材には、抵抗器1Aで示す符号と同一の符号を付して説明する。また、図1(E)では、オーバーコート膜9およびめっき層の図示を省略した抵抗器1Eの平面図となっている。
抵抗器1Eは、抵抗体膜4Eの一部の除去によって、抵抗体膜4Eを蛇行させ、または蛇行状態をさらに進める。第4の実施の形態に係る抵抗器1Eの製造法では、第3の実施の形態に係る抵抗器1Dの製造法における抵抗体膜形成工程およびトリミング工程以外の各工程を同様に行う。
抵抗体膜形成工程では、抵抗体膜4Eをスクリーン印刷によって配置する。その際に用いる製版の開口部を、S字の下側のカーブによって開口しない部分を開口させた形状(擬S字形状という)とする。それ以外は、第1の実施の形態に係る抵抗器1Aの製造法における抵抗体膜形成工程と同様に行う。トリミング工程では、まず第3の実施の形態に係る抵抗器1Dの製造法におけるトリミング工程と同様に、抵抗体膜4Eの擬S字形状の部分にトリミング溝11Aを形成し、抵抗体膜4EをS字形状(蛇行形状)とする。その後、オーバートリミングが生じたら、その超えた分の抵抗値を下げるために、第3の実施の形態に係る抵抗器1Dの製造法におけるトリミング工程と同様に、抵抗体膜4Eの蛇行の外側端部である2箇所の脇部6Cに帯状にレーザー光を照射し、加熱する。抵抗体膜4EをS字形状とする方法は、サンドブラスト法とすることができる。この場合のレーザー光の照射は、図1(D)に示すように円形形状またはそれに近似する形状とするのが好ましいが、図2(E)に示すように帯状としても良い。
第4の実施の形態に係る抵抗器1Eの製造法では、抵抗体膜形成工程において、擬S字形状の抵抗体膜4Eを形成している。しかし、擬S字形状ではなくて、当初から蛇行した形状のもの、すなわち完全にS字状の抵抗体膜4Eを形成しても良い。そして、その蛇行した形状の蛇行状態をさらに進めるように抵抗体膜4Eの一部を除去することとしても良い。抵抗体膜形成工程において、擬S字形状の抵抗体膜4Eを形成する利点は、スクリーン印刷法等では、比較的複雑でない擬S字形状を再現性良く形成することが、複雑な形状の蛇行形状を再現性良く形成することよりも容易である点である。
第1、第2、第3および第4の実施の形態に係る抵抗器の製造法によって得られた抵抗器1A,1B,1C,1D,1Eは、基板2と、その基板2上に形成された対となる抵抗用電極3の双方に接触する抵抗体膜4,4C,4D,4Eを有し、基板2の抵抗体膜4,4C,4D,4Eが配置される面側であって、抵抗体膜4,4C,4D,4Eの脇部6,6A,6B,6Cとなる位置にレーザー光が照射されることで形成される凹部7,7A,7B,7Cが設けられている。なお、凹部は、加熱以外の方法、たとえば基板2を成形する際の成形金型に凹部を形成する形状が含まれている等の方法で形成されていても良い。この凹部7,7A,7Bを設ける利点は、前述したオーバーコート膜9を形成する際に、オーバーコート膜9が凹部7,7A,7Bに入り込み、オーバーコート膜9と基板2との密着強度が増す点である。
以上、本発明の実施の形態に係る抵抗器1A,1B,1C,1D,1Eの製造法および抵抗器1A,1B,1C,1D,1Eについて説明したが、本発明の要旨を逸脱しない限り種々変更実施可能である。たとえば、大型基板2Aは必須の部材ではなく、単位基板2Bに対して上述した各工程を行うことができる。よって、一次および二次分割工程は必須の工程ではないため省略できる。また、オーバーコート膜形成工程およびめっき工程についても必須の工程ではないため省略できる。さらに、抵抗器1A,1B,1C,1D,1Eが抵抗用電極3のみを端子電極とする、いわゆるフェイスダウン型のものである場合には、第1の電極形成工程のうちの裏面電極3Aを形成する工程および第2の電極形成工程は必須の工程ではないため省略できる。
また、本発明の実施の形態に係る抵抗器1A,1B,1C,1D,1Eの製造法に係る、裏面電極3Aの形成時期は、めっき工程の前までであれば良い。また、抵抗体膜4,4C,4D,4Eの形成時期は、抵抗用電極3の形成前であっても良い。その場合、抵抗体膜4,4C,4D,4Eの端部の上面に抵抗用電極3が形成されることとなる。また、トリミング工程を実施する時期は、オーバーコート膜9の形成後であっても良い。
なお、トリミング工程では、図3(A)(B)(C)の順または1つ以上おきに、まず、特定の列のトリミングをし、その後、隣接する列に1つ以上離れた列のものを同様に、すなわち図3(A)(B)(C)のように上からもしくは下から順に、または1つ以上おきにトリミングを行うようにしても良い。
本発明の実施の形態に係る抵抗器1A,1B,1C,1D,1Eの製造法に係るトリミング工程は、抵抗素子5が1つのみのチップ抵抗器の製造法を例に説明した。しかし、このトリミング工程は、抵抗素子5を2つ以上有する多連チップ抵抗器またはネットワーク抵抗器、コンデンサまたはコイルと抵抗素子が1つの部品に形成されている電子部品、トランジスタ等の能動部品と抵抗素子が1つの部品に形成されている電子部品等、抵抗素子を有する電子部品についての抵抗素子のトリミング工程に適用できる。
1A,1B,1C,1D,1E 抵抗器
2 基板
2A 大型基板
2B 単位基板
3 抵抗用電極
4,4C,4D,4E 抵抗体膜
4A 未調整抵抗体膜
4B 調整済み抵抗体膜
5,5A,5B,5C,5D 抵抗素子
6,6A,6B,6C 脇部
7,7A,7B,7C 凹部
2 基板
2A 大型基板
2B 単位基板
3 抵抗用電極
4,4C,4D,4E 抵抗体膜
4A 未調整抵抗体膜
4B 調整済み抵抗体膜
5,5A,5B,5C,5D 抵抗素子
6,6A,6B,6C 脇部
7,7A,7B,7C 凹部
Claims (10)
- 基板上に形成された対となる抵抗用電極の双方に接触する抵抗体膜を有する抵抗素子の抵抗値調整を行うトリミング工程を有する抵抗器の製造法において、
上記トリミング工程では、上記抵抗用電極および上記抵抗体膜が配置される面側であって、上記抵抗体膜に沿うと共に脇部となる位置の上記基板を加熱することを特徴とする抵抗器の製造法。 - 前記加熱が、レーザー光の照射によることを特徴とする請求項1記載の抵抗器の製造法。
- 前記レーザー光の照射によって前記脇部に凹部を形成することを特徴とする請求項2記載の抵抗器の製造法。
- 前記加熱をする領域は、前記抵抗体膜の両脇部であることを特徴とする請求項1,2または3のいずれか1項に記載の抵抗器の製造法。
- 前記抵抗体膜が前記基板上に蛇行して形成され、前記抵抗体膜の脇部は、上記蛇行の外側端部であることを特徴とする請求項1,2,3または4のいずれか1項に記載の抵抗器の製造法。
- 前記トリミング工程では、前記加熱に加えて、前記抵抗体膜の電流路を狭めるように前記抵抗体膜の一部を除去することを特徴とする請求項1,2,3,4または5のいずれか1項に記載の抵抗器の製造法。
- 前記抵抗体膜の一部を除去するのを、前記基板領域を加熱する前に行うことを特徴とする請求項6記載の抵抗器の製造法。
- 前記抵抗体膜の一部の除去によって、前記抵抗体膜を蛇行させ、または蛇行状態をさらに進めることを特徴とする請求項6または7記載の抵抗器の製造法。
- 大型基板上に複数形成された、対となる抵抗用電極の双方に接触する抵抗体膜を有する抵抗素子を加熱して抵抗値調整を行うトリミング工程を有する抵抗器の製造法であって、
上記トリミング工程は、抵抗値を調整していない未調整抵抗体膜と上記大型基板との接触部の脇部を加熱して抵抗値調整し、調整済み抵抗体膜を得る第1トリミングを行い、
その後、上記大型基板に形成された上記未調整抵抗体膜の脇部であって、調整済み抵抗体膜とは隣接しない脇部を加熱して抵抗値調整し、別の調整済み抵抗体膜を得る第2トリミングを繰り返すことを特徴とする抵抗器の製造法。 - 基板と、その基板上に形成された対となる抵抗用電極の双方に接触する抵抗体膜を有する抵抗器において、
上記基板の上記抵抗体膜が配置される面側であって、上記抵抗体膜の脇部となる位置に凹部が設けられていることを特徴とする抵抗器。
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