JP2008221439A - ナノ突起構造体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来のナノ突起構造体をさらに改良して、広範な用途が期待できるナノ突起構造体を提供する。
【解決手段】金属銅3などに低真空下で高エネルギービームが照射されることにより成長された突起2からなるナノ突起構造体であって、当該ナノ突起構造体は、高エネルギービームの照射方向が成長途中で変更されて、屈曲状または湾曲状または螺旋コイル状に形成されていることを特徴とするナノ突起構造体。および、突起2の成長途中で高エネルギービームの照射方向を変えることにより、突起2を屈曲状または湾曲状または螺旋コイル状に成長、形成することを特徴とするナノ突起構造体の製造方法。
【選択図】図4
Description
また、本発明のナノ突起構造体は、金属の表面にマイクロ・ナノ突起が文字や回路などの形状に選択的に形成されているので、各種のデバイス等への応用が期待できる。
また、本発明のナノ突起構造体の製造方法は、上記のような多用途への応用が期待できるナノ突起構造体を容易に製造することができるという利点がある。
以下に、金属銅を用いた場合を例に本発明を説明する。
図3(a)の状態は、図2(d)の状態と同じく板状の金属銅に対して垂直方向からArイオンビームを照射した場合であって、突起2は真上の方向に伸びて成長される。この成長途中において、図2(b)のように突起2の先端部に対して水平方向からArイオンビームが照射された場合には、金属銅の原子は、そのビームの方向に向けて成長されることになるので、突起2は水平方向に伸びる。
Claims (5)
- 金属に低真空下で高エネルギービームが照射されることにより、高エネルギービームの照射方向に向かって成長されたナノ突起構造体であって、当該ナノ突起構造体は、高エネルギービームの照射方向が突起の成長途中に変更されることによって、屈曲状または湾曲状または螺旋コイル状に形成されていることを特徴とするナノ突起構造体。
- 金属は、塑性加工により塑性歪みが付与されたものである請求項1に記載のナノ突起構造体。
- 金属は、大気中で予め低温酸化処理がなされている請求項1又は2に記載のナノ突起構造体。
- 金属に低真空下で高エネルギービームが照射されることにより、高エネルギービームの照射方向に向かって成長されたナノ突起構造体であって、前記金属は、その表面の一部に塑性歪みが加えられた塑性領域が形成されており、この塑性領域に高エネルギービームが照射されて、金属の表面に選択的に形成されたことを特徴とするナノ突起構造体。
- 金属に低真空下で高エネルギービームを照射して、金属の表面に高エネルギービームの照射方向に向けて突起を成長させるナノ突起構造体の製造方法であって、突起の成長途中に高エネルギービームの照射方向を変えることにより、突起を屈曲状または湾曲状または螺旋コイル状に成長、形成することを特徴とするナノ突起構造体の製造方法。
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