JP2014026197A - 金属ナノ・マイクロ突起黒体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】広い波長領域にわたって光を吸収可能で、かつ光の吸収方位を選択的に調整することができる金属ナノ・マイクロ突起黒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】亜鉛からなる基板又は亜鉛層を表面に有する基板と、この基板から成長・形成された亜鉛を主体とする多数のナノ・マイクロ突起とからなり、このナノ・マイクロ突起の形状が円錐体及び円柱体を含む横断面丸形であり、ナノ・マイクロ突起の底面の3μm以下の直径に対する高さの比であるアスペクト比が3以上であって、このナノ・マイクロ突起の成長方向に対して30°以内の角度で入射する紫外光又は可視光又赤外光を95%以上吸収することを特徴とする金属ナノ・マイクロ突起黒体、及びその製造方法。
【選択図】 図1
Description
このナノ・マイクロ突起の形状が円錐体及び円柱体を含む横断面丸形であり、ナノ・マイクロ突起の底面の3μm以下の直径に対する高さの比であるアスペクト比が3以上であって、
このナノ・マイクロ突起の成長方向に対して30°以内の角度で入射する紫外光又は可視光又赤外光を95%以上吸収することを特徴とするものである。
本発明においては金属ナノ・マイクロ突起黒体を形成する試料として、亜鉛からなる基板又は亜鉛層を表面に有する基板(以下、基板という)を用いる。亜鉛層を表面に有する基板として、亜鉛メッキ鋼板、亜鉛を蒸着したプラスチックなどを用いることができる。後述するように他の金属では黒体としての機能を発揮することはできない。ここでは、試料として10×10mm,t=0.1mmの冷間圧延した亜鉛基板を用いた。これを濃度が2モルの塩酸水溶液にて酸洗したのち、真空室に導き真空度を10−2Paに保持した後Arガスを5〜10Pa導入し、Arイオンビームを基板面に対する照射角度5〜90°として、加速電圧7kV,電流0.5mA、照射時間30分の条件で照射した。
Claims (4)
- 亜鉛からなる基板又は亜鉛層を表面に有する基板と、この基板から成長・形成された亜鉛を主体とする多数のナノ・マイクロ突起とからなり、
このナノ・マイクロ突起の形状が円錐体及び円柱体を含む横断面丸形であり、ナノ・マイクロ突起の底面の3μm以下の直径に対する高さの比であるアスペクト比が3以上であって、
このナノ・マイクロ突起の成長方向に対して30°以内の角度で入射する紫外光又は可視光又赤外光を95%以上吸収することを特徴とする金属ナノ・マイクロ突起黒体。 - 基板面に対して90°の角度で垂直に入射する光に対して、基板面上に基板面に対して60°〜90°の角度でナノ・マイクロ突起を成長・形成して、紫外光又は可視光又赤外光を95%以上吸収するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の金属ナノ・マイクロ突起黒体。
- 基板面に対して30°〜90°未満の角度で斜めに入射する光に対して、基板面上に入射光に対して30°以内の角度でナノ・マイクロ突起を成長・形成して、紫外光又は可視光又赤外光を95%以上吸収するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の金属ナノ・マイクロ突起黒体。
- 真空中で、基板面に対し30〜90°の照射角度で、加速電圧2〜20kVで高エネルギービームを照射して、亜鉛を主体とする多数のナノ・マイクロ突起を、高エネルギービームの入射方向に成長・形成させて、請求項1又は2又は3に記載の金属ナノ・マイクロ突起黒体を製造することを特徴とする金属ナノ・マイクロ突起黒体の製造方法。
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