JP2008213049A - 微小突起研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平板状ワークの微小突起部分に研磨テープTを接触させて研磨する微小突起研磨装置2であって、微小突起部分に対向して接近離間可能に設けられた対物レンズ8と、この対物レンズ8を介して微小突起部分を拡大観察する光学手段7と、微小突起部分と対物レンズ8との間で、対物レンズ8の光軸Lと交差して研磨テープTを走行するテープ移送機構20と、対物レンズ8の光軸L上で、研磨テープTを微小突起部分に接触させる押圧手段18とを備える。
【選択図】図2
Description
このため、カラーフィルタの微小突起異物はできる限り除去しなければならず、近年、カラーフィルタ基板に付着した異物を除去しカラーフィルタ基板を平滑にする装置が提供されている。
この装置によれば、前記光学系を用いて異物を観察して研磨対象を選択した後、研磨テープを除研磨対象部に押圧し、研磨テープを連続的に移送して、この研磨テープの研磨作用により除去する。これによって、異物が存在する特定の部分のみを研磨してその他の部分には影響を与えず、精度の高い研磨をすることができる(例えば、特許文献1、2参照。)。
即ち、欠陥部分を観察し、研磨対象を選択するための観察手段の中心(光軸)と研磨手段の中心とが機械的に離れているため、観察手段の光軸を微小突起部に合わせて、選択した微小突起部を観察した後、研磨手段の押圧手段の直下に移動させるときに、押圧手段の中心が微小突起部の位置にセットされず、押圧手段の中心と微小突起部の位置が一致しない状態(以下、「位置ズレ」という)で、微小突起部分以外の箇所を研磨してしまう場合があった。
さらに、研磨中において、上記位置ズレが生じているか否かを、知ることができず、研磨後に、観察手段の光軸を再度、微小突起部分に移動させてから、研磨後の微小突起部分を観察する必要があり、作業時間が短縮できないという問題があった。
即ち、請求項1に係る微小突起研磨装置は、微小突起部分を対物レンズを介して観察する観察手段と、
前記微小突起部分と前記対物レンズとの間で、前記対物レンズの光軸と交差して前記研磨テープを走行するテープ移送手段と、前記対物レンズの光軸上で、前記研磨テープを前記微小突起部分に接触させる押圧手段と、を備えていることを特徴としている。
請求項1に係る発明では、前述の構成とすることによって、前記観察手段で確認した微小突起部分の位置(対物レンズの光軸上)で、研磨テープを、微小突起部分に押圧した状態で、走行させることができるため、微小突起上における、観察手段の中心と押圧手段の中心の位置合わせ作業が必要なく、研磨時の位置ズレを防止できる。
また、前記観察手段と前記微小突起部分の間に前記押圧部及び前記研磨テープが存在する状態で、前記観察手段によって微小突起部分の観察することができると共に、研磨作業の状況を観察しながら研磨できる。
更に、研磨後に観察手段の光軸を移動させずに研磨結果を再度観察できるため、再度観察する工程が短縮できる。
また、前記対物レンズと前記微小突起部分の間に前記研磨テープが存在する状態で、前記観察手段によって微小突起部分の観察することができると共に、研磨作業の状況を観察しながら研磨できる。
そして、研磨後に観察手段を前記光軸に沿って移動させるのみで、研磨結果を再度観察できるため、再度観察する工程が短縮できる。
更に、対物レンズと研磨テープが光軸上で密に接しているため、作動距離の短い対物レンズも用いることができる。
まず、図1は、本発明の一実施の形態に係る微小突起研磨装置2を備えた平板状の被修正体Wを修正する修正装置1を示す概念図である。
X軸スライダ5は、X軸ビーム部4bのX軸方向に沿って配置された一対の案内レール5a,5aに支持されている。
そして、X軸スライダ5の後面(背面)にはボールナット(図示せず)が設けられ、このボールナットに、案内レール5a,5a間にX軸方向に沿って配置されたボールネジ5bねじ込まれており、ボールネジ5bの一端部(図1で右端部)に固定したX軸駆動モータ(X軸駆動装置)5cによってボールネジ5bが回転されることにより、X軸スライダ5がX軸方向に移動するようになっている。
また、照明用光源13は、ミラー11、ハーフミラー10、対物レンズ8を経てワークWに観察用の光を照射できるようになっている。
そして、表示装置上のワークWの画像を観察することによって、ワークWの欠陥部分が研磨対象となる微小突起Nであるか否かが判断できる。
尚、移動機構14は、Z軸スライダ15に取り付けられたZ軸用ボールナット(図示せず)と、案内レール16a、16a間にZ軸方向に沿って配置され、駆動用モータ18に接続されたZ軸用ボールネジ(図示せず)から構成されている。
そして、前記Z軸用ボールネジは前記Z軸用ボールナットにねじ込まれており、駆動用モータ18によって、Z軸用ボールネジが回転されることにより、Z軸スライダ15がZ軸方向に移動するようになっている。
即ち、移動機構14は、観察手段7とともに研磨テープTのワークWへの押圧手段を構成しており、対物レンズ8は押圧手段の押圧部としての機能を有するようになっている。
尚、Z軸位置検知器19は、対物レンズ8の焦点位置の確認の他、対物レンズ8による研磨テープTのワークWへの押圧時のZ軸方向の研磨深さを検知するためのものである。
回転軸21には研磨用テープTを巻きつけたテープリールR1が嵌合され、回転軸22には研磨テープTを巻取る巻取りリールR2が嵌合される。
また、回転軸23、24の外周には、研磨用テープT用の案内溝(図示せず)が設けられている。
研磨テープTの幅Hは、図4(b)に示すように、対物レンズ8の開口径に対し十分小さいものであり、ワークWの微小突起部分の画像は対物レンズ8の研磨テープTで覆われない部分からハーフミラー10、結像レンズ9を経てCCDカメラ12に取り込まれる。
対物レンズ8の開口径に対する研磨テープTの幅は、CCDカメラ18によって、ワークWを撮像する際に、ワークWの画像が、明確に判断できる幅ものであって、且つ研磨対象である微小突起部分NのZ軸方向平面視野における幅より広いものであればよい。
まず、テープリールR1、巻取りリールR2を夫々回転軸21、22に嵌合する。ついでテープリールR1から研磨テープTをテープリールR1から引き出し、回転軸23、24を経て、巻取りリールR2のボス部分(図示せず)に研磨テープTの先端部を取り付けてから巻取モータ25を作動させて、研磨テープTに張力をかけて、研磨テープTを観察手段7の対物レンズ8の光軸Lと研磨テープTの幅の中心に一致させる。
この画像表示部の画面に表示された上記欠陥部の画像から作業者が、この欠陥部が研磨対象となる微小突起Nであるか否かを観察するとともに、対物レンズ8の光軸Lと微小突起Nの略中心とのXY平面上のズレの有無を観察する。
その後、再度、駆動用モータ18を作動させて、Z軸スライダ15を前記ワークWに向けて移動し、対物レンズ8によって研磨テープTを微小突起Nに押圧する。
微小突起Nを研磨テープTで研磨する。
その後、駆動用モータ18を反転させて、Z軸スライダ15を前記ワークWから離間させて、再び観察手段7の対物レンズ8の焦点をワークW上の微小突起Nに合せるとともに、研磨後の微小突起Nを対物レンズ8の研磨テープTに覆われていない部分から、ハーフミラー10、結像レンズ9を経て前記欠陥部をCCDカメラ12で撮像し、前記画像表示部の画面に研磨後の微小突起Nの画像を表示する。
作業者は、この画像表示部の画像を観察し、適切な位置の研磨できたことを確認した後、ワークWのその他の欠陥部分を対物レンズ8の光軸L上にセットし上記の作業を繰り返し、全ての研磨対象欠陥部が研磨されるまで、上記作業を繰り返す。
この押圧用突起は光を透過しないものでもよく、ワークWの画像は、対物レンズ8の押圧用突起部材8a及び研磨テープTで覆われない部分からハーフミラー10、結像レンズ9を経てCCDカメラ12に取り込まれる(図6(b)、6(c))。
この研磨テープはテープ幅Haを広くすることができるため、研磨テープTの走行方向に直角な方向の蛇行を防止しやすい効果があるほか、特に図5(a)、5(b)の形式の押圧部を用いる際に、研磨テープTが押圧部を包み込むようになり(図8)、押圧部から研磨テープTが外れにくいという効果がある。
2 微小突起研磨装置
3 テーブル
4 X軸フレーム
5 X軸スライダ
7 観察手段
8 対物レンズ
12 CCDカメラ
13 照明用光源
14 Z軸移動手段
18 駆動用モータ
20 テープ走行手段
25 巻取モータ
R1 テープリール
R2 巻取りリール
T 研磨テープ
W ワーク
N 微小突起
Claims (2)
- 平板上の微小突起部分に研磨テープを接触させて研磨する微小突起研磨装置であって、
前記微小突起部分を対物レンズを介して観察する観察手段と、
前記微小突起部分と前記対物レンズとの間で、前記対物レンズの光軸と交差して前記研磨テープを走行するテープ移送手段と、
前記対物レンズの光軸上で、前記研磨テープを前記微小突起部分に接触させる押圧手段と、
を備えていることを特徴とする微小突起研磨装置。 - 平板上の微小突起部分に研磨テープを接触させて研磨する微小突起研磨装置であって、
前記微小突起部分を対物レンズを介して観察する観察手段と、
前記微小突起部分と前記対物レンズとの間で、前記対物レンズの光軸と交差して前記研磨テープを走行するテープ移送手段と、
前記対物レンズを、前記研磨テープを介して、前記突起欠陥部に押圧する押圧手段と、
を備えることを特徴とする欠陥修正装置。
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