JP2008211171A - バイポーラ型半導体装置、その製造方法およびツェナー電圧の制御方法 - Google Patents
バイポーラ型半導体装置、その製造方法およびツェナー電圧の制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】メサ構造を有し、第1導電型炭化珪素単結晶基板と、第1導電型炭化珪素導電層と、第2導電型高ドーピング層と、第2導電型炭化珪素導電層とがこの順序で積層されてなることを特徴とするバイポーラ型半導体装置。
【選択図】図1
Description
から、ドナー密度やアクセプタ密度を適切に選択することで幅広いツェナー電圧をもつダイオードが得られることがわかる。また、低いツェナー電圧を持つダイオードを得るためにはキャリア密度を高くする必要があることがわかる。
まず、エピタキシャル成長法により第2導電型のSiC導電層を形成する場合の問題点を示す。エピタキシャル成長法によるSiC導電層の形成過程には、エピタキシャル成長開始直後(ガス導入開始)から定常状態に至るまでの過渡状態が存在し、この間ドーピング密度は安定しない。
一方、エピタキシャル成長法の代わりにイオン打込み法によりp型導電層を形成する手
法がある。イオン打込み法を用いれば、エピタキシャル成長法に比べて比較的精度よくドーピング密度を制御することができる。イオン打込みによりp型導電層を形成したダイオードのツェナー電圧は、n型導電層のドナー密度とイオン打込み層の形成条件(イオン種、ドーズ量そして打込みエネルギー)により決定される。
従来の製造方法で、幅広いツェナー電圧(たとえば、10V〜500V)を有するツェナーダイオードを歩留りよく得ようとすると、以上をまとめると、下記の問題点がある。
・エピタキシャル成長法で第2導電型層を形成する場合
エピタキシャル成長開始から数秒以内にキャリア密度を安定させなければならないが、現状のエピタキシャル成長技術ではこのような制御は不可能である。
・イオン打込み法のみで第2導電型層を形成する場合
パンチスルーを抑制するために1μm以上の深さ、すなわち1MeV以上の打込みエネルギーで第2導電型層を形成する必要があるが、この方法では高エネルギーでかつ高ドーズ量のイオン打込みとなり、すなわち高コストとなるため好ましい方法ではない。また40V以下のツェナー電圧をもつツェナーダイオードを得ることは不可能である。
ドを得る手法、ならびに該ダイオード(ツェナーダイオード)によれば、幅広いツェナー電圧を高い精度で実現できることを見出し、本発明を完成するに至った。
前記高ドーピング層は、イオン打込みにより形成されてなることが好ましい。
第2導電型がn型である場合には、前記高ドーピング層は、窒素または燐をイオン打込みすることにより形成されてなることが好ましい。
本発明の第1のツェナー電圧の制御方法は、前記バイポーラ型半導体装置のツェナー電圧の制御方法であって、前記高ドーピング層のドーピング密度を1×1017cm-3〜2×1021cm-3とすることにより10〜500Vのツェナー電圧を連続的に得ることを特徴としている。
本発明によれば、pn接合界面近傍のキャリア密度を制御し、かつ十分な厚みの第2導電型導電層を有したダイオードを形成することにより、幅広いツェナー電圧(たとえば、10〜500V)のツェナー電圧を有するダイオードを歩留まり良く作製することができる。
図1に示すように、本発明のバイポーラ型半導体装置(炭化珪素(SiC)ツェナーダイオード)1においては、第1導電型炭化珪素単結晶基板2と、第1導電型炭化珪素導電層3と、第2導電型高ドーピング層4と、第2導電型炭化珪素導電層5とがこの順序で積層されている。なお、同図は説明用のものであり、その実際の寸法等は、本明細書の記載および、従来技術に基づいて当業者が理解する所による。また本発明においては、第1導電型炭化珪素単結晶基板2から第1導電型炭化珪素導電層3に向かう方向を「上」と称す場合がある。
第1導電型炭化珪素単結晶基板(n+基板)2は、昇華法(改良レーリー法)、CVD
法などにより得られたSiCバルク結晶をスライスするなどして得られたn型のSiC単結晶基板である。
有しており、そのドナー密度は5×1016cm-3〜4×1019cm-3程度であり、積層欠陥の発生を抑制する観点からは、2×1019cm-3以下であることが好ましい。ドナー密度を上記範囲から任意に選択することで、10〜500Vのツェナー電圧を連続的に得ることができる。
成長法によってn+基板2と同一の結晶型であるn+型のSiC単結晶膜を成長させてn+
型導電層3が形成される。
第2導電型炭化珪素導電層(p+型導電層)5との間に第2導電型高ドーピング層(p+型高ドーピング層)4を有することを特徴としており、該第2導電型高ドーピング層(p+
型高ドーピング層)4のドーピング密度は、該p+型導電層5のドーピング密度よりもド
ーピング密度よりも高いことが好ましい。
っても、ツェナー電圧の精度を高めることができる。
p+型高ドーピング層4の厚さは、好ましくは15〜550nmであり、より好ましく
は30〜550nmであり、さらに好ましくは50〜550nmである。
さ」とは、この第2導電型高ドーピング層(p+型高ドーピング層)4が第1導電型炭化
珪素導電層(n+型導電層)3の表面からイオンを打ち込んで形成される場合であれば、
深さ方向へのドーピング密度分布(多段イオン打込み(注入)法の場合には、最大のイオン打込みエネルギーにより形成されるドーピング密度分布)において、該表面から最大のアクセプタ密度を与える位置までの距離(深さ)をいう。
cm-3のアクセプタ密度を得たい場合、活性化処理後のAlの活性化率が10%ならば、8.9×1020cm-3のドーピング密度をもつAlのイオン打込みが必要となる。この活性化率は活性化処理の条件によって変化するため、Alドーピング密度の上限値はアルミニウムのSiCに対する固溶限界値である2×1021cm-3とした。またAlがアクセプタとして機能しうる上限値は8.9×1019cm-3とされている。
法(イオン打込み法)、熱拡散法などが挙げられる。Siと異なりSiCはドーパントの拡散定数が小さいため、SiCには熱拡散法の適用が難しいことを考慮すると、イオン打込み法が好ましい。
ドーズ量の前記下限値は、10keVの打込みエネルギーにて1×1017cm-3のドーピング密度を形成するために必要なドーズ量として求めた値である。また、ドーズ量の前記上限値は、10〜500keVにて多段打込みを行い、ドーピング密度が2×1021cm-3のボックスプロファイルを得るときに必要な全ドーズ量として求めた値である。
温度1600℃〜1800℃で熱処理することにより、注入イオンを活性化させることが望ましい。熱処理時間は、たとえば1分間〜30分間程度である。
して含有しており、そのアクセプタ密度は、好ましくは5×1017cm-3〜8.9×1019cm-3、さらに好ましくは5×1018cm-3〜8.9×1019cm-3である。このp+
型導電層5により、後述するアノード電極とpn接合界面とを十分に隔離することができ
、パンチスルー等を防ぐことができるので、バイポーラ型半導体装置の製造における歩留りの向上が可能となる。
てp+型のSiC単結晶膜を成長させて、p+型導電層5が形成される。
まず、第2導電型炭化珪素導電層(p+型導電層)5の上に例えばCVD法(Chem
ical Vapour Deposition)により厚さ10μm程度の酸化ケイ素膜を形成する。この酸化ケイ素膜上にフォトリソグラフィー技術によりメサ形状に対応したフォトレジスト膜を形成する。続いてフッ化水素酸により、フォトレジスト膜のない部分すなわち露出した酸化ケイ素膜を除去する。この作業によりp+型導電層5の表面にはメ
サ形状に対応した酸化ケイ素膜が形成される。
電層)5の領域を例えば反応性イオンエッチング(RIE)により第2導電型炭化珪素導電層(p+型導電層)5から、第1導電型炭化珪素導電層(n+型導電層)3の一部に至るまで除去し、メサ構造6を形成する。メサ構造の高さおよび幅は、たとえば、それぞれ4μmである。なお、RIE用のマスクは酸化ケイ素膜に限らず、アルミニウムやニッケル等でも良い。
型炭化珪素導電層(p+型導電層)5から不要な酸化膜8を除去し、炭化珪素導電層を露
出させる。次にスパッタリング法等を用いて、n+基板2の下面にはカソード電極9とし
てニッケル(厚さ:たとえば350nm)を、p+型導電層5の上面にはアノード電極1
0としてチタン(厚さ:たとえば50nm)およびアルミニウム(厚さ:たとえば125nm)の金属薄膜を順に形成する。これらの電極は、金属薄膜を形成した後、熱処理を行うことで合金化され、オーミック電極となる。
上述したバイポーラ型半導体装置1においては、第1導電型がn型、第2導電型がp型
(n+基板2と、n+型導電層3と、p+型高ドーピング層4と、p+型導電層5とがこの順序で積層されている)であるが、導電型が反対、すなわち第1導電型がp型、第2導電型がn型(p+基板2と、p+型導電層3と、n+型高ドーピング層(n+型イオン打込み層)4と、n+型導電層5とがこの順序で積層されている)であってもよい。
[実施例]
以下の手順により、図1に示したSiCツェナーダイオード(以下「素子」ともいう。)を複数個作製した。
さ400μm)の上に、エピタキシャル成長法によってn+基板2と同一の結晶型である
n+型のSiC単結晶膜を成長させ、n+型導電層3を形成した。n+型導電層3は窒素を
ドーパントとして含有しており、n+型導電層3のドナー密度は2×1019cm-3であっ
た。
打込み層4を形成した。イオン打込み条件は30keVの打込みエネルギーにてドーズ量が4×1015cm-2となるような条件で実施した。この条件におけるドーピング密度の深さ方向のプロファイルは、打込み表面からの深さ30nmにおいて最大ドーピング密度1×1021cm-3を示すものであった。すなわち、厚さ30nm、最大ドーピング密度1×1021cm-3のp+型高ドーピング層4を形成した。
、温度1800℃の熱処理をすることにより、打込まれた前記イオン(注入イオン)を活性化させた。
型導電層5はアルミニウムをドーパントとして含有しており、p+型導電層5のアクセプ
タ密度は8×1018cm-3〜8×1019cm-3であった。
た。この酸化ケイ素膜上に、フォトリソグラフィー技術により、メサ形状に対応したフォトレジスト膜を形成した。続いてフッ化水素酸により、フォトレジスト膜のない部分、すなわち露出した酸化ケイ素膜を除去した。この酸化ケイ素膜をマスクとして、反応性イオンエッチング(RIE)により、露出しているp+型導電層5の領域から、n+型導電層3の一部に至るまで除去し、高さおよび幅が各4μmであるメサ構造6を形成した。
続いて前述同様、フォトリソグラフィー技術およびフッ酸を使用して、n+基板2およ
びp+型導電層5から不要な酸化ケイ素膜および酸化膜8を除去し、炭化珪素導電層を露
出させた。次にスパッタリング法を用いて、n+基板2の下面にはカソード電極9として
ニッケル(厚さ350nm)の金属薄膜形成した後、1100℃で熱処理することにより合金化し、オーミック電極を得た。同様にp+型導電層5の上面にはアノード電極10と
してチタン(厚さ50nm)およびアルミニウム(厚さ125nm)の金属薄膜を順に形成した後、900℃で熱処理することにより合金化し、オーミック電極を得た。
p+型イオン打込み層4を形成しなかった以外は実施例と同様の方法により複数個の素子を製造した。なお、n+型導電層3のドナー密度は1×1019cm-3であり、p+型導電層5のアクセプタ密度は1×1018cm-3〜5×1018cm-3であった。
図2より、ドナー密度が2×1019cm-3の場合、アクセプタ密度を調節することにより得られるツェナー電圧は約15〜30Vである。
ツェナー電圧の評価結果を図7に示す。実施例の場合は、65%の素子においてツェナー電圧が20±2Vの範囲で得られた(一例として、電流−逆方向電圧特性を図5に示す)。一方、比較例の場合はp型導電層のアクセプタ密度が低くなったことにより、得られ
たツェナー電圧は40以上と高く、その範囲も40〜75Vと広範囲であった。
とで、ツェナー電圧値のばらつきが少なく(歩留まり良く)かつ、イオン打込みのみでp+型導電層を形成した場合には実現不可能な、低いツェナー電圧をもつダイオードを実現
することができた。
2 第1導電型炭化珪素単結晶基板(n+基板)
3 第1導電型炭化珪素導電層(n+型導電層)
4 第2導電型高ドーピング層(p+型イオン打込み層)
5 第2導電型炭化珪素導電層(p+型導電層)
6 メサ構造
7 電界緩和構造
8 酸化膜
9 カソード電極
10 アノード電極
Claims (10)
- メサ構造を有し、第1導電型炭化珪素単結晶基板と、第1導電型炭化珪素導電層と、第2導電型高ドーピング層と、第2導電型炭化珪素導電層とがこの順序で積層されてなることを特徴とするバイポーラ型半導体装置。
- 前記第1導電型炭化珪素導電層および前記第2導電型炭化珪素導電層がエピタキシャル成長法により形成されてなることを特徴とする請求項1に記載のバイポーラ型半導体装置。
- 前記高ドーピング層がイオン打込みにより形成されてなることを特徴とする請求項1または2に記載のバイポーラ型半導体装置。
- 第2導電型がp型であって、前記高ドーピング層が、アルミニウムをイオン打込みすることにより形成されてなることを特徴とする請求項3に記載のバイポーラ型半導体装置。
- 第2導電型がn型であって、前記高ドーピング層が、窒素または燐をイオン打込みすることにより形成されてなることを特徴とする請求項3に記載のバイポーラ型半導体装置。
- 前記高ドーピング層の厚さが15nm〜550nmであり、前記高ドーピング層のドーピング密度が1×1017cm-3〜2×1021cm-3であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のバイポーラ型半導体装置。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のバイポーラ型半導体装置のツェナー電圧の制御方法であって、前記高ドーピング層のドーピング密度を1×1017cm-3〜2×1021cm-3とすることにより10〜500Vのツェナー電圧を連続的に得ることを特徴とするツェナー電圧の制御方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のバイポーラ型半導体装置のツェナー電圧の制御方法であって、前記第1導電型炭化珪素導電層のドーピング密度を5×1016cm-3〜4×1019cm-3とすることにより10〜500Vのツェナー電圧を連続的に得ることを特徴とするツェナー電圧の制御方法。
- 前記第1導電型炭化珪素単結晶基板の上にエピタキシャル成長法により前記第1導電型炭化珪素導電層を形成し、次いでこの第1導電型炭化珪素導電層の表面に10keV〜500keVの打込みエネルギーで、且つ、ドーズ量が1.5×1013〜1×1017cm-2となるようなイオン打込み条件にて前記第2導電型高ドーピング層を形成した後、さらにこの第2導電型高ドーピング層の表面にエピタキシャル成長法により前記第2導電型炭化珪素導電層を形成することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のバイポーラ型半導体装置の製造方法。
- 前記高ドーピング層をイオン打込みにより形成し、次いで1600℃以上の温度で熱処理を行うことで打込みイオンを活性化した後、該高ドーピング層の表面にエピタキシャル成長法により第2導電型炭化珪素導電層を形成することを特徴とする請求項9に記載のバイポーラ型半導体装置の製造方法。
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