JP2008175632A - 角速度センサ素子および角速度センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ケース4のセンサ素子支持部41の表面に固定される固定部20と、固定部20の両側に連結された上連結腕21および下連結腕22と、上連結腕21に連結された一対の上検出腕23と、各上検出腕23の表面に形成された圧電素子23A,23Bと、下連結腕22に連結された一対の下検出腕24と、各下検出腕24の表面に形成された圧電素子24A,24Bと、各上検出腕23に連結された上駆動腕25と、各上駆動腕25の表面に形成された圧電素子25A,25Bと、各下検出腕24に連結された下駆動腕26と、各下駆動腕26の表面に形成された圧電素子26A,26Bとを備える。
【選択図】図3
Description
上記実施の形態では、各上駆動腕25および上加重部27を上検出腕23の固定部20とは反対側に連結すると共に、各下駆動腕26および下加重部28を下検出腕24の固定部20とは反対側に連結していたが、図9の角速度センサ素子6に示したように、各上駆動腕25および上加重部27を上検出腕23の固定部20側に連結すると共に、各下駆動腕26および下加重部28を下検出腕24の固定部20側に連結してもよい。この場合にも、上記実施の形態と同様、上連結腕21、上検出腕23、上駆動腕25および上加重部27からなる腕と、下連結腕22、下検出腕24、下駆動腕26および下加重部28からなる腕とが固定部20の両側にそれぞれ連結されており、さらに、上連結腕21および下連結腕22の剛性が高くなっているので、横方向の加速度の影響をほとんどなくすることができる。また、上記実施の形態と同様、固定部20を介さずに上検出腕23および各上駆動腕25が連結されると共に、固定部20を介さずに下検出腕24および各下駆動腕26が連結されているので、固定部20のセンサ素子支持部41への固定を容易にすることができる。
上記実施の形態では、各上駆動腕25および上加重部27を上検出腕23の固定部20とは反対側にだけ連結すると共に、各下駆動腕26および下加重部28を下検出腕24の固定部20とは反対側にだけ連結していたが、図12に本変形例に係る角速度センサ素子7を示したように、各上駆動腕25および上加重部27を上検出腕23の固定部20とは反対側にだけでなく上検出腕23の固定部20側にも連結すると共に、各下駆動腕26および下加重部28を下検出腕24の固定部20とは反対側にだけでなく下検出腕24の固定部20側にも連結してもよい。この場合にも、上記実施の形態と同様、上連結腕21、上検出腕23、上駆動腕25および上加重部27からなる腕と、下連結腕22、下検出腕24、下駆動腕26および下加重部28からなる腕とが固定部20の両側にそれぞれ連結されており、さらに、上連結腕21および下連結腕22の剛性が高くなっているので、横方向の加速度の影響をほとんどなくすることができる。また、上記実施の形態と同様、固定部20を介さずに上検出腕23および各上駆動腕25が連結されると共に、固定部20を介さずに下検出腕24および各下駆動腕26が連結されているので、固定部20のセンサ素子支持部41への固定を容易にすることができる。
Claims (11)
- 支持面に固定される固定部と、
前記固定部の両側に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在する上連結腕および下連結腕と、
前記上連結腕に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在し、かつ第1電極を有する一対の上第1振動腕と、
前記下連結腕に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在し、かつ第2電極を有する一対の下第1振動腕と、
前記各上第1振動腕に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在し、かつ第3電極を有する上第2振動腕と、
前記各下第1連結腕に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在し、かつ第4電極を有する下第2振動腕と
を備えることを特徴とする角速度センサ素子。 - 前記上第2振動腕および前記下第2振動腕は互いに平行な方向に延在している
ことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ素子。 - 前記各上第2振動腕は、前記上第1振動腕の前記固定部側に延在し、
前記各下第2振動腕は、前記下第1振動腕の前記固定部側に延在している
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の角速度センサ素子。 - 前記各上第2振動腕は、前記上第1振動腕の前記固定部とは反対側に延在し、
前記各下第2振動腕は、前記下第1振動腕の前記固定部とは反対側に延在している
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の角速度センサ素子。 - 前記各上第2振動腕は、前記上第1振動腕の前記固定部側および前記梁部の前記固定部とは反対側の双方にそれぞれ延在し、
前記各下第2振動腕は、前記下第1振動腕の前記固定部側および前記梁部の前記固定部とは反対側の双方にそれぞれ延在している
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の角速度センサ素子。 - 前記各上第2振動腕の前記上第1振動腕とは反対側の端部に上加重部が連結され、
前記各下第2振動腕の前記下第1振動腕とは反対側の端部に下加重部が連結されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の角速度センサ素子。 - 前記上連結腕の幅は、前記上第1振動腕および前記上第2振動腕のいずれか一方の幅よりも広く、
前記下連結腕の幅は、前記下第1振動腕および前記下第2振動腕のいずれか一方の幅よりも広い
ことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の角速度センサ素子。 - 前記上連結腕の厚さは、前記上第1振動腕および前記上第2振動腕のいずれか一方の厚さよりも厚く、
前記下連結腕の厚さは、前記下第1振動腕および前記下第2振動腕のいずれか一方の厚さよりも厚い
ことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の角速度センサ素子。 - 前記各上第2振動腕は、前記上連結腕の中心を対称軸として線対称に延在し、
前記各下第2振動腕は、前記下連結腕の中心を対称軸として線対称に延在する
ことを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の角速度センサ素子。 - 前記上第1振動腕と前記下第1振動腕とは、前記固定部を通り前記上連結腕の延在方向と直交する直線を対称軸として線対称に延在し、
前記上第2振動腕と前記下第2振動腕とは、前記固定部を通り前記上連結腕の延在方向と直交する直線を対称軸として線対称に延在する
ことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか一項に記載の角速度センサ素子。 - 角速度センサ素子および集積回路素子を備えた角速度センサ装置であって、
前記角速度センサ素子は、
支持面に固定される固定部と、
前記固定部の両側に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在する上連結腕および下連結腕と、
前記上連結腕に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在し、かつ第1電極を有する一対の上第1振動腕と、
前記下連結腕に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在し、かつ第2電極を有する一対の下第1振動腕と、
前記各上第1振動腕に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在し、かつ第3電極を有する上第2振動腕と、
前記各下第1連結腕に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在し、かつ第4電極を有する下第2振動腕と
を備え、
前記集積回路素子は、前記各上第2振動腕および前記各下第2振動腕に駆動信号を送信すると共に、前記各上第1振動腕および前記各下第1振動腕から出力される検出信号を受信する
ことを特徴とする角速度センサ装置。
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---|---|
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008145256A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Tdk Corp | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 |
JP2010135595A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Yamaha Corp | 圧電体素子及びその製造方法、並びに該圧電体素子を用いた角速度センサ |
JP2010256054A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Panasonic Corp | 角速度センサ素子 |
JP2011059040A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Panasonic Corp | 角速度センサユニットおよびその信号検出方法 |
WO2011093077A1 (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
JP2011158464A (ja) * | 2010-01-05 | 2011-08-18 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、および電子機器 |
US9121707B2 (en) | 2011-06-24 | 2015-09-01 | Seiko Epson Corporation | Bending vibration piece and electronic device |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0429012A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-01-31 | Akai Electric Co Ltd | 振動ジャイロ |
JPH1047971A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-20 | Nippon Soken Inc | 角速度センサ |
JPH10153432A (ja) * | 1996-11-26 | 1998-06-09 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JPH10160477A (ja) * | 1996-11-28 | 1998-06-19 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動子の調整方法およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ |
JPH10160478A (ja) * | 1996-11-28 | 1998-06-19 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動子の調整方法およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ |
JPH10170270A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Ngk Insulators Ltd | 振動子およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ |
JPH10260043A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Toyota Motor Corp | 角速度検出装置 |
JPH1172333A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-03-16 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープおよび直線加速度計 |
JPH11125528A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-05-11 | Ngk Insulators Ltd | 屈曲振動アームおよび振動型ジャイロスコープ |
JPH11173857A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-07-02 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ、これに使用する振動子、振動子の振動の解析方法、振動子の支持方法および振動型ジャイロスコープの製造方法 |
JPH11281372A (ja) * | 1997-11-04 | 1999-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法 |
JP2003227719A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜微小機械式共振子、薄膜微小機械式共振子ジャイロ、この薄膜微小機械式共振子ジャイロを用いたナビゲーションシステム及び自動車 |
JP2005227299A (ja) * | 1996-11-28 | 2005-08-25 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JP3694160B2 (ja) * | 1996-11-28 | 2005-09-14 | 日本碍子株式会社 | 振動型ジャイロスコープおよびその調整方法 |
JP2006058101A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子および応用機器 |
JP2006208124A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Citizen Watch Co Ltd | 振動体デバイス及び振動体デバイスの製造方法 |
JP2008145256A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Tdk Corp | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 |
-
2007
- 2007-01-17 JP JP2007008151A patent/JP5023708B2/ja active Active
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0429012A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-01-31 | Akai Electric Co Ltd | 振動ジャイロ |
JPH1047971A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-20 | Nippon Soken Inc | 角速度センサ |
JPH10153432A (ja) * | 1996-11-26 | 1998-06-09 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JP2005227299A (ja) * | 1996-11-28 | 2005-08-25 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JPH10160477A (ja) * | 1996-11-28 | 1998-06-19 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動子の調整方法およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ |
JPH10160478A (ja) * | 1996-11-28 | 1998-06-19 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動子の調整方法およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ |
JP3694160B2 (ja) * | 1996-11-28 | 2005-09-14 | 日本碍子株式会社 | 振動型ジャイロスコープおよびその調整方法 |
JPH10170270A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Ngk Insulators Ltd | 振動子およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ |
JPH10260043A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Toyota Motor Corp | 角速度検出装置 |
JPH11173857A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-07-02 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ、これに使用する振動子、振動子の振動の解析方法、振動子の支持方法および振動型ジャイロスコープの製造方法 |
JPH1172333A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-03-16 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープおよび直線加速度計 |
JPH11125528A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-05-11 | Ngk Insulators Ltd | 屈曲振動アームおよび振動型ジャイロスコープ |
JPH11281372A (ja) * | 1997-11-04 | 1999-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法 |
JP2003227719A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜微小機械式共振子、薄膜微小機械式共振子ジャイロ、この薄膜微小機械式共振子ジャイロを用いたナビゲーションシステム及び自動車 |
JP2006058101A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子および応用機器 |
JP2006208124A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Citizen Watch Co Ltd | 振動体デバイス及び振動体デバイスの製造方法 |
JP2008145256A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Tdk Corp | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008145256A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Tdk Corp | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 |
JP2010135595A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Yamaha Corp | 圧電体素子及びその製造方法、並びに該圧電体素子を用いた角速度センサ |
JP2010256054A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Panasonic Corp | 角速度センサ素子 |
JP2011059040A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Panasonic Corp | 角速度センサユニットおよびその信号検出方法 |
JP2011158464A (ja) * | 2010-01-05 | 2011-08-18 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、および電子機器 |
WO2011093077A1 (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
JPWO2011093077A1 (ja) * | 2010-01-29 | 2013-05-30 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
US8991248B2 (en) | 2010-01-29 | 2015-03-31 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
US9121707B2 (en) | 2011-06-24 | 2015-09-01 | Seiko Epson Corporation | Bending vibration piece and electronic device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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