JP2011059040A - 角速度センサユニットおよびその信号検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この目的を達成するために、角速度を検出する振動型のセンサ素子1およびそれを制御するIC2を内蔵するパッケージとからなる角速度センサユニットにおいて、センサ素子1は駆動アーム5にドライブ電極6、モニタ電極7、センス電極8を設けるとともに、駆動アーム5を支持する支持アーム16に設けられたモニタ電極7の配線電極19に補正電極20を設け、不要振動によりモニタ電極7に形成された不要信号を、同じ不要振動により補正電極20に形成された補正信号で減衰させる構造としたものである。
【選択図】図2
Description
2 IC
3 パッケージ
5 駆動アーム
6 ドライブ電極
7 モニタ電極
8 センス電極
15 外部接続部
16 支持アーム
17 錘部
18 電極パッド
19 配線電極
20 補正電極
Claims (3)
- 角速度を検出する振動型のセンサ素子と、前記センサ素子の基本振動および検出信号の処理を行うICと、これらセンサ素子およびICを内蔵するパッケージとからなる角速度センサユニットにおいて、
前記センサ素子は、前記パッケージに接続する外部接続部と、この外部接続部から延出された支持アームと、一端が前記支持アームの先端部分に接続され他端が錘部に接続されたつづら折れ状の駆動アームと、前記駆動アームに設けられ前記ICから出力される駆動信号に応じて前記駆動アームをつづら折れ方向に基本振動させるドライブ電極と、前記駆動アームに設けられ前記基本振動により電荷を形成し前記ICに出力するモニタ電極と、角速度の印加により前記駆動アームが側方に振動することで電荷を形成し前記ICに出力するセンス電極と、前記外部接続部に設けられ複数の電極パッドと、前記電極パッドと前記ドライブ電極、前記センス電極または前記モニタ電極を接続する配線電極を備え、前記モニタ電極と電極パッドを接続する配線電極における前記支持アーム部分に補正電極を設け、前記基本振動および前記角速度の検出振動と直交する方向の撓み振動により前記モニタ電極に生じる不要信号を前記撓み振動により前記補正電極に生じる補正信号で減衰させることを特徴とした角速度センサユニットの信号検出方法。 - 撓み振動により、モニタ電極に接続された配線電極に生じる不要信号を補正電極に生じる補正信号で減衰させることを特徴とした請求項1に記載の角速度センサユニットの信号検出方法。
- 角速度を検出する振動型のセンサ素子と、前記センサ素子の基本振動および検出信号の処理を行うICと、これらセンサ素子およびICを内蔵するパッケージとからなる角速度センサユニットにおいて、
前記センサ素子は、前記パッケージに接続する外部接続部と、この外部接続部から延出された支持アームと、一端が前記支持アームの先端部分に接続され他端が錘部に接続されたつづら折れ状の駆動アームと、前記駆動アームに設けられ前記ICから出力される駆動信号に応じて前記駆動アームをつづら折れ方向に基本振動させるドライブ電極と、前記駆動アームに設けられ前記基本振動を検出し前記ICに出力するモニタ電極と、前記駆動アームに設けられ角速度の検出信号を前記ICに出力するセンス電極と、前記外部接続部に設けられた複数の電極パッドと、前記電極パッドと前記ドライブ電極、前記センス電極または前記モニタ電極を接続する配線電極を備え、前記モニタ電極と前記電極パッドを接続する前記配線電極の前記支持アーム部分に補正電極を設けたことを特徴とする角速度センサユニット。
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