JP2008160092A - 圧電薄膜素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に下部電極、圧電薄膜、及び上部電極を順次配置して構成された圧電薄膜素子において、前記圧電薄膜が一般式(Nax1Ky1Liz1)NbO3(0≦x1≦1、0≦y1≦1、0≦z1<1、x1+y1+z1=1)で表されるアルカリニオブ酸化物の誘電体薄膜からなり、前記圧電薄膜と前記下部電極との間に、一般式(Nax2Ky2Liz2)NbO3(0≦x2≦1、0≦y2≦1、0≦z2<1、x2+y2+z2=1)で表されるアルカリニオブ酸化物であって、そのナトリウム組成比が0<x2<x1の関係を有する下地誘電体薄膜を挿入した。
【選択図】 図1
Description
X線回折分析における2θ−ω測定において、2θが21°付近の回折ピークは、ペロブスカイト構造の結晶膜が(100)面、(010)面または(001)面に配向していることを示しており、45°付近のピークは、ペロブスカイト構造の結晶膜が(200)面、(020)面または(002)面に配向していることを示している。
2 下部電極
3、11 下地誘電体薄膜
4、12、16,18 圧電薄膜
5 上部電極
6、13、17、19 圧電薄膜素子
7 圧電薄膜素子(試料)
8 除震台
9 クランプ
10 レーザードップラー変位計
14 下地誘電体薄膜(a)
15 下地誘電体薄膜(b)
Claims (4)
- 基板上に下部電極、圧電薄膜、及び上部電極を順次配置して構成された圧電薄膜素子において、前記圧電薄膜が一般式(Nax1Ky1Liz1)NbO3(0≦x1≦1、0≦y1≦1、0≦z1<1、x1+y1+z1=1)で表されるアルカリニオブ酸化物の誘電体薄膜からなり、前記圧電薄膜と前記下部電極との間に、一般式(Nax2Ky2Liz2)NbO3(0≦x2≦1、0≦y2≦1、0≦z2<1、x2+y2+z2=1)で表されるアルカリニオブ酸化物であって、そのナトリウム組成比が0<x2<x1の関係を有する下地誘電体薄膜が挿入されていることを特徴とする圧電薄膜素子。
- 基板上に下部電極、圧電薄膜、及び上部電極を順次配置して構成された圧電薄膜素子において、前記圧電薄膜が一般式(Nax1Ky1Liz1)NbO3(0≦x1≦1、0≦y1≦1、0≦z1<1、x1+y1+z1=1)で表されるアルカリニオブ酸化物の誘電体薄膜からなり、前記圧電薄膜と前記下部電極との間に、一般式(Nax2Ky2Liz2)NbO3(0≦x2≦1、0≦y2≦1、0≦z2<1、x2+y2+z2=1)で表されるアルカリニオブ酸化物であって、そのナトリウム組成比がx2=0である下地誘電体薄膜が挿入されていることを特徴とする圧電薄膜素子。
- 基板上に下部電極、圧電薄膜、及び上部電極を順次配置して構成された圧電薄膜素子において、前記圧電薄膜が一般式(Nax1Ky1Liz1)NbO3(0≦x1≦1、0≦y1≦1、0≦z1<1、x1+y1+z1=1)で表されるアルカリニオブ酸化物の誘電体薄膜からなり、前記圧電薄膜と前記下部電極との間に、一般式(Nax2Ky2Liz2)NbO3(0≦x2≦1、0≦y2≦1、0≦z2<1、x2+y2+z2=1)で表されるアルカリニオブ酸化物であって、そのナトリウム組成が下部電極から上部電極に向かって0≦x2≦x1の関係を満たしながら階段状あるいは連続的に増加するようにされた下地誘電体薄膜が挿入されていることを特徴とする圧電薄膜素子。
- 基板上に下部電極、圧電薄膜、及び上部電極を順次配置して構成された圧電薄膜素子において、前記基板がSi基板若しくはガラス基板からなり、前記圧電薄膜がぺロブスカイト構造の結晶構造を有し、かつその結晶面が(100)面、(010)面または(001)面のいずれかに優勢配向していることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電薄膜素子。
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