JP2008153498A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板上に投影する投影光学系とを有し、前記原版および前記基板を走査させながら露光を行う露光装置であって、
   前記照明光学系中に配され、前記原版上の被照明領域を走査方向において規定する、第１の遮光板および第２の遮光板と、
   固定部と、モータ駆動される被駆動部と、一方が前記固定部に連結され他方が前記被駆動部材に連結され、前記第１の遮光板および前記第２の遮光板のうち少なくとも一方を保持する保持部材とを有し、前記第１の遮光板および前記第２の遮光板の少なくとも一方を回動させるリンク機構と、を備えることを特徴とする露光装置。
2. 前記基板上には複数のショットが露光され、
   前記リンク機構は、前記基板のプロセス原因に基づいて、前記ショットごとに、前記第１の遮光板および前記第２の遮光板のうち少なくとも一方を回動させることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記基板上には複数のショットが露光され、
   前記リンク機構は、ショット間で、前記第１の遮光板および前記第２の遮光板のうち少なくとも一方を回動させることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
4. 前記リンク機構の回動によって、前記基板上に露光される非走査方向線幅が調整されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の露光装置。
5. 前記リンク機構は、前記第１の遮光板および前記第２の遮光板を、前記走査方向に垂直な基準線に関して対称となるように、回動させることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の露光装置。
6. 前記リンク機構の回動中心は、前記照明光学系の光軸から隔たった位置にあることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の露光装置。
7. 前記照明光学系は、前記原版および前記基板の走査に応じて移動する第１のマスキングブレードおよび第２のマスキングブレードを有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の露光装置。
8. 前記第１の遮光板のエッジおよび前記第２の遮光板のエッジは、それぞれ前記第１のマスキングブレードのエッジおよび前記第２のマスキングブレードのエッジに対応した形状をしていることを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
9. 前記第１の遮光板および前記第２の遮光板のうち少なくとも一方のエッジの形状が可変であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の露光装置。
10. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
    前記基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。