JP2008149518A - 静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ガラス基板上のITO配線の厚さを、対向するシリコン基板表面の絶縁膜より厚くでき、しかもITO配線とシリコン基板との等電位接合を精度良く行う。
【解決手段】シリコン基板1の内側部分にSiO2層41を形成し、シリコン基板1のSiO2層41が形成された側の表面に絶縁膜11を形成し、シリコン基板1の絶縁膜側のガラス基板等電位接点凸部24に対応する表面部分をSiO2層41が現れるまでエッチングしてシリコン基板等電位接点凹部24Aを形成する工程と、この等電位接点凹部24Aの底部の一部をエッチングしてシリコン基板1を露出させる工程と、シリコン基板1とガラス基板2とを、等電位接点凹部24Aと等電位接点凸部24とを密着させ、等電位接点凹部24Aのシリコン基板露出部と等電位接点凸部24とを電気的に導通可能な隙間状態として陽極接合する。
【選択図】図3
【解決手段】シリコン基板1の内側部分にSiO2層41を形成し、シリコン基板1のSiO2層41が形成された側の表面に絶縁膜11を形成し、シリコン基板1の絶縁膜側のガラス基板等電位接点凸部24に対応する表面部分をSiO2層41が現れるまでエッチングしてシリコン基板等電位接点凹部24Aを形成する工程と、この等電位接点凹部24Aの底部の一部をエッチングしてシリコン基板1を露出させる工程と、シリコン基板1とガラス基板2とを、等電位接点凹部24Aと等電位接点凸部24とを密着させ、等電位接点凹部24Aのシリコン基板露出部と等電位接点凸部24とを電気的に導通可能な隙間状態として陽極接合する。
【選択図】図3
Description
本発明は、静電気力を利用して駆動する、静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関する。
近年、静電駆動方式の液滴吐出ヘッドでは高印字性能を追求するために、液滴を吐出するためのノズル及び吐出室の高密度化が求められている。そこで、歩留まりの向上、シリコン基板の大口径化を実現するために、シリコン基板をガラス基板に陽極接合した後に、シリコン基板を加工して液滴吐出ヘッドを製造することが一般的になってきている。すなわち、陽極接合は、底壁が振動板として作用する吐出室等が形成されたシリコン基板と、この振動板を駆動させるための電極(個別電極)が形成されたガラス基板とを、振動板の電位と電極の電位とを等電位にした上で接合するものである。これにより、振動板と電極との間での放電を防して、放電による液滴吐出ヘッドの破壊を回避するようにしている。
振動板と電極との間の等電位を確保するものとして、たとえば、「ウエハ等の基板に複数の液滴吐出ヘッドを一体形成する液滴吐出ヘッド製造方法において、シリコンを材料とし、液体を吐出させるための部材が形成されるキャビティプレートとなるシリコン基板と、部材を加圧して吐出液体を吐出させる1又は複数の電極をはじめとする電極部が形成されたガラス基板とを陽極接合する前に、ガラス基板に形成された電極部とキャビティプレートとなるシリコン基板とを導通させるための等電位接点を、シリコン基板とガラス基板との間に設ける工程を少なくとも有する」ようにした液滴吐出ヘッドの製造方法が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。
特開2004−306443号公報(第8、9頁及び第2図)
特許文献1に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法では、製造される液滴吐出ヘッドにおけるキャビティプレートとなるシリコン基板に形成する絶縁膜と、電極となるITO(Indium Tin Oxide)配線とが同程度の膜厚で形成されるようになっている。それは、キャビティプレート用シリコン基板のITO配線との対向面に形成した絶縁膜の一部を除去し、その絶縁膜除去部にガラス基板上に形成されたITO配線の一部を入り込ませてそれらを導通状態にして、シリコン基板とガラス基板を陽極接合するためである。
ところで、静電アクチュエータの性能を向上させるためには、絶縁破壊しない範囲で絶縁膜をできる限り薄く形成した方が望ましい。それは、絶縁膜をより薄く形成した方が、絶縁膜を厚く形成したものに比べて、振動板を撓ませる力(駆動力)を大きくすることができるからである。しかしながら、上記の理由により、絶縁膜を薄くするには、ITO配線も同時に薄くしなければならないという問題があった。
また、静電アクチュエータの性能を向上させるためには、ITO配線をできる限り厚く形成した方が望ましい。それは、ITO配線の膜厚を薄くすると、配線の電気抵抗が増大してしまい電気的な応答性が低下してしまうからである。また、ITO配線を薄くし過ぎてしまうと、ITO配線の断線につながる危険性も生じてしまうからである。
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、シリコン基板とガラス基板とを陽極接合してなる静電アクチュエータ等において、ガラス基板上のITO配線の厚さを、対向するシリコン基板表面の絶縁膜より厚くでき、しかもITO配線とシリコン基板との等電位接合を精度良く行うことが可能な、静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供することを目的とするものである。
本発明の静電アクチュエータの製造方法は、一方の電極を構成するシリコン基板と、前記シリコン基板と対向する少なくとも1つの個別電極が形成され、各個別電極と導通する等電位接点凸部が形成されたガラス基板とを接合し、前記接合後にシリコン基板を加工して前記個別電極とともにアクチュエータを構成する振動板を形成する静電アクチュエータの製造方法であって、前記シリコン基板の内側部分にSiO2層を形成し、前記シリコン基板の前記SiO2層が形成された側の表面に絶縁膜を形成し、前記シリコン基板の前記絶縁膜側の前記等電位接点凸部に対応する表面部分を前記SiO2層が現れるまでエッチングして等電位接点凹部を形成する工程と、前記シリコン基板の前記等電位接点凹部の底部の一部をエッチングしてシリコン基板を露出させる工程と、前記シリコン基板と前記ガラス基板とを、前記等電位接点凹部と前記等電位接点凸部とを密着させ、前記等電位接点凹部のシリコン基板露出部と前記等電位接点凸部とを電気的に導通可能な隙間状態として陽極接合する工程と、前記陽極接合後、前記各個別電極と前記等電位接点凸部との導通を遮断する工程と、を備えたものである。
この製造方法によれば、ガラス基板の個別電極及びそれと同時に形成する等電位接点凸部の導電体の厚さを、対向するシリコン基板の絶縁膜より厚くできるので、アクチュエータの静電力及び動作の応答性を向上させることができる。また、SiO2層はエッチングレートが急激に遅くなるエッチングストップ層として作用するため、等電位接点凹部の深さ寸法精度が向上する。これにより、ガラス基板とシリコン基板との等電位接点部での接合精度が上がるため、振動板と個別電極との間隔の精度も向上し、アクチュエータとしての動作精度が向上する。
なお、前記SiO2層の形成は、酸素イオン注入拡散により、あるいは、表面にSiO2層が形成されたシリコン基板にベアシリコンを貼り合わせて行う。これらにより、シリコン基板内部でのSiO2層の位置や厚みを調整することができる。
また、陽極接合後、前記シリコン基板の前記ガラス基板との接合面の反対側面にエッチングを施して前記振動板を形成できるため、シリコン基板の取り扱いが容易になり、製造歩留まりが向上する。
なお、前記SiO2層の形成は、酸素イオン注入拡散により、あるいは、表面にSiO2層が形成されたシリコン基板にベアシリコンを貼り合わせて行う。これらにより、シリコン基板内部でのSiO2層の位置や厚みを調整することができる。
また、陽極接合後、前記シリコン基板の前記ガラス基板との接合面の反対側面にエッチングを施して前記振動板を形成できるため、シリコン基板の取り扱いが容易になり、製造歩留まりが向上する。
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、上記の静電アクチュエータの製造方法を適用して、前記シリコン基板に底壁が前記振動板となる液滴の吐出室を形成するものである。
その際、前記吐出室は、前記SiO2層が現れるまで前記シリコン基板をエッチングして形成する。SiO2層をエッチングレートが急激に遅くなるエッチングストップ層として利用することで、吐出室の深さ及び振動板の厚さを高精度に形成でき、液滴の吐出性能向上に寄与する。
その際、前記吐出室は、前記SiO2層が現れるまで前記シリコン基板をエッチングして形成する。SiO2層をエッチングレートが急激に遅くなるエッチングストップ層として利用することで、吐出室の深さ及び振動板の厚さを高精度に形成でき、液滴の吐出性能向上に寄与する。
本発明の静電アクチュエータは、一方の電極を構成する少なくとも1つの振動板が形成されたシリコン基板と、前記各振動板と対向する個別電極が形成されたガラス基板とが接合され、前記振動板と前記個別電極とでアクチュエータが構成されている静電アクチュエータであって、前記シリコン基板の前記振動板は、前記ガラス基板に近い側から絶縁膜、シリコン層及SiO2層から構成されており、前記ガラス基板には、前記シリコン基板との接合時に各個別電極と前記シリコン基板との等電位接点として利用された等電位接点凸部が形成されており、前記シリコン基板の前記ガラス基板と対向する側には、前記等電位接点凸部に対応する等電位接点凹部が、前記振動板を構成する前記SiO2層と一体に形成されているSiO2層に至る深さに形成されており、かつ前記等電位接点凹部の底部の一部で前記SiO2層が除去されており、前記シリコン基板と前記ガラス基板とが、前記等電位接点凹部と前記等電位接点凸部とを密着して積層されているものである。
この静電アクチュエータは、前述した製造方法により製造することができるため、その方法に起因して得られる前述した各種の効果を有する。
この静電アクチュエータは、前述した製造方法により製造することができるため、その方法に起因して得られる前述した各種の効果を有する。
本発明の液滴吐出ヘッドは、上記の静電アクチュエータにおける前記シリコン基板の前記ガラス基板対向側との反対側面に、液滴を貯えて吐出圧力を発生させる吐出室が形成されており、前記吐出室の底面が前記振動板となっているものである。
この液滴吐出ヘッドは、上記静電アクチュエータを液滴を吐出させる圧力室の動作アクチュエータとしているので、上記静電アクチュエータに起因する効果、すなわち、静電力が増大し、応答性や吐出精度が向上するという効果が得られる。
また、本発明の液滴吐出装置は、上記の液滴吐出ヘッドを備えたものである。
この液滴吐出ヘッドは、上記静電アクチュエータを液滴を吐出させる圧力室の動作アクチュエータとしているので、上記静電アクチュエータに起因する効果、すなわち、静電力が増大し、応答性や吐出精度が向上するという効果が得られる。
また、本発明の液滴吐出装置は、上記の液滴吐出ヘッドを備えたものである。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る液滴吐出ヘッドを分解した状態を示す分解斜視図、図2は図1の液滴吐出ヘッドの吐出室長手方向に沿った断面図、図3は図1の液滴吐出ヘッドの等電位接点部分を拡大して示した模式図である。この液滴吐出ヘッドは、静電駆動方式の静電アクチュエータを、液滴吐出のためのアクチュエータとして利用するものである。
図1は、本発明の実施の形態1に係る液滴吐出ヘッドを分解した状態を示す分解斜視図、図2は図1の液滴吐出ヘッドの吐出室長手方向に沿った断面図、図3は図1の液滴吐出ヘッドの等電位接点部分を拡大して示した模式図である。この液滴吐出ヘッドは、静電駆動方式の静電アクチュエータを、液滴吐出のためのアクチュエータとして利用するものである。
図1に示すように、この液滴吐出ヘッドは、シリコン製のキャビティプレート1、ガラス基板2、及びシリコン製のノズルプレート3が積層接合された3層構造として構成されている。つまり、キャビティプレート1をガラス基板2とノズルプレート3とが上下から挟む構造となっている。
[キャビティプレート1]
キャビティプレート1は、たとえば厚さ約50μm(マイクロメートル)の(110)面方位のシリコン単結晶基板(以下、単にシリコン基板と称する)で構成されている。図3に示すように、キャビティプレート1の内側部分にはSiO2層41が形成され、そのSiO2層41が形成された側の表面は、絶縁膜11が形成され、かつ接合されているガラス基板2の等電位接点凸部24と、キャビティプレート1の等電位接点凹部24Aとが接触した状態となっている。キャビティプレート1の等電位接点凹部24Aは、そのSiO2層41まで絶縁膜11及びシリコン基板が除去されていて、さらに、等電位接点凹部24Aの底部の一部は、SiO2層41が除去されてシリコン基板が露出した状態となっている。
キャビティプレート1は、たとえば厚さ約50μm(マイクロメートル)の(110)面方位のシリコン単結晶基板(以下、単にシリコン基板と称する)で構成されている。図3に示すように、キャビティプレート1の内側部分にはSiO2層41が形成され、そのSiO2層41が形成された側の表面は、絶縁膜11が形成され、かつ接合されているガラス基板2の等電位接点凸部24と、キャビティプレート1の等電位接点凹部24Aとが接触した状態となっている。キャビティプレート1の等電位接点凹部24Aは、そのSiO2層41まで絶縁膜11及びシリコン基板が除去されていて、さらに、等電位接点凹部24Aの底部の一部は、SiO2層41が除去されてシリコン基板が露出した状態となっている。
キャビティプレート1には、底壁が振動板4に形成され、吐出液滴を貯え圧力を発生させてその液滴を吐出する吐出室5となる凹部6、各吐出室5共通に吐出する液滴を貯めておくためのリザーバ9となる凹部10等が形成されている。リザーバ9には、ガラス基板2のインク供給口17に対応する開口(図示省略)も設けられている。
キャビティプレート1の振動板4は、ガラス基板2に近い側から、絶縁膜11、シリコン層(シリコン基板1の一部)及SiO2層41により構成されている。
キャビティプレート1の振動板4は、ガラス基板2に近い側から、絶縁膜11、シリコン層(シリコン基板1の一部)及SiO2層41により構成されている。
絶縁膜11は、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)により、TEOS(TetraEthylOrthosilicate)膜として厚さ0.1μm程度に形成されている。絶縁膜11は、液滴吐出ヘッドの駆動させたときにおける絶縁破壊やショートを防止する。
[ガラス基板2]
ガラス基板2は、厚さ約1mmであり、キャビティプレート1の振動板4に対峙して接合されている。ガラス基板2には、たとえばホウ珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いるのが好ましい。ガラス基板2には、キャビティプレート1に形成される各吐出室5に合わせ、エッチングにより深さが例えば約0.4μmの凹部13が設けられる。ガラス基板2にはさらに、リザーバ9となる凹部10と連通するインク供給口17及びギャップ部分を封止するための封止ギャップ剤を供給する封止剤供給口22が形成されている。
ガラス基板2は、厚さ約1mmであり、キャビティプレート1の振動板4に対峙して接合されている。ガラス基板2には、たとえばホウ珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いるのが好ましい。ガラス基板2には、キャビティプレート1に形成される各吐出室5に合わせ、エッチングにより深さが例えば約0.4μmの凹部13が設けられる。ガラス基板2にはさらに、リザーバ9となる凹部10と連通するインク供給口17及びギャップ部分を封止するための封止ギャップ剤を供給する封止剤供給口22が形成されている。
凹部13の内部には、振動板4と対向する個別電極12、個別電極12へ駆動電力を供給するリード部14、外部との接続に供される端子部15及び等電位接点凸部24(以下、これらをまとめて電極配線またはITO配線という)が成膜形成されている。凹部の深さは、その中に形成する電極配線の厚さに応じて調整すればよい。
上記電極配線の材料としては、酸化錫を不純物としてドープした透明のITO(Indium Tin Oxide:インジウム錫酸化物)等を用い、それを例えば0.2μmの厚さにECR(Electorn Cyclotron Resonance)スパッタ法を用いて成膜する。また、ITOに代えて、クロム等の金属等で形成してもよい。実施の形態1では、等電位接点凸部24も同時に成膜でき、放電したかどうかの確認が行いやすいという理由等からITOで電極部を作製することにしている。
振動板4と個別電極12との間に形成され、振動板4が振動する空間となるギャップ30は、この凹部13の深さ、個別電極12及び振動板4(絶縁膜11を含む)の厚さにより決まることになる。このギャップ30は、どの位置でも一定の深さにする場合の他、個別電極12の長手方向の両端から中央部に向かって徐々に深くする場合もある。
[ノズルプレート3]
ノズルプレート3は、たとえば厚さ約100μmのシリコン基板で構成されている。そして、ガラス基板2とは反対の面でキャビティプレート1と接合している。ノズルプレート3の上面には、吐出室5となる凹部6と連通するノズル孔16が複数形成される。下面にはオリフィス7となる細溝8を設け、吐出室5となる凹部6とリザーバ9となる凹部10とを連通させる。ここでは、ノズル孔16を有するノズルプレート3を上面とし、ガラス基板2を下面として説明するが、実際に用いられる場合には、ノズルプレート3の方がガラス基板2よりも下面となることが多い。なお、実施の形態1では、ノズルプレート3にオリフィス7が形成されている場合を例に示しているが、キャビティプレート1にオリフィス7を形成するようにしてもよい。
ノズルプレート3は、たとえば厚さ約100μmのシリコン基板で構成されている。そして、ガラス基板2とは反対の面でキャビティプレート1と接合している。ノズルプレート3の上面には、吐出室5となる凹部6と連通するノズル孔16が複数形成される。下面にはオリフィス7となる細溝8を設け、吐出室5となる凹部6とリザーバ9となる凹部10とを連通させる。ここでは、ノズル孔16を有するノズルプレート3を上面とし、ガラス基板2を下面として説明するが、実際に用いられる場合には、ノズルプレート3の方がガラス基板2よりも下面となることが多い。なお、実施の形態1では、ノズルプレート3にオリフィス7が形成されている場合を例に示しているが、キャビティプレート1にオリフィス7を形成するようにしてもよい。
図2に示すように、個別電極12と振動板4で構成される静電アクチュエータは、発振回路18により駆動される。発振回路18は、ワイヤ21を介して端子部15と接続され、個別電極12に電荷の供給及び停止を制御する役目を果たすものである。発振回路18は、たとえば24kHzで発振し、個別電極12に0Vと30Vのパルス電位を印加して電荷供給を行うようになっている。なお、この発振回路18は、ドライバIC等の集積回路で構成するのが好ましい。また、この発振回路18を、液滴吐出ヘッドの内部、例えばガラス基板2上に備えるようにしてもよい。
上記のような液滴吐出ヘッドは次のように動作する。すなわち、発振回路18によりキャビティプレート1と個別電極12との間にパルス電圧が印加されると、キャビティプレート1と個別電極12との間に電位差が生じ、静電気力が発生する。そのため、振動板4が個別電極12側に撓み、リザーバ9の内部に溜まっていたインク等の液滴が吐出室5に流れ込む。その後、キャビティプレート1と個別電極12との間に印加されていたパルス電圧がなくなると、振動板4が元の状態位置に復元して吐出室5の内部の圧力が高くなり、ノズル孔16からインク等の液滴が吐出される。
次に、ガラス基板2の等電位接点凸部24とキャビティプレート1の等電位接点凹部24Aとの接合状態及びそれらの作用について説明する。図3に示すように、ガラス基板2の等電位接点凸部24に対応する部分には凸部が形成されており、その凸部に個別電極12と一体に、導電体であるITO配線が成膜されて等電位接点凸部24が形成されている。一方、キャビティプレート1における上記等電位接点凸部24に対応する部分には、等電位接点凹部24Aが形成されている。等電位接点凹部24Aは、既に説明したように、キャビティプレート1のガラス基板対向面側の絶縁膜11とシリコン基板を、キャビティプレート1の内部に形成したSiO2層に至る深さまで除去して形成されている。そして、等電位接点凹部24Aの底部の一部では、SiO2層41が除去されてシリコン基板が露出した状態となっている。
キャビティプレート1とガラス基板2とは、等電位接点凹部24Aと等電位接点凸部24とを密着させ、等電位接点凹部24Aのシリコン基板露出部と等電位接点凸部24とが電気的に導通可能な隙間25を有した状態にして陽極接合される。従って、SiO2層41は、等電位接点凹部24Aのシリコン基板露出部と等電位接点凸部24とが電気的に導通可能な隙間25を形成できる厚さに形成する。一方、ガラス基板2の等電位接点凸部24に対応する部位は、キャビティプレート1とガラス基板2との接合面の位置より突出していて、その先端部は等電位接点凹部24Aの内部に入った状態となっており、その表面にITO配線が成膜されていて、そのITO配線が等電位接点凹部24Aの底面と接触した状態となっている。ここで、参考までに各部の寸法の一例を示しておく。
・ガラス基板2上のITO配線の厚さ:70nm、
・キャビティプレート1の絶縁膜11の厚さ:60nm、
・キャビティプレート1内部のSiO2層41の厚さ:10〜30nm、
・キャビティプレート1の絶縁膜11表面からSiO2層41までの深さ:260〜860nm。
・ガラス基板2上のITO配線の厚さ:70nm、
・キャビティプレート1の絶縁膜11の厚さ:60nm、
・キャビティプレート1内部のSiO2層41の厚さ:10〜30nm、
・キャビティプレート1の絶縁膜11表面からSiO2層41までの深さ:260〜860nm。
等電位接点凹部24Aは、キャビティプレート1となるシリコン基板に成膜された絶縁膜11の対応部分を除去した後、その部分のシリコン基板をエッチングで掘り下げて形成する。その際、ウェットエッチングを使用すれば、キャビティプレート1の内部に形成されているSiO2層がエッチングストップ層として作用するため、等電位接点凹部24Aを所望の寸法深さに精度良く形成できる。
図4は、キャビティプレート1となるシリコン基板に接合される前のガラス基板2を上面から見た平面図である。図示するように、各個別電極12は等電位接点凸部24と電気的に接続された状態となっている。等電位接点凸部24は、陽極接合時にキャビティプレート1となるシリコン基板と、各個別電極12との間を等電位にする。等電位接点凸部24としてITO等の導電体配線が成膜される部分については、ガラス基板2の凹部13を形成する際に、エッチングせずに凸部として残しておく。
図4中のダイシングライン27は、ウエハに一体形成された複数の液滴吐出ヘッドを切り離す際のラインである。したがって、図4においてダイシングライン27よりも右側にある部分は、完成された液滴吐出ヘッドには残らない。また、この切り離しによって、液滴吐出ヘッドとしての最終形態においては、等電位接点凸部24と各個別電極12との導通は遮断された状態となる。
次に、液滴吐出ヘッドの製造方法を図5〜図8に基づいて説明する。図5は、ガラス基板2の製造工程の一例を示す縦断面図である。まず、図5に従って、ガラス基板2の製造方法を説明する。
ガラス基板2となる硼珪酸ガラス製の厚さ約1mmのガラス基板2aの上面にCr/Au膜(クロム・金合金膜)31をECRスパッタ装置により形成する(a)。次に、フォトリソグラフィー(ステッパーやマスクアライナー等)により凹部13に対応する形状にCr/Au膜31をパターニングし、エッチングによりCr/Au膜31の凹部13に対応する部分を除去する(b)。
このとき、等電位接点凸部24に対応する部分がエッチングにより除去されないようにパターニングにする。そして、Cr/Au膜31をエッチングマスクとして、フッ酸水溶液でガラス基板2aをエッチングして凹部13を形成する(c)。さらに、Cr/Au膜31を一旦すべて除去した後、等電位接点凸部24に対応する部分がエッチングにより除去されないように再度パターニングし、ガラス基板2の凹部13形成面側を再度エッチングして、等電位接点凸部24に対応する部位を他の部分より突出させる(d)。なお、この突出量は、ガラス基板2上のITO配線の厚さ、キャビティプレート1の絶縁膜11の厚さ、およびキャビティプレート1の絶縁膜11表面からSiO2層41までの深さなどを考慮して、適宜決定すればよい。
その後、ガラス基板2aの上面全体にITO膜12aをECRスパッタ装置により成膜する(e)。
その後、ガラス基板2aの上面全体にITO膜12aをECRスパッタ装置により成膜する(e)。
次に、フォトリソグラフィー(ステッパーやマスクアライナー等)によりITO膜12aに、個別電極12、リード部14、端子部15、等電位接点凸部24等に対応する配線形状をパターニングし、それら以外の部分のITO膜12aをエッチングにより除去してITO配線を形成する(f)。ITO膜12aは、対向することになるキャビティプレートの絶縁膜11よりも厚く、かつその等電位接点凹部24Aの凹部深さと等しい厚さに成膜する。
さらに、インク供給口17及び封止剤供給口22となる穴をダイヤモンドドリルで穿孔して作製する(g)。ここで、この工程で封止剤供給口22となる孔及びインク供給口17を貫通させてしまうと、ウエットエッチング時にエッチャントとなる溶液がギャップに流入してしまうので、この工程においては貫通させず、後の工程において外部から容易に貫通させることができる程度の孔に留めておく。
図6は、キャビティプレート1の製造工程の一例を示す縦断面図である。ここでは、図6に従って、ガラス基板2の製造方法を説明する。
まず、キャビティプレート1となるシリコン基板1a(この時点では、通常ウエハ状である)の両面を研磨し、たとえば厚さを525μmにする。そして、シリコン基板1aに付着した微小パーティクル(粒子等、大気中の浮遊物、人体からの発塵等)を洗浄するためのSC−1洗浄(アンモニア水と過酸化水素水の混合液による洗浄)及びシリコン基板1aに付着した金属を洗浄するためのSC−2洗浄(塩酸と過酸化水素水の混合液による洗浄)のコンビネーション洗浄を行う(a)。
まず、キャビティプレート1となるシリコン基板1a(この時点では、通常ウエハ状である)の両面を研磨し、たとえば厚さを525μmにする。そして、シリコン基板1aに付着した微小パーティクル(粒子等、大気中の浮遊物、人体からの発塵等)を洗浄するためのSC−1洗浄(アンモニア水と過酸化水素水の混合液による洗浄)及びシリコン基板1aに付着した金属を洗浄するためのSC−2洗浄(塩酸と過酸化水素水の混合液による洗浄)のコンビネーション洗浄を行う(a)。
これは、シリコン基板表面への成膜等の障害にならないように、また、成膜時シリコン基板1aが表面に付着した金属を取り込まないように、異物をあらかじめ除去しておくようにするためである。なお、シリコン基板1aに付着した微小パーティクルやシリコン基板1aに付着した金属を除去できる洗浄方法であればよく、SC−1洗浄やSC−2洗浄に限定するものではない。また、その順序も特に限定するものではない。
洗浄後、シリコン基板1aの一方の面から酸素イオン注入を実施し、シリコン基板1aの内部にSiO2層41を形成する(b)。酸素イオン注入は、例えば、シリコン基板1aの温度を400℃、酸素イオン注入の加速エネルギーを180KeV、酸素ドーズ量4×1017cm-2、の条件にて行う。この際、加速エネルギーを制御してSiO2層41が形成される深さを調節し、酸素ドーズ量を制御してSiO2層41の厚みを調節することができる。
なお、シリコン基板1aの内部にSiO2層を形成する方法としては、酸素イオン注入の他に、まずシリコン基板1aの表面にSiO2層を形成し、そのSiO2層が形成されたシリコン基板に、ベアシリコンを貼り合わせる方法をとってもよい。
なお、シリコン基板1aの内部にSiO2層を形成する方法としては、酸素イオン注入の他に、まずシリコン基板1aの表面にSiO2層を形成し、そのSiO2層が形成されたシリコン基板に、ベアシリコンを貼り合わせる方法をとってもよい。
次に、内部にSiO2層41が形成されたシリコン基板1aを、1300℃以上、例えば1350℃で4時間程度、アニール処理を行う(c)。
続いて、プラズマCVD法により、シリコン基板1aのSiO2層41が形成された側の表面にTEOS膜からなる絶縁膜11を約1μm成膜する(d)。
続いて、絶縁膜11に等電位接点凹部24Aとなる凹部を形成するためのレジストパターニングを施した後、フッ酸水溶液でウエットエッチングを行い、TEOSエッチングマスクをパターニングする(e)。
このパターニング後、シリコン基板1aを水酸化カリウム水溶液でウエットエッチングし、先に形成していたSiO2層41に至る深さのシリコン基板等電位接点部24Aを形成する(f)。このとき、SiO2層41ではエッチングレートが急激に遅くなるので、その時点でエッチングを停止する。すなわち、SiO2層41をエッチングストップとして利用する。
その後さらに、シリコン基板1aの等電位接点凹部24Aの底部を構成するSiO2層41の一部をエッチングして、シリコン基板を露出させる(g)。
続いて、プラズマCVD法により、シリコン基板1aのSiO2層41が形成された側の表面にTEOS膜からなる絶縁膜11を約1μm成膜する(d)。
続いて、絶縁膜11に等電位接点凹部24Aとなる凹部を形成するためのレジストパターニングを施した後、フッ酸水溶液でウエットエッチングを行い、TEOSエッチングマスクをパターニングする(e)。
このパターニング後、シリコン基板1aを水酸化カリウム水溶液でウエットエッチングし、先に形成していたSiO2層41に至る深さのシリコン基板等電位接点部24Aを形成する(f)。このとき、SiO2層41ではエッチングレートが急激に遅くなるので、その時点でエッチングを停止する。すなわち、SiO2層41をエッチングストップとして利用する。
その後さらに、シリコン基板1aの等電位接点凹部24Aの底部を構成するSiO2層41の一部をエッチングして、シリコン基板を露出させる(g)。
図7及び図8の(a)〜(k)は、シリコン基板1aとガラス基板2aとを製造接合する工程及びそれ以降の製造工程を示す断面工程図である。ここでは、先に説明した図5、6に従って製作したガラス基板2aとシリコン基板1aとを使用するものとする(a)。
シリコン基板1aとガラス基板2とを、等電位接点凹部24Aと等電位接点凸部24とを密着させ、等電位接点凹部24Aのシリコン基板露出部と等電位接点凸部24とを電気的に導通可能な隙間25を有した状態として、陽極接合を行い接合基板61を作成する(b)。陽極接合は、例えば、シリコン基板1aとガラス基板2とを摂氏360℃に加熱した後、ガラス基板2aを負極側に接続し、シリコン基板1aを正極側に接続した上で、800Vの電圧を印加して行う。
シリコン基板1aとガラス基板2とを、等電位接点凹部24Aと等電位接点凸部24とを密着させ、等電位接点凹部24Aのシリコン基板露出部と等電位接点凸部24とを電気的に導通可能な隙間25を有した状態として、陽極接合を行い接合基板61を作成する(b)。陽極接合は、例えば、シリコン基板1aとガラス基板2とを摂氏360℃に加熱した後、ガラス基板2aを負極側に接続し、シリコン基板1aを正極側に接続した上で、800Vの電圧を印加して行う。
上記のようにして陽極接合を行うことで、シリコン基板1aと個別電極12とが等電位の状態で接合されるため、振動板4と個別電極12との間での放電が防止されて、放電に伴う静電アクチュエータの破壊が回避できる。
陽極接合後、接合基板61を38重量パーセントの濃度の水酸化カリウム(KOH)水溶液にたとえば160分浸し、さらに32重量パーセントの濃度の水酸化カリウム水溶液に10分浸してシリコン基板1aをエッチングして、たとえば厚さ140μmになるまで薄板化する(c)。初めに、濃度の高い水酸化カリウムに浸すことで、ある程度の厚さまではエッチング速度を優先する。その後、濃度の低い水酸化カリウムに浸すことにより、シリコン基板1aの表面荒れを抑え、かつ、エッチング面上にできる極小突起の発生率も抑えるように仕上げることができる。
また、シリコン基板1aの上面(表側表面)をグラインダーで研削して厚さを約150μmにしてもよい。このとき、基板の表面には中心から放物線を描く研削跡が残り、その表面荒れは0.1μm程度である。続いて、32重量パーセント、80℃の水酸化カリウム水溶液でシリコン基板1aの上面全体をエッチングし、機械加工(グラインダーで研削)で発生した加工変質層を除去し、厚さを140μmとすることも可能である。
続いて、プラズマCVD法により、成膜時の処理温度が摂氏360℃、高周波出力が700W、圧力が33.3Pa(0.25Torr)、ガス流量がTEOS流量100cm3/min(100sccm)、酸素流量1000cm3/min(1000sccm)の条件でシリコン基板1aの表面にTEOS膜を厚さ約1.5μmで成膜する(d)。そして、吐出室5、リザーバ9及び電極取り出し口26となる部分等、キャビティプレート1の要素を形成するためのレジストパターニングをTEOS膜に施し、フッ酸水溶液でエッチングしてTEOSエッチングマスクをパターニングする。パターニング形成後、基板全体を35重量パーセントの濃度の水酸化カリウム水溶液に浸し、パターニングしていない部分のシリコン基板1aの厚さが約10μmになるまでウエットエッチングを行う(e)。なお、ここではリザーバ9となる部分は、完全に除去しないようにハーフエッチングする。
その後、さらにシリコン基板1aを3重量パーセントの濃度の水酸化カリウム水溶液に浸し、SiO2層41がエッチングストップとして作用するまでウエットエッチングを行う(f)。これにより、吐出室5及びリザーバ9が形成される。そして、SiO2層41から絶縁膜11までの部分が吐出室5の底壁となって、それが振動板4となる。このように2種類の濃度の異なる水酸化カリウム水溶液を用いたエッチングを行うことによって、振動板4の面荒れを抑制することができる。本実施の形態では、このようなエッチングを施すことにより、厚み精度を0.8±0.05μm以下にすることができ、液滴吐出ヘッドの吐出性能の安定化を図っている。
次に、接合基板61をフッ酸水溶液に浸し、シリコン基板1aの表面に残るTEOSエッチングマスクをすべて除去する(g)。その後、以前の工程で途中まで開けておいたインク供給口17となる孔及び封止剤供給口22となる孔にレーザ加工を施し、貫通させる。そして、ギャップ封止剤28として、たとえばエポキシ樹脂を封止剤供給口22から流入させ、ノズル毎に設けられているギャップ30を封止する(h)。
このように、電極取り出し口26の開口前にギャップ30を封止することにより、ギャップに異物、ガス等の流入を防ぎ、歩留まりの低下を防ぐことができる。それから、電極取り出し口26に残るSiO2層41から絶縁膜11までの部分を除去するために、電極取り出し口26に対応した部分を開口させたマスクをキャビティプレート1に重ねて、その部分をドライエッチングで除去する(i)。ドライエッチングは、RIE(Reactive Ion Etching)等が利用でき、その条件は、たとえば、RFパワーが200W、圧力が40Pa(0.3Torr)、CF4流量が30cm3/min(30sccm)である。
続いて、インク供給口17をキャビティプレート1に形成したリザーバ9と連通させる。そこで、機械加工、レーザ加工等により、リザーバ9の一部を開口し、インク供給口17と連通させる。
一方、ノズルプレート3は、たとえば100μmのシリコン基板にノズル孔16を開け、さらに、電極取り出し口26に合わせた開口部を形成して作成する。そして、たとえばエポキシ樹脂等の接着剤を用いて、キャビティプレート1上に接着する(j)。
一方、ノズルプレート3は、たとえば100μmのシリコン基板にノズル孔16を開け、さらに、電極取り出し口26に合わせた開口部を形成して作成する。そして、たとえばエポキシ樹脂等の接着剤を用いて、キャビティプレート1上に接着する(j)。
最後に、ダイシングライン27に沿ってダイシングを行い、ウエハに一体形成されている複数の液滴吐出ヘッドを個々に切り離して完成する(k)。この切り離しにより、等電位接点凸部24は各個別電極12から切り離される。
なお、以上は、振動板4と個別電極12がそれぞれ複数ある場合のアクチュエータ及び液滴吐出ヘッドであったが、本願発明は、振動板4と個別電極12が1組だけのものであっても適用可能である。
また、本発明の液滴吐出ヘッドは、上記3層構造の物に限らず、吐出室が形成されたキャビティプレートと、リザーバが形成されたリザーバプレートとの2つの基板を、図1のキャビティプレート1に対応させた4層構造の液滴吐出ヘッドにも適用できる。
なお、以上は、振動板4と個別電極12がそれぞれ複数ある場合のアクチュエータ及び液滴吐出ヘッドであったが、本願発明は、振動板4と個別電極12が1組だけのものであっても適用可能である。
また、本発明の液滴吐出ヘッドは、上記3層構造の物に限らず、吐出室が形成されたキャビティプレートと、リザーバが形成されたリザーバプレートとの2つの基板を、図1のキャビティプレート1に対応させた4層構造の液滴吐出ヘッドにも適用できる。
以上のように、ガラス基板2とキャビティプレート1となるシリコン基板1aとに、それぞれ等電位接点凸部24と等電位接点凹部24Aを設け、それらの部位を利用して個別電極12とシリコン基板1aと等電位にして陽極接合を行うようにしたので、個別電極12を構成するITO膜12aと、振動板4を構成する絶縁膜11との厚さを別個に設定することが可能となる。また、シリコン基板1の内部(内側)に形成したSiO2層41により、等電位接点凹部24A及び吐出室5の凹部深さを高精度に制御することができる。そして、これらによって駆動力が向上し、応答性のよい、静電アクチュエータ及びそれを適用した液滴吐出ヘッドを得ることができる。
実施形態2.
図9は、実施の形態1で説明した液滴吐出ヘッドをその液滴吐出部に備えた液滴吐出装置100の一例を示した斜視図であり、一般的なインクジェットプリンタを表している。この液滴吐出装置100は、実施の形態1の液滴吐出ヘッドが有する効果を奏し、従って、応答性や吐出精度に優れている。
なお、実施の形態1の製造方法で得られた液滴吐出ヘッドは、吐出させる液滴を様々に変更することで、液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造、有機EL表示装置の発光部分の形成、生体液体の吐出等にも適用することができる。
図9は、実施の形態1で説明した液滴吐出ヘッドをその液滴吐出部に備えた液滴吐出装置100の一例を示した斜視図であり、一般的なインクジェットプリンタを表している。この液滴吐出装置100は、実施の形態1の液滴吐出ヘッドが有する効果を奏し、従って、応答性や吐出精度に優れている。
なお、実施の形態1の製造方法で得られた液滴吐出ヘッドは、吐出させる液滴を様々に変更することで、液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造、有機EL表示装置の発光部分の形成、生体液体の吐出等にも適用することができる。
1 キャビティプレート(シリコン基板)、1a シリコン基板、2,2a ガラス基板、3 ノズルプレート、4 振動板、5 吐出室、6 吐出室となる凹部、7 オリフィス、8 細溝、9 リザーバ、10 リザーバとなる凹部、11 絶縁膜、12 個別電極、12a ITO膜、13 ITO膜が形成される凹部、14 リード部、15 端子部、16 ノズル孔、17 インク供給口、18 発振回路、19 インク滴、20 記録紙、21 ワイヤ、22 封止剤供給口、24 等電位接点凸部、24A 等電位接点凹部、25 等電位接点間隙間、26 電極取り出し口、27 ダイシングライン、28 封止剤、30 ギャップ、41 SiO2層、61 接合基板、100 液滴吐出装置。
Claims (9)
- 一方の電極を構成するシリコン基板と、前記シリコン基板と対向する少なくとも1つの個別電極が形成され、各個別電極と導通する等電位接点凸部が形成されたガラス基板とを接合し、前記接合後にシリコン基板を加工して前記個別電極とともにアクチュエータを構成する振動板を形成する静電アクチュエータの製造方法であって、
前記シリコン基板の内側部分にSiO2層を形成し、前記シリコン基板の前記SiO2層が形成された側の表面に絶縁膜を形成し、前記シリコン基板の前記絶縁膜側の前記等電位接点凸部に対応する表面部分を前記SiO2層が現れるまでエッチングして等電位接点凹部を形成する工程と、
前記シリコン基板の前記等電位接点凹部の底部の一部をエッチングしてシリコン基板を露出させる工程と、
前記シリコン基板と前記ガラス基板とを、前記等電位接点凹部と前記等電位接点凸部とを密着させ、前記等電位接点凹部のシリコン基板露出部と前記等電位接点凸部とを電気的に導通可能な隙間状態として陽極接合する工程と、
前記陽極接合後、前記各個別電極と前記等電位接点凸部との導通を遮断する工程と、
を備えたことを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。 - 前記SiO2層の形成を、酸素イオン注入拡散により行うことを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエータの製造方法。
- 前記SiO2層の形成を、表面にSiO2層が形成されたシリコン基板にベアシリコンを貼り合わせて行うことを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエータの製造方法。
- 陽極接合後、前記シリコン基板の前記ガラス基板との接合面の反対側面にエッチングを施して前記振動板を形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の静電アクチュエータの製造方法。
- 請求項4の記載の静電アクチュエータの製造方法を適用して、前記シリコン基板に底壁が前記振動板となる液滴の吐出室を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 前記吐出室は、前記SiO2層が現れるまで前記シリコン基板をエッチングして形成することを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 一方の電極を構成する少なくとも1つの振動板が形成されたシリコン基板と、前記各振動板と対向する個別電極が形成されたガラス基板とが接合され、前記振動板と前記個別電極とでアクチュエータが構成されている静電アクチュエータであって、
前記シリコン基板の前記振動板は、前記ガラス基板に近い側から絶縁膜、シリコン層及びSiO2層から構成されており、
前記ガラス基板には、前記シリコン基板との接合時に各個別電極と前記シリコン基板との等電位接点として利用された等電位接点凸部が形成されており、
前記シリコン基板の前記ガラス基板と対向する側には、前記等電位接点凸部に対応する等電位接点凹部が、前記振動板を構成する前記SiO2層と一体に形成されているSiO2層に至る深さに形成されており、かつ前記等電位接点凹部の底部の一部で前記SiO2層が除去されており、
前記シリコン基板と前記ガラス基板とが、前記等電位接点凹部と前記等電位接点凸部とを密着して積層されていることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 請求項7に記載の静電アクチュエータにおける前記シリコン基板の前記ガラス基板対向側との反対側面に、液滴を貯えて吐出圧力を発生させる吐出室が形成されており、前記吐出室の底面が前記振動板となっていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項8記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
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