JP2008145481A - 複合プリズムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】プリズム連結体に複数の波長板を貼り合わせる際に、貼り合わせミスを防止することができる複合プリズムの製造方法を提供する。
【解決手段】第3積層体8の一方の主面で、第3積層体8の積層面8cに沿って、一方端から他方端まで溝11を形成すると共に、第3積層体8の一端に段差部12を形成するようにした。そして、この溝11及び段差部12を基準にして、第1及び第2の波長板16a、16bを貼り合せるようにした。
【選択図】図3
【解決手段】第3積層体8の一方の主面で、第3積層体8の積層面8cに沿って、一方端から他方端まで溝11を形成すると共に、第3積層体8の一端に段差部12を形成するようにした。そして、この溝11及び段差部12を基準にして、第1及び第2の波長板16a、16bを貼り合せるようにした。
【選択図】図3
Description
本発明は、複合プリズムの製造方法に関し、特にプリズムの側面に波長板を貼り合わせた複合プリズムとその製造方法に関する。
CD(Compact Disc)やDVD(Digital Versatile Disc)等の光記録媒体から情報を再生したり、あるいは情報を記録したりする光ピックアップ装置においては、光学デバイスとしてプリズムが使用されている。
上記したような光学デバイスの製造方法に関しては特許文献等に数多くの例が開示されている。例えば、特許文献1には偏光分離プリズムの製造方法として、ガラス等からなるプリズム用平板の一方の主面に、誘電体多層膜からなる偏光分離膜を形成し、該プリズム用平板を偏光分離膜が同じ側になるように複数枚積層し、光学用接着剤により貼り合わせる。積層されたプリズム用平板を主面に対して45°傾斜した平面にて切断し、この第1の切断面を鏡面研磨する。第1の切断面を切断用のダミー基板に仮接着し、第1の切断面に垂直で且つ、ダミー基板と偏光分離膜との接触辺を含む平面にて切断し、この第2の切断面も鏡面研磨する。第2の切断面をもう1つのダミー基板に仮接着し、第2の切断面に垂直で且つ、第2の切断面における偏光分離膜の露出辺を含む平面にて切断し、鏡面研磨してプリズム片を得る。このプリズム片を長辺に垂直で且つ所定の間隔を隔して切断し、この切断面を鏡面研磨すれば立方体形状の偏光プリズムを得ることができると開示されている。
上記したような光学デバイスの製造方法に関しては特許文献等に数多くの例が開示されている。例えば、特許文献1には偏光分離プリズムの製造方法として、ガラス等からなるプリズム用平板の一方の主面に、誘電体多層膜からなる偏光分離膜を形成し、該プリズム用平板を偏光分離膜が同じ側になるように複数枚積層し、光学用接着剤により貼り合わせる。積層されたプリズム用平板を主面に対して45°傾斜した平面にて切断し、この第1の切断面を鏡面研磨する。第1の切断面を切断用のダミー基板に仮接着し、第1の切断面に垂直で且つ、ダミー基板と偏光分離膜との接触辺を含む平面にて切断し、この第2の切断面も鏡面研磨する。第2の切断面をもう1つのダミー基板に仮接着し、第2の切断面に垂直で且つ、第2の切断面における偏光分離膜の露出辺を含む平面にて切断し、鏡面研磨してプリズム片を得る。このプリズム片を長辺に垂直で且つ所定の間隔を隔して切断し、この切断面を鏡面研磨すれば立方体形状の偏光プリズムを得ることができると開示されている。
また、特許文献2には、2つの直角三角柱形状プリズムの傾斜面同士を接合して一体化したビームスプリッタの製造方法が開示されている。
図6及び図7は、特許文献2に開示されているビームスプリッタの工程を示す概略図である。
図6(a)に示すガラス平板60は、板ガラス61の一方面(上面)側に偏光分離膜62を形成すると共に、他方面(下面)側にマッチング膜63を形成した構成を備えている。このように構成したガラス平板60を複数枚使用して積層体を形成する。図6(b)は治具64を用いて45度の傾斜角度でガラス平板60を積層する状態を示している。治具64は水平な板状のベース64aと、このベース64aから45度傾斜させて固定した傾斜側壁64bとからなる。偏光分離膜62を上面に、マッチング膜63を下面に夫々形成したガラス平板60をベース64aに順次積層する。この際、ガラス平板60の一端を傾斜側壁64bに沿って整列させることにより、各ガラス平板60が面方向に等距離ずれた階段状の積層体65が形成される。つまり、正面形状が略平行四辺形の積層体65となる。
なお、偏光分離膜62とは、高屈折材料と低屈折材料、例えばTiO2とSiO2の各薄膜を交互に複数層積層することにより形成される膜であり、マッチング膜63とは、複数のガラス平板60を接着剤を用いて接着する際に、接着剤の存在に起因してガラス平板を透過する光の屈折率が変動することを防止するための膜である。なお、ガラス平板60同士の接着は熱硬化型の光学接着剤で行う。
図6及び図7は、特許文献2に開示されているビームスプリッタの工程を示す概略図である。
図6(a)に示すガラス平板60は、板ガラス61の一方面(上面)側に偏光分離膜62を形成すると共に、他方面(下面)側にマッチング膜63を形成した構成を備えている。このように構成したガラス平板60を複数枚使用して積層体を形成する。図6(b)は治具64を用いて45度の傾斜角度でガラス平板60を積層する状態を示している。治具64は水平な板状のベース64aと、このベース64aから45度傾斜させて固定した傾斜側壁64bとからなる。偏光分離膜62を上面に、マッチング膜63を下面に夫々形成したガラス平板60をベース64aに順次積層する。この際、ガラス平板60の一端を傾斜側壁64bに沿って整列させることにより、各ガラス平板60が面方向に等距離ずれた階段状の積層体65が形成される。つまり、正面形状が略平行四辺形の積層体65となる。
なお、偏光分離膜62とは、高屈折材料と低屈折材料、例えばTiO2とSiO2の各薄膜を交互に複数層積層することにより形成される膜であり、マッチング膜63とは、複数のガラス平板60を接着剤を用いて接着する際に、接着剤の存在に起因してガラス平板を透過する光の屈折率が変動することを防止するための膜である。なお、ガラス平板60同士の接着は熱硬化型の光学接着剤で行う。
次に、図7(a)に示すように接着剤により一体化された積層体65を、破線65aで示す45度の傾斜角度に沿ってワイヤーソーを用い所定ピッチにて切断すると、図7(b)に示すような積層分割体66が得られる。
次に、図7(c)に示すように各積層分割体66の上下面(切断面)を鏡面研磨すると共に各面に反射膜をコーティングする。なお、積層分割体66の両端部の鋭角状に突出している部分は先に切断するか、あるいは図7(d)に示すように積層分割体66を整合状態で積層して、積層体67を形成して仮止めした上で切断してもよい。
積層体67を切断面65aと直交する切断面67aに沿ってワイヤーソーを用いて切断すると、図7(e)に示すビームスプリッタの連結体68となる。そして、切断面を鏡面研磨して、図7(e)に示す破線68aに沿ってビームスプリッタ連結体を切断すると同図(f)に示すビームスプリッタ69が得られる。
次に、図7(c)に示すように各積層分割体66の上下面(切断面)を鏡面研磨すると共に各面に反射膜をコーティングする。なお、積層分割体66の両端部の鋭角状に突出している部分は先に切断するか、あるいは図7(d)に示すように積層分割体66を整合状態で積層して、積層体67を形成して仮止めした上で切断してもよい。
積層体67を切断面65aと直交する切断面67aに沿ってワイヤーソーを用いて切断すると、図7(e)に示すビームスプリッタの連結体68となる。そして、切断面を鏡面研磨して、図7(e)に示す破線68aに沿ってビームスプリッタ連結体を切断すると同図(f)に示すビームスプリッタ69が得られる。
また特許文献3には、ビームスプリッタ(PBS)の隣接する側面に1/2波長板と1/4波長板とを貼り合わせた積層プリズムの製造方法が開示されている。
図8(a)は特許文献3に開示されている複合プリズムの斜視図であり、図8(a)に示す複合プリズム70は、ビームスプリッタ(PBS)71の隣接する側面に1/2波長板72と1/4波長板73とを貼り合わせて構成されている。
特開平5−66303号公報
特開2000−143264公報
特開2004−259376公報
図8(a)は特許文献3に開示されている複合プリズムの斜視図であり、図8(a)に示す複合プリズム70は、ビームスプリッタ(PBS)71の隣接する側面に1/2波長板72と1/4波長板73とを貼り合わせて構成されている。
ところで、上記特許文献1、2には、ビームスプリッタ(PBS)等のプリズムの製造方法は開示されているものの、例えばビームスプリッタ(PBS)の側面に複数の波長板を貼り合わせた複合プリズムの製造方法については何ら開示されていない。
また、特許文献3には複合プリズムの基本的な製造方法については開示されているものの実際に製造する際には次のような問題があった。即ち、図8(b)に示すように、プリズム連結体74が小さくなり、その側面に所定の大きさの波長板75、76を貼り合わせる場合には、プリズム連結体74の偏光膜74aと、波長板75、76との相対的位置関係、つまりプリズム連結体74のどの面にどの波長板を貼り合わせるかの判断が難しく間違って貼り合わせてしまうという問題点があった。
本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり、プリズム連結体に複数の波長板を貼り合わせる際に、貼り合わせミスを防止することができる複合プリズムの製造方法を提供することにある。
また、特許文献3には複合プリズムの基本的な製造方法については開示されているものの実際に製造する際には次のような問題があった。即ち、図8(b)に示すように、プリズム連結体74が小さくなり、その側面に所定の大きさの波長板75、76を貼り合わせる場合には、プリズム連結体74の偏光膜74aと、波長板75、76との相対的位置関係、つまりプリズム連結体74のどの面にどの波長板を貼り合わせるかの判断が難しく間違って貼り合わせてしまうという問題点があった。
本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり、プリズム連結体に複数の波長板を貼り合わせる際に、貼り合わせミスを防止することができる複合プリズムの製造方法を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の複合プリズムの製造方法は、矩形状のガラス平板の一方面に偏光分離膜を形成すると共に、他方面にマッチング膜を形成して平板状光学部材を形成する多層膜形成工程と、多層膜形成工程にて形成された平板状光学部材を、接着剤を介して積層すると共に、各平板状光学部材の端縁を結ぶ平面と平板状光学部材の板面とのなす角度が45°の傾斜角となるよう平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層して第1積層体を形成する第1積層体形成工程と、第1積層体を45°の傾斜角に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する第1の切断工程と、第1の切断工程により形成された各積層分割体の切断面を鏡面研磨する第1の鏡面研磨工程と、第1の鏡面研磨工程により鏡面研磨された複数の積層分割体の鏡面同士が対向するように整合状態で積層すると共に、各積層分割体間を仮止め剤にて仮止めして第2積層体を形成する第2積層体形成工程と、第2積層体を第1の切断工程における切断面と直交する切断面にて切断して第3積層体を形成する第3積層体形成工程と、第3積層体形成工程において切断した切断面を鏡面研磨する第2の鏡面研磨工程と、第2の鏡面研磨工程にて鏡面研磨された第3積層体の一方の主面で、第3積層体の積層面に沿って一方端から他方端まで溝を形成する溝形成工程と、第3積層体の一端に段差部を形成する段差部形成工程と、段差部形成工程により段差部が形成された第3積層体の仮止めを解除して得られるプリズム連結体の隣接する側面に溝及び段差部を基準にして第1及び第2の波長板を貼り合せる波長板貼り合わせ工程と、波長板貼り合わせ工程により第1及び第2の波長板を貼り合わせたプリズム連結体を溝方向に直交して所定ピッチの複数の平行な切断面で切断する第2の切断工程と、を含むことを特徴とする。
このような本発明によれば、プリズム連結体に形成した溝と段差部とを基準にしてプリズム連結体の隣接する側面に夫々第1及び第2の波長板を貼り合せること可能になるので、プリズム連結体に第1及び第2の波長板を貼り合せる際の貼り合わせミスを防止することが可能になる。
このような本発明によれば、プリズム連結体に形成した溝と段差部とを基準にしてプリズム連結体の隣接する側面に夫々第1及び第2の波長板を貼り合せること可能になるので、プリズム連結体に第1及び第2の波長板を貼り合せる際の貼り合わせミスを防止することが可能になる。
本発明の複合プリズムの製造方法は、矩形状のガラス平板の一方面に偏光分離膜を形成すると共に、他方面にマッチング膜を形成して平板状光学部材を形成する多層膜形成工程と、多層膜形成工程にて形成された平板状光学部材を、接着剤を介して積層すると共に、各平板状光学部材の端縁を結ぶ平面と平板状光学部材の板面とのなす角度が45°の傾斜角となるよう平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層して第1積層体を形成する第1積層体形成工程と、第1積層体を45°の傾斜角に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する第1の切断工程と、第1の切断工程により形成された各積層分割体の切断面を鏡面研磨する第1の鏡面研磨工程と、第1の鏡面研磨工程により鏡面研磨された複数の積層分割体の鏡面同士が対向するように整合状態で積層すると共に、各積層分割体間を仮止め剤にて仮止めして第2積層体を形成する第2積層体形成工程と、第2積層体を第1の切断工程における切断面と直交する切断面にて切断して第3積層体を形成する第3積層体形成工程と、第3積層体の積層方向と直交する方向で且つ第3積層体の両端を補強板により補強する補強工程と、第3積層体形成工程において切断した切断面を鏡面研磨する第2の鏡面研磨工程と、第2の鏡面研磨工程にて鏡面研磨された第3積層体の一方の主面で、第3積層体の積層面に沿って一方端から他方端まで溝を形成する溝形成工程と、補強工程により補強された第3積層体の補強板を切断手段により切断する第2の切断工程と、第3積層体の一端に段差部を形成する段差部形成工程と、段差部形成工程により段差部が形成された第3積層体の仮止めを解除して得られるプリズム連結体の隣接する側面に溝及び段差部を基準にして第1及び第2の波長板を貼り合せる波長板貼り合わせ工程と、波長板貼り合わせ工程により第1及び第2の波長板を貼り合わせたプリズム連結体を溝方向に直交して所定ピッチの複数の平行な切断面で切断する第3の切断工程と、を含むことを特徴とする。
このような本発明によれば、プリズム連結体に形成した溝と段差部とを基準にしてプリズム連結体の隣接する側面に夫々第1及び第2の波長板を貼り合せること可能になるので、プリズム連結体に第1及び第2の波長板を貼り合せる際の貼り合わせミスを防止することが可能になる。
このような本発明によれば、プリズム連結体に形成した溝と段差部とを基準にしてプリズム連結体の隣接する側面に夫々第1及び第2の波長板を貼り合せること可能になるので、プリズム連結体に第1及び第2の波長板を貼り合せる際の貼り合わせミスを防止することが可能になる。
また本発明の複合プリズムの製造方法は、第2の切断工程と段差部形成工程とを同時に行うことを特徴とする。このような本発明によれば、第3積層体の両側に接着された補強板を切断すると同時に第3積層体に段差部を形成できるので、工程が簡略化され、工数が節減できるという効果がある。
また本発明の複合プリズムの製造方法は、切断手段は、第3積層体の両側に接着された補強板をそれぞれ切断する第1の外周刃ブレードと、この第1の外周刃ブレードより小さい直径で、且つ、第1の外周刃ブレードの何れか一方に密着して配置され、第3積層体の一端に段差部を形成する第2の外周刃ブレードと、を備えることを特徴とする。
このような本発明によれば、切断手段により第3積層体の両側に接着された補強板を切断すると同時に第3積層体に段差部を形成できるので、工程が簡略化され、工数が節減できるという効果がある。
このような本発明によれば、切断手段により第3積層体の両側に接着された補強板を切断すると同時に第3積層体に段差部を形成できるので、工程が簡略化され、工数が節減できるという効果がある。
以下、本発明の複合プリズムの製造方法に係る実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1乃至図4は本実施形態の複合プリズムの製造方法を説明するための工程図である。
先ず、多層膜形成工程として、図1(a)に示す矩形の平板状光学部材(以下、ガラス平板と称す)1は、板ガラス2の一方面である上面側に偏光分離膜3aを形成すると共に、他方面である下面側にマッチング膜3bを形成する。
次に、第1積層体形成工程として、上記したようなガラス平板1を複数枚使用して積層体を形成する。図1(b)は治具4を用いて45度の傾斜角度でガラス平板1を積層する状態を示している。治具4は水平な板状のベース4aと、このベース4aから45度傾斜させて固定した傾斜側壁4bとからなる。偏光分離膜3aを上面に、マッチング膜3bを下面に夫々形成したガラス平板1をベース4a上に順次積層する。この際、ガラス平板1の一端を傾斜側壁4bに沿って整列させることにより、各ガラス平板1が面方向に等距離ずれた階段状の積層体5が形成される。つまり、各ガラス平板1の端縁を結ぶ平面と各ガラス平板1の板面とのなす角度が45度の傾斜角となり、正面形状が略平行四辺形の積層体5となる。このとき、ガラス平板1同士の接着は、例えば熱硬化型の光学接着剤により行う。
図1乃至図4は本実施形態の複合プリズムの製造方法を説明するための工程図である。
先ず、多層膜形成工程として、図1(a)に示す矩形の平板状光学部材(以下、ガラス平板と称す)1は、板ガラス2の一方面である上面側に偏光分離膜3aを形成すると共に、他方面である下面側にマッチング膜3bを形成する。
次に、第1積層体形成工程として、上記したようなガラス平板1を複数枚使用して積層体を形成する。図1(b)は治具4を用いて45度の傾斜角度でガラス平板1を積層する状態を示している。治具4は水平な板状のベース4aと、このベース4aから45度傾斜させて固定した傾斜側壁4bとからなる。偏光分離膜3aを上面に、マッチング膜3bを下面に夫々形成したガラス平板1をベース4a上に順次積層する。この際、ガラス平板1の一端を傾斜側壁4bに沿って整列させることにより、各ガラス平板1が面方向に等距離ずれた階段状の積層体5が形成される。つまり、各ガラス平板1の端縁を結ぶ平面と各ガラス平板1の板面とのなす角度が45度の傾斜角となり、正面形状が略平行四辺形の積層体5となる。このとき、ガラス平板1同士の接着は、例えば熱硬化型の光学接着剤により行う。
次に、第1の切断工程として、光学接着剤により一体化した積層体5を、治具4から取り外し、図1(b)の破線5aで示す45度の傾斜角度に沿ってワイヤーソー等を用いて所定ピッチの複数の平行な切断面にて切断すると、図1(c)に示すような複数の積層分割体6が得られる。
この後、第1の鏡面研磨工程として、積層分割体6の切断面5aを鏡面研磨すると共に、一方の面に反射防止膜(ARコート)を、他方の面にマッチング膜(マッチングコート)をコーティングする。
この後、第1の鏡面研磨工程として、積層分割体6の切断面5aを鏡面研磨すると共に、一方の面に反射防止膜(ARコート)を、他方の面にマッチング膜(マッチングコート)をコーティングする。
次に、第2積層体形成工程として、図1(d)に示すように積層分割体6の鏡面同士が対向するように整合した状態で積層し、積層分割体6間に予め例えば、シフトワックス等の仮止め剤を塗布しておくことにより仮止めして第2積層体7を形成する。
なお、積層分割体6の両端部の鋭角状に突出している部分は、鏡面加工を行う前に切断するか、或いは第2積層体形成工程において仮止め剤(例えば、シフトワックス)にて仮止めした上で切断してもよい。
次に、第3積層体形成工程として、図1(d)に示すように第2積層体7を上記切断面5aと直交する切断面7aに沿ってワイヤーソー等を用いて切断(分断)して図2(a)に示すような第3積層体8を形成する。
この後、補強工程として、図2(b)に示すように第3積層体8の積層面方向と直交する方向で且つ第3積層体8の両端に接着剤により補強板12a、12bを接続して補強する。
なお、積層分割体6の両端部の鋭角状に突出している部分は、鏡面加工を行う前に切断するか、或いは第2積層体形成工程において仮止め剤(例えば、シフトワックス)にて仮止めした上で切断してもよい。
次に、第3積層体形成工程として、図1(d)に示すように第2積層体7を上記切断面5aと直交する切断面7aに沿ってワイヤーソー等を用いて切断(分断)して図2(a)に示すような第3積層体8を形成する。
この後、補強工程として、図2(b)に示すように第3積層体8の積層面方向と直交する方向で且つ第3積層体8の両端に接着剤により補強板12a、12bを接続して補強する。
次に、第2の鏡面研磨工程として、第3積層体8の一方の主面8a及び他方の主面8bをそれぞれ鏡面研磨して一方の主面8aには反射防止膜(ARコート)を、他方の主面8bにはマッチング膜(マッチングコート)を蒸着等の方法にて形成する。
次に、溝形成工程として、図2(c)に示すように第3積層体8の一方の主面8aで、第3積層体8の両端及び各積層体の積層面8cと対応する位置に、第3積層体8の積層面8cに沿って一方端から他方端までダイシングソー等を用いて溝11を形成する。この場合、第3積層体8の両端に形成される溝11は段差形状となる。
次に、溝形成工程として、図2(c)に示すように第3積層体8の一方の主面8aで、第3積層体8の両端及び各積層体の積層面8cと対応する位置に、第3積層体8の積層面8cに沿って一方端から他方端までダイシングソー等を用いて溝11を形成する。この場合、第3積層体8の両端に形成される溝11は段差形状となる。
この後、第2の切断工程として、図3(a)に示すようなスライサー(切断手段)13を用いて第3積層体8に接続されている補強板12a、12bを切断することになるが、本実施形態ではこのスライサー13による補強板12a、12bを切断する際に、第3積層体8の一端に段差部14を形成するようにしている。つまり、第2の切断工程と段差部形成工程とを同時に行うようにしている。
このため、図3(a)に示すスライサー13には、第3積層体8の両側に接着された補強板12a、12bをそれぞれ切断する2つの第1の外周刃ブレード13aと、この第1の外周刃ブレード13aより小さい直径で、且つ、第1の外周刃ブレードの何れか一方に第2の外周刃ブレード13bが密着して配置されている。従って、このようなスライサー13により補強板12a、12bの切断を行うと、図3(b)に示すように第1の外周刃ブレード13a、13bにより補強板12a、12bが切断されるのと同時に第2の外周刃ブレード13bにより第3積層体8の一端に段差部14を形成することができる。このとき、段差部14の深さ、幅の制御は第2の外周刃ブレード13bを適切に選べばよい。
このため、図3(a)に示すスライサー13には、第3積層体8の両側に接着された補強板12a、12bをそれぞれ切断する2つの第1の外周刃ブレード13aと、この第1の外周刃ブレード13aより小さい直径で、且つ、第1の外周刃ブレードの何れか一方に第2の外周刃ブレード13bが密着して配置されている。従って、このようなスライサー13により補強板12a、12bの切断を行うと、図3(b)に示すように第1の外周刃ブレード13a、13bにより補強板12a、12bが切断されるのと同時に第2の外周刃ブレード13bにより第3積層体8の一端に段差部14を形成することができる。このとき、段差部14の深さ、幅の制御は第2の外周刃ブレード13bを適切に選べばよい。
上記のようにして段差部14が形成された第3積層体8を仮止めしていた仮止め剤を溶解除去することによって、図3(c)に示すようなプリズム連結体15が得られる。この場合、プリズム連結体15の側面15a及び側面15bにはマッチング膜がコートされ、側面15c及び側面15dには反射防止膜がコートされている。
この後、波長板貼り合わせ工程として、プリズム連結体15の隣接する側面15a及び15bに夫々第1及び第2の波長板16a、16bを、接着剤を用いて貼り合せて、波長板付プリズム連結体15を形成する。このとき、プリズム連結体15に形成された溝11及び段差部14を基準にすれば、第1及び第2の波長板16a、16bを貼り付けるプリズム連結体15の側面15a及び15bを容易に確認することができる。
この後、波長板貼り合わせ工程として、プリズム連結体15の隣接する側面15a及び15bに夫々第1及び第2の波長板16a、16bを、接着剤を用いて貼り合せて、波長板付プリズム連結体15を形成する。このとき、プリズム連結体15に形成された溝11及び段差部14を基準にすれば、第1及び第2の波長板16a、16bを貼り付けるプリズム連結体15の側面15a及び15bを容易に確認することができる。
最後に、第3の切断工程として、図4(a)に示すように、波長板16a、16bを貼り付けたプリズム連結体15を溝11方向に直交する所定ピッチの複数の平行な切断面17aにてワイヤーソー等を用いて切断することにより、図4(b)に示すような個片に分割された複合プリズム18、即ち、ビームスプリッタの隣接する側面に第1及び第2の波長板16’a、16’bを貼り合わせた複合プリズム18が完成する。
なお、本実施形態では、第2の切断工程と段差部形成工程とを同時に行うようにしているが、第2の切断工程と段差部形成工程とを別々行うようにしても良い。
なお、本実施形態では、第2の切断工程と段差部形成工程とを同時に行うようにしているが、第2の切断工程と段差部形成工程とを別々行うようにしても良い。
図5は複合プリズムの作用を説明するための概略図である。
なお、この図5に示す複合プリズムは、第1及び第2の波長板16a’、16b’としてそれぞれ1/2波長板と1/4波長板を貼り合わせた場合を例に挙げて説明する。
この場合、レーザダイオード19から出射したP偏光のレーザ光が、複合プリズム18の1/2波長板16a’へ入射すると、位相が180°ずれるのでS偏光となり、プリズム(ビームスプリッタPBS)に入射する。入射したレーザ光は、S偏光成分を反射し、P偏光成分を透過するという偏光膜3の特性により、入射光の約90%が反射し、残りの約10%が偏光膜3を透過することになる。
偏光膜3において反射したS偏光は1/4波長板16b’を透過する際に円偏光に変換され、図示しない光ディスクの方向へ出射されることになる。一方、図示しない光ディスクにおいて反射された反射光は、逆向きの円偏光となって1/4波長板16b’に入射し、この1/4波長板16b’を透過する際にP偏光に変換され、偏光膜3を透過してフォトダイオード21に入射して電気信号に変換される。一方、偏光膜3を透過した約10%のレーザ光はフロントモニター20に入射し、レーザダイオードの出力を制御するのに用いられる。このようにレーザダイオード19から光ディスクへの往路と光ディスクからフォトダイオード21への復路とでレーザ光が互いに偏光成分が異なるので光学的に干渉することがない。
なお、本実施形態では、第1及び第2の波長板16a’、16b’としてそれぞれ1/2波長板と1/4波長板を貼り合わせた場合を例に挙げて説明したが、これはあくまでも一例であり、このような構成に限定されるものではない。
なお、この図5に示す複合プリズムは、第1及び第2の波長板16a’、16b’としてそれぞれ1/2波長板と1/4波長板を貼り合わせた場合を例に挙げて説明する。
この場合、レーザダイオード19から出射したP偏光のレーザ光が、複合プリズム18の1/2波長板16a’へ入射すると、位相が180°ずれるのでS偏光となり、プリズム(ビームスプリッタPBS)に入射する。入射したレーザ光は、S偏光成分を反射し、P偏光成分を透過するという偏光膜3の特性により、入射光の約90%が反射し、残りの約10%が偏光膜3を透過することになる。
偏光膜3において反射したS偏光は1/4波長板16b’を透過する際に円偏光に変換され、図示しない光ディスクの方向へ出射されることになる。一方、図示しない光ディスクにおいて反射された反射光は、逆向きの円偏光となって1/4波長板16b’に入射し、この1/4波長板16b’を透過する際にP偏光に変換され、偏光膜3を透過してフォトダイオード21に入射して電気信号に変換される。一方、偏光膜3を透過した約10%のレーザ光はフロントモニター20に入射し、レーザダイオードの出力を制御するのに用いられる。このようにレーザダイオード19から光ディスクへの往路と光ディスクからフォトダイオード21への復路とでレーザ光が互いに偏光成分が異なるので光学的に干渉することがない。
なお、本実施形態では、第1及び第2の波長板16a’、16b’としてそれぞれ1/2波長板と1/4波長板を貼り合わせた場合を例に挙げて説明したが、これはあくまでも一例であり、このような構成に限定されるものではない。
1…平板状光学部材、2…板ガラス、3、3a…偏光膜、3b…マッチング膜、4…治具、5…第1積層体、5a、7a、17a…切断面、6…積層分割体、7…第2積層体、8…第3積層体、11…溝、12a、12b…補強板、13…スライサー、13a、13b…外周刃ブレード、14…段差部、15…プリズム連結体、16a、16a’、16b、16b’…波長板、18…複合プリズム、19…レーザダイオード、20…フロントモニター、21…フォトダイオード
Claims (4)
- 矩形状のガラス平板の一方面に偏光分離膜を形成すると共に、他方面にマッチング膜を形成して平板状光学部材を形成する多層膜形成工程と、
前記多層膜形成工程にて形成された前記平板状光学部材を、接着剤を介して積層すると共に、各平板状光学部材の端縁を結ぶ平面と平板状光学部材の板面とのなす角度が45°の傾斜角となるよう平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層して第1積層体を形成する第1積層体形成工程と、
前記第1積層体を45°の傾斜角に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する第1の切断工程と、
前記第1の切断工程により形成された各積層分割体の切断面を鏡面研磨する第1の鏡面研磨工程と、
前記第1の鏡面研磨工程により鏡面研磨された複数の積層分割体の鏡面同士が対向するように整合状態で積層すると共に、各積層分割体間を仮止め剤にて仮止めして第2積層体を形成する第2積層体形成工程と、
前記第2積層体を前記第1の切断工程における切断面と直交する切断面にて切断して第3積層体を形成する第3積層体形成工程と、
第3積層体形成工程において切断した切断面を鏡面研磨する第2の鏡面研磨工程と、
前記第2の鏡面研磨工程にて鏡面研磨された第3積層体の一方の主面で、前記第3積層体の積層面に沿って一方端から他方端まで溝を形成する溝形成工程と、
前記第3積層体の一端に段差部を形成する段差部形成工程と、
前記段差部形成工程により段差部が形成された前記第3積層体の仮止めを解除して得られるプリズム連結体の隣接する側面に前記溝及び段差部を基準にして第1及び第2の波長板を貼り合せる波長板貼り合わせ工程と、
前記波長板貼り合わせ工程により前記第1及び第2の波長板を貼り合わせたプリズム連結体を前記溝方向に直交して所定ピッチの複数の平行な切断面で切断する第2の切断工程と、を含むことを特徴とする複合プリズムの製造方法。 - 矩形状のガラス平板の一方面に偏光分離膜を形成すると共に、他方面にマッチング膜を形成して平板状光学部材を形成する多層膜形成工程と、
前記多層膜形成工程にて形成された前記平板状光学部材を、接着剤を介して積層すると共に、各平板状光学部材の端縁を結ぶ平面と平板状光学部材の板面とのなす角度が45°の傾斜角となるよう平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層して第1積層体を形成する第1積層体形成工程と、
前記第1積層体を45°の傾斜角に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する第1の切断工程と、
前記第1の切断工程により形成された各積層分割体の切断面を鏡面研磨する第1の鏡面研磨工程と、
前記第1の鏡面研磨工程により鏡面研磨された複数の積層分割体の鏡面同士が対向するように整合状態で積層すると共に、各積層分割体間を仮止め剤にて仮止めして第2積層体を形成する第2積層体形成工程と、
前記第2積層体を前記第1の切断工程における切断面と直交する切断面にて切断して第3積層体を形成する第3積層体形成工程と、
前記第3積層体の前記積層方向と直交する方向で且つ前記第3積層体の両端を補強板により補強する補強工程と、
第3積層体形成工程において切断した切断面を鏡面研磨する第2の鏡面研磨工程と、
前記第2の鏡面研磨工程にて鏡面研磨された第3積層体の一方の主面で、前記第3積層体の積層面に沿って一方端から他方端まで溝を形成する溝形成工程と、
前記補強工程により補強された第3積層体の補強板を切断手段により切断する第2の切断工程と、
前記第3積層体の一端に段差部を形成する段差部形成工程と、
前記段差部形成工程により段差部が形成された前記第3積層体の仮止めを解除して得られるプリズム連結体の隣接する側面に前記溝及び段差部を基準にして第1及び第2の波長板を貼り合せる波長板貼り合わせ工程と、
前記波長板貼り合わせ工程により前記第1及び第2の波長板を貼り合わせたプリズム連結体を前記溝方向に直交して所定ピッチの複数の平行な切断面で切断する第3の切断工程と、を含むことを特徴とする複合プリズムの製造方法。 - 前記第2の切断工程と前記段差部形成工程とを同時に行うことを特徴とする請求項2に記載の複合プリズムの製造方法。
- 前記切断手段は、前記第3積層体の両側に接着された補強板をそれぞれ切断する第1の外周刃ブレードと、該第1の外周刃ブレードより小さい直径で、且つ、前記第1の外周刃ブレードの何れか一方に密着して配置され、前記第3積層体の一端に段差部を形成する第2の外周刃ブレードと、を備えて構成されることを特徴とする請求項3に記載の複合プリズムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006329211A JP2008145481A (ja) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | 複合プリズムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2006329211A JP2008145481A (ja) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | 複合プリズムの製造方法 |
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JP2006329211A Withdrawn JP2008145481A (ja) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | 複合プリズムの製造方法 |
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JP (1) | JP2008145481A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010032588A1 (ja) * | 2008-09-20 | 2010-03-25 | コニカミノルタオプト株式会社 | 偏光ビームスプリッタ、光ピックアップおよび偏光ビームスプリッタの製造方法 |
JP2017504065A (ja) * | 2013-12-23 | 2017-02-02 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 集積光学部品及び製造方法 |
-
2006
- 2006-12-06 JP JP2006329211A patent/JP2008145481A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2010032588A1 (ja) * | 2008-09-20 | 2010-03-25 | コニカミノルタオプト株式会社 | 偏光ビームスプリッタ、光ピックアップおよび偏光ビームスプリッタの製造方法 |
JP2017504065A (ja) * | 2013-12-23 | 2017-02-02 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 集積光学部品及び製造方法 |
US10379369B2 (en) | 2013-12-23 | 2019-08-13 | 3M Innovative Properties Company | Integrated optical component and method of making |
US10488673B2 (en) | 2013-12-23 | 2019-11-26 | 3M Innovative Properties Company | Integrated optical component and method of making |
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