JP2007212694A - ビームスプリッタ - Google Patents
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Abstract
【課題】偏光特性の変動を抑制したビームスプリッタを提供する。
【解決手段】プリズム材1,2を、接合材3、偏光膜4及び整合膜5を挟んで接合し、整合膜5は、プリズム材1,2の屈折率より小さく、且つ接合材3の屈折率より大きな屈折率を有する材料で構成する。
【選択図】図1
【解決手段】プリズム材1,2を、接合材3、偏光膜4及び整合膜5を挟んで接合し、整合膜5は、プリズム材1,2の屈折率より小さく、且つ接合材3の屈折率より大きな屈折率を有する材料で構成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、入射光を透過、反射させて偏光するビームスプリッタに関する。
従来のビームスプリッタは、例えば図9の概略断面図に示すように構成されていた。図9において、偏光ビームスプリッタ10の直角二等辺三角柱のプリズム材1,2(第1、第2のプリズム)の各斜面どうしは、例えば光学接着剤などの接合材3および偏光膜4を挟んで接合されている。
偏光膜4は、例えば真空蒸着などの成膜方法により高屈折材料と低屈折材料が交互に積層されており、ある波長域のレーザー光等を入射するとP偏光とS偏光を所定割合で反射、透過する機能を有する。
図1のように構成されたビームスプリッタは、例えば図10のような光記録再生装置に用いられる。図10において、レーザー11から出射されたビームは、図9のように構成された偏光ビームスプリッタ10、コリメータレンズ12、波長板13、対物レンズ14を通過して光ディスク15に照射される。偏光ビームスプリッタ10の、レーザー11および光ディスク15を結ぶ線に直交する両側には光検出器16a,16bが配設されている。
尚従来、偏光ビームスプリッタ及びそれを用いた投射型表示装置としては、例えば下記特許文献1に記載のものが提案されていた。
特開平11−258422号公報
図9、図10を含む、従来のビームスプリッタでは、光ピックアップの構成上、光路長を稼ぎたいなどの理由から、プリズム材1,2の屈折率が1.7以上必要になる場合がある。また、接合材3として用いる光学接着材で現状、信頼性、耐光性、透過率等を考慮すると屈折率が1.5程度のものに限定されてしまう。
これらのプリズム材と接着材の組み合わせでビームスプリッタを作製しようとする場合、次のような問題が生じる。
(1)接合材3の厚みが薄い(10μm程度以下)場合
図11(a)〜(d)は、図9の構成の偏光ビームスプリッタ10において、接合材3の厚みを4〜2.5μmの間で0.5μmずつ変化させたときの波長とP偏光反射率との関係を調査した結果を表し、各特性線は偏光膜面への入射角が41度、43度、45度、47度、49度の場合の特性を示している。
(1)接合材3の厚みが薄い(10μm程度以下)場合
図11(a)〜(d)は、図9の構成の偏光ビームスプリッタ10において、接合材3の厚みを4〜2.5μmの間で0.5μmずつ変化させたときの波長とP偏光反射率との関係を調査した結果を表し、各特性線は偏光膜面への入射角が41度、43度、45度、47度、49度の場合の特性を示している。
この図11からわかるように、偏光ビームスプリッタ10の接合層は光学膜として作用するため、接合材3の厚みの変動により偏光特性が大きく影響を受けてしまう。
すなわち図11に示すように、計算結果では偏光特性は1μm以下の接合材の厚み変化で大きく変動してしまう。また、接合材3の厚みを1μm以内のオーダーで制御するのは非常に難しい。
(2)接合材3の厚みが厚い(10μ程度以上)場合
この場合、接合材3は光学薄膜として作用しなくなり、接合材3の厚み変動で偏光特性は影響を受けない。しかしながら、発散したレーザービームが偏光膜面に入射する光学系の場合、図12に示すように、偏光膜4の面に対し、高入射角側光路11aと低入射角側光路11bで入射光の光路長に差が生じてしまい、透過光に対し収差が発生するという問題が生じる。
(2)接合材3の厚みが厚い(10μ程度以上)場合
この場合、接合材3は光学薄膜として作用しなくなり、接合材3の厚み変動で偏光特性は影響を受けない。しかしながら、発散したレーザービームが偏光膜面に入射する光学系の場合、図12に示すように、偏光膜4の面に対し、高入射角側光路11aと低入射角側光路11bで入射光の光路長に差が生じてしまい、透過光に対し収差が発生するという問題が生じる。
尚図12は図10のレーザー11から偏光ビームスプリッタ10に出射された光の経路を表し、図10と同一部分は同一符号をもって示しており、3wは10μm程度以上の厚みの接合材である。
本発明は上記課題を解決するものであり、偏光特性の変動を抑制したビームスプリッタを提供することを目的としている。
上記課題を解決するための本発明のビームスプリッタは、偏光膜および接合材を挟んで接合された第1および第2のプリズムを備えたビームスプリッタにおいて、前記第1および第2のプリズムの接合部位に、偏光特性の変動を抑制する整合膜を配設したことを特徴としている。
また前記整合膜は、前記第1および第2のプリズムの屈折率より小さく、前記接合材の屈折率より大きな屈折率を有する材料で構成されていることを特徴としている。
また前記第1および第2のプリズムは屈折率が1.7以上の材料から成ることを特徴としている。
また前記偏光膜は高屈折材料と低屈折材料の積層膜より成ることを特徴としている。
また前記偏光膜は、所定波長においてP偏光とS偏光を所定割り合いで透過、反射させる偏光機能を有していることを特徴としている。
(1)請求項1〜8に記載の発明によればビームスプリッタとしての偏光特性の変動を抑制することができる。すなわち、例えば接合材の厚みや、光の入射角度の変動により偏光透過特性、偏光反射特性が変動してしまうことはない。このため広範囲にわたる波長域、入射角度において理想的な特性を有し、且つ特性バラツキが少ないビームスプリッタを提供することができる。
また、理想的な特性を得るために接合材の厚みをμm以下で制御しなくても済むため、ビームスプリッタの作製が容易になり、作製装置を簡略化することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明するが、本発明は下記の実施形態例に限定されるものではない。図1は本実施形態例による偏光ビームスプリッタ20の構造を表し、図9と同一部分は同一符号をもって示している。
図1において、接合材3と直角二等辺三角柱のプリズム材2の斜面の間には整合膜5が形成されている。直角二等辺三角柱のプリズム材1,2は屈折率が1.7以上の透明材料より成る。
接合材3は使用する波長域で吸収係数が小さく、屈折率が1.5程度の材料で、紫外線または可視光硬化型、熱硬化型、またこれらの併用型の接着材である。
直角二等辺三角柱のプリズム材1の斜面に形成された、高屈折材料と低屈折材料からなる偏光膜4は、使用波長、入射角度に対してP偏光とS偏光の光を所定割合で反射、透過する機能を持つ。
また、偏光膜4は真空蒸着法、スパッタリング法などの方法により形成される。高屈折材料は例えば、TiO2,Ta2O5,Nb2O5,HfO2,Al2O3など、またこれらの混合材料からなる。また低屈折材料はSiO2,MgF2などからなる。
整合膜5はプリズム材1,2の屈折率より小さく、接合材3の屈折率より大きな屈折率を有する1層以上の光学膜材料より形成される。これらの材料は例えばAl2O3,Y2O3など、また高屈折材料と低屈折材料の混合材料である。
また、プリズム材1,2の表面には反射防止機能をもつ光学膜が形成されている(図示省略)。この反射防止膜も偏光膜4と同様に真空蒸着法、スパッタリング法などの方法により形成され、同様の材料より成る。
(実施例1)
図2は実施例1の偏光ビームスプリッタ30の構成を表し、図1と同一部分は同一符号をもって示している。本実施例の偏光ビームスプリッタ30は、使用波長395nm〜415nm,使用入射角度0°±6°において、P偏光の透過率が90%、P偏光の反射率が10%、S偏光の反射率が95%以上を満足するビームスプリッタである。プリズム材1,2は屈折率1.8の透明材料より形成される。
(実施例1)
図2は実施例1の偏光ビームスプリッタ30の構成を表し、図1と同一部分は同一符号をもって示している。本実施例の偏光ビームスプリッタ30は、使用波長395nm〜415nm,使用入射角度0°±6°において、P偏光の透過率が90%、P偏光の反射率が10%、S偏光の反射率が95%以上を満足するビームスプリッタである。プリズム材1,2は屈折率1.8の透明材料より形成される。
偏光膜4と整合膜5の膜構成は次の表1のとおりである。
偏光膜4は屈折率が2.47、1.95、1.48の材料から構成される。整合膜5は屈折率がプリズム材と接合材の間の屈折率(1.53〜1.80)よりなり、本設計では5層の膜より構成される。
接合材3は屈折率が1.53の使用波長域で吸収係数の小さい紫外線硬化型の接着材である。本実施例の偏光ビームスプリッタ30より得られるP偏光反射特性の膜面への入射角41度〜49度の範囲の波長依存性について、接合材の厚みを変化させた特性を図3(a)〜(d)に示す。
図3(a)〜(d)は、図2の構成の偏光ビームスプリッタ30において、接合材3の厚みを4〜2.5μmの間で0.5μmずつ変化させたときの波長とP偏光反射率との関係を調査した結果を表し、各特性線は偏光膜面への入射角が41度、43度、45度、47度、49度の場合の特性を示している。この図3からわかるように、接合材3の厚みを変化させても反射特性はほとんど影響を受けない。
一方整合膜5が形成されていないビームスプリッタのP偏光反射特性の膜面への入射角41度〜49度の波長依存性を示す図11と比較すると、整合膜5を形成しない場合は、接着材(接合材3)が干渉膜として作用してしまい波長依存性にリップルが発生し、また入射角度に対しても特性変動が大きくなる。
(実施例2)
図4は実施例2の偏光ビームスプリッタ40の構成を表し、図1と同一部分は同一符号をもって示している。本実施例の偏光ビームスプリッタ40は、使用波長395nm〜415nm,使用入射角度0°±6°においてP偏光及びS偏光の透過率が93%以上、使用波長640nm〜680nm及び使用波長770nm〜810nm,使用入射角度0°±5°においてはP偏光の透過率が90%以上、S偏光の透過率が7%以下(S偏光の反射率が93%以上)を満足するビームスプリッタである。プリズム材1,2は屈折率1.8の透明材料より形成される。
(実施例2)
図4は実施例2の偏光ビームスプリッタ40の構成を表し、図1と同一部分は同一符号をもって示している。本実施例の偏光ビームスプリッタ40は、使用波長395nm〜415nm,使用入射角度0°±6°においてP偏光及びS偏光の透過率が93%以上、使用波長640nm〜680nm及び使用波長770nm〜810nm,使用入射角度0°±5°においてはP偏光の透過率が90%以上、S偏光の透過率が7%以下(S偏光の反射率が93%以上)を満足するビームスプリッタである。プリズム材1,2は屈折率1.8の透明材料より形成される。
偏光膜4と整合膜5の膜構成は次の表2のとおりである。
偏光膜4は屈折率が2.47、1.48の材料から構成される。整合膜5は屈折率がプリズム材と接合材の間の屈折率(1.53〜1.80)よりなり、本設計では2層の膜より構成される。
接合材3は屈折率が1.53の使用波長域で吸収係数の小さい紫外線硬化型の接着材を用いた。本実施例の偏光ビームスプリッタ40の、使用波長395nm〜415nm,膜面への入射角41度〜49度のP偏光透過特性、S偏光透過特性の波長依存性を図5(a),(b)に各々示す。
また、使用波長640nm〜680nm及び使用波長770nm〜810nm、膜面への入射角42度〜48度のP偏光透過特性の波長依存性を図6(a),(b)に示す。
また図7(a)〜(c)に、本実施例のビームスプリッタ40より得られる使用波長395nm〜415nmでのS偏光透過特性の膜面への入射角41度〜49度の範囲における波長依存性について、接合材3の厚みを変化させた場合の特性変動の様子を示す。
図7(a)〜(c)は、図4の構成の偏光ビームスプリッタ40において、接合材3の厚みを4〜2μmの間で1μmずつ変化させたときの波長とS偏光透過率との関係を調査した結果を表している。この図7からわかるように、接合材3の厚みを変化させても特性はほとんど影響を受けない。
一方、整合膜5が形成されていない場合の同様の特性変動の様子を図8(a)〜(c)に示す。図8(a)〜(c)は、図9の構成の偏光ビームスプリッタ10において、接合材3の厚みを4〜2μmの間で1μmずつ変化させたときの波長とS偏光透過率との関係を調査した結果を表しており、各特性線は入射角が41〜49度の場合の特性を示している。この図8からわかるように、整合膜5を形成しない場合は、接着材(接合材3)が干渉膜として作用してしまい、整合膜5がある場合(図7の特性)に比べ波長依存性にリップルが発生し透過率が低下する。また入射角度の変化に対しても特性変動が大きくなる。
以上のように本実施形態例によれば、広範囲にわたる波長域、入射角度において理想的なプリズム特性を有し尚且つ、特性バラツキが少ないビームスプリッタを提供することができる。また理想的なプリズム特性を得るために、接合材の厚みをμm以下で制御しなくても済むため、プリズムの作製が容易になって作製装置を簡略化することができる。
1…プリズム材(第1のプリズム)、2…プリズム材(第2のプリズム)、3…接合材、4…偏光膜、5…整合膜、11…レーザー、15…光ディスク、20,30,40…偏光ビームスプリッタ。
Claims (8)
- 偏光膜および接合材を挟んで接合された第1および第2のプリズムを備えたビームスプリッタにおいて、
前記第1および第2のプリズムの接合部位に、偏光特性の変動を抑制する整合膜を配設したことを特徴とするビームスプリッタ。 - 前記整合膜は、前記第1および第2のプリズムの屈折率より小さく、前記接合材の屈折率より大きな屈折率を有する材料で構成されていることを特徴とする請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記第1および第2のプリズムは屈折率が1.7以上の材料から成ることを特徴とする請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記第1および第2のプリズムは屈折率が1.7以上の材料から成ることを特徴とする請求項2に記載のビームスプリッタ。
- 前記偏光膜は高屈折材料と低屈折材料の積層膜より成ることを特徴とする請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記偏光膜は高屈折材料と低屈折材料の積層膜より成ることを特徴とする請求項2に記載のビームスプリッタ。
- 前記偏光膜は、所定波長においてP偏光とS偏光を所定割り合いで透過、反射させる偏光機能を有していることを特徴とする請求項1に記載のビームスプリッタ。
- 前記偏光膜は、所定波長においてP偏光とS偏光を所定割り合いで透過、反射させる偏光機能を有していることを特徴とする請求項2に記載のビームスプリッタ。
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JP2006031816A JP2007212694A (ja) | 2006-02-09 | 2006-02-09 | ビームスプリッタ |
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Cited By (3)
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JP2011170092A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Fujifilm Corp | 光学素子及び光学素子製造方法 |
JP2014225641A (ja) * | 2013-04-23 | 2014-12-04 | キヤノン株式会社 | 照明光学系、露光装置及びデバイス製造方法 |
KR101782672B1 (ko) * | 2013-04-23 | 2017-09-27 | 캐논 가부시끼가이샤 | 프리즘 광학계, 조명 광학계, 노광 장치 및 소자 제조 방법 |
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2006
- 2006-02-09 JP JP2006031816A patent/JP2007212694A/ja active Pending
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