JP2008145245A - X線検出器およびx線ct装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線をシンチレータで光に変換してフォトダイオードで検出するX線検出器は、複数のシンチレータ素子が配列されたシンチレータアレイ(502)と、複数のフォトダイオードが前記複数のシンチレータ素子の光をそれぞれ受光するように前記複数のシンチレータ素子に合わせて配列されたフォトダイオードアレイ(504)と、複数の個別フロントエンド回路が前記複数のフォトダイオードの検出信号をそれぞれ取り込むように前記複数のフォトダイオードに合わせて配列されたフロントエンド用半導体チップ(506)とを具備し、前記フロントエンド用半導体チップ、前記フォトダイオードアレイおよび前記シンチレータアレイが順次積層されている。
【選択図】図5
Description
前記フロントエンド用半導体チップはAD変換器を有することが、ディジタル検出データを得る点で好ましい。
前記フロントエンド用半導体チップは、貫通電極を有することが、チップ間の接続が容易な点で好ましい。
100 : ガントリ
110 :X線照射・検出装置
130 : X線管
132 : 焦点
134 : X線
150 : X線検出器
152 : X線入射面
154 : 検出セル
200 : テーブル
202 : 天板
204 : クレードル
206 : 支柱
208 : ベース
300 : オペレータコンソール
502 : 支持板
504 : フォトダイオードアレイ
506 : シンチレータアレイ
542 : フォトダイオード
522 : シンチレータ素子
524 : 隔壁
540 : N型半導体基板
542 : フォトダイオード
560 : 半導体基板
562 : 個別フロントエンド回路
564 : 貫通電極
606 : 制御用半導体チップ
902 : 増幅器
904 : AD変換器
906 : マルチプレクサ
908 : 転送回路
910 : 制御回路
Claims (12)
- X線をシンチレータで光に変換してフォトダイオードで検出するX線検出器であって、
複数のシンチレータ素子が配列されたシンチレータアレイと、
複数のフォトダイオードが前記複数のシンチレータ素子の光をそれぞれ受光するように前記複数のシンチレータ素子に合わせて配列されたフォトダイオードアレイと、
複数の個別フロントエンド回路が前記複数のフォトダイオードの検出信号をそれぞれ取り込むように前記複数のフォトダイオードに合わせて配列されたフロントエンド用半導体チップと
を具備し、前記フロントエンド用半導体チップ、前記フォトダイオードアレイおよび前記シンチレータアレイが順次積層されていることを特徴とするX線検出器。 - 前記個別フロントエンド回路は増幅器を有する
ことを特徴とする請求項1に記載のX線検出器。 - 前記フロントエンド用半導体チップはAD変換器を有する
ことを特徴とする請求項1に記載のX線検出器。 - 前記フロントエンド用半導体チップが積み重ねられ、制御回路が形成された制御用半導体チップ
を具備することを特徴とする請求項1に記載のX線検出器。 - 前記フロントエンド用半導体チップは貫通電極を有する
ことを特徴とする請求項4に記載のX線検出器。 - 前記制御用半導体チップはAD変換器を有する
ことを特徴とする請求項4に記載のX線検出器。 - 互いに対向するX線源とX線検出器で被検体をスキャンして投影データを収集しこの投影データに基づいて画像を再構成するX線CT装置であって、
前記X線検出器は、X線をシンチレータで光に変換してフォトダイオードで検出するX線検出器であり、
複数のシンチレータ素子が配列されたシンチレータアレイと、
前記シンチレータアレイが積み重ねられ、複数のフォトダイオードが前記複数のシンチレータ素子の光をそれぞれ受光するように前記複数のシンチレータ素子に合わせて配列されたフォトダイオードアレイと、
前記フォトダイオードアレイが積み重ねられ、複数の個別フロントエンド回路が前記複数のフォトダイオードの検出信号をそれぞれ取り込むように前記複数のフォトダイオードに合わせて配列されたフロントエンド用半導体チップと
を具備することを特徴とするX線CT装置。 - 前記個別フロントエンド回路は増幅器を有する
ことを特徴とする請求項7に記載のX線CT装置。 - 前記フロントエンド用半導体チップはAD変換器を有する
ことを特徴とする請求項7に記載のX線CT装置。 - 前記フロントエンド用半導体チップが積み重ねられ、制御回路が形成された制御用半導体チップ
を具備することを特徴とする請求項7に記載のX線CT装置。 - 前記フロントエンド用半導体チップは、貫通電極を有する
ことを特徴とする請求項10に記載のX線CT装置。 - 前記制御用半導体チップはAD変換器を有する
ことを特徴とする請求項10に記載のX線CT装置。
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