JP2008139268A - 表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定部材1を載置するためのステージ2と、被測定部材1の表面変位を非接触で測定するための複数のエアースキャナ3と、複数のエアースキャナ3を、所定の測定位置に移動させるための駆動制御部5と、各複数のエアースキャナ3に対応して、測定位置での測定データをそれぞれ演算処理するための第1のデータ処理部7と、各第1のデータ処理部で演算処理された測定データを合成処理するための第2のデータ処理部8を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 被測定部材を載置するためのステージと、
前記被測定部材の表面変位を非接触で測定するために所定の間隔で設置された複数のエアースキャナと、
前記複数のエアースキャナを、所定の測定位置に移動させるための駆動制御部と、
各前記複数のエアースキャナに対応して、前記測定位置での測定データをそれぞれ演算処理するための第1のデータ処理部と、
各前記第1のデータ処理部で前記演算処理された測定データを合成処理するための第2のデータ処理部を備えることを特徴とする表面形状測定装置。 - 前記第1のデータ処理部は、それぞれの前記エアースキャナにより所定ピッチで連続して測定された所定数の測定データを平均化処理し、表面変位データとすることを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定装置。
- 前記第2のデータ処理部は、前記表面変位データを、対応する前記測定位置の情報と合成することを特徴とする請求項2に記載の表面形状測定装置。
- 前記合成されたデータを表示する表示部を備えることを特徴とする請求項3に記載の表面形状測定装置。
- 前記ピッチは可変であることを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれかに記載の表面形状測定装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150032654A (ko) | 2012-07-24 | 2015-03-27 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 판상체의 휨 검사 장치 및 그 휨 검사 방법 |
JP2017198586A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
WO2021175349A1 (en) * | 2020-03-05 | 2021-09-10 | For G S.R.O. | Method of contactless determination of geometric accuracy of the shape of a transparent shaped flat product made of glass or plastics and a device for performing the method |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW201116636A (en) * | 2009-11-11 | 2011-05-16 | Shui-Kun Zhan | Local vacuum electroplating method of workpiece |
KR101160466B1 (ko) | 2010-12-27 | 2012-06-28 | (주)에스티아이 | 잉크젯 헤드 구동방법 |
CN106017353B (zh) * | 2016-07-22 | 2019-07-16 | 大连理工大学 | 一种蜂窝芯面形测量装置 |
CN106017352B (zh) * | 2016-07-22 | 2019-10-29 | 大连理工大学 | 一种蜂窝芯面形的测量方法 |
CN106403840A (zh) * | 2016-09-09 | 2017-02-15 | 蚌埠中建材信息显示材料有限公司 | 一种超薄浮法玻璃弯曲度检测方法 |
Citations (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4934352A (ja) * | 1972-07-26 | 1974-03-29 | ||
JPS5158371A (ja) * | 1974-11-19 | 1976-05-21 | Sumitomo Shipbuild Machinery | Sokanitakeijokenshutsukiniokeru reitensetsuteihoho |
JPS51101560A (ja) * | 1975-03-05 | 1976-09-08 | Nippon Steel Corp | Mizumaikuromeeta |
JPS5294154A (en) * | 1976-02-03 | 1977-08-08 | Nippon Steel Corp | Roll profile detector |
JPS53145666A (en) * | 1977-05-25 | 1978-12-19 | Kawasaki Steel Co | Detecting method of surface profile of steel profile |
JPS5415550U (ja) * | 1977-07-05 | 1979-02-01 | ||
JPS60102508A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-06 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 金属帯板の形状検出方法 |
JPS60190806A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-28 | Fanuc Ltd | 立体モデルの形状検出方法 |
JPS617U (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-06 | 川崎製鉄株式会社 | 位置及び形状検出装置 |
JPS6131915A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真直度測定方法 |
JPS61290309A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-20 | Daido Steel Co Ltd | 板材の平坦度測定装置 |
JPS62110109A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-05-21 | ランドルフ ノ−ウツド ミツチエル | ロ−ル鋼等の形状計測方法および装置 |
JPH01213510A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 | Fujitsu Ltd | 表面実装部品の実装検査装置 |
JPH03251355A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Toyota Motor Corp | 研摩データ作成装置 |
JPH06288747A (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-18 | Kyocera Corp | 非接触型測長器 |
JPH06307820A (ja) * | 1993-04-22 | 1994-11-04 | Daido Steel Co Ltd | 形状検査装置 |
JPH0821716A (ja) * | 1994-07-05 | 1996-01-23 | Daido Steel Co Ltd | 帯材の形状検出装置 |
JPH08261742A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Nippon Steel Corp | 鉄道用レ−ルの形状測定方法 |
JPH09126745A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガラス基板の平面度測定装置 |
JPH09280853A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Nippon Steel Corp | 鉄道レール柱部厚み測定方法 |
JPH10197283A (ja) * | 1996-12-30 | 1998-07-31 | Tosok Corp | 測定データ処理方法及び内径測定装置 |
JP2000337845A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-08 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 板状体の平坦度測定装置 |
JP2001249013A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-14 | Hitachi Ltd | 立体形状検出装置及びパターン検査装置、並びにそれらの方法 |
JP2002277227A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Union Optical Co Ltd | 気体式測定装置 |
JP2003280738A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 障害物認識方法および障害物認識装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5616853A (en) * | 1995-03-29 | 1997-04-01 | Kyocera Corporation | Measuring machine for measuring object |
CN1441906A (zh) * | 2001-05-15 | 2003-09-10 | 新克罗株式会社 | 波形检测装置和使用该装置的状态监视系统 |
CN2506976Y (zh) * | 2001-09-30 | 2002-08-21 | 西安交通大学 | 微轮廓测量仪 |
JP2005017386A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | V Technology Co Ltd | 平板状ワークの検査、修正装置 |
CN2682381Y (zh) * | 2004-02-16 | 2005-03-02 | 洪雄善 | 产品外观尺寸自动扫描检测机 |
GB2421719B (en) * | 2004-12-30 | 2008-07-02 | Fmc Technologies | Conveying conformable products |
GB0502677D0 (en) * | 2005-02-09 | 2005-03-16 | Taylor Hobson Ltd | Apparatus for and a method of determining a surface characteristic |
CN100483071C (zh) * | 2006-01-23 | 2009-04-29 | 贵州大学 | 基于垂直位移扫描的非接触式表面形貌测量方法及测量仪 |
-
2006
- 2006-12-05 JP JP2006328597A patent/JP5343314B2/ja active Active
-
2007
- 2007-12-04 KR KR1020070124787A patent/KR20080052410A/ko active Search and Examination
- 2007-12-05 TW TW096146305A patent/TWI479120B/zh active
- 2007-12-05 CN CN2007101941356A patent/CN101196391B/zh active Active
Patent Citations (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4934352A (ja) * | 1972-07-26 | 1974-03-29 | ||
JPS5158371A (ja) * | 1974-11-19 | 1976-05-21 | Sumitomo Shipbuild Machinery | Sokanitakeijokenshutsukiniokeru reitensetsuteihoho |
JPS51101560A (ja) * | 1975-03-05 | 1976-09-08 | Nippon Steel Corp | Mizumaikuromeeta |
JPS5294154A (en) * | 1976-02-03 | 1977-08-08 | Nippon Steel Corp | Roll profile detector |
JPS53145666A (en) * | 1977-05-25 | 1978-12-19 | Kawasaki Steel Co | Detecting method of surface profile of steel profile |
JPS5415550U (ja) * | 1977-07-05 | 1979-02-01 | ||
JPS60102508A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-06 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 金属帯板の形状検出方法 |
JPS60190806A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-28 | Fanuc Ltd | 立体モデルの形状検出方法 |
JPS617U (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-06 | 川崎製鉄株式会社 | 位置及び形状検出装置 |
JPS6131915A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真直度測定方法 |
JPS61290309A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-20 | Daido Steel Co Ltd | 板材の平坦度測定装置 |
JPS62110109A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-05-21 | ランドルフ ノ−ウツド ミツチエル | ロ−ル鋼等の形状計測方法および装置 |
JPH01213510A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 | Fujitsu Ltd | 表面実装部品の実装検査装置 |
JPH03251355A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Toyota Motor Corp | 研摩データ作成装置 |
JPH06288747A (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-18 | Kyocera Corp | 非接触型測長器 |
JPH06307820A (ja) * | 1993-04-22 | 1994-11-04 | Daido Steel Co Ltd | 形状検査装置 |
JPH0821716A (ja) * | 1994-07-05 | 1996-01-23 | Daido Steel Co Ltd | 帯材の形状検出装置 |
JPH08261742A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Nippon Steel Corp | 鉄道用レ−ルの形状測定方法 |
JPH09126745A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガラス基板の平面度測定装置 |
JPH09280853A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-31 | Nippon Steel Corp | 鉄道レール柱部厚み測定方法 |
JPH10197283A (ja) * | 1996-12-30 | 1998-07-31 | Tosok Corp | 測定データ処理方法及び内径測定装置 |
JP2000337845A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-08 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 板状体の平坦度測定装置 |
JP2001249013A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-14 | Hitachi Ltd | 立体形状検出装置及びパターン検査装置、並びにそれらの方法 |
JP2002277227A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Union Optical Co Ltd | 気体式測定装置 |
JP2003280738A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 障害物認識方法および障害物認識装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150032654A (ko) | 2012-07-24 | 2015-03-27 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 판상체의 휨 검사 장치 및 그 휨 검사 방법 |
US9273953B2 (en) | 2012-07-24 | 2016-03-01 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Apparatus for inspecting warpage of sheet-like member and method for inspecting warpage of sheet-like member |
TWI586958B (zh) * | 2012-07-24 | 2017-06-11 | 日本電氣硝子股份有限公司 | 板狀體之翹曲檢查裝置及其翹曲檢查方法 |
JP2017198586A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
WO2021175349A1 (en) * | 2020-03-05 | 2021-09-10 | For G S.R.O. | Method of contactless determination of geometric accuracy of the shape of a transparent shaped flat product made of glass or plastics and a device for performing the method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080052410A (ko) | 2008-06-11 |
JP5343314B2 (ja) | 2013-11-13 |
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TWI479120B (zh) | 2015-04-01 |
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