JP2000337845A

JP2000337845A - 板状体の平坦度測定装置

Info

Publication number: JP2000337845A
Application number: JP11144342A
Authority: JP
Inventors: Fumihiro Takemura; 文宏竹村
Original assignee: Toshiba Ceramics Co Ltd
Current assignee: Coorstek KK
Priority date: 1999-05-25
Filing date: 1999-05-25
Publication date: 2000-12-08

Abstract

(57)【要約】【課題】不透明（砂地面）ガラスを撓ませることな
く、非接触で正確に、板状体Ｗの平坦度を測定する。【解決手段】Ｘ軸およびＹ軸方向に移動するテーブル
１９に板状体Ｗを着脱自在に固定する保持機構２５を設
け、ノズル４０より流体を噴出して板状体Ｗとのギャッ
プを一定の保持するノズル４０と該ノズル４０の位置を
検出する電気マイクロメータ４１を有するエアスケール
２９を設け、板状体Ｗの各測定位置における板状体Ｗの
表面の高さを求めて板状体Ｗの平坦度を演算する制御・
演算機構３１を設けた。板状体Ｗの裏面側にノズル４０
と同一の流体圧を噴出し、ノズル４０に相対する裏面側
ノズル４０ａを設けるとよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、不透明ガラス板等
の板状体の表面を傷付けることなく、該板状体の平坦度
を測定することができる非接触型の平坦度測定装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】板状体の表面の平坦度を計測する方法と
して触針法、レーザ反射法などが広く知られている。触
針法を用いた従来の装置は、図１４に示すように、水平
のベッド１の表面にＸ方向に摺動可能なテーブル２が設
けられ、テーブル２の外側には、ベッド１の表面に両端
部が固定された門形のフレーム３が設けられ、フレーム
３の中央部には、Ｙ方向に摺動可能な真直度測定機４が
設けられる。

【０００３】テーブル２の上に板状の被測定物５が取り
付けられ、真直度測定機４の下端には、被測定物５の表
面に接触する触針（図示しない）が設けられる。そし
て、テーブル２がＸ方向に移動すると、触針が被測定物
５の表面状態に倣って上下方向に移動するので、この上
下移動量を電気マイクロメータ６によって電気量に変換
して被測定物５の真直度を測定する。そして、真直度測
定機４をＹ方向に所定量移動する都度、被測定物５の真
直度を測定することにより被測定物５の平坦度を求める
ことができる。一方、レーザ反射法は、板状体の表面に
レーザ光を照射し、表面状態の変化に応じて反射光のフ
レを位置センサで検知して平坦度を計測する方法であ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記した触針法を用い
た装置の場合、触針の先端を被測定物表面にできるだけ
点接触させて測定精度を向上させる必要があるため、そ
の先端に先鋭な触針が使用されている。この先鋭な触針
を所定の測定圧をもって、被測定物の表面に接触させる
と、被測定物がガラス板等の場合には、表面に擦り傷や
欠けが発生する虞れがあった。また、ガラス板等に接触
する触針の送り速度を高速にすると触針が破損する虞れ
があるため、高速移動させることができず、その結果、
平坦度の測定時間が長くなるという課題があった。更
に、触針を上下する機構には僅かながら機械的なガタが
含まれているので測定精度が悪いという課題があった。

【０００５】これに対して非接触型のレーザ反射法は、
ガラス板表面を傷付ける虞れはないが、被測定物が不透
明ガラスのような砂地面の場合にはレーザ光が乱反射す
るため、レーザセンサが使用できないという技術的問題
があった。

【０００６】本発明は、かかる課題を解決するためにな
されたものであり、被測定物が不透明ガラス砂地面であ
っても表面を傷付ける虞れがなく、高精度に且つ自動的
に効率よく測定できる板状体の平坦度測定装置を提供す
るものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にかかる板状体の平坦度測定装置は、請求項
１に示すように、板状体を着脱自在に固定する保持機構
を有するテーブルと、該テーブルをＸ軸およびＹ軸方向
に走行駆動するテーブル駆動機構と、シリンダ内に挿入
されるピストンの先端に流体を噴出するノズルを設け、
該ノズルより噴出する流体圧により前記板状体とのギャ
ップが一定となる前記ノズルの位置を計測する電気マイ
クロメータを設けたエアスケールと、前記テーブルのＸ
軸およびＹ軸位置に対する前記ノズル位置を検出して板
状体の平坦度を演算する制御・演算機構と、前記演算結
果を表示する表示機構とを備えたことを特徴とするもの
である。

【０００８】この構成により、テーブルの保持機構に板
状体を固定し、制御・演算機構により、ノズルより流体
を噴出させると共に、テーブル駆動機構を駆動させてテ
ーブルをＸ軸およびＹ軸方向に走査させる。そして、テ
ーブルが測定点に達する都度、流体圧を検知して板状体
と一定のギャップを保つノズル位置を検出して平坦度を
演算する。この演算結果である板状体の平坦度は、表示
機構により表示される。このように、本発明にかかる板
状体の平坦度測定装置にあっては、板状体とのギャップ
を一定に保持するノズルを有するエアスケールを設け、
板状体の平坦度を非接触で測定するようにしたので、ガ
ラス板のように傷付き易い板状体を品質低下させること
なく平坦度測定することができる。また、レーザ光で板
状体の平坦度測定できない不透明ガラス等砂地面であっ
ても、平坦度を測定することができる。

【０００９】ここで、前記板状体の裏面側であって前記
ノズルに相対する位置に裏面側ノズルを備え、該裏面側
ノズルより噴出する前記ノズルと同一流体圧により前記
板状体の裏面とのギャップが一定となる前記裏面側ノズ
ルの位置を計測する電気マイクロメータを設けた裏面側
エアスケールと、前記テーブルのＸ軸およびＹ軸位置に
対する該裏面側ノズル位置を検出して板状体の平坦度を
演算する制御・演算機構とを設けることが望ましい。こ
のように裏面側ノズルを設けた場合には、板状体は表裏
両面から同一位置に同一流体圧を受けるので、板状体が
加圧を受けて撓み変形する虞れはなく、板状体の平坦度
が正確に測定される。また、板状体の表面のみならず裏
面も平坦度を同時に計測することができる。

【００１０】また、前記エアスケールに、あるいはまた
前記エアスケールおよび裏面側エアスケールに、前記シ
リンダに接続され前記ピストンを前記板状体の反対方向
に押圧する流体の管路と、前記板状体の表面の段差を検
知して検知信号を発するセンサと、通常時に閉動作しか
つ該センサの検知信号により流体の管路を開く電磁弁と
を設けることができる。この場合には、被測定物の表面
に段差があると、段差を検知したセンサの検知信号によ
り電磁弁が開き、管路を通してシリンダに流入した流体
がピストンを押圧し、ピストンと共にノズルが段差より
遠ざかるので、ノズルが段差に衝突する事故が防止され
る。

【００１１】また、前記保持機構における前記板状体と
の接触面は、平坦面に形成されると共に、負圧源に切り
替え弁を介して連通する吸引孔が設けられ、かつ前記非
接触面の形状は、前記接触面につながる湾曲面に形成さ
れていることが望ましい。この構成により、負圧源に連
通した状態で板状体を保持機構の接触面に当接させる
と、板状体が接触面に吸着されて固定される。平坦度計
測が終わると切り替え弁により負圧を解除すると板状体
を取り外すことができる。また、裏面側エアスケールに
より板状体の裏面を計測する場合に、裏面側ノズルが保
持機構を通過する際、保持機構の非接触面の形状が接触
面につながる湾曲面に形成されているため、裏面側ノズ
ルが湾曲面と一定のギャップを保持するように離隔する
ので、裏面側ノズルが保持機構に衝突する虞れはない。

【００１２】更に、前記テーブルの表面に、前記保持機
構に固定された板状体の表面の高さと対比することがで
きる基準面を設けることが望ましい。この構成により基
準面に対するノズル位置と、板状体に対するノズル位置
の差から、板状体の厚さを知ることができる。また、前
記基準面はノズルの流体圧を微調整する場合に便利であ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の具体例を図
面を参照しながら説明する。図１は本発明に係る板状体
の平坦度測定装置の斜視図、図２は平坦度測定装置の各
機構の模式図とその制御系統を示すブロック図、図３は
エアスケールの要部を示す縦断面図、図４はエアスケー
ルと制御・演算機構の電気接続を説明する斜視図、図５
は板状体の両側に配設される一対エアスケールの説明
図、図６はエアスケールが１個の場合に生じる課題を説
明するための概略図、図７（Ａ）は保持機構の要部を示
す斜視図、図７（Ｂ）は図７（Ａ）の部分拡大図、図８
（Ａ），（Ｂ）はエアスケールの動きと保持機構の形状
との関係を示す概略図、図９は板状体の表面に段差があ
る場合の問題を説明する図面、図１０は板状体の段差問
題を解決したエアスケールの構造を示す縦断面図、図１
１はノズルが段差を避ける動作を説明する図面、図１２
は板状体の測定点を示す斜視図、図１３は測定結果を立
体的に表示した図である。

【００１４】図１に示すように、箱形状の架台１０の上
面にベッド１１が固着され、ベッド１１の表面に設けら
れたＸ方向に延びる２条のＸ軸摺動レール１２にサドル
１３が摺動可能に装着される。また、前記２条のＸ軸摺
動レール１２の中間には、前記Ｘ軸摺動レール１２と平
行にボールスクリュー１４が配設されている。このボー
ルスクリュー１４の両端部は、図２に示すように、ベッ
ド１１上に設けられた軸受１５によって回転可能に支承
され、ベッド１１に設けられたＸ軸パルスモータ１６が
ボールスクリュー１４の端部に連結されている。更に、
サドル１３の内側に設けられたナット１７が前記ボール
スクリュー１４に螺合している。上記構成により、Ｘ軸
パルスモータ１６の駆動により、ボールスクリュー１４
が回転し、サドル１３と共に後述するテーブル１９をＸ
軸方向に駆動するＸ軸駆動機構が形成される。

【００１５】また、前記サドル１３の表面に２条のＹ軸
摺動レール１８が設けられ、このＹ軸摺動レール１８に
テーブル１９が摺動可能に装着されている。そしてま
た、このサドル１３の上面に設けられた２個の軸受２０
に、前記Ｙ軸摺動レール１８と平行に設けられたボール
スクリュー２１の両端部が回転可能に支承されている。
そして、サドル１３に固着されたＹ軸パルスモータ２２
がボールスクリュー２１の端部に連結され、テーブル１
９の内側に設けられたナット２３がボールスクリュー２
１に螺合している。上記構成により、Ｙ軸パルスモータ
２２の駆動により、ボールスクリュー２１が回転し、テ
ーブル１９をＹ軸方向に駆動するテーブルのＹ軸駆動機
構が形成される。

【００１６】また、前記テーブル１９の上面には、不透
明（砂地面）ガラスである板状体Ｗを収容可能な面積の
四角形状の角孔２４が貫通し、テーブル１９の裏面には
先端が角孔２４に臨む３個の保持機構２５が設けられて
いる。前記保持機構２５の上面は、図７（Ｂ）に示すよ
うに、板状体Ｗを載置する平坦面からなる接触面２５ａ
が形成され、この接触面２５ａには、切り替え弁を介し
て負圧源に連通する吸引孔２６が開口している。またこ
の接触面２５ａの反対側の面２５ｂは、接触面２５ａに
つながるなだらかな湾曲面に形成されている。

【００１７】また、テーブル１９の上面には、四角形状
の角孔２４に隣接する位置にブロックゲージ２７が配設
される。このブロックゲージ２７の上面２７ａは、３個
の保持機構２５の上に載置された板状体Ｗの基準高さを
表す基準面であり、板状体Ｗが正規の厚さ寸法を有する
場合には、板状体Ｗの上面が基準面２７ａと同一高さに
なる。

【００１８】また、テーブル１９の上方には、両端がベ
ッド１１に固着される門形のフレーム２８が設けられ、
フレーム２８の中央部にエアスケール２９が装着され
る。このエアスケール２９は公知であるが、今まで板状
体Ｗの平坦度の検査装置に使用された例はない。

【００１９】エアスケール２９は、板状体Ｗに対して一
定のギャップを保つように上下移動するノズル４０と、
ノズル４０の位置を電気量に変換して制御・演算機構３
１に伝達する電気マイクロメータ４１とを備える（図３
参照）。エアスケール２９の構造を詳述すると、門型の
フレーム２８に設けられたシリンダ取付台４２にシリン
ダ４３が固着され（図４参照）、シリンダ４３内を移動
可能に設けられたピストン４４に、シリンダ４２を貫通
するピストン棒４４ａが設けられ、ピストン棒４４ａの
先端にノズル４０が固着される（図３参照）。

【００２０】ノズル４０の内部には、ノズル４０の先端
に開口する中空部が形成され、中空部は内管４５により
外側孔４６と内側孔４７に区分され、外側孔４６はノズ
ル４０に接続される高圧エア管路４８に連通し、内側孔
４７はノズル４０に接続される背圧管路４９に連通す
る。シリンダ４３の内部はピストン４４により上部加圧
室４３ａと下部加圧室４３ｂに仕切られ、上部加圧室４
３ａは、シリンダ４３に接続される基準圧エア管路４９
に連通する。高圧エア管路４８から分岐しシリンダ４３
に接続されるノズル伸縮用管路５１が下部加圧室４３ｂ
に連通し、ノズル伸縮用管路５１の中間部に開閉弁５２
が設けられる（図３参照）。電気マイクロメータ４１は
シリンダ４３の上壁に固着され、シリンダ４３の上壁を
貫通した触針部４１ａの先端がピストン４４に圧接す
る。

【００２１】高圧エア管路４８からノズル４０に供給さ
れるエアは、外側孔４６を経由してノズル４０から板状
体Ｗに噴射され、板状体Ｗに衝突したエアの背圧は内側
孔４７および背圧管路４９を経由して下部加圧室４３ｂ
に供給される。ノズル４０と板状体Ｗとの間隔が小さく
なると、噴出の背圧が増大して下部加圧室４３ｂの圧力
が高くなり、ピストン４４が板状体Ｗより遠ざかる方向
に移動する。また、ノズル４０と板状体Ｗとの間隔が大
きくなると、噴出の背圧が低下してピストン４４が板状
体Ｗに近づく方向に移動する。

【００２２】このようにして、ノズル４０と板状体Ｗと
の間隔は常に一定に保たれるので、ピストン４４に移動
量を測定する電気マイクロメータ４１の測定値により、
板状体Ｗの表面の高さの変動量を知ることができ、板状
体ＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に所定量だけ移動する都
度の電気マイクロメータ４１の測定値を求めることによ
り、板状体Ｗの平坦度を計測することができる。電気マ
イクロメータ４１は、ノズル４０の動きの量を略０．５
ミクロンの精度で測定でき、しかも板状体Ｗの色，光
沢，材質，粗さ，硬さなどに無関係に測定できる。ま
た、エアスケール２９を用いた平坦度の測定は、従来に
なかった特殊な非接触測定方法であって、測定圧力も１
ｇ〜１０ｇと極めて小さいので、ガラス板のように傷付
き易い製品を損傷する虞れがない利点がある。

【００２３】しかし、図６に示すように、エアスケール
２９のノズル４０から流体が噴射すると、流体圧を受け
た板状体Ｗが撓んだ量だけノズル４０の位置が板状体Ｗ
の方に変位するので測定誤差を生じる課題がある。この
課題を解決するために、撓みを生じ易い板状体Ｗに対し
ては、図５に示すように、板状体Ｗの裏面側であってノ
ズル４０に相対する位置に裏面側ノズル４０ａを有する
裏面側エアスケール３０を設け、裏面側ノズル４０ａの
流体圧をノズル４０の流体圧と同一にする。かくして、
板状体Ｗの撓み変形を確実に防止して板状体Ｗの表面の
正確な平坦度測定を行うことができると共に、板状体Ｗ
の裏面の平坦度測定を同時に行うこともできる。

【００２４】前記裏面側ノズル４０ａを使用するとき、
図８（Ｂ）に示すように、四角棒状の保持機構２５ｃで
板状体Ｗの裏面を支持していると、裏面側ノズル４０ａ
が保持機構２５ｃの側面に衝突する課題が生じる。しか
し、本発明では保持機構２５の接触面２５ａの反対面２
５ｂを、図７（Ｂ）に示すように、両端が接触面２５ａ
につながるなだらかな湾曲面に形成しているため、裏面
側ノズル４０ａが保持機構２５に接近しても、前記裏面
側ノズル４０ａは、反対面２５ｂとのギャップを一定に
保ちながら移動するので、保持機構２５ｃと衝突する虞
れはない。

【００２５】ノズル４０および裏面側ノズル４０ａ（以
下ノズル４０を代表して説明する）と板状体Ｗ表面との
ギャップを通常０．１ｍｍにして板状体Ｗの平坦度測定
を行っているため、図９に示すように板状体Ｗ表面に約
１ｍｍ程度の段差Ｗ₁ があると、ノズル４０が段差Ｗ₁
に衝突してノズル４０および板状体Ｗを損傷する問題が
生じる。板状体Ｗ表面に欠けがあった場合も同様に、ノ
ズル４０先端からのエア漏れが急激に増大して計測不能
になると共に、ノズル４０が欠けの中に落ち込んで、欠
けを通過するときに欠けの内壁面に衝突する問題が生じ
る。ノズル４０が衝突すると、ノズル４０が曲がり変形
を生じて測定が不可能になる。

【００２６】このような衝突を避けるために、図３に示
すエアスケール２９を図１０に示すエアスケール２９′
に変更するのが良い。すなわち、ノズル４０の先端部の
近傍に、板状体Ｗ表面の計測方向に段差Ｗ₁があること
を検知するセンサ（例えば反射型光電スイッチヘッド）
５３を取り付け、センサ５３に接続する配線５４を光電
スイッチアンプ５５に接続する。ノズル伸縮用管路５１
の開閉弁５２を電磁弁５６に取り替え、光電スイッチア
ンプ５５と電磁弁５６を電線５７で接続する。エアスケ
ール２９′のその他の構成は図３のエアスケール２９と
同様である。

【００２７】以上のように構成されたエアスケール２
９′は、図１１（Ａ）に示すように、ノズル４０が段差
Ｗ₁ に接近したことをセンサ５３が検知すると、検知信
号は光電スイッチアンプ５５で増幅されて電磁弁５６に
伝達され、電磁弁５６が開く。その結果、ノズル伸縮管
路５１の高圧エアがシリンダ４３に供給され、ノズル４
０が上昇し（図１１（Ｂ）参照）、段差Ｗ₁ を乗り越え
た後に電磁弁５６が閉じて、ノズル４０と板状体Ｗとの
ギャップが通常の計測時の状態に復帰する（図１１
（Ｃ）参照）。以上のようにして、平坦度計測中のエア
スケール２９′はノズル４０と段差Ｗ ₁ との衝突を回避
させることができる。

【００２８】また、制御・演算機構３１は、図２に示す
ように、制御装置３２と演算装置３３とを備えており、
制御装置３２はＸ軸パルスモータドライバ３４およびＹ
軸パルスモータドライバ３５を介してＸ軸パルスモータ
１６およびＹ軸パルスモータ２２を駆動制御する。ま
た、図１に示すように、前記制御装置３２は平坦度測定
の１サイクルを完了する毎に、板状体Ｗの搬入，搬出を
搬送ロボット３８に指令する。

【００２９】また、演算装置３３は、検出位置の数値と
記憶装置３６の数値とを比較して各測定点Ｐの平坦度誤
差を算出し、板状体Ｗの品質の合否を判定すると共に、
表示機構３７に伝達する。前記表示機構３７では、各測
定点Ｐの平坦度誤差を表によって表示、あるいは図１３
に示すように、各測定点の誤差値を拡大した立体的な図
形Ｆとして表現し、必要に応じてプリントアウトする。
前記表示機構３７は、具体的にはプリンタを用いること
ができるが、プリンタ以外にＣＲＴ上に表示するもので
あっても良い。

【００３０】次に、以上のように構成された板状体の平
坦度測定装置の動作を、図１および図２に基づいて説明
する。板状体Ｗの測定点Ｐは、図１２に示すように、Ｘ
軸方向に５ヵ所，Ｙ軸方向に５ヵ所とする。また搬送ロ
ボット３８の近傍の所定位置に、予め板状体Ｗを積載し
た搬送キャリア３９を配置する。

【００３１】前記搬送ロボット３８は、先端の吸着ハン
ド３８ａにより搬送キャリア３９に積載された板状体Ｗ
のうちから最上位の板状体Ｗを吸着して、テーブル１９
の角孔２４に挿入し、保持機構２５の上に載置する。保
持機構２５の上に載置されて位置決めされた板状体Ｗ
は、吸引孔２６（図７（Ｂ）参照）により保持機構２５
の上面に吸着、固定される。

【００３２】そして、各測定点Ｐにおける、板状体Ｗに
対して所定のギャップを保持しようとするノズル４０お
よび裏面側ノズル４０ａの位置を検出し、演算装置３３
にフィードバックし、演算処理する。演算装置３３によ
り算出された板状体Ｗの平坦度誤差は、品質の合否が判
定されると共に、表示機構３７よりプリントアウトされ
る。なお、ノズル４０をブロックゲージ２７の基準面２
７ａに合わせたときと板状体Ｗに合わせたときのノズル
４０の上下方向の移動量の差により板状体Ｗの板厚誤差
を知ることができる。

【００３３】板状体Ｗの各測定点Ｐの測定を終わると、
テーブル１９がスタート前の原点に復帰し、搬送ロボッ
ト３８は、平坦度測定を終了した板状体Ｗをテーブル１
９から搬出し、新たな板状体Ｗを保持機構２５に搬入す
る。

【００３４】

【発明の効果】本発明の板状体の平坦度測定装置は、以
上述べたように構成されているので、被測定物の板状体
が不透明ガラス砂地面であっても表面を傷付ける虞れが
なく、エア圧で歪み易い板状体であっても正確に計測
し、板状体表面に段差があっても衝突することなく、高
精度に且つ自動的に効率よく平坦度を測定することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の板状体の平坦度測定装置の斜視図であ
る。

【図２】平坦度測定装置の各機構の模式図とその制御系
統を示すブロック図である。

【図３】エアスケールの要部を示す縦断面図である。

【図４】エアスケールと制御・演算機構の電気接続を説
明する斜視図である。

【図５】板状体の両側に配設される一対エアスケールの
説明図である。

【図６】エアスケールが１個の場合に生じる課題を説明
するための概略図である。

【図７】図７は、保持機構を示す図であって、（Ａ）は
保持機構の要部を示す斜視図、（Ｂ）は図７（Ａ）の部
分拡大図である。

【図８】図８は、エアスケールの動きと保持機構の形状
との関係を示す概略図であって、（Ａ）は非接触面が湾
曲面に形成された保持機構を示す図、（Ｂ）は非接触面
が矩形形状に形成された保持機構を示す図である。

【図９】板状体の表面に段差がある場合の問題を説明す
る図面である。

【図１０】板状体の段差問題を解決したエアスケールの
構造を示す縦断面図である。

【図１１】ノズルが段差を避ける動作を説明する図であ
って、（Ａ）はノズルが段差に接近した状態の図、
（Ｂ）はノズルの上昇の図、（Ｃ）は段差通過の図であ
る。

【図１２】板状体の測定点を示す斜視図である。

【図１３】測定結果を立体的に表示した図である。

【図１４】従来例の板状体平坦度測定装置の概要を示す
斜視図である。

【符号の説明】

Ｗ板状体Ｗ₁ 段差Ｐ測定点１２Ｘ軸摺動レール１３サドル１６Ｘ軸パルスモータ１８Ｙ軸摺動レール１９テーブル２２Ｙ軸パルスモータ２５保持機構２５ａ接触面２５ｂ非接触面（湾曲面）２６吸引孔２７ａ基準面２８フレーム２９，２９′ エアスケール４０，４０ａノズル３０裏面側エアスケール３１制御・演算機構３２制御装置３３演算装置３６記憶装置３７表示機構３８搬送ロボット３９搬送キャリア４１電気マイクロメータ４３シリンダ４４ピストン４４ａピストン棒４８高圧エア管路４９背圧管路５０基準エア管路５１ノズル伸縮用管路５３センサ５６電磁弁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】板状体を着脱自在に固定する保持機構を
有するテーブルと、該テーブルをＸ軸およびＹ軸方向に
走行駆動するテーブル駆動機構と、シリンダ内に挿入さ
れるピストンの先端に流体を噴出するノズルを設け、該
ノズルより噴出する流体圧により前記板状体とのギャッ
プが一定となる前記ノズルの位置を計測する電気マイク
ロメータを設けたエアスケールと、前記テーブルのＸ軸
およびＹ軸位置に対する前記ノズル位置を検出して板状
体の平坦度を演算する制御・演算機構と、前記演算結果
を表示する表示機構とを備えたことを特徴とする板状体
の平坦度測定装置。
【請求項２】前記板状体の裏面側であって前記ノズル
に相対する位置に裏面側ノズルを備え、該裏面側ノズル
より噴出する前記ノズルと同一流体圧により前記板状体
の裏面とのギャップが一定となる前記裏面側ノズルの位
置を計測する電気マイクロメータを設けた裏面側エアス
ケールと、前記テーブルのＸ軸およびＹ軸位置に対する
該裏面側ノズル位置を検出して板状体の平坦度を演算す
る制御・演算機構とを設けたことを特徴とする請求項１
に記載の板状体の平坦度測定装置。
【請求項３】前記エアスケールに、あるいはまた前記
エアスケールおよび裏面側エアスケールに、前記シリン
ダに接続され前記ピストンを前記板状体の反対方向に押
圧する流体の管路と、前記板状体の表面の段差を検知し
て検知信号を発するセンサと、通常時に閉動作しかつ該
センサの検知信号により流体の管路を開く電磁弁とを設
けたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の
板状体の平坦度測定装置。
【請求項４】前記保持機構における前記板状体との接
触面は、平坦面に形成されると共に、負圧源に切り替え
弁を介して連通する吸引孔が設けられ、かつ前記非接触
面の形状は、前記接触面につながる湾曲面に形成されて
いることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか
に記載の板状体の平坦度測定装置。
【請求項５】前記テーブルの表面に、前記保持機構に
固定された板状体の表面の高さと対比することができる
基準面を設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項４
のいずれかに記載の板状体の平坦度測定装置。