JPH09126745A - ガラス基板の平面度測定装置 - Google Patents
ガラス基板の平面度測定装置Info
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- JPH09126745A JPH09126745A JP32617995A JP32617995A JPH09126745A JP H09126745 A JPH09126745 A JP H09126745A JP 32617995 A JP32617995 A JP 32617995A JP 32617995 A JP32617995 A JP 32617995A JP H09126745 A JPH09126745 A JP H09126745A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型化及び薄型化されたガラスの平面度の測
定中の破損を防止し、色むらの発生の検出を容易にする
とともに、測定歩留まりを大きくする省人省力的かつハ
ンドリング容易で経済的なガラス基板の平面度測定装置
を得る。 【解決手段】 ガラス基板２の表面の形状精度を測定す
る変位計１ａ，１ｂ，１ｃと、該基板の面に沿う縦方向
及び横方向に該変位計と該基板とを相対的に移動位置決
めする装置８，５，７，６を有するガラス基板の平面度
測定装置において、上面の開口部で該ガラス基板の四周
を支承する容器４と、該容器内部の空気圧力Ｐを該ガラ
ス基板の単位面積あたりの重量に等しくなるように制御
する空気圧力制御手段１０，１１，１２，１４，１５と
を具えたこと。
定中の破損を防止し、色むらの発生の検出を容易にする
とともに、測定歩留まりを大きくする省人省力的かつハ
ンドリング容易で経済的なガラス基板の平面度測定装置
を得る。 【解決手段】 ガラス基板２の表面の形状精度を測定す
る変位計１ａ，１ｂ，１ｃと、該基板の面に沿う縦方向
及び横方向に該変位計と該基板とを相対的に移動位置決
めする装置８，５，７，６を有するガラス基板の平面度
測定装置において、上面の開口部で該ガラス基板の四周
を支承する容器４と、該容器内部の空気圧力Ｐを該ガラ
ス基板の単位面積あたりの重量に等しくなるように制御
する空気圧力制御手段１０，１１，１２，１４，１５と
を具えたこと。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示用の大
型，薄型ガラス基板等の平面度測定装置に関する。
型，薄型ガラス基板等の平面度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガラス基板平面度測定装置では、
該ガラス基板自重による「たわみ」の影響を除去するた
め、該ガラス基板を鉛直面に吊り下げた状態で、変位計
を鉛直面内でガラス面に沿って移動させて該ガラス基板
の平面度を測定している。
該ガラス基板自重による「たわみ」の影響を除去するた
め、該ガラス基板を鉛直面に吊り下げた状態で、変位計
を鉛直面内でガラス面に沿って移動させて該ガラス基板
の平面度を測定している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年、液晶表示用のガ
ラス基板は、大型化，薄型化が進んできた。そのため、
従来、行っていたガラス基板を吊るして平面度を測定す
ることには、下記のような問題がある。 （１）基板の破損の点から、該基板のハンドリングを一
層困難とする。 （２）また、ガラス基板の大型化，薄型化は、一方では
ガラスの平面度確保を困難とし、他方では自重によるガ
ラスのたわみを大きくする。 （３）さらに、液晶表示性能との関係では、ガラスの平
面度は、液晶を封入するギャップ間隔（セルギャップと
いう）が、３〜５μｍであることから、該ガラスの平面
度不良は、そのセルギャップの不均一をもたらし、液晶
表示の色むら発生の原因となる。液晶封入時にプラステ
ィックビーズを散布して、セルギャップの均一化を図っ
ているが、ガラスの反りが大きすぎると、矯正不能とな
る。 上記のように、液晶用ガラス基板の大型化，薄型化に伴
い、そのガラス基板の平面度の確保が、ガラス基板の加
工上、近年、より一層厳しくなり、該平面度不良が液晶
表示基板の歩留まりに及ぼす影響が大きくなった。その
結果、ガラス基板の平面度測定装置の改善に対するニー
ズが大きくなったのである。ところで、前記したよう
に、従来のガラス基板平面度測定装置では、ガラス基板
を吊るして自重によるたわみを除去する方式なので、該
ガラス基板の大型化，薄型化に伴い、該ガラス基板のハ
ンドリングが極めて困難となってきたのである。
ラス基板は、大型化，薄型化が進んできた。そのため、
従来、行っていたガラス基板を吊るして平面度を測定す
ることには、下記のような問題がある。 （１）基板の破損の点から、該基板のハンドリングを一
層困難とする。 （２）また、ガラス基板の大型化，薄型化は、一方では
ガラスの平面度確保を困難とし、他方では自重によるガ
ラスのたわみを大きくする。 （３）さらに、液晶表示性能との関係では、ガラスの平
面度は、液晶を封入するギャップ間隔（セルギャップと
いう）が、３〜５μｍであることから、該ガラスの平面
度不良は、そのセルギャップの不均一をもたらし、液晶
表示の色むら発生の原因となる。液晶封入時にプラステ
ィックビーズを散布して、セルギャップの均一化を図っ
ているが、ガラスの反りが大きすぎると、矯正不能とな
る。 上記のように、液晶用ガラス基板の大型化，薄型化に伴
い、そのガラス基板の平面度の確保が、ガラス基板の加
工上、近年、より一層厳しくなり、該平面度不良が液晶
表示基板の歩留まりに及ぼす影響が大きくなった。その
結果、ガラス基板の平面度測定装置の改善に対するニー
ズが大きくなったのである。ところで、前記したよう
に、従来のガラス基板平面度測定装置では、ガラス基板
を吊るして自重によるたわみを除去する方式なので、該
ガラス基板の大型化，薄型化に伴い、該ガラス基板のハ
ンドリングが極めて困難となってきたのである。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みて提案され
たもので、大型化及び薄型化されたガラスの平面度の測
定中の破損を防止し、色むらの発生の検出を容易にする
とともに、測定歩留まりを大きくする省人省力的かつハ
ンドリング容易で経済的なガラス基板の平面度測定装置
を提供することを目的とする。
たもので、大型化及び薄型化されたガラスの平面度の測
定中の破損を防止し、色むらの発生の検出を容易にする
とともに、測定歩留まりを大きくする省人省力的かつハ
ンドリング容易で経済的なガラス基板の平面度測定装置
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、請求項１の発明は、ガラス基板表面の形状精
度を測定する変位計と、該基板の面に沿う縦方向及び横
方向に該変位計と該基板とを相対的に移動位置決めする
装置を有するガラス基板の平面度測定装置において、上
面の開口部で該ガラス基板の四周を支承する容器と、該
容器内部の空気圧力を該ガラス基板の単位面積あたりの
重量に等しくなるように制御する空気圧力制御手段とを
具えたことを特徴とする。
るために、請求項１の発明は、ガラス基板表面の形状精
度を測定する変位計と、該基板の面に沿う縦方向及び横
方向に該変位計と該基板とを相対的に移動位置決めする
装置を有するガラス基板の平面度測定装置において、上
面の開口部で該ガラス基板の四周を支承する容器と、該
容器内部の空気圧力を該ガラス基板の単位面積あたりの
重量に等しくなるように制御する空気圧力制御手段とを
具えたことを特徴とする。
【０００６】請求項２の発明は、請求項１において、そ
の空気圧力制御手段として、その容器の内面に付設さ
れ、先端部がその圧力空気を同容器内に導入する空気供
給孔を小間隙を存して掩うように延びるとともに、基端
部が同空気供給孔の近傍に固着された片持支持型短冊状
リードバネを具えたことを特徴とする。
の空気圧力制御手段として、その容器の内面に付設さ
れ、先端部がその圧力空気を同容器内に導入する空気供
給孔を小間隙を存して掩うように延びるとともに、基端
部が同空気供給孔の近傍に固着された片持支持型短冊状
リードバネを具えたことを特徴とする。
【０００７】請求項３の発明は、請求項２において、そ
の片持支持型短冊状リード弁をその容器内面に付設され
たねじの調整により撓ませて同リード弁の弾性及び空気
供給孔に対する小間隙を可変とする可変片持支持型短冊
状リード弁を具えたことを特徴とする。
の片持支持型短冊状リード弁をその容器内面に付設され
たねじの調整により撓ませて同リード弁の弾性及び空気
供給孔に対する小間隙を可変とする可変片持支持型短冊
状リード弁を具えたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図面について
説明すると、図１はそのガラス基板平面度測定装置の縦
断面図及びその全体構成を示すブロック図、図２は図１
の圧力制御方式の第２実施例を示す縦断面図、図３は図
２の構造を改良した空気圧力制御手段を示す縦断面図で
ある。
説明すると、図１はそのガラス基板平面度測定装置の縦
断面図及びその全体構成を示すブロック図、図２は図１
の圧力制御方式の第２実施例を示す縦断面図、図３は図
２の構造を改良した空気圧力制御手段を示す縦断面図で
ある。
【０００９】まず、図１において、複数の非接触変位計
１ａ，１ｂ，１ｃは、等間隔の１列となって被検水平ガ
ラス基板２の上面と対面して、水平移動体３に垂設され
ている。水平移動体３は、図示省略の駆動位置決め装置
により、矢印ａの縦方向及びこれに直交する横方向、す
なわち、該ガラス基板２の面に沿う２方向に駆動位置決
めされるようになっている。ガラス基板２は、水平長方
形薄箱型容器４の開口上に設置され、その四辺が該容器
４の長方形囲壁の上端の４辺で支承されている。
１ａ，１ｂ，１ｃは、等間隔の１列となって被検水平ガ
ラス基板２の上面と対面して、水平移動体３に垂設され
ている。水平移動体３は、図示省略の駆動位置決め装置
により、矢印ａの縦方向及びこれに直交する横方向、す
なわち、該ガラス基板２の面に沿う２方向に駆動位置決
めされるようになっている。ガラス基板２は、水平長方
形薄箱型容器４の開口上に設置され、その四辺が該容器
４の長方形囲壁の上端の４辺で支承されている。
【００１０】このような装置において、ガラス基板２の
容器４への設置は、図示省略のローディング装置によっ
て行われ、プッシャー５で容器４に対して位置決めされ
る。プッシャー５は、パッド６，板バネ７及びエアシリ
ンダー８で構成され、エアシリンダー８が矢印ｂ方向に
動くと、ガラス基板２の後端面を押して、容器４の上端
開口の内側隅切り形成された基準面９にガラス基板２を
押しつけて位置決めする。
容器４への設置は、図示省略のローディング装置によっ
て行われ、プッシャー５で容器４に対して位置決めされ
る。プッシャー５は、パッド６，板バネ７及びエアシリ
ンダー８で構成され、エアシリンダー８が矢印ｂ方向に
動くと、ガラス基板２の後端面を押して、容器４の上端
開口の内側隅切り形成された基準面９にガラス基板２を
押しつけて位置決めする。
【００１１】容器４とガラス基板２で囲まれた偏平長方
形空間１９には、空気圧力源１０，流量制御弁１１，供
給孔１２を介して圧力空気が供給される。また、空間１
９の空気の一部は、容器４の側壁に設けたリーク孔１３
から流出するようになっている。空間１９の圧力は、圧
力センサー１４で検出され、その信号はコントローラー
１５に伝達される。そうすると、コントローラー１５
は、圧力センサー１４の信号を基に、偏平長方形空間１
９の圧力を設定圧力Ｐに設定するように、流量制御弁１
１の流量を制御する。ここで、設定圧力Ｐは、該ガラス
基板の単位面積当たりの重量に等しく設定する。非接触
変位計１ａ，１ｂ，１ｃの出力は、それぞれ演算装置１
６に入力され、演算装置１６は、移動体３の運動の真直
度データ１７と、ガラス基板２の表面の真直度データ１
８を演算し出力する。真直度データ１８は、ガラス基板
表面の一部（線）の真直度データであり、これを重ね
て、すなわち線のデータを複数得て、面の真直度、すな
わち平面度データとする。
形空間１９には、空気圧力源１０，流量制御弁１１，供
給孔１２を介して圧力空気が供給される。また、空間１
９の空気の一部は、容器４の側壁に設けたリーク孔１３
から流出するようになっている。空間１９の圧力は、圧
力センサー１４で検出され、その信号はコントローラー
１５に伝達される。そうすると、コントローラー１５
は、圧力センサー１４の信号を基に、偏平長方形空間１
９の圧力を設定圧力Ｐに設定するように、流量制御弁１
１の流量を制御する。ここで、設定圧力Ｐは、該ガラス
基板の単位面積当たりの重量に等しく設定する。非接触
変位計１ａ，１ｂ，１ｃの出力は、それぞれ演算装置１
６に入力され、演算装置１６は、移動体３の運動の真直
度データ１７と、ガラス基板２の表面の真直度データ１
８を演算し出力する。真直度データ１８は、ガラス基板
表面の一部（線）の真直度データであり、これを重ね
て、すなわち線のデータを複数得て、面の真直度、すな
わち平面度データとする。
【００１２】図１では、容器４の内圧の制御に圧力セン
サー，流量制御弁及びコントローラーを用いたが、同図
とは異なる該圧力制御方式を採用することもできる。す
なわち、図２に示す第２実施例においては、図１と同一
の符号はそれぞれ同図と同一の部材を示し、空気圧力源
１０から供給される圧力空気は、供給孔１２を介して容
器４に入るが、その際、容器４の内面壁と可動弁２０と
の間のギャップδを通して、空間１９に到達する。可動
弁２０は、２枚の平行な板バネ２１，２２で容器４の底
面の突起に片持ち梁状に支承されている。ここで、ギャ
ップδの大きさは、空間１９の圧力Ｐと空気圧力源の供
給圧力Ｐ0 との差圧で決まり、圧力Ｐが一定となるよう
に機械的な自己制御機能を有している。その際、上下１
対の２枚の平行な板バネの作用で、可動弁２０の先端は
水平姿勢で上下方向へ変位することで供給孔１２を通る
空気量を制御する。
サー，流量制御弁及びコントローラーを用いたが、同図
とは異なる該圧力制御方式を採用することもできる。す
なわち、図２に示す第２実施例においては、図１と同一
の符号はそれぞれ同図と同一の部材を示し、空気圧力源
１０から供給される圧力空気は、供給孔１２を介して容
器４に入るが、その際、容器４の内面壁と可動弁２０と
の間のギャップδを通して、空間１９に到達する。可動
弁２０は、２枚の平行な板バネ２１，２２で容器４の底
面の突起に片持ち梁状に支承されている。ここで、ギャ
ップδの大きさは、空間１９の圧力Ｐと空気圧力源の供
給圧力Ｐ0 との差圧で決まり、圧力Ｐが一定となるよう
に機械的な自己制御機能を有している。その際、上下１
対の２枚の平行な板バネの作用で、可動弁２０の先端は
水平姿勢で上下方向へ変位することで供給孔１２を通る
空気量を制御する。
【００１３】したがって、空気圧力Ｐが低下すると、差
圧（Ｐ0 −Ｐ）が大きくなる。その結果、板バネ２１，
２２がたわみ、可動弁２０がギャップδを大きくする方
向に移動する。ギャップδが大きくなると、圧力空気の
容器４への流入量が増加して、圧力Ｐが大きくなる。逆
に、圧力Ｐが大きくなると、ギャップδが小さくなり、
容器４への圧力空気の供給流量が減少するので、該圧力
が低下する。
圧（Ｐ0 −Ｐ）が大きくなる。その結果、板バネ２１，
２２がたわみ、可動弁２０がギャップδを大きくする方
向に移動する。ギャップδが大きくなると、圧力空気の
容器４への流入量が増加して、圧力Ｐが大きくなる。逆
に、圧力Ｐが大きくなると、ギャップδが小さくなり、
容器４への圧力空気の供給流量が減少するので、該圧力
が低下する。
【００１４】このような第２実施例によれば、構造簡単
かつ低コストのリード弁が第１実施例における圧力セン
サー１４，コントローラー１５及び流量制御弁１１の協
働作用と同一の作用を行うことができるので非常に経済
的である。
かつ低コストのリード弁が第１実施例における圧力セン
サー１４，コントローラー１５及び流量制御弁１１の協
働作用と同一の作用を行うことができるので非常に経済
的である。
【００１５】なお、板バネは上下１対の平行板バネの代
わりに適宜弾性力を有する１枚の板バネとすることもで
きる。さらに、図３に示すように、板バネの基端部に調
節ネジを付設し、同調節ネジの調節により、板バネの弾
性及び又はすきまδを可変とすることもできる。すなわ
ち、同図（Ａ）は容器の部分水平断面図，同図（Ｂ）は
同図（Ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図，同図（Ｃ）は同図
（Ａ）のＣ−Ｃ矢視断面図，同図（Ｄ）は同図（Ａ）の
平行板バネ及びその取付け部の変形例を示す部分斜視図
である。上図において、図２と同一の符号はそれぞれ同
図と同一の部材を示し、２１，２１は側壁４ｗの内面に
沿って前後方向に延びる左右１対の平行板バネであり、
平行板バネ２１，２１の後端部，前端部はそれぞれ同一
板厚を有する後部，前部スペーサー２２ｒ，２２ｆによ
って固着されている。２４は側壁４ｗに穿設されたネジ
孔４ｓに螺合する左右方向のロックボルトであって、そ
の右端には六角形のボルトヘッド２４ｈが突設され、そ
のほぼ全長にわたっておねじが刻設され、その左端の小
径部には環状溝２４ｄが形成され、ここに嵌着されたＣ
字型リテーナー２４ｃにより、後部スペーサー２２ｒの
透孔に嵌合した状態で相対的に回動自在であるが、同透
孔からは右方へ抜けないように支持されている。２５は
ロックボルト２４に螺合するロックナットである。ここ
で、２３は側壁４ｗの内面に折り曲げ端が固着された上
下１対の水平長方形平行ガイド２３ｂを有するコ字型ガ
イドであり、コ字型ガイド２３は、図３（Ａ），（Ｃ）
及び（Ｄ）に示すように、右端か側壁４ｗの内面に固着
され、左方に平行に突出する上下１対の平行水平ガイド
板２３ｐ，２３ｐの間に平行板バネ２１の基端部の後部
スペーサー２２ｒが左右方向に平行移動可能に緩く内挿
されている。このように、後部スペーサー２２ｒはロッ
クボルト２４の左端小径部に緩く嵌合した状態でＣ字型
リテーナー２４ｃにより抜け止めが施されているが、Ｃ
字型リテーナー２４ｃの代わりに同図（Ｃ），（Ｄ）に
示すように、ストッパーボルト２６をロックボルト２４
の先端小径部の中心ねじ孔に螺着することにより、抜け
止めとすることもできる。このような構造によれば、ロ
ックボルト２４の六角頭であるボルトヘッド２４ｈをボ
ックススパナーを介して時計方向〜反時計方向に回動す
ると、ロックボルト２４は軸方向へ移動することができ
る。それ故、ここで、ロックナット２５を締めると、ロ
ックボルト２４はその位置で側壁４ｗにロックされるこ
とになり、平行板バネ２１の後部スペーサー２２ｒと、
空気圧力源１０からの圧力空気供給孔１２の開口端との
すきまδを所望の大きさに拡縮することができるのであ
る。このような構造によれば、容器４の上端開口にガラ
ス基板を嵌めたままで、容器内空気圧力を変更及び微細
調整することができるから、非常に便利である。
わりに適宜弾性力を有する１枚の板バネとすることもで
きる。さらに、図３に示すように、板バネの基端部に調
節ネジを付設し、同調節ネジの調節により、板バネの弾
性及び又はすきまδを可変とすることもできる。すなわ
ち、同図（Ａ）は容器の部分水平断面図，同図（Ｂ）は
同図（Ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図，同図（Ｃ）は同図
（Ａ）のＣ−Ｃ矢視断面図，同図（Ｄ）は同図（Ａ）の
平行板バネ及びその取付け部の変形例を示す部分斜視図
である。上図において、図２と同一の符号はそれぞれ同
図と同一の部材を示し、２１，２１は側壁４ｗの内面に
沿って前後方向に延びる左右１対の平行板バネであり、
平行板バネ２１，２１の後端部，前端部はそれぞれ同一
板厚を有する後部，前部スペーサー２２ｒ，２２ｆによ
って固着されている。２４は側壁４ｗに穿設されたネジ
孔４ｓに螺合する左右方向のロックボルトであって、そ
の右端には六角形のボルトヘッド２４ｈが突設され、そ
のほぼ全長にわたっておねじが刻設され、その左端の小
径部には環状溝２４ｄが形成され、ここに嵌着されたＣ
字型リテーナー２４ｃにより、後部スペーサー２２ｒの
透孔に嵌合した状態で相対的に回動自在であるが、同透
孔からは右方へ抜けないように支持されている。２５は
ロックボルト２４に螺合するロックナットである。ここ
で、２３は側壁４ｗの内面に折り曲げ端が固着された上
下１対の水平長方形平行ガイド２３ｂを有するコ字型ガ
イドであり、コ字型ガイド２３は、図３（Ａ），（Ｃ）
及び（Ｄ）に示すように、右端か側壁４ｗの内面に固着
され、左方に平行に突出する上下１対の平行水平ガイド
板２３ｐ，２３ｐの間に平行板バネ２１の基端部の後部
スペーサー２２ｒが左右方向に平行移動可能に緩く内挿
されている。このように、後部スペーサー２２ｒはロッ
クボルト２４の左端小径部に緩く嵌合した状態でＣ字型
リテーナー２４ｃにより抜け止めが施されているが、Ｃ
字型リテーナー２４ｃの代わりに同図（Ｃ），（Ｄ）に
示すように、ストッパーボルト２６をロックボルト２４
の先端小径部の中心ねじ孔に螺着することにより、抜け
止めとすることもできる。このような構造によれば、ロ
ックボルト２４の六角頭であるボルトヘッド２４ｈをボ
ックススパナーを介して時計方向〜反時計方向に回動す
ると、ロックボルト２４は軸方向へ移動することができ
る。それ故、ここで、ロックナット２５を締めると、ロ
ックボルト２４はその位置で側壁４ｗにロックされるこ
とになり、平行板バネ２１の後部スペーサー２２ｒと、
空気圧力源１０からの圧力空気供給孔１２の開口端との
すきまδを所望の大きさに拡縮することができるのであ
る。このような構造によれば、容器４の上端開口にガラ
ス基板を嵌めたままで、容器内空気圧力を変更及び微細
調整することができるから、非常に便利である。
【００１６】
【発明の効果】このような本発明のガラス基板平面度測
定装置によれば、ガラス基板の自重によるたわみを打ち
消すように、ガラス基板の下面に空気圧力を作用させ
る。その結果、基板の自重による「たわみ」が平面度測
定において影響を与えることがなくなるので、平面度測
定時に該基板を水平に設置できる。それによって、下記
の２つの効果が奏せられる。 （１）ガラス基板の自重による「たわみ」を除去するた
めに、ガラス基板を吊るすことが不要となり、ガラス基
板のハンドリングが容易となる。その結果、機構の簡素
な安価な平面度測定装置となる。 （２）ガラス基板の自重による「たわみ」がゼロとなる
ので、ガラス基板の平面殿測定評価が適切に行われる。
その結果、ガラス基板の平面度不良による液晶表示不良
原因を、ガラス基板の段階で除去できるので、該液晶表
示の歩留まりを高めることができる。
定装置によれば、ガラス基板の自重によるたわみを打ち
消すように、ガラス基板の下面に空気圧力を作用させ
る。その結果、基板の自重による「たわみ」が平面度測
定において影響を与えることがなくなるので、平面度測
定時に該基板を水平に設置できる。それによって、下記
の２つの効果が奏せられる。 （１）ガラス基板の自重による「たわみ」を除去するた
めに、ガラス基板を吊るすことが不要となり、ガラス基
板のハンドリングが容易となる。その結果、機構の簡素
な安価な平面度測定装置となる。 （２）ガラス基板の自重による「たわみ」がゼロとなる
ので、ガラス基板の平面殿測定評価が適切に行われる。
その結果、ガラス基板の平面度不良による液晶表示不良
原因を、ガラス基板の段階で除去できるので、該液晶表
示の歩留まりを高めることができる。
【００１７】要するに請求項１の発明によれば、ガラス
基板表面の形状精度を測定する変位計と、該基板の面に
沿う縦方向及び横方向に該変位計と該基板とを相対的に
移動位置決めする装置を有するガラス基板の平面度測定
装置において、上面の開口部で該ガラス基板の四周を支
承する容器と、該容器内部の空気圧力を該ガラス基板の
単位面積あたりの重量に等しくなるように制御する空気
圧力制御手段とを具えたことにより、大型化及び薄型化
されたガラスの平面度の測定中の破損を防止し、色むら
の発生の検出を容易にするとともに、測定歩留まりを大
きくする省人省力的かつハンドリング容易で経済的なガ
ラス基板の平面度測定装置を得るから、本発明は産業上
極めて有益なものである。
基板表面の形状精度を測定する変位計と、該基板の面に
沿う縦方向及び横方向に該変位計と該基板とを相対的に
移動位置決めする装置を有するガラス基板の平面度測定
装置において、上面の開口部で該ガラス基板の四周を支
承する容器と、該容器内部の空気圧力を該ガラス基板の
単位面積あたりの重量に等しくなるように制御する空気
圧力制御手段とを具えたことにより、大型化及び薄型化
されたガラスの平面度の測定中の破損を防止し、色むら
の発生の検出を容易にするとともに、測定歩留まりを大
きくする省人省力的かつハンドリング容易で経済的なガ
ラス基板の平面度測定装置を得るから、本発明は産業上
極めて有益なものである。
【００１８】請求項２の発明によれば、請求項１におい
て、その空気圧力制御手段として、その容器の内面に付
設され、先端部がその圧力空気を同容器内に導入する空
気供給孔を小間隙を存して掩うように延びるとともに、
基端部が同空気供給孔の近傍に固着された片持支持型短
冊状リードバネを具えたことにより、請求項１の装置を
低コストで製作することができるので、本発明は産業上
極めて有益なものである。
て、その空気圧力制御手段として、その容器の内面に付
設され、先端部がその圧力空気を同容器内に導入する空
気供給孔を小間隙を存して掩うように延びるとともに、
基端部が同空気供給孔の近傍に固着された片持支持型短
冊状リードバネを具えたことにより、請求項１の装置を
低コストで製作することができるので、本発明は産業上
極めて有益なものである。
【００１９】請求項３の発明によれば、請求項２におい
て、その片持支持型短冊状リード弁をその容器内面に付
設されたねじの調整により撓ませて同リード弁の弾性及
び空気供給孔に対する小間隙を可変とする可変片持支持
型短冊状リード弁を具えたことにより、請求項２の装置
の制御圧力を簡単な構造で可変とすることができるの
で、本発明は産業上極めて有益なものである。
て、その片持支持型短冊状リード弁をその容器内面に付
設されたねじの調整により撓ませて同リード弁の弾性及
び空気供給孔に対する小間隙を可変とする可変片持支持
型短冊状リード弁を具えたことにより、請求項２の装置
の制御圧力を簡単な構造で可変とすることができるの
で、本発明は産業上極めて有益なものである。
【図１】本発明の第１実施例を示す縦断面図的ブロック
図である。
図である。
【図２】図１の水平長方形薄箱型容器に好適な圧力空気
圧調整用可動弁を示す縦断面図である。
圧調整用可動弁を示す縦断面図である。
【図３】図２の可動弁とは異なる空気圧力調整用可動弁
を示す同じく縦断面図であり、同図（Ａ）は容器の部分
水平断面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のＢ−Ｂ矢視断面
図、同図（Ｃ）は同図（Ａ）のＣ−Ｃ矢視断面図、同図
（Ｄ）は同図（Ａ）の平行板バネ及びその可動取付部の
変形例を示す部分斜視図である。
を示す同じく縦断面図であり、同図（Ａ）は容器の部分
水平断面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のＢ−Ｂ矢視断面
図、同図（Ｃ）は同図（Ａ）のＣ−Ｃ矢視断面図、同図
（Ｄ）は同図（Ａ）の平行板バネ及びその可動取付部の
変形例を示す部分斜視図である。
１ａ，１ｂ，１ｃ 非接触変位計 ２ 水平ガラス基板 ３ 水平移動体 ４ 容器 ４ｓ ねじ孔 ４ｗ 容器側壁 ５ プッシャー ６ パッド ７ 板バネ ８ エアシリンダー ９ 基準面 １０ 空気圧力源 １１ 流量制御弁 １２ 供給孔 １３ リーク孔 １４ 圧力センサー １５ コントローラー １６ 演算装置 １７ 真直度データ １８ 真直度データ １９ 空間 ２０ 可動弁 ２１ 平行板バネ ２２ｆ 前部スペーサー ２２ｒ 後部スペーサー ２３ コ字型ガイド ２３ｐ 平行水平ガイド板 ２４ ロックボルト ２４ｄ 環状溝 ２４ｃ Ｃ字型リテーナー ２４ｈ ボルトヘッド ２５ ロックナット ２６ ストッパーボルト Ｐ 空気圧力 Ｐ0 設定（空気）圧力 δ すきま
Claims (3)
- 【請求項１】 ガラス基板表面の形状精度を測定する変
位計と、該基板の面に沿う縦方向及び横方向に該変位計
と該基板とを相対的に移動位置決めする装置を有するガ
ラス基板の平面度測定装置において、上面の開口部で該
ガラス基板の四周を支承する容器と、該容器内部の空気
圧力を該ガラス基板の単位面積あたりの重量に等しくな
るように制御する空気圧力制御手段とを具えたことを特
徴とするガラス基板の平面度測定装置。 - 【請求項２】 請求項１において、その空気圧力制御手
段として、その容器の内面に付設され、先端部がその圧
力空気を同容器内に導入する空気供給孔を小間隙を存し
て掩うように延びるとともに、基端部が同空気供給孔の
近傍に固着された片持支持型短冊状リードバネを具えた
ことを特徴とするガラス基板の平面度測定装置。 - 【請求項３】 請求項２において、その片持支持型短冊
状リード弁をその容器内面に付設されたねじの調整によ
り撓ませて同リード弁の弾性及び空気供給孔に対する小
間隙を可変とする可変片持支持型短冊状リード弁を具え
たことを特徴とするガラス基板の平面度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32617995A JPH09126745A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | ガラス基板の平面度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32617995A JPH09126745A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | ガラス基板の平面度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09126745A true JPH09126745A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=18184929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32617995A Withdrawn JPH09126745A (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | ガラス基板の平面度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09126745A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008501116A (ja) * | 2004-05-28 | 2008-01-17 | ダプロックス アクチボラゲット | 移動するストリップの層厚を測定する装置及び方法 |
| JP2008139268A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Toshiba Solutions Corp | 表面形状測定装置 |
| JP2014106158A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-09 | Canon Inc | 測定装置、および物品の製造方法 |
| CN104833457A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-08-12 | 江苏速力达精密科技有限公司 | 一种气密检测装置 |
| CN108759734A (zh) * | 2018-03-27 | 2018-11-06 | 重庆鸥能建筑劳务有限公司 | 用于玻璃的检测装置 |
| CN109099881A (zh) * | 2018-10-23 | 2018-12-28 | 安徽深泽电子股份有限公司 | 一种研发pcb板用翘曲度检测装置 |
| CN113155112A (zh) * | 2021-04-20 | 2021-07-23 | 江西四季景观建设有限公司 | 一种房建工程勘察测量装置 |
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| CN114910022A (zh) * | 2022-07-15 | 2022-08-16 | 广东工业大学 | 一种不规则物体的角度测量装置 |
| CN116379976A (zh) * | 2023-05-31 | 2023-07-04 | 山东欧普科贸有限公司 | 一种家具加工用木板表面平整检测装置 |
| CN118149755A (zh) * | 2024-05-11 | 2024-06-07 | 福建省闽侯县建腾工艺品有限公司 | 一种玻璃表面平整度检测器 |
| CN118670337A (zh) * | 2024-08-16 | 2024-09-20 | 济宁海富光学科技有限公司 | 一种手机盖板玻璃平整度检测装置及其检测方法 |
-
1995
- 1995-10-31 JP JP32617995A patent/JPH09126745A/ja not_active Withdrawn
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030107 |