JPH11201748A - プレート平坦度測定装置 - Google Patents
プレート平坦度測定装置Info
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- JPH11201748A JPH11201748A JP1808198A JP1808198A JPH11201748A JP H11201748 A JPH11201748 A JP H11201748A JP 1808198 A JP1808198 A JP 1808198A JP 1808198 A JP1808198 A JP 1808198A JP H11201748 A JPH11201748 A JP H11201748A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 無重力に近い状態でプレートの平坦度を測定
でき、真の測定データを得ることのできるプレート平坦
度測定装置を提供する。 【解決手段】 装置上面に設けたスライドレールを水平
に移動するスライドヘッドに搭載されプレート表面の平
坦度を測定する下向きの測定器と、装置上面でプレート
を三点支持する３本のプレート支持ピンと、この３本の
プレート支持ピンで三点支持されるプレートの重力によ
るたわみを除去する装置上面に立設した複数の上下動可
能なアクチュエータと、このアクチュエータの押し上げ
力を任意に調整する装置内部に設けた圧力調整部とより
成るプレート平坦度測定装置。
でき、真の測定データを得ることのできるプレート平坦
度測定装置を提供する。 【解決手段】 装置上面に設けたスライドレールを水平
に移動するスライドヘッドに搭載されプレート表面の平
坦度を測定する下向きの測定器と、装置上面でプレート
を三点支持する３本のプレート支持ピンと、この３本の
プレート支持ピンで三点支持されるプレートの重力によ
るたわみを除去する装置上面に立設した複数の上下動可
能なアクチュエータと、このアクチュエータの押し上げ
力を任意に調整する装置内部に設けた圧力調整部とより
成るプレート平坦度測定装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
などに使用されるセラミックプレートや液晶ガラスなど
のプレートの平坦度を測定する装置に関するものであ
る。
などに使用されるセラミックプレートや液晶ガラスなど
のプレートの平坦度を測定する装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、プレートの平坦度を測定する場
合、厚さが大のプレートは、重力の影響によるたわみが
少ないため、図４に示すようにプレート平坦度測定装置
１の上面でプレート支持ピン２によりプレート３を三点
支持で支え、プレート平坦度測定装置１上に設けたスラ
イドレール４を水平に移動するスライドヘッド５の正面
に設けた下向きのレーザー変位計６により前記プレート
３の平坦度を測定していた。また厚さが薄いプレート
や、高い測定精度が要求されるプレートは、図５に示す
ような重力の影響によるたわみδを避けるため、図６に
示すようにプレート平坦度測定装置１の上面で縦型測定
用プレートガイド７によりプレート３を縦に固定し、プ
レート平坦度測定装置１上に設けたスライドレール４を
水平に移動するスライドヘッド５の正面に設けた横向き
のレーザー変位計６′により前記プレート３の平坦度を
測定していた。
合、厚さが大のプレートは、重力の影響によるたわみが
少ないため、図４に示すようにプレート平坦度測定装置
１の上面でプレート支持ピン２によりプレート３を三点
支持で支え、プレート平坦度測定装置１上に設けたスラ
イドレール４を水平に移動するスライドヘッド５の正面
に設けた下向きのレーザー変位計６により前記プレート
３の平坦度を測定していた。また厚さが薄いプレート
や、高い測定精度が要求されるプレートは、図５に示す
ような重力の影響によるたわみδを避けるため、図６に
示すようにプレート平坦度測定装置１の上面で縦型測定
用プレートガイド７によりプレート３を縦に固定し、プ
レート平坦度測定装置１上に設けたスライドレール４を
水平に移動するスライドヘッド５の正面に設けた横向き
のレーザー変位計６′により前記プレート３の平坦度を
測定していた。
【０００３】ところで、上記従来の三点支持方式による
プレート平坦度測定装置は、薄いプレートや高精度を要
求されるプレートの測定には、前述のように重力の影響
が大きすぎて使用できなかった。また、縦型支持方式に
よるプレート平坦度測定装置は、プレートを直角に保つ
機構が複雑になる。しかも非常に薄いプレートの場合、
縦型支持方式のプレート平坦度測定装置でも重力の影響
を受けてしまい、プレートに曲がりが発生する。
プレート平坦度測定装置は、薄いプレートや高精度を要
求されるプレートの測定には、前述のように重力の影響
が大きすぎて使用できなかった。また、縦型支持方式に
よるプレート平坦度測定装置は、プレートを直角に保つ
機構が複雑になる。しかも非常に薄いプレートの場合、
縦型支持方式のプレート平坦度測定装置でも重力の影響
を受けてしまい、プレートに曲がりが発生する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、無重
力に近い状態でプレートの平坦度を測定でき、真の測定
データを得ることのできるプレート平坦度測定装置を提
供しようとするものである。
力に近い状態でプレートの平坦度を測定でき、真の測定
データを得ることのできるプレート平坦度測定装置を提
供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のプレート平坦度測定装置は、装置上面に設け
たスライドレールを水平に移動するスライドヘッドに搭
載されプレート表面の平坦度を測定する下向きの測定器
と、装置上面でプレートを三点支持する３本のプレート
支持ピンと、この３本のプレート支持ピンで三点支持さ
れるプレートの重力によるたわみを除去する装置上面に
立設した複数の上下動可能なアクチュエータと、このア
クチュエータの押し上げ力を任意に調整する装置内部に
設けた圧力調整部とより成るものである。
の本発明のプレート平坦度測定装置は、装置上面に設け
たスライドレールを水平に移動するスライドヘッドに搭
載されプレート表面の平坦度を測定する下向きの測定器
と、装置上面でプレートを三点支持する３本のプレート
支持ピンと、この３本のプレート支持ピンで三点支持さ
れるプレートの重力によるたわみを除去する装置上面に
立設した複数の上下動可能なアクチュエータと、このア
クチュエータの押し上げ力を任意に調整する装置内部に
設けた圧力調整部とより成るものである。
【０００６】上記のプレート平坦度測定装置において、
プレート表面の平坦度を測定する下向きの測定器は、レ
ーザー変位計であることが好ましい。
プレート表面の平坦度を測定する下向きの測定器は、レ
ーザー変位計であることが好ましい。
【０００７】上記のプレート平坦度測定装置において、
上下動可能なアクチュエータは、空気圧駆動のシリンダ
であることが好ましい。
上下動可能なアクチュエータは、空気圧駆動のシリンダ
であることが好ましい。
【０００８】上記のプレート平坦度測定装置において、
上下動可能なアクチュエータの先端に、押し上げ力を測
定できるひずみゲージ式変位計が備わっていることが好
ましい。
上下動可能なアクチュエータの先端に、押し上げ力を測
定できるひずみゲージ式変位計が備わっていることが好
ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明のプレート平坦度測定装置
の実施形態を図１によって説明する。１０はプレート平
坦度測定装置で、上面にプレート３を三点支持する３本
のプレート支持ピン２が左右両側に設けられ、その後側
で長手方向にスライドレール４が水平に架設され、この
スライドレール４にスライドヘッド５が水平移動可能に
設けられ、このスライドヘッド５の正面にプレート３の
表面の平坦度を測定する下向きの測定器、本例では下向
きのレーザー変位計６が搭載されている。プレート３を
三点支持する３本の左右両側のプレート支持ピン２間の
装置上面には、プレート３の重力によるたわみを除去す
る複数の、本例では１０本の上下動可能なアクチュエー
タとして、空気圧駆動のシリンダ１１がプレート３の荷
重を均一に受けられるように配列立設され、このシリン
ダ１１の押し上げ力を任意に調整する圧力調整部１２が
装置内部に設けられている。この圧力調整部１２は、図
２に示すように複数のシリンダ１１の配管１３に連なる
本管１４の途中に設けられたバルブ１５を開き、供給さ
れる空気中の水分や塵埃をエアーフィルター１６で除去
した後、レギュレータ１７によって任意に複数のシリン
ダ１１の空気圧力を同じ圧力に設定するものである。図
１中１８は、操作盤である。
の実施形態を図１によって説明する。１０はプレート平
坦度測定装置で、上面にプレート３を三点支持する３本
のプレート支持ピン２が左右両側に設けられ、その後側
で長手方向にスライドレール４が水平に架設され、この
スライドレール４にスライドヘッド５が水平移動可能に
設けられ、このスライドヘッド５の正面にプレート３の
表面の平坦度を測定する下向きの測定器、本例では下向
きのレーザー変位計６が搭載されている。プレート３を
三点支持する３本の左右両側のプレート支持ピン２間の
装置上面には、プレート３の重力によるたわみを除去す
る複数の、本例では１０本の上下動可能なアクチュエー
タとして、空気圧駆動のシリンダ１１がプレート３の荷
重を均一に受けられるように配列立設され、このシリン
ダ１１の押し上げ力を任意に調整する圧力調整部１２が
装置内部に設けられている。この圧力調整部１２は、図
２に示すように複数のシリンダ１１の配管１３に連なる
本管１４の途中に設けられたバルブ１５を開き、供給さ
れる空気中の水分や塵埃をエアーフィルター１６で除去
した後、レギュレータ１７によって任意に複数のシリン
ダ１１の空気圧力を同じ圧力に設定するものである。図
１中１８は、操作盤である。
【００１０】上記のように構成された実施形態のプレー
ト平坦度測定装置によりプレートの平坦度を測定するに
は、図１に示されるように３本のプレート支持ピン２の
正規の位置に長方形のプレート３を載せて支持した後、
１０本のシリンダ１１を空気圧駆動してピストンロッド
を上昇し、プレート３の重力を均一に受け、重力による
たわみをほぼ解消する。即ち、プレート支持ピン２が受
ける力を図３に示すようにＨ1 ，Ｈ2 とし、シリンダ１
１の押し上げ力をＲ0 とすると、プレート３の重量Ｍと
バランスした支持状態は、Ｍ＝２Ｈ1 ＋１０Ｒ0 ＋Ｈ2
となる。３本のプレート支持ピン２に加わる重さＨ0 と
すると、Ｈ0 ＝２Ｈ1 ＋Ｈ2 であり、Ｈ0 はＭより非常
に小さいＨ0 ＜＜Ｍとなるように圧力調整部１２におけ
るレギュレータ１５を操作し、シリンダ１１の押し上げ
力Ｒ0 の力を調整し、全てのシリンダ１１の合計力１０
Ｒ0 をプレート３の重量Ｍよりも僅かに小さな力に設定
する。従って、プレート３の残りの重量は非常に小さく
なるが、この小さな荷重が３本のプレート支持ピン２に
加わるので、重力によるたわみがほぼ除去されると共に
プレート３が動き出すことがない。このような状態で、
図１に示されるレーザー変位計６が搭載されたスライド
ヘッド５をスライドレール４に沿って水平移動させ、プ
レート３との距離を測定することにより、重力によるた
わみの無い状態でプレート３の正しい平面度を測定でき
る。
ト平坦度測定装置によりプレートの平坦度を測定するに
は、図１に示されるように３本のプレート支持ピン２の
正規の位置に長方形のプレート３を載せて支持した後、
１０本のシリンダ１１を空気圧駆動してピストンロッド
を上昇し、プレート３の重力を均一に受け、重力による
たわみをほぼ解消する。即ち、プレート支持ピン２が受
ける力を図３に示すようにＨ1 ，Ｈ2 とし、シリンダ１
１の押し上げ力をＲ0 とすると、プレート３の重量Ｍと
バランスした支持状態は、Ｍ＝２Ｈ1 ＋１０Ｒ0 ＋Ｈ2
となる。３本のプレート支持ピン２に加わる重さＨ0 と
すると、Ｈ0 ＝２Ｈ1 ＋Ｈ2 であり、Ｈ0 はＭより非常
に小さいＨ0 ＜＜Ｍとなるように圧力調整部１２におけ
るレギュレータ１５を操作し、シリンダ１１の押し上げ
力Ｒ0 の力を調整し、全てのシリンダ１１の合計力１０
Ｒ0 をプレート３の重量Ｍよりも僅かに小さな力に設定
する。従って、プレート３の残りの重量は非常に小さく
なるが、この小さな荷重が３本のプレート支持ピン２に
加わるので、重力によるたわみがほぼ除去されると共に
プレート３が動き出すことがない。このような状態で、
図１に示されるレーザー変位計６が搭載されたスライド
ヘッド５をスライドレール４に沿って水平移動させ、プ
レート３との距離を測定することにより、重力によるた
わみの無い状態でプレート３の正しい平面度を測定でき
る。
【００１１】尚、上記実施形態では長方形のプレート３
の平坦度を測定したが、円形、正方形等のプレートでも
同じように測定できる。その場合、被測定プレートの形
状に合わせて、各シリンダ１１を、シリンダ１本が支え
る面積が均等になるように配置し、さらに各シリンダ１
１に均等な押し上げ力を発生させれば、上記実施形態と
同様に、重力によるたわみの無い状態でプレート３の正
しい平坦度を測定できる。
の平坦度を測定したが、円形、正方形等のプレートでも
同じように測定できる。その場合、被測定プレートの形
状に合わせて、各シリンダ１１を、シリンダ１本が支え
る面積が均等になるように配置し、さらに各シリンダ１
１に均等な押し上げ力を発生させれば、上記実施形態と
同様に、重力によるたわみの無い状態でプレート３の正
しい平坦度を測定できる。
【００１２】また、上記実施形態のプレート平坦度測定
装置において、空気圧駆動のシリンダ１１のピストンロ
ッドの先端に、押し上げ力を測定できるひずみゲージ式
変位計を備えれば、より正確にプレート３の重力を均一
に受けることが可能となり、重力によるプレート３のた
わみを解消できて、プレート３の正しい平坦度を測定す
ることが容易となる。
装置において、空気圧駆動のシリンダ１１のピストンロ
ッドの先端に、押し上げ力を測定できるひずみゲージ式
変位計を備えれば、より正確にプレート３の重力を均一
に受けることが可能となり、重力によるプレート３のた
わみを解消できて、プレート３の正しい平坦度を測定す
ることが容易となる。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明のプレー
ト平坦度測定装置によれば、重力の影響を取り除いた無
重力に近い状態でプレートの平坦度を測定でき、真の測
定データを得ることができる。
ト平坦度測定装置によれば、重力の影響を取り除いた無
重力に近い状態でプレートの平坦度を測定でき、真の測
定データを得ることができる。
【図１】本発明によるプレート平坦度測定装置の実施形
態を示す斜視図である。
態を示す斜視図である。
【図２】本発明によるプレート平坦度測定装置におい
て、プレートのたわみを除去する空気圧駆動のシリンダ
の圧力調整部を示す図である。
て、プレートのたわみを除去する空気圧駆動のシリンダ
の圧力調整部を示す図である。
【図３】プレートを三点支持するプレート支持ピンと空
気圧駆動のシリンダの配置を示す平面図である。
気圧駆動のシリンダの配置を示す平面図である。
【図４】従来の三点支持方式によるプレート平坦度測定
装置の斜視図である。
装置の斜視図である。
【図５】図４において重力の影響によるたわみを示す図
である。
である。
【図６】従来の縦型支持方式によるプレート平坦度測定
装置の斜視図である。
装置の斜視図である。
２ プレート支持ピン ３ プレート ４ スライドレール ５ スライドヘッド ６ レーザー変位計 １０ プレート平坦度測定装置 １１ 空気圧駆動のシリンダ １２ 圧力調整部
Claims (4)
- 【請求項１】 装置上面に設けたスライドレールを水平
移動するスライドヘッドに搭載されプレート表面の平坦
度を測定する下向きの測定器と、装置上面でプレートを
三点支持する３本のプレート支持ピンと、この３本のプ
レート支持ピンで三点支持されるプレートの重力による
たわみを除去する装置上面に立設した複数の上下動可能
なアクチュエータと、このアクチュエータの押し上げ力
を任意に調整する装置内部に設けた圧力調整部とより成
るプレート平坦度測定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のプレート平坦度測定装置
において、プレート表面の平坦度を測定する下向きの測
定器が、レーザー変位計であることを特徴とするプレー
ト平坦度測定装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のプレート平坦度測
定装置において、上下動可能なアクチュエータが、空気
圧駆動のシリンダであることを特徴とするプレート平坦
度測定装置。 - 【請求項４】 請求項１又は２記載のプレート平坦度測
定装置において、上下動可能なアクチュエータの先端
に、押し上げ力を測定できるひずみゲージ式変位計が備
えられていることを特徴とするプレート平坦度測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01808198A JP3418819B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | プレート平坦度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01808198A JP3418819B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | プレート平坦度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11201748A true JPH11201748A (ja) | 1999-07-30 |
| JP3418819B2 JP3418819B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=11961708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01808198A Expired - Fee Related JP3418819B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | プレート平坦度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3418819B2 (ja) |
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| WO2008063550A2 (en) * | 2006-11-21 | 2008-05-29 | Corning Incorporated | Pin height adjustment in bed of nails shape measurement |
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