JP2008129571A - フォトレジスト、エッチ残留物及びbarcを除去するための配合物及び同配合物を含む方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フォトレジスト、イオン注入フォトレジスト、BARC及び/又はエッチ残留物を除去するための配合物であって、水酸化アンモニウム及び2−アミノベンゾチアゾール、残余水を含む。好ましくは1〜15質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム、1〜5質量%のトリルトリアゾール、5〜15質量%のプロピレングリコール、1〜10質量%の2−アミノベンゾチアゾール、20〜45質量%のジプロピレングリコールモノメチルエーテル、残余水を含む。本発明はフォトレジスト、エッチ残留物、BARC及びそれらの組合せからなる群から選択した材料を基材から除去する方法であって、材料を基材から除去するために、上記に記載された、配合物を基材に適用することを含む方法でもある。
【選択図】なし
Description
DPM ジプロピレングリコールモノメチルエーテル
TMAH 水酸化テトラメチルアンモニウム
TMAF フッ化テトラメチルアンモニウム
DI水 脱イオン水
PG プロピレングリコール
ABT 2−アミノベンゾチアゾール
TTL トリルトリアゾール
Claims (23)
- フォトレジスト、イオン注入フォトレジスト、BARC及び/又はエッチ残留物を除去するための配合物であって、水酸化アンモニウム及び2−アミノベンゾチアゾール、残余水を含み、該水酸化物は金属汚染が100ppm以下である配合物。
- 酸化剤、砥材粒子を含まない、請求項1に記載された配合物。
- 水酸化アンモニウムが水酸化テトラメチルアンモニウム、フッ化テトラメチルアンモニウム及びそれらの混合物からなる群から選択される、請求項1に記載された配合物。
- ジメチルアセトアミド(DMAC)、N−メチルピロリジノン(NMP)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアミド、ホルムアミド、ジメチル−2−ピペリドン(DMPD)、テトラヒドロフルフリルアルコール、グリセロール、エチレングリコール、アミド、アルコール、スルホキシド、多官能基化合物、ヒドロキシアミド、アミノアルコールジオール及びポリオール、(C2−C20)アルカンジオール、(C3−C20)アルカントリオール、環式アルコール、プロピレングリコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、ジアセトンアルコール、1,4−シクロヘキサンジメタノール、グリコールエーテルおよびそれらの混合物からなる群から選択された0〜60質量%の水溶性有機溶媒をさらに含む、請求項1に記載された配合物。
- 0.1質量%〜5質量%の置換した水酸化アミン又は酸性塩をさらに含む、請求項1に記載された配合物。
- クエン酸、アントラニル酸、没食子酸、安息香酸、マロン酸、マレイン酸、フマル酸、D,L−リンゴ酸、イソフタル酸、フタル酸、乳酸及びそれらの混合物からなる群から選択された0質量%〜10質量%の有機酸をさらに含む、請求項1に記載された配合物。
- 有機酸塩、フェノール、酸、トリアゾール、ベンゾトリアゾール(BZT)、レゾルシノール、無水マレイン酸、無水フタル酸、カテコール、ピロガロール、没食子酸のエステル、カルボキシベンゾトリアゾール、フルクトース、チオ硫酸アンモニウム、グリシン、テトラメチルグアニジン、イミノ二酢酸、ジメチルアセトアセトアミド、トリヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシベンゼン、サリチルヒドロキサム酸、及びそれらの混合物からなる群から選択された0質量%〜20質量%の腐食防止剤をさらに含む、請求項1に記載された配合物。
- 界面活性剤、キレート剤、化学修飾剤、染料、殺生剤、及びそれらの混合物からなる群から選択された添加剤をさらに含み、該添加剤が配合物の剥離及び洗浄能力、又は下に横たわる金属、珪素、二酸化珪素、レベル間誘電性材料、low−k及び/又はhigh−k材料の整合性(integrity)に悪影響を及ぼさないものである、請求項1に記載された配合物。
- フォトレジスト、イオン注入フォトレジスト、BARC及び/又はエッチ残留物を除去するための配合物であって、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリルトリアゾール、プロピレングリコール、2−アミノベンゾチアゾール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、残余水を含み、該水酸化物は金属汚染が100ppm以下である配合物。
- 1〜15質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム、1〜5質量%のトリルトリアゾール、5〜15質量%のプロピレングリコール、1〜10質量%の2−アミノベンゾチアゾール、20〜45質量%のジプロピレングリコールモノメチルエーテル、残余水を含んでなる、請求項9に記載された配合物。
- 6.5質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム、3質量%のトリルトリアゾール、10質量%のプロピレングリコール、6質量%の2−アミノベンゾチアゾール、39質量%のジプロピレングリコールモノメチルエーテル、残余水を含んでなる、請求項9に記載された配合物。
- 5質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム、3質量%のトリルトリアゾール、12.13質量%のプロピレングリコール、1.5質量%の2−アミノベンゾチアゾール、40質量%のジプロピレングリコールモノメチルエーテル、残余水を含んでなる、請求項9に記載された配合物。
- フォトレジスト、イオン注入フォトレジスト、エッチ残留物、BARC及びそれらの組合せからなる群から選択した材料を基材から除去する方法であって、材料を基材から除去するために請求項1に記載された配合物を基材に適用することを含んでなる方法。
- 配合物が酸化剤、砥材粒子を含まない、請求項13に記載された方法。
- 配合物が、ジメチルアセトアミド(DMAC)、N−メチルピロリジノン(NMP)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアミド、ホルムアミド、ジメチル−2−ピペリドン(DMPD)、テトラヒドロフルフリルアルコール、グリセロール、エチレングリコール、アミド、アルコール、スルホキシド、多官能基化合物、ヒドロキシアミド、アミノアルコールジオール及びポリオール、(C2−C20)アルカンジオール、(C3−C20)アルカントリオール、環式アルコール、プロピレングリコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、ジアセトンアルコール、1,4−シクロヘキサンジメタノール、グリコールエーテルおよびそれらの混合物からなる群から選択された0〜60質量%の水溶性有機溶媒をさらに含む、請求項13に記載された方法。
- 配合物が0.1質量%〜5質量%の置換した水酸化アミン又は酸性塩をさらに含む、請求項13に記載された方法。
- 配合物が、クエン酸、アントラニル酸、没食子酸、安息香酸、マロン酸、マレイン酸、フマル酸、D,L−リンゴ酸、イソフタル酸、フタル酸、乳酸及びそれらの混合物からなる群から選択された0質量%〜10質量%の有機酸をさらに含む、請求項13に記載された方法。
- 配合物が、有機酸塩、フェノール、酸、トリアゾール、ベンゾトリアゾール(BZT)、レゾルシノール、無水マレイン酸、無水フタル酸、カテコール、ピロガロール、没食子酸のエステル、カルボキシベンゾトリアゾール、フルクトース、チオ硫酸アンモニウム、グリシン、テトラメチルグアニジン、イミノ二酢酸、ジメチルアセトアセトアミド、トリヒドロキシベンゼン、ジヒドロキシベンゼン、サリチルヒドロキサム酸、及びそれらの混合物からなる群から選択された0質量%〜20質量%の腐食防止剤をさらに含む、請求項13に記載された方法。
- 配合物が、界面活性剤、キレート剤、化学修飾剤、染料、殺生剤、及びそれらの混合物からなる群から選択された添加剤をさらに含み、該添加剤が配合物の剥離及び洗浄能力、又は下に横たわる金属、珪素、二酸化珪素、レベル間誘電性材料、low−k及び/又はhigh−k材料の整合性(integrity)に悪影響を及ぼさないものである、請求項13に記載された方法。
- フォトレジスト、イオン注入フォトレジスト、エッチ残留物、BARC及びそれらの組合せからなる群から選択した材料を基材から除去する方法であって、材料を基材から除去するために請求項9に記載された配合物を基材に適用することを含んでなる方法。
- 配合物が1〜15質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム、1〜5質量%のトリルトリアゾール、5〜15質量%のプロピレングリコール、1〜10質量%の2−アミノベンゾチアゾール、20〜45質量%のジプロピレングリコールモノメチルエーテル、残余水を含んでなる、請求項20に記載された方法。
- 配合物が6.5質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム、3質量%のトリルトリアゾール、10質量%のプロピレングリコール、6質量%の2−アミノベンゾチアゾール、39質量%のジプロピレングリコールモノメチルエーテル、残余水を含んでなる、請求項20に記載された方法。
- 配合物が5質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム、3質量%のトリルトリアゾール、12.13質量%のプロピレングリコール、1.5質量%の2−アミノベンゾチアゾール、40質量%のジプロピレングリコールモノメチルエーテル、残余水を含んでなる、請求項20に記載された方法。
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