JP2008118094A - 不揮発性メモリ素子およびその製造方法 - Google Patents
不揮発性メモリ素子およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008118094A JP2008118094A JP2007134906A JP2007134906A JP2008118094A JP 2008118094 A JP2008118094 A JP 2008118094A JP 2007134906 A JP2007134906 A JP 2007134906A JP 2007134906 A JP2007134906 A JP 2007134906A JP 2008118094 A JP2008118094 A JP 2008118094A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- insulating film
- conductive film
- insulating
- floating gate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 44
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 39
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 27
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 22
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 5
- 239000011800 void material Substances 0.000 abstract description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 10
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 4
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011982 device technology Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31144—Etching the insulating layers by chemical or physical means using masks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/763—Polycrystalline semiconductor regions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/401—Multistep manufacturing processes
- H01L29/4011—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes
- H01L29/40114—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes the electrodes comprising a conductor-insulator-conductor-insulator-semiconductor structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42324—Gate electrodes for transistors with a floating gate
- H01L29/42336—Gate electrodes for transistors with a floating gate with one gate at least partly formed in a trench
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
- Element Separation (AREA)
Abstract
【解決手段】活性領域および素子分離領域の半導体基板100上に第1絶縁膜112が形成される。また、活性領域の第1絶縁膜上にはフローティングゲートと素子分離領域の第1絶縁膜112上に、活性領域よりも低く形成されるギャップフィル導電膜114bを有し、該ギャップフィル導電膜の上部に形成された第2絶縁膜126および第3絶縁膜128からなる素子分離膜130が形成される。また、フローティングゲートおよび素子分離膜上に誘電体膜が形成され、この誘電体膜の上部にコントロールゲートが形成される。その場合に、第2絶縁膜126を含む半導体基板100の上部には、ギャップフィルのための第3絶縁膜128が形成され、好ましくは第3絶縁膜128は高密度プラズマ方式(HDP)を用いて埋め込み特性のよいHDP酸化膜で形成する。
【選択図】 図1H
Description
Field Oxide Height;EFH)も同時に制御される。
108 第1ハードマスク膜
110 トレンチ
112 第1絶縁膜
114 第1導電膜
114a フローティングゲート用導電膜
114b ギャップフィル導電膜
124 第2ハードマスク
126 第2絶縁膜
128 第3絶縁膜
130 素子分離膜
Claims (15)
- 活性領域および素子分離領域の半導体基板上に形成された第1絶縁膜と、
前記活性領域の第1絶縁膜上に形成されたフローティングゲートと、
前記素子分離領域の前記第1絶縁膜の上部に形成され、前記活性領域よりも低く形成されるギャップフィル導電膜、ギャップフィル導電膜の上部に形成された第2絶縁膜および第3絶縁膜からなる素子分離膜と、
前記フローティングゲートおよび前記素子分離膜上に形成された誘電体膜と、
前記誘電体膜の上部に形成されたコントロールゲートとを含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子。 - 前記第1絶縁膜は、シリコン酸化膜によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
- 前記フローティングゲートは、ポリシリコン膜によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
- 前記ギャップフィル導電膜は、ポリシリコン膜によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
- 前記ギャップフィル導電膜は、前記活性領域の半導体基板から500〜700Åの厚さだけリセスされるように形成されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
- 前記第2絶縁膜は、シリコン酸化膜によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
- 前記第3絶縁膜は、HDP酸化膜によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ素子。
- 半導体基板の上部に第1ハードマスク膜を形成する工程と、
トレンチが形成されるように感光膜パターンをエッチングマスクとして前記第1ハードマスク膜および半導体基板を一部領域エッチングする工程と、
前記第1ハードマスク膜を除去する工程と、
前記トレンチを含む半導体基板の上部に第1絶縁膜を形成する工程と、
前記トレンチが充填されるように前記第1絶縁膜を含む半導体基板の上部に第1導電膜を形成する工程と、
前記第1導電膜の上部に第2ハードマスク膜を形成する工程と、
フローティングゲート用導電膜、およびトレンチの内部にリセス領域を持つギャップフィル導電膜が形成されるように、感光膜パターンをエッチングマスクとして前記第2ハードマスク膜および第1導電膜を一部領域エッチングする工程と、
前記第2ハードマスク膜を下部窒化膜以外は除去する工程と、
前記ギャップフィル導電膜を含むフローティングゲート用導電膜および残留した窒化膜の上部に第2絶縁膜を形成する工程と、
前記第2絶縁膜を含む半導体基板の上部に第3絶縁膜を形成する工程と、
前記第3絶縁膜を第2ハードマスク膜の下部窒化膜が露出するまで研磨する工程と、
前記フローティングゲート用導電膜の外壁の一部を露出させる素子分離膜が形成されるように、前記第3絶縁膜および第2絶縁膜を一部エッチングする工程と、
前記フローティングゲート用導電膜の上部に誘電体膜および第2導電膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子の製造方法。 - 前記第1ハードマスク膜は、酸化膜、窒化膜および反射防止膜が順次積層されて形成されることを特徴とする請求項8に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
- 前記第1絶縁膜は、シリコン酸化膜によって形成されることを特徴とする請求項8に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
- 前記第1導電膜は、ポリシリコン膜によって形成されることを特徴とする請求項8に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
- 前記ギャップフィル導電膜は、前記活性領域の半導体基板から500〜700Åの厚さだけリセスされるように形成されることを特徴とする請求項8に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
- 前記第2ハードマスク膜は、窒化膜、酸化膜、窒化膜および反射防止膜が順次積層されて形成されることを特徴とする請求項8に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
- 前記第2絶縁膜は、シリコン酸化膜によって形成されることを特徴とする請求項8に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
- 前記第3絶縁膜は、HDP酸化膜によって形成されることを特徴とする請求項8に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2006-0106642 | 2006-10-31 | ||
KR1020060106642A KR100766232B1 (ko) | 2006-10-31 | 2006-10-31 | 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008118094A true JP2008118094A (ja) | 2008-05-22 |
JP5187546B2 JP5187546B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=39329087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007134906A Expired - Fee Related JP5187546B2 (ja) | 2006-10-31 | 2007-05-22 | 不揮発性メモリ素子の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7507628B2 (ja) |
JP (1) | JP5187546B2 (ja) |
KR (1) | KR100766232B1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010050202A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2014236014A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-15 | ローム株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US10622443B2 (en) | 2013-05-30 | 2020-04-14 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device with different material layers in element separation portion trench and method for manufacturing semiconductor device |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8921183B2 (en) * | 2010-12-08 | 2014-12-30 | Nanya Technology Corporation | Method for fabricating trench isolation structure |
JP2012256785A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Elpida Memory Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
US9142400B1 (en) | 2012-07-17 | 2015-09-22 | Stc.Unm | Method of making a heteroepitaxial layer on a seed area |
CN104952806B (zh) * | 2014-03-26 | 2018-01-05 | 华邦电子股份有限公司 | 存储元件及其制造方法 |
KR102606784B1 (ko) * | 2018-07-13 | 2023-11-28 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 에어갭을 구비한 반도체장치 및 그 제조 방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002353344A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-06 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置、不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP2004134759A (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-30 | Samsung Electronics Co Ltd | トレンチ隔離された半導体素子の形成方法及びそれによって形成されたトレンチ隔離された半導体素子 |
JP2006032489A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Nec Electronics Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020096610A (ko) * | 2001-06-21 | 2002-12-31 | 삼성전자 주식회사 | 플로팅 게이트를 갖는 불휘발성 메모리 장치 및 그 제조방법 |
KR100469129B1 (ko) * | 2002-09-30 | 2005-01-29 | 삼성전자주식회사 | 불휘발성 메모리 장치 및 그 제조방법 |
JP2005079165A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置とその製造方法、電子カードおよび電子装置 |
KR20050056661A (ko) * | 2003-12-10 | 2005-06-16 | 삼성전자주식회사 | 불휘발성 메모리 장치의 제조 방법 |
KR20060012695A (ko) * | 2004-08-04 | 2006-02-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치의 제조 방법 |
KR20060025262A (ko) * | 2004-09-15 | 2006-03-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치의 제조 방법 |
-
2006
- 2006-10-31 KR KR1020060106642A patent/KR100766232B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-05-19 US US11/751,015 patent/US7507628B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-05-22 JP JP2007134906A patent/JP5187546B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002353344A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-06 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置、不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP2004134759A (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-30 | Samsung Electronics Co Ltd | トレンチ隔離された半導体素子の形成方法及びそれによって形成されたトレンチ隔離された半導体素子 |
JP2006032489A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Nec Electronics Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010050202A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US8592284B2 (en) | 2008-08-20 | 2013-11-26 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP2014236014A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-15 | ローム株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US10622443B2 (en) | 2013-05-30 | 2020-04-14 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device with different material layers in element separation portion trench and method for manufacturing semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100766232B1 (ko) | 2007-10-10 |
US7507628B2 (en) | 2009-03-24 |
US20080099823A1 (en) | 2008-05-01 |
JP5187546B2 (ja) | 2013-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4886219B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5187546B2 (ja) | 不揮発性メモリ素子の製造方法 | |
JP2003197787A (ja) | フラッシュメモリセル及びその製造方法 | |
JP2008010865A (ja) | 半導体素子の素子分離膜形成方法 | |
JP2006196843A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP4371361B2 (ja) | フラッシュメモリ素子のフローティングゲート形成方法 | |
JP2007184548A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2007273948A (ja) | 不揮発性メモリ素子の素子分離膜形成方法 | |
KR100966957B1 (ko) | 플래시 메모리 소자 및 그 제조 방법 | |
KR100772554B1 (ko) | 비휘발성 메모리 소자의 소자 분리막 형성방법 | |
JP2009010316A (ja) | フラッシュメモリ素子の形成方法 | |
US20090170280A1 (en) | Method of Forming Isolation Layer of Semiconductor Device | |
US20070102752A1 (en) | Flash memory device and method of fabricating the same | |
US20060088965A1 (en) | Method of fabricating flash memory device | |
US7259078B2 (en) | Method for forming isolation layer in semiconductor memory device | |
US7259063B2 (en) | Method for forming a gate electrode in a non volatile memory device | |
US7691721B2 (en) | Method for manufacturing flash memory device | |
KR100880341B1 (ko) | 플래시 메모리 소자의 소자 분리막 형성 방법 | |
US8076206B2 (en) | Method for manufacturing SONOS flash memory | |
US7544567B2 (en) | Method of manufacturing a flash memory device | |
US20090068818A1 (en) | Method of forming an isolation layer of a semiconductor device | |
US20060148198A1 (en) | Method for forming device isolation region in semiconductor device | |
KR20090069367A (ko) | 플래시 메모리 소자의 제조 방법 | |
KR100870276B1 (ko) | 비휘발성 메모리 소자의 제조 방법 | |
KR100695430B1 (ko) | 비휘발성 메모리 소자의 플로팅 게이트 형성방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120919 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130109 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |