JP2008112147A5

JP2008112147A5 -

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Publication number: JP2008112147A5
Application number: JP2007248825A
Authority: JP
Filing date: 2007-09-26
Publication date: 2010-10-07
Anticipated expiration: 2027-09-26

Claims

分散液と樹脂溶液とが混合された感光性樹脂組成物であって、分散液が（ａ）平均粒子径が０．０６μｍ以上０．４μｍ以下であるペロブスカイト型結晶構造あるいは複合ペロブスカイト型結晶構造を有する高誘電率無機粒子、（ｂ）リン酸化合物、（ｃ）有機溶剤を混合し、分散メディアとして金属、セラミックス、ガラスのいずれかの種類から選択される平均粒子径０．０２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下のビーズを用いて、前記無機粒子を分散させて得られるものであり、樹脂溶液が（ｄ）ポリイミドと（ｅ）不飽和結合含有重合性化合物を有している感光性樹脂組成物。
（ｄ）ポリイミドが一般式（１）〜（４）で表される構造を主成分とするポリマーであることを特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物。

（Ｒ ^８は４から１４価の有機基、Ｒ ^９は２から１２価の有機基、Ｒ ^１０、Ｒ ^１２は水素原子または、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基、炭素数１から２０までの有機基より選ばれる基を少なくとも一つ有する有機基を示し、同じでも異なっていてもよい。Ｒ ^１１は２価の有機基を示す。Ｘはカルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびチオール基からなる群より選ばれる基を少なくとも一つ有する１価の芳香族基または環状脂肪族基を示す。Ｙは、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、チオール基より選ばれる基を少なくとも一つ有する１価有機基を示す。ｎは３から２００までの範囲を示す。ｍ、α、βは０から１０までの整数を示す。）
（ｂ）リン酸化合物の含有量が（ａ）高誘電率無機粒子に対して０．６重量％以上９重量％以下である請求項１または２記載の感光性樹脂組成物。
請求項１〜３いずれか記載の感光性樹脂組成物を、脱有機溶剤、固化して得られる誘電体組成物であって、（ａ）高誘電率無機粒子の量が誘電体組成物の７０重量％以上９０重量％以下である誘電体組成物。
トランジスターが形成された半導体素子上に、膜厚０．５μｍ以上１０μｍ以下の請求項４記載の誘電体組成物からなる層と電極を有するキャパシタが形成されている半導体装置。
ビーズミルのベッセルに、平均粒子径０．０２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下のビーズと、（ａ）平均粒子径が０．０６μｍ以上０．４μｍ以下であるペロブスカイト型結晶構造あるいは複合ペロブスカイト型結晶構造を有する高誘電率無機粒子、（ｂ）リン酸化合物、（ｃ）有機溶剤を充填し、ビーズミルのローターを回転させ有機溶媒中に前記無機粒子を分散した分散液を作製し、次いで、（ｄ）ポリイミドと（ｅ）不飽和結合含有重合性化合物を有する樹脂溶液を混合する請求項１〜３いずれか記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
ビーズミルのローターの回転周速が５ｍ／ｓ以上１５ｍ／ｓ以下であることを特徴とする請求項６記載の感光性樹脂組成物の製造方法。