JP2008107188A - 試験装置、ドライバコンパレータチップ、応答測定装置、校正方法および校正装置 - Google Patents
試験装置、ドライバコンパレータチップ、応答測定装置、校正方法および校正装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008107188A JP2008107188A JP2006289780A JP2006289780A JP2008107188A JP 2008107188 A JP2008107188 A JP 2008107188A JP 2006289780 A JP2006289780 A JP 2006289780A JP 2006289780 A JP2006289780 A JP 2006289780A JP 2008107188 A JP2008107188 A JP 2008107188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- comparator
- output
- driver
- waveform
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
- G01R31/31928—Formatter
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/3183—Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/3193—Tester hardware, i.e. output processing circuits with comparison between actual response and known fault free response
- G01R31/31932—Comparators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】ドライバの出力端及びコンパレータの入力端が伝送経路を介して接地電位に終端された状態において、立ち上がりエッジを有する第1の出力波形と立ち下がりエッジを有する第2の出力波形とを出力させるドライバ制御部と、第1の出力波形の立ち上がりエッジをコンパレータが検出してから、第1の出力波形が終端により反射された第1の反射波形の立ち下がりエッジをコンパレータが検出するまでの第1の時間と、第2の出力波形の立ち下がりエッジをコンパレータが検出してから、第2の出力波形が終端により反射された第2の反射波形の立ち上がりエッジをコンパレータが検出するまでの第2の時間との差分に基づいて応答時間の差を算出する差分算出部とを備える応答測定装置を提供する。
【選択図】図1
Description
(T1−T2)={(TB−TR+TF)−(TB−TF+TR)}=2×(TF−TR) …(1)
(TF−TR)=(T1−T2)/2 …(2)
(T1+T2)={(TB−TR+TF)+(TB−TF+TR)}=2×TB …(3)
TA=(T1+T2)/4 …(4)
12 信号生成部
14 ドライバ
16 コンパレータ
18 判定部
20 応答測定装置
22 信号端子
30 伝送経路
32 ドライバ制御部
34 第1測定部
36 第2測定部
38 差分算出部
40 調整部
50 ドライバコンパレータチップ
56 差分記憶部
62 スイッチ
64 スイッチ制御部
66 経路長算出部
70 ピン間タイミング制御部
Claims (13)
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに入力すべき試験信号を生成する信号生成部と、
前記試験信号を前記被試験デバイスの入出力ピンに対して出力するドライバと、
前記ドライバの出力端及び前記被試験デバイスの前記入出力ピンに接続され、与えられる信号を検出するコンパレータと、
前記コンパレータが検出した前記被試験デバイスの出力信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記コンパレータにおける、信号の立ち上がりエッジに対する応答時間と、立ち下がりエッジに対する応答時間との差を検出する応答測定装置と
を備え、
前記応答測定装置は、
前記ドライバの出力端及び前記コンパレータの入力端が、所定の伝播遅延を有する伝送経路を介して接地電位に終端された状態において、前記ドライバに、立ち上がりエッジを有する第1の出力波形と、立ち下がりエッジを有する第2の出力波形とを出力させるドライバ制御部と、
前記第1の出力波形の立ち上がりエッジを前記コンパレータが検出してから、前記第1の出力波形が終端により反射された第1の反射波形の立ち下がりエッジを前記コンパレータが検出するまでの第1の時間を測定する第1測定部と、
前記第2の出力波形の立ち下がりエッジを前記コンパレータが検出してから、前記第2の出力波形が終端により反射された第2の反射波形の立ち上がりエッジを前記コンパレータが検出するまでの第2の時間を測定する第2測定部と、
前記第1の時間と前記第2の時間との差分に基づいて、前記応答時間の差を算出する差分算出部と
を有する試験装置。 - 前記応答測定装置は、前記差分算出部が算出した前記応答時間の差に基づいて、前記コンパレータにおける前記立ち上がりエッジに対する応答時間、または前記コンパレータにおける前記立ち下がりエッジに対する応答時間の少なくとも一方を調整する調整部を更に有する請求項1に記載の試験装置。
- 前記ドライバ制御部は、前記ドライバが第1の出力波形及び前記第2の出力波形を出力する時間間隔が、前記伝送経路の伝播遅延時間の2倍より大きくなるように前記ドライバを制御し、
前記第1測定部は、前記第1の出力波形の立ち上がりエッジと、前記第1の反射波形の立ち下がりエッジとを有するパルスのパルス幅を、前記第1の時間として測定し、
前記第2測定部は、前記第2の出力波形の立ち下がりエッジと、前記第2の反射波形の立ち上がりエッジとを有するパルスのパルス幅を、前記第2の時間として測定する
請求項1に記載の試験装置。 - 当該試験装置は、複数組の前記ドライバ及び前記コンパレータを有し、
前記応答測定装置は、
複数組の前記ドライバ及び前記コンパレータに一対一に対応する、複数の前記第1測定部、複数の前記第2測定部、及び複数の前記差分算出部を有し、
前記ドライバ制御部は、複数の前記ドライバに対して略同時に信号を出力させる
請求項1に記載の試験装置。 - 前記応答測定装置は、前記ドライバ及び前記コンパレータと、前記被試験デバイスとを接続する伝送経路を、前記被試験デバイス又は前記接地電位のいずれに接続するかを切り替えるスイッチをさらに有する請求項1に記載の試験装置。
- 前記応答測定装置は、前記第1の時間及び前記第2の時間に基づいて、前記伝送経路における伝播遅延時間を算出する経路長算出部を更に有する請求項5に記載の試験装置。
- 信号を出力するドライバと、
与えられる信号を検出するコンパレータと、
前記コンパレータにおける、信号の立ち上がりエッジに対する応答時間と、立ち下がりエッジに対する応答時間との差を検出する応答測定装置と
を備え、
前記応答測定装置は、
前記ドライバの出力端及び前記コンパレータの入力端が、所定の伝播遅延を有する伝送経路を介して接地電位に終端された状態において、前記ドライバに、立ち上がりエッジを有する第1の出力波形と、立ち下がりエッジを有する第2の出力波形とを出力させるドライバ制御部と、
前記第1の出力波形の立ち上がりエッジを前記コンパレータが検出してから、前記第1の出力波形が終端により反射された第1の反射波形の立ち下がりエッジを前記コンパレータが検出するまでの第1の時間を測定する第1測定部と、
前記第2の出力波形の立ち下がりエッジを前記コンパレータが検出してから、前記第2の出力波形が終端により反射された第2の反射波形の立ち上がりエッジを前記コンパレータが検出するまでの第2の時間を測定する第2測定部と、
前記第1の時間と前記第2の時間との差分に基づいて、前記応答時間の差を算出する差分算出部と
を有するドライバコンパレータチップ。 - 信号を出力するドライバと、与えられる信号を検出するコンパレータとを有するドライバコンパレータにおける、前記コンパレータの信号の立ち上がりエッジに対する応答時間と、立ち下がりエッジに対する応答時間との差を検出する応答測定装置であって、
前記ドライバの出力端及び前記コンパレータの入力端が、所定の伝播遅延を有する伝送経路を介して接地電位に終端された状態において、前記ドライバに、立ち上がりエッジを有する第1の出力波形と、立ち下がりエッジを有する第2の出力波形とを出力させるドライバ制御部と、
前記第1の出力波形の立ち上がりエッジを前記コンパレータが検出してから、前記第1の出力波形が終端により反射された第1の反射波形の立ち下がりエッジを前記コンパレータが検出するまでの第1の時間を測定する第1測定部と、
前記第2の出力波形の立ち下がりエッジを前記コンパレータが検出してから、前記第2の出力波形が終端により反射された第2の反射波形の立ち上がりエッジを前記コンパレータが検出するまでの第2の時間を測定する第2測定部と、
前記第1の時間と前記第2の時間との差分に基づいて、前記応答時間の差を算出する差分算出部と
を備える応答測定装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに入力すべき試験信号を生成する信号生成部と、
前記試験信号を前記被試験デバイスの入出力ピンに対して出力するドライバと、
前記ドライバの出力端及び前記被試験デバイスの前記入出力ピンに接続され、与えられる信号を検出するコンパレータと、
前記コンパレータが検出した前記被試験デバイスの出力信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記コンパレータにおける、信号の立ち上がりエッジに対する応答時間と、立ち下がりエッジに対する応答時間との差を検出する応答測定装置と
を備え、
前記応答測定装置は、
前記ドライバの出力端及び前記コンパレータの入力端が、所定の伝播遅延を有する伝送経路を介して接地電位に終端された状態において、前記ドライバに、立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジを有する出力パルス波形を出力させるドライバ制御部と、
前記コンパレータが検出した前記出力パルス波形のパルス幅を測定する第1測定部と、
前記出力パルス波形が終端により反射されて前記コンパレータに入力され、前記コンパレータが検出した反射パルス波形のパルス幅を測定する第2測定部と、
前記出力パルス波形及び前記反射パルス波形のパルス幅の差分に基づいて、前記応答時間の差を算出する差分算出部と
を有する試験装置。 - 信号を出力するドライバと、
与えられる信号を検出するコンパレータと、
前記コンパレータにおける、信号の立ち上がりエッジに対する応答時間と、立ち下がりエッジに対する応答時間との差を検出する応答測定装置と
を備え、
前記応答測定装置は、
前記ドライバの出力端及び前記コンパレータの入力端が、所定の伝播遅延を有する伝送経路を介して接地電位に終端された状態において、前記ドライバに、立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジを有する出力パルス波形を出力させるドライバ制御部と、
前記コンパレータが検出した前記出力パルス波形のパルス幅を測定する第1測定部と、
前記出力パルス波形が終端により反射されて前記コンパレータに入力され、前記コンパレータが検出した反射パルス波形のパルス幅を測定する第2測定部と、
前記出力パルス波形及び前記反射パルス波形のパルス幅の差分に基づいて、前記応答時間の差を算出する差分算出部と
を有するドライバコンパレータチップ。 - 信号を出力するドライバと、与えられる信号を検出するコンパレータとを有するドライバコンパレータにおける、前記コンパレータの信号の立ち上がりエッジに対する応答時間と、立ち下がりエッジに対する応答時間との差を検出する応答測定装置であって、
前記ドライバの出力端及び前記コンパレータの入力端が、所定の伝播遅延を有する伝送経路を介して接地電位に終端された状態において、前記ドライバに、立ち上がりエッジ及び立ち下がりエッジを有する出力パルス波形を出力させるドライバ制御部と、
前記コンパレータが検出した前記出力パルス波形のパルス幅を測定する第1測定部と、
前記出力パルス波形が終端により反射されて前記コンパレータに入力され、前記コンパレータが検出した反射パルス波形のパルス幅を測定する第2測定部と、
前記出力パルス波形及び前記反射パルス波形のパルス幅の差分に基づいて、前記応答時間の差を算出する差分算出部と
を備える応答測定装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置に備えられた、前記被試験デバイスからの出力信号を検出するコンパレータの校正方法であって、
前記被試験デバイスに対して試験信号を出力するドライバの出力端、前記コンパレータの入力端および所定の伝播遅延を有する伝送経路を接続するとともに、前記伝送経路における前記ドライバの出力端が接続されていない遠端を前記ドライバから出力される信号電位を発生する電圧源に接続し、
前記ドライバから、立ち上がりエッジを有する第1の出力波形と立ち下がりエッジを有する第2の出力波形とを、繰り返し出力し、
前記第1の出力波形の立ち上がりエッジを前記コンパレータが検出してから、前記第1の出力波形が前記遠端により反射された第1の反射波形の立ち下がりエッジを前記コンパレータが検出するまでの第1の時間を測定し、
前記第2の出力波形の立ち下がりエッジを前記コンパレータが検出してから、前記第2の出力波形が前記遠端により反射された第2の反射波形の立ち上がりエッジを前記コンパレータが検出するまでの第2の時間を測定し、
前記第1の時間と前記第2の時間との差分に基づいて、応答時間の差を算出する
校正方法。 - 請求項12の方法により試験装置に備えられたコンパレータを校正することを目的として前記試験装置に接続される校正装置であって、
前記試験装置に備えられた、被試験デバイスに対して試験信号を出力するドライバが出力する信号電位と略同一の電圧を発生する電圧源と、
前記ドライバの出力端および前記被試験デバイスからの出力信号を検出する前記コンパレータの入力端が接続された伝送経路における、前記ドライバの出力端がされていない遠端と、前記電圧源とを接続するショート接続治具と
を備える校正装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006289780A JP5025224B2 (ja) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 試験装置、ドライバコンパレータチップ、応答測定装置および校正方法 |
KR1020097010698A KR101138296B1 (ko) | 2006-10-25 | 2007-10-09 | 시험 장치, 드라이버 컴퍼레이터 칩, 응답 측정 장치, 교정 방법 및 교정 장치 |
PCT/JP2007/069710 WO2008050607A1 (fr) | 2006-10-25 | 2007-10-09 | Testeur, puce de comparateur de pilote, dispositif de mesure de réponse, procédé d'étalonnage et dispositif d'étalonnage |
TW096139693A TWI352206B (en) | 2006-10-25 | 2007-10-23 | Test device, driver comparator chip, response meas |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006289780A JP5025224B2 (ja) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 試験装置、ドライバコンパレータチップ、応答測定装置および校正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008107188A true JP2008107188A (ja) | 2008-05-08 |
JP5025224B2 JP5025224B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=39324412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006289780A Expired - Fee Related JP5025224B2 (ja) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 試験装置、ドライバコンパレータチップ、応答測定装置および校正方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5025224B2 (ja) |
KR (1) | KR101138296B1 (ja) |
TW (1) | TWI352206B (ja) |
WO (1) | WO2008050607A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010086971A1 (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-05 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置および試験方法 |
US8067943B2 (en) * | 2009-03-24 | 2011-11-29 | Advantest Corporation | Test apparatus, calibration method, program, and recording medium |
JP2012068091A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Advantest Corp | 試験装置および調整方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4679663B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2011-04-27 | ヴェリジー(シンガポール) プライベート リミテッド | 時間領域反射応答情報を取得する装置、方法、およびコンピュータプログラム |
CA3097321A1 (en) | 2012-02-22 | 2013-08-29 | Edwards Lifesciences Cardiaq Llc | Actively controllable stent, stent graft, heart valve and method of controlling same |
US9168129B2 (en) | 2013-02-12 | 2015-10-27 | Edwards Lifesciences Corporation | Artificial heart valve with scalloped frame design |
US11026788B2 (en) | 2015-08-20 | 2021-06-08 | Edwards Lifesciences Corporation | Loader and retriever for transcatheter heart valve, and methods of crimping transcatheter heart valve |
CN111143139A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-05-12 | 中国航天时代电子有限公司 | 一种can总线产品测量毫秒级回令响应时间系统 |
CN114594817B (zh) * | 2020-12-07 | 2023-10-27 | 中移物联网有限公司 | 一种输入输出芯片驱动能力的调节电路及方法 |
CN115061295A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-16 | 苏州奥荣光电有限公司 | 液晶显示器响应时间测量仪的校准光源及校准系统 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0235814A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-06 | Nec Corp | コンパレータ回路 |
JPH0836037A (ja) * | 1994-07-20 | 1996-02-06 | Advantest Corp | 伝送経路の伝播遅延時間測定回路 |
JP2853752B2 (ja) * | 1991-02-26 | 1999-02-03 | 日本電信電話株式会社 | 伝送線路長測定装置 |
JP2000009801A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Advantest Corp | Ic試験装置のtdrタイミング校正方法 |
JP2001021620A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Lsi試験装置およびそのタイミングキャリブレーション方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002068976A1 (fr) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Advantest Corporation | Procede de mesure de temps de propagation et equipement d'essai |
US6919727B2 (en) * | 2002-09-26 | 2005-07-19 | Texas Instruments Incorporated | Accurate time measurement system circuit and method |
-
2006
- 2006-10-25 JP JP2006289780A patent/JP5025224B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-10-09 WO PCT/JP2007/069710 patent/WO2008050607A1/ja active Application Filing
- 2007-10-09 KR KR1020097010698A patent/KR101138296B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-10-23 TW TW096139693A patent/TWI352206B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0235814A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-06 | Nec Corp | コンパレータ回路 |
JP2853752B2 (ja) * | 1991-02-26 | 1999-02-03 | 日本電信電話株式会社 | 伝送線路長測定装置 |
JPH0836037A (ja) * | 1994-07-20 | 1996-02-06 | Advantest Corp | 伝送経路の伝播遅延時間測定回路 |
JP2000009801A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Advantest Corp | Ic試験装置のtdrタイミング校正方法 |
JP2001021620A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Lsi試験装置およびそのタイミングキャリブレーション方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010086971A1 (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-05 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置および試験方法 |
JPWO2010086971A1 (ja) * | 2009-01-28 | 2012-07-26 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置および試験方法 |
US8067943B2 (en) * | 2009-03-24 | 2011-11-29 | Advantest Corporation | Test apparatus, calibration method, program, and recording medium |
JP2012068091A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Advantest Corp | 試験装置および調整方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200827746A (en) | 2008-07-01 |
JP5025224B2 (ja) | 2012-09-12 |
WO2008050607A1 (fr) | 2008-05-02 |
KR101138296B1 (ko) | 2012-04-24 |
TWI352206B (en) | 2011-11-11 |
KR20090082434A (ko) | 2009-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5025224B2 (ja) | 試験装置、ドライバコンパレータチップ、応答測定装置および校正方法 | |
JP5279724B2 (ja) | 試験装置およびキャリブレーション方法 | |
KR100832172B1 (ko) | 스큐 조정 방법, 스큐 조정 장치 및 시험 장치 | |
KR101099858B1 (ko) | 시간-도메인-반사 응답-정보를 획득하는 장치, 시간-도메인-반사 응답-정보 획득 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 | |
KR101250498B1 (ko) | 출력 장치 및 시험 장치 | |
KR100868995B1 (ko) | 시험 장치, 조정 장치, 조정 방법, 및 조정 프로그램을기록한 기록 매체 | |
JP4948421B2 (ja) | 試験装置、調整装置、調整方法、および、調整プログラム | |
KR101178069B1 (ko) | 상호 접속 기판, 스큐 측정 방법 및 시험 장치 | |
JP2009071533A (ja) | 差動信号伝送装置および試験装置 | |
JP2010038581A (ja) | 半導体試験装置 | |
JP4469753B2 (ja) | 試験装置 | |
US20100018286A1 (en) | Calibration apparatus, contact judging method and semiconductor testing apparatus | |
US6828799B2 (en) | Propagation delay time measuring method and testing apparatus | |
JP2007212279A (ja) | タイミング校正方法およびその装置 | |
JP4310280B2 (ja) | インピーダンス変換回路、入出力回路及び半導体試験装置 | |
JP2007292471A (ja) | 半導体試験装置 | |
US8791741B2 (en) | Adjustment apparatus, adjustment method and test apparatus | |
JP2008232685A (ja) | 半導体試験装置 | |
JP2009049681A (ja) | スキュー調整回路 | |
JP2012052835A (ja) | 波形発生装置および波形発生装置の配線遅延校正方法 | |
JPH05157812A (ja) | Icテスタ | |
JPH11337618A (ja) | タイミング・デスキュー装置及びタイミング・デスキュー方法 | |
JP2002082148A (ja) | 半導体試験装置のタイミング補正方法及び装置 | |
JP2012167989A (ja) | 半導体試験装置 | |
JP2007285779A (ja) | キャリブレーション回路、キャリブレーション方法、及び試験装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120612 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120619 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150629 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |