JP2008098203A - 膜のパターニング方法及び露光用マスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板50と、透明基板50の第1の領域Iに形成され、複数のデバイスパターンのそれぞれに対応する複数のマスク開口52a、52bが第1の組と第2の組とに組分けされて開口され、且つ、第1の組に属する前記マスク開口52aのみに光近接効果補正が施された第1のマスクパターン52cと、透明基板50の第2の領域Iに形成され、第1のマスクパターン52cと同じ仕方で第1の組と第2の組とに組分けされたマスク開口52a、52bを有し、第2の組に属するマスク開口52bのみに光近接効果補正が施された第2のマスクパターン52dとを有する露光用マスクによる。
【選択図】図26
Description
本実施形態の説明に先立ち、本発明の基礎となる予備的事項について説明する。
露光用マスクセットについて
図13(a)、(b)は、それぞれ本実施形態で使用される第1の露光用マスク41と第2の露光用マスク42の平面図である。
次に、上記した各露光用マスク41、42を用いた膜のパターニング方法について、図14〜図17を参照しながら説明する。
次に、上記した第1の露光用マスク41の製造方法について説明する。
二つに組分けされた設計データD0のうち、一方の組に属する設計データD0に対してのみOPCを行い、補正済設計データDcを得る。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図26は、本実施形態で使用される露光用マスク51の平面図である。
次に、この露光用マスク51を用いた膜のパターニング方法について、図27〜図29を参照しながら説明する。
次に、上記した露光用マスク51の製造方法について説明する。
前記膜の上にフォトレジストを塗布する工程と、
複数のデバイスパターンのそれぞれに対応する複数のマスク開口が第1の組と第2の組とに組分けされて開口され、且つ、前記第1の組に属する前記マスク開口のみに光近接効果補正が施された第1のマスクパターンを前記フォトレジストに投影して、該フォトレジストを露光する工程と、
前記第1の組と前記第2の組とに組分けされたマスク開口を有し、前記第2の組に属する前記マスク開口のみに光近接効果補正が施された第2のマスクパターンを前記フォトレジストに投影して、前記フォトレジストを露光する工程と、
前記第1のマスクパターンを投影する前記露光、及び前記第2のマスクパターンを投影する前記露光を終了した後に、前記フォトレジストを現像してレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクにして前記膜をエッチングすることにより、前記デバイスパターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする膜のパターニング方法。
前記第2のマスクパターンを投影する前記露光工程は、該第2のマスクパターンが形成された第2の露光用マスクを用いて、前記チップ領域における前記フォトレジストを露光することにより行われることを特徴とする付記1に記載の膜のパターニング方法。
前記第2のマスクパターンを投影する前記露光は、前記露光用マスクを用い、且つ、前記第1のマスクパターンが投影された部分の前記フォトレジストに前記第2マスクパターンの投影像が重なるように該第2のマスクパターンを投影して行われることを特徴とする付記1に記載の膜のパターニング方法。
前記第2のマスクパターンを投影する前記露光は、前記第1のマスクパターンを投影する前記露光から露光領域を半チップだけずらして行われることを特徴とする付記3に記載の膜のパターニング方法。
前記基板の上に前記膜を形成する工程と、
前記膜の上にフォトレジストを塗布する工程と、
前記第1のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施された第1のマスク開口と、前記第2のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第2のマスク開口とを前記フォトレジストに投影する第1の露光工程と、
前記第1のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第3のマスク開口と、前記第2のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施された第4のマスク開口とを前記フォトレジストに投影する第2の露光工程と、
前記フォトレジストを現像してレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記膜をエッチングすることにより、前記第1のデバイスパターンと前記第2のデバイスパターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする膜のパターニング方法。
前記透明基板の第1の領域に形成され、複数のデバイスパターンのそれぞれに対応する複数のマスク開口が第1の組と第2の組とに組分けされて開口され、且つ、前記第1の組に属する前記マスク開口のみに光近接効果補正が施された第1のマスクパターンと、
前記透明基板の第2の領域に形成され、前記第1のマスクパターンと同じ仕方で前記第1の組と前記第2の組とに組分けされたマスク開口を有し、前記第2の組に属する前記マスク開口のみに光近接効果補正が施された第2のマスクパターンと、
を有することを特徴とする露光用マスク。
前記第2の領域において前記第2の組に属する前記マスク開口は、前記第1の領域において前記第2の組に属する前記マスク開口よりも大きいことを特徴とする付記13乃至15いずれか1項に記載の露光用マスク。
第1のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施された第1のマスク開口と、第2のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第2のマスク開口と、を有する第1の領域と、
前記第1のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第3のマスク開口と、前記第2のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第4のマスク開口と、を有する第2の領域と、
を有することを特徴とする露光用マスク。
透明基板と、前記第1の露光用マスクにおけるのと同じ仕方で前記第1の組と前記第2の組とに組分けされたマスク開口を有し、前記第2の組に属する前記マスク開口のみに光近接効果補正が施された、前記透明基板上に形成された第2のマスクパターンとを有する第2の露光用マスクと、
を有することを特徴とする露光用マスクセット。
前記第2の露光用マスクにおいて前記第2の組に属する前記マスク開口は、前記第1の露光用マスクにおいて前記第2の組に属する前記マスク開口よりも大きいことを特徴とする付記19乃至21いずれか1項に記載の露光用マスクセット。
Claims (10)
- 基板の上に膜を形成する工程と、
前記膜の上にフォトレジストを塗布する工程と、
複数のデバイスパターンのそれぞれに対応する複数のマスク開口が第1の組と第2の組とに組分けされて開口され、且つ、前記第1の組に属する前記マスク開口のみに光近接効果補正が施された第1のマスクパターンを前記フォトレジストに投影して、該フォトレジストを露光する工程と、
前記第1の組と前記第2の組とに組分けされたマスク開口を有し、前記第2の組に属する前記マスク開口のみに光近接効果補正が施された第2のマスクパターンを前記フォトレジストに投影して、前記フォトレジストを露光する工程と、
前記第1のマスクパターンを投影する前記露光、及び前記第2のマスクパターンを投影する前記露光を終了した後に、前記フォトレジストを現像してレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクにして前記膜をエッチングすることにより、前記デバイスパターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする膜のパターニング方法。 - 前記第1のマスクパターンを投影する前記露光工程は、該第1のマスクパターンが形成された第1の露光用マスクを用いて、一つのチップ領域における前記フォトレジストを露光することにより行われ、
前記第2のマスクパターンを投影する前記露光工程は、該第2のマスクパターンが形成された第2の露光用マスクを用いて、前記チップ領域における前記フォトレジストを露光することにより行われることを特徴とする請求項1に記載の膜のパターニング方法。 - 前記第1のマスクパターンを投影する前記露光は、ショット領域内の第1及び第2領域のそれぞれに前記第1及び第2のマスクパターンが分けて形成された露光用マスクを用いて、前記フォトレジストに前記第1及び第2のマスクパターンを投影して行われ、
前記第2のマスクパターンを投影する前記露光は、前記露光用マスクを用い、且つ、前記第1のマスクパターンが投影された部分の前記フォトレジストに前記第2マスクパターンの投影像が重なるように該第2のマスクパターンを投影して行われることを特徴とする請求項1に記載の膜のパターニング方法。 - 基板上の膜に第1のデバイスパターンと第2のデバイスパターンを形成するパターニング方法において、
前記基板の上に前記膜を形成する工程と、
前記膜の上にフォトレジストを塗布する工程と、
前記第1のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施された第1のマスク開口と、前記第2のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第2のマスク開口とを前記フォトレジストに投影する第1の露光工程と、
前記第1のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第3のマスク開口と、前記第2のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施された第4のマスク開口とを前記フォトレジストに投影する第2の露光工程と、
前記フォトレジストを現像してレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして前記膜をエッチングすることにより、前記第1のデバイスパターンと前記第2のデバイスパターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする膜のパターニング方法。 - 前記膜は層間絶縁膜であり、前記第1のデバイスパターン及び第2のデバイスパターンは、コンタクトホールであることを特徴とする請求項4に記載の膜のパターニング方法。
- 前記第1の露光工程において、第2のマスク開口はアシストパターンであり、前記第2の露光工程において、第3のマスク開口はアシストパターンであることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の膜のパターニング方法。
- 前記第1のデバイスパターンと前記第2のデバイスパターンとの間隔は150nm以下であることを特徴とする請求項4乃至請求項6のいずれか1項に記載の膜のパターニング方法。
- 前記フォトレジストはポジ型であることを特徴とする請求項4乃至請求項7のいずれか1項に記載の膜のパターニング方法。
- 透明基板と、
前記透明基板の第1の領域に形成され、複数のデバイスパターンのそれぞれに対応する複数のマスク開口が第1の組と第2の組とに組分けされて開口され、且つ、前記第1の組に属する前記マスク開口のみに光近接効果補正が施された第1のマスクパターンと、
前記透明基板の第2の領域に形成され、前記第1のマスクパターンと同じ仕方で前記第1の組と前記第2の組とに組分けされたマスク開口を有し、前記第2の組に属する前記マスク開口のみに光近接効果補正が施された第2のマスクパターンと、
を有することを特徴とする露光用マスク。 - 基板上に第一のデバイスパターンと第二のデバイスパターンを露光する露光用マスクにおいて、
第1のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施された第1のマスク開口と、第2のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第2のマスク開口と、を有する第1の領域と、
前記第1のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第3のマスク開口と、前記第2のデバイスパターンに対応する、光近接効果補正が施されていない第4のマスク開口と、を有する第2の領域と、
を有することを特徴とする露光用マスク。
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