JP2005150494A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005150494A JP2005150494A JP2003387467A JP2003387467A JP2005150494A JP 2005150494 A JP2005150494 A JP 2005150494A JP 2003387467 A JP2003387467 A JP 2003387467A JP 2003387467 A JP2003387467 A JP 2003387467A JP 2005150494 A JP2005150494 A JP 2005150494A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- group
- exposure
- mask
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体基板上の被加工膜に形成すべき開口群を構成する開口1を、当該開口同士の間の距離が所定の設定距離よりも小さくならないように複数のグループA,Bに分割して、各グループA,B別の露光用マスクを形成し、各グループA,B別の露光用マスク毎に、前記被加工膜上に成膜されたレジスト膜へのマスクパターンの露光転写工程と、当該マスクパターンが露光転写されたレジスト膜をマスクにしたエッチング工程とを行い、これを前記グループ別の露光用マスクの全てについて繰り返すことで、前記被加工膜に前記開口群を形成する。
【選択図】図1
Description
図1〜4は、本発明の半導体装置の製造方法の概要の一例を示す模式図である。
具体例の一つ目として説明する実施例1では、図8に示すようなゲートアレイのコンタクトホール層を形成する場合を例に挙げて説明する。図例のコンタクトホール層において、形成すべき開口であるコンタクトホール(Contact Hole)の大きさは70nm×70nmで、最小ピッチは160nmである。
露光波長:193nm
投影レンズの像側開口数:0.80
投影レンズの照明側開口数:0.56
マスク:ハーフトーン位相シフトマスク(背景透過率6%)
レジスト:メタアクリル系化学増幅型ポジレジスト(250nm厚)
反射防止膜:有機系反射防止膜(80nm厚)
現像液:TMAH(Tetramethyl ammonium hydroxide)2.38%
露光波長:193nm
投影レンズの像側開口数:0.75
投影レンズの照明側開口数:0.56
照明形状:輪帯(輪帯比0.67)
マスク:ハーフトーン位相シフトマスク(背景透過率6%)
レジスト:シクロオレフィン系化学増幅型ポジレジスト(250nm厚)
反射防止膜:有機系反射防止膜(80nm厚)
現像液:TMAH2.38%
Claims (2)
- 半導体基板上の被加工膜に形成すべき開口群を構成する開口を、当該開口同士の間の距離が所定の設定距離よりも小さくならないように複数のグループに分割して、各グループ別の露光用マスクを形成し、
前記グループ別の露光用マスク毎に、前記被加工膜上に成膜されたレジスト膜へのマスクパターンの露光転写工程と、当該マスクパターンが露光転写されたレジスト膜をマスクにしたエッチング工程とを行い、これを前記グループ別の露光用マスクの全てについて繰り返すことで、前記被加工膜に前記開口群を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記露光転写工程では、前記被加工膜に形成すべき開口のターゲット寸法よりも大きな開口寸法のマスクパターンを露光転写し、
前記露光転写工程の後に前記開口の大きさを前記ターゲット寸法まで縮小化させる工程を行う
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003387467A JP2005150494A (ja) | 2003-11-18 | 2003-11-18 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003387467A JP2005150494A (ja) | 2003-11-18 | 2003-11-18 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005150494A true JP2005150494A (ja) | 2005-06-09 |
Family
ID=34694814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003387467A Pending JP2005150494A (ja) | 2003-11-18 | 2003-11-18 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005150494A (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008065320A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-03-21 | Asml Masktools Bv | 回路パターンを複数の回路パターンに分離する装置および方法 |
JP2008098203A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-24 | Fujitsu Ltd | 膜のパターニング方法及び露光用マスク |
JP2008182198A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-08-07 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィデバイス製造方法、リソグラフィセル、およびコンピュータプログラム |
JP2008541451A (ja) * | 2005-05-10 | 2008-11-20 | ラム リサーチ コーポレーション | 複数レチクル処理のためのレチクルのアライメントおよびオーバーレイ |
JP2010073797A (ja) * | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2010536179A (ja) * | 2007-08-08 | 2010-11-25 | ザイリンクス インコーポレイテッド | 処理マージンの向上のための複式露光半導体処理 |
KR100998489B1 (ko) | 2008-11-13 | 2010-12-06 | 주식회사 하이닉스반도체 | 고집적 상변화 메모리 소자 및 그 제조방법 |
US8111901B2 (en) | 2006-08-14 | 2012-02-07 | Asml Masktools B.V. | Apparatus and method for separating a circuit pattern into multiple circuit patterns |
JP2012238890A (ja) * | 2005-05-10 | 2012-12-06 | Lam Research Corporation | コンピュータ読み取り可能なマスクシュリンク制御プロセッサ |
JP2016024264A (ja) * | 2014-07-17 | 2016-02-08 | Hoya株式会社 | フォトマスク、フォトマスクの製造方法、フォトマスクブランク及び表示装置の製造方法 |
JP2016035967A (ja) * | 2014-08-01 | 2016-03-17 | キヤノン株式会社 | パターン形成方法 |
CN106463350A (zh) * | 2014-06-13 | 2017-02-22 | 英特尔公司 | 通过选择性削减规则网格的垂直沟道晶体管制造工艺 |
WO2024052774A1 (ja) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
-
2003
- 2003-11-18 JP JP2003387467A patent/JP2005150494A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012238890A (ja) * | 2005-05-10 | 2012-12-06 | Lam Research Corporation | コンピュータ読み取り可能なマスクシュリンク制御プロセッサ |
JP2008541451A (ja) * | 2005-05-10 | 2008-11-20 | ラム リサーチ コーポレーション | 複数レチクル処理のためのレチクルのアライメントおよびオーバーレイ |
JP2008065320A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-03-21 | Asml Masktools Bv | 回路パターンを複数の回路パターンに分離する装置および方法 |
US8111901B2 (en) | 2006-08-14 | 2012-02-07 | Asml Masktools B.V. | Apparatus and method for separating a circuit pattern into multiple circuit patterns |
JP2008098203A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-24 | Fujitsu Ltd | 膜のパターニング方法及び露光用マスク |
JP2008182198A (ja) * | 2006-12-12 | 2008-08-07 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィデバイス製造方法、リソグラフィセル、およびコンピュータプログラム |
JP2010536179A (ja) * | 2007-08-08 | 2010-11-25 | ザイリンクス インコーポレイテッド | 処理マージンの向上のための複式露光半導体処理 |
JP2010073797A (ja) * | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
KR100998489B1 (ko) | 2008-11-13 | 2010-12-06 | 주식회사 하이닉스반도체 | 고집적 상변화 메모리 소자 및 그 제조방법 |
CN106463350A (zh) * | 2014-06-13 | 2017-02-22 | 英特尔公司 | 通过选择性削减规则网格的垂直沟道晶体管制造工艺 |
JP2017520908A (ja) * | 2014-06-13 | 2017-07-27 | インテル・コーポレーション | 規則的なグリッドの選択的削減による縦型チャネルトランジスタ製造処理 |
US10361090B2 (en) | 2014-06-13 | 2019-07-23 | Intel Corporation | Vertical channel transistors fabrication process by selective subtraction of a regular grid |
JP2016024264A (ja) * | 2014-07-17 | 2016-02-08 | Hoya株式会社 | フォトマスク、フォトマスクの製造方法、フォトマスクブランク及び表示装置の製造方法 |
JP2016035967A (ja) * | 2014-08-01 | 2016-03-17 | キヤノン株式会社 | パターン形成方法 |
WO2024052774A1 (ja) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100819673B1 (ko) | 반도체 소자 및 그의 패턴 형성 방법 | |
KR100613461B1 (ko) | 이중노광기술을 이용한 이중노광방법과 이를 위한포토마스크 | |
TWI403864B (zh) | 製造接觸孔之系統及方法 | |
US7972932B2 (en) | Mark forming method and method for manufacturing semiconductor device | |
KR100647182B1 (ko) | 포토마스크, 포토마스크의 제조 방법, 및 그 포토마스크를이용한 반도체 장치의 제조 방법 | |
US7847918B2 (en) | Illumination optical system, exposure method and designing method | |
US20070190762A1 (en) | Device manufacturing method and computer program product | |
KR20030001089A (ko) | 콘택 형성 방법 | |
JP2005150333A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005150494A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4345821B2 (ja) | 露光用マスク及びパターン形成方法 | |
JP2002075857A (ja) | レジストパタン形成方法 | |
KR100841354B1 (ko) | 포토리소그래피용 광원, 포토리소그래피 장치 및 포토리소그래피 방법 | |
JP2009016789A (ja) | 半導体素子の微細パターン形成方法 | |
KR20050016152A (ko) | 설계 패턴의 작성 방법, 포토 마스크의 제조 방법,레지스트 패턴의 형성 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
US7482110B2 (en) | Method for adapting structure dimensions during the photolithographic projection of a pattern of structure elements onto a semiconductor wafer | |
US7838181B2 (en) | Photo mask and method for manufacturing semiconductor device using the same | |
KR100811270B1 (ko) | 단일 포토마스크를 이용한 패턴 형성방법 | |
KR100826765B1 (ko) | 고립 패턴의 해상력 향상 레티클 제조 방법 및 레티클 구조 | |
KR101034540B1 (ko) | 위상 반전 마스크 제조 방법 | |
KR0171944B1 (ko) | 반도체소자의 미세패턴 제조방법 | |
KR20060077767A (ko) | 다중투과 위상 마스크 및 그 제조 방법 | |
KR20100042468A (ko) | 반도체 소자의 형성 방법 | |
KR100527398B1 (ko) | 불화아르곤 전사법을 이용한 자기 정렬 콘택 형성 방법 | |
TW202137294A (zh) | 用於極紫外光微影的全反射式相位邊緣光罩 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060714 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080520 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090120 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090316 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091006 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091009 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091028 |