JP4499616B2 - 露光用マスクとその製造方法、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態について説明する前に、本発明の予備的事項について説明する。
図10は、本発明の第1の実施の形態に係る露光用マスクの拡大平面図である。
上記した第1実施形態では、図10に示したように、疎な主開口21aの周りに、第1、第2補助開口21b、21cを形成した。これに対し、本実施形態では、密に形成された主開口21aの外周に、上記の第1、第2補助開口21b、21cを形成する。
図19は、本実施形態の第1例に係る露光用マスクの拡大平面図である。
図20は、本実施形態の第2例に係る露光用マスクの拡大平面図である。
本実施形態では、第1実施形態で説明した露光用マスク24(図10参照)の製造方法について説明する。
本実施形態では、第1実施形態で説明した露光用マスク24(図10参照)を用いた半導体装置の製造方法について説明する。
前記透明基板上に形成された膜と
前記膜に形成された矩形状の主開口と、
前記膜に前記主開口から間隔をおいて形成され、該主開口の一辺と対向する長辺を有する長方形状のデバイスパターンとして解像されない大きさの第1補助開口と、
前記膜に形成され、前記主開口の対角線の仮想延長線上に位置し、デバイスパターンとして解像されない大きさの第2補助開口と、
を有することを特徴とする露光用マスク。
前記主開口の一辺と対向する位置に該一辺と平行で同じ長さの長辺を有する長方形状の第1補助開口の設計データを得るステップと、
前記主開口の対角線の仮想延長線上に位置する第2補助開口の設計データを得るステップと、
前記主開口、前記第1補助開口、及び前記第2補助開口のそれぞれの前記設計データを用いるリソグラフィにより、透明基板上の膜をパターニングして該膜に前記主開口、前記第1補助開口、及び前記第2補助開口のそれぞれを形成するステップと、
を有することを特徴とする露光用マスクの製造方法。
前記主開口を中心とする矩形枠を作成するステップと、
前記矩形枠の内部に、該矩形枠と一頂点を共有する小矩形を配し、該小矩形の位置データと形状データとを前記第2補助開口の設計データとするステップとを有することを特徴とする付記7に記載の露光用マスクの製造方法。
前記デバイスパターン用の膜の上にフォトレジストを塗布する工程と、
透明基板と、該透明基板上に形成された膜と、該膜に形成された矩形状の主開口と、該膜に前記主開口から間隔をおいて形成され、該主開口の一辺と対向する長辺を有する長方形状の解像されない大きさの第1補助開口と、前記膜に形成され、前記主開口の対角線の仮想延長線上に位置し、解像されない大きさの第2補助開口とを有する露光用マスクを用いて、前記フォトレジストを露光する工程と、
前記露光の後、前記フォトレジストを現像してレジストパターンにする工程と、
前記レジストパターンをマスクにして前記デバイスパターン用の膜をエッチングすることにより、該膜をパターニングしてデバイスパターンにする工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Claims (10)
- 透明基板と、
前記透明基板上に形成された膜と、
前記膜に形成された矩形状の主開口と、
前記膜に前記主開口から間隔をおいて形成され、該主開口の一辺と対向する位置に該一辺と平行でほぼ同じ長さの長辺を有する長方形状のデバイスパターンとして解像されない大きさの複数の第1補助開口と、
前記膜に形成され、前記主開口の対角線の仮想延長線上に位置し、デバイスパターンとして解像されない大きさの正方形状の複数の第2補助開口と、
を有することを特徴とする露光用マスク。 - 前記第1補助開口は、前記主開口から離れる方向に間隔をおいて二つ形成されたことを特徴とする請求項1に記載の露光用マスク。
- 前記主開口が複数形成され、該複数の主開口のうちの二つの投影像の間隔が、該投影像の幅の3倍以上であることを特徴とする請求項1に記載の露光用マスク。
- 前記透明基板の一部領域において、前記主開口が行方向及び列方向に繰り返して複数形成され、該複数の主開口の投影像同士の間隔が該投影像の幅の3倍未満であり、最外周の前記主開口のそれぞれに対向して前記第1補助開口が複数形成されると共に、前記一部領域のコーナ部の前記主開口の対角線の仮想延長線上に前記第2補助開口が形成されたことを特徴とする請求項1に記載の露光用マスク。
- 前記一部領域の外側における前記仮想延長線上に別の前記主開口が形成され、前記別の主開口と前記コーナ部における前記主開口との間の前記仮想延長線上に前記第2補助開口が形成されたことを特徴とする請求項4に記載の露光用マスク。
- 矩形状のデバイスパターンの設計データに対し、該デバイスパターンの四つの辺が伸長されるような加工を施すことにより、主開口の設計データを得るステップと、
前記主開口の一辺と対向する位置に該一辺と平行で同じ長さの長辺を有する長方形状であって、デバイスパターンとして解像されない大きさの複数の第1補助開口の設計データを得るステップと、
前記主開口の対角線の仮想延長線上に位置する正方形状であって、デバイスパターンとして解像されない大きさの複数の第2補助開口の設計データを得るステップと、
前記主開口、前記第1補助開口、及び前記第2補助開口のそれぞれの前記設計データを用いるリソグラフィにより、透明基板上の膜をパターニングして該膜に前記主開口、前記第1補助開口、及び前記第2補助開口のそれぞれを形成するステップと、
を有することを特徴とする露光用マスクの製造方法。 - 前記第2補助開口の設計データを得るステップは、
前記主開口を中心とする矩形枠を作成するステップと、
前記矩形枠の内部に、該矩形枠と一頂点を共有する小矩形を配し、該小矩形の位置データと形状データとを前記第2補助開口の設計データとするステップとを有することを特徴とする請求項6に記載の露光用マスクの製造方法。 - 前記矩形枠の隅に前記小矩形を配するステップにおいて、該小矩形の大きさを変更可能とすることを特徴とする請求項7に記載の露光用マスクの製造方法。
- 半導体基板の上にデバイスパターン用の膜を形成する工程と、
前記デバイスパターン用の膜の上にフォトレジストを塗布する工程と、
透明基板と、該透明基板上に形成された膜と、該膜に形成された矩形状の主開口と、該膜に前記主開口から間隔をおいて形成され、該主開口の一辺と対向する位置に該一辺と平行でほぼ同じ長さの長辺を有する長方形状の解像されない大きさの複数の第1補助開口と、前記膜に形成され、前記主開口の対角線の仮想延長線上に位置し、解像されない大きさの正方形状の複数の第2補助開口とを有する露光用マスクを用いて、前記フォトレジストを露光する工程と、
前記露光の後、前記フォトレジストを現像してレジストパターンにする工程と、
前記レジストパターンをマスクにして前記デバイスパターン用の膜をエッチングすることにより、該膜をパターニングしてデバイスパターンにする工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記フォトレジストを露光する工程において変形照明を使用することを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
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