JP2008091899A - 半導体素子のキャパシタ形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板上にストレージノード電極を形成する工程と、ストレージノード電極上に、高誘電定数を持つ誘電体膜を形成する工程と、誘電体膜上にプレート電極を蒸着する工程と、プレート電極上にキャッピング膜を蒸着しながら当該半導体基板上に水素原子(H)を含有するガスを供給して、当該電極内に残留する反応不純物を排出させる工程と、を含む構成とした。
【選択図】図10
Description
前記チタン(Ti)ソース物質は、四塩化炭素(TiCl4)を含むことが好ましい。
Claims (18)
- 半導体基板上にストレージノード電極を形成する工程と、
前記ストレージノード電極上に、高誘電定数を持つ誘電体膜を形成する工程と、
前記誘電体膜上にプレート電極を蒸着する工程と、
前記プレート電極上にキャッピング膜を蒸着しながら、前記半導体基板上に水素原子(H)を含有するガスを供給して前記電極内に残留する反応不純物を排出させる工程と、
を含むことを特徴とする、半導体素子のキャパシタ形成方法。 - 前記電極が、窒化チタン(TiN)、ルテニウム(Ru)、窒化タングステン(WN)及び窒化アルミニウム(AlN)からなる群より選ばれるいずれか一つ以上の物質によって形成されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記誘電体膜が、酸化ハフニウム(HfO2)、アルミナ(Al2O3)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化チタン(TiO2)、酸化タンタル(TaO2)、BST(BaSrTiO3)及びチタン酸ジルコン酸鉛(PZT;PbZrTiO)からなる群より選ばれる一つ以上の物質によって形成されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記電極が、HSC(High Step Coverage)、SFD(Sequence Flow Deposition)または原子層蒸着方法によって形成されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記反応不純物を排出させる工程は、
前記半導体基板を、低圧状態に維持される反応炉にローディングする工程と、
前記反応炉に、水素原子(H)を含有するガスを供給する工程と、
400〜600℃の温度でアニール工程を行う工程と、
を含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。 - 前記キャッピング膜は、ポリシリコン膜またはシリコンゲルマニウム(SiGe)膜を含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記水素原子(H)を含有するガスは、ホスフィン(PH3)ガスまたは水素(H2)ガスを一つ以上含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記水素原子(H)を含有するガスを供給する工程及び前記半導体基板上にキャッピング膜を形成する工程は、水素原子(H)が大気中の酸素(O)と反応して伝導性を劣化させるのを防止するためにイン−シチューで進行することを特徴とする、請求項5に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 半導体基板の層間絶縁膜上にストレージノード電極を形成する工程と、
前記ストレージノード電極上に、高誘電定数を持つ誘電体膜を形成する工程と、
前記誘電体膜上に、チタン(Ti)ソース物質及びナイトライド(N)ソース物質を供給して窒化チタン(TiN)膜を蒸着する工程と、
前記窒化チタン(TiN)膜上にキャッピング膜を蒸着しながら、前記半導体基板上に水素原子(H)を含有するガスを供給して、前記電極内に残留する反応不純物を排出させる工程と、
を含むことを特徴とする、半導体素子のキャパシタ形成方法。 - 前記ストレージノード電極を形成する工程は、
前記層間絶縁膜内にコンタクトプラグを形成する工程と、
前記コンタクトプラグ上にストレージノード絶縁膜を形成する工程と、
前記ストレージノード絶縁膜内にストレージノードコンタクトホールを形成する工程と、
前記ストレージノードコンタクトホール上にストレージノード用金属膜を形成する工程と、
前記コンタクトプラグと隣接するストレージノード用金属膜を金属シリサイド膜で形成する工程と、
前記ストレージノード用金属膜をノード分離する工程と、
を含むことを特徴とする、請求項9に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。 - 前記ストレージノード電極が、窒化チタン(TiN)、ルテニウム(Ru)、窒化タングステン(WN)及び窒化アルミニウム(AlN)からなる群より選ばれるいずれか一つ以上の物質によって形成されることを特徴とする、請求項9に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記チタン(Ti)ソース物質は、四塩化炭素(TiCl4)を含むことを特徴とする、請求項9に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記誘電体膜は、酸化ハフニウム(HfO2)、アルミナ(Al2O3)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化チタン(TiO2)、酸化タンタル(TaO2)、BST(BaSrTiO3)及びチタン酸ジルコン酸鉛(PZT;PbZrTiO)からなる群より選ばれる一つ以上の物質によって形成されることを特徴とする、請求項9に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記電極が、HSC(High Step Coverage)、SFD(Sequence Flow Deposition)または原子層蒸着方法によって形成されることを特徴とする、請求項9に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記反応不純物を排出させる工程は、
前記半導体基板を、低圧状態に維持される反応炉にローディングする工程と、
前記反応炉に水素原子(H)を含有するガスを供給する工程と、
400〜600℃の温度でアニール工程を行う工程と、
を含むことを特徴とする、請求項9に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。 - 前記キャッピング膜は、ポリシリコン膜またはシリコンゲルマニウム(SiGe)膜を含むことを特徴とする、請求項9に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記水素原子(H)を含有するガスは、ホスフィン(PH3)ガスまたは水素(H2)ガスを一つ以上含むことを特徴とする、請求項9に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
- 前記水素原子(H)を含有するガスを供給する工程及び前記半導体基板上にキャッピング膜を形成する工程は、供給されたガスに含有されている水素原子(H)が大気中の酸素(O)と反応して酸窒化チタン(TiON)を形成して伝導性を劣化させるのを防止するために、イン−シチューで進行することを特徴とする、請求項15に記載の半導体素子のキャパシタ形成方法。
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