JP2007329286A - 半導体装置、およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来に比べて、リーク電流を低減でき、しかも信頼性を確保しつつ、誘電率の低下を抑制できる効果を有するMIM構造のキャパシタを備えた半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】非晶質酸化ハフニウムで構成される容量絶縁膜15と、容量絶縁膜15の両側に配置される、それぞれ金属膜から成る上部電極16および下部電極14とを有するMIM構造のキャパシタ51を備える。非晶質酸化ハフニウムは、気相反応物を順次に下部電極14上に低温吸着後、低温酸化することにより堆積させる方法、いわゆるALD法で形成される。ALD法により堆積させた後、低温リモートプラズマなどで生成される酸素ラジカルにより再酸化させることにより、非晶質で、不純物の少ない酸化ハフニウム膜を実現することが可能である。
【選択図】図1
【解決手段】非晶質酸化ハフニウムで構成される容量絶縁膜15と、容量絶縁膜15の両側に配置される、それぞれ金属膜から成る上部電極16および下部電極14とを有するMIM構造のキャパシタ51を備える。非晶質酸化ハフニウムは、気相反応物を順次に下部電極14上に低温吸着後、低温酸化することにより堆積させる方法、いわゆるALD法で形成される。ALD法により堆積させた後、低温リモートプラズマなどで生成される酸素ラジカルにより再酸化させることにより、非晶質で、不純物の少ない酸化ハフニウム膜を実現することが可能である。
【選択図】図1
Description
本発明は、MIM(Metal Insulator Metal)構造のキャパシタを備える半導体装置およびその製造方法に関するものである。
半導体装置の代表として知られているLSI(大規模集積回路)は、メモリデバイスとロジックデバイスとに大別され、メモリデバイスはDRAM(Dynamic RAM)とSRAM(Static RAM)とに分類される。ここで、これらのメモリデバイスは、ほとんどが、集積度の点で優れているMOS(Metal Insulator Semiconductor)型トランジスタによって構成されている。
またDRAMは、セルのサイズがSRAMと比較して小さく、構造も単純で集積度を上げやすいことから、情報機器等における各種の主記憶装置など、大容量を必要とする用途に広く利用されている。
さらに最近では、マイクロプロセッサ、チップセット、ビデオチップ、メモリなどの機能が1チップに集積された、いわゆるSoC(System On Chip)の需要が増してきており、上述のDRAMとロジックデバイスとを同一チップ内に一体に形成するようにした混載DRAMが広く普及してきている。
DRAMは、スイッチング動作を行なうMOS型トランジスタからなるメモリセル選択用セルトランジスタと、ひとつのキャパシタとにより1つのメモリセルを構成している。データの書き込み、リフレッシュ、読み出し等が必要なとき、MOS型トランジスタをONすることによりキャパシタへ電荷の移動が起こり、この電荷を検出すればデータが判定できるという仕組みになっている。
ここで、最近の記憶容量の増大につれて、個々のメモリセル集積度を上げる試みが行われているが、キャパシタ容量の減少が問題になっている。
また、キャパシタ容量の低下により、データの読み出しが困難になるという問題以外に、放射線により記憶が消失する、いわゆるソフトエラーが問題になっている。
そこで、いかに小型化しながら容量を維持するかが、今後のDRAMの高集積化の指針となっている。
この問題を解決するために、キャパシタの構造は、平面型から、基板上にキャパシタを積み上げるスタック型構造、基板に穴を開ける円筒立体型(トレンチ型)構造、もしくはトランジスタ/配線間の層間膜中にトレンチを形成する構造等へと進化してきている。またその一方で、容量を上げる方法として高誘電率材料を容量絶縁膜に用いる方法も検討され、従来のシリコン酸化膜、窒化膜から、より誘電率の高い物質、たとえばAl2O3(比誘電率10)、Ta2O5(比誘電率25)もしくはハフニウムアルミニウム酸化膜(AHO)を用いたキャパシタの開発が行なわれつつある。
また、容量絶縁膜と組み合わせてキャパシタを構成する下部電極(ストレージ電極)および上部電極(プレート電極)としては、従来まで多結晶シリコン膜が用いられていた。しかしながら、多結晶シリコン成膜は、一般的にはバッチ式熱CVD法による高温長時間プロセスを要求し、この高温長時間プロセス時に、半導体基板内にすでに形成されているMOS型トランジスタ内の浅接合領域もしくはサリサイド部分、特に今後主流となりうるニッケルサリサイド等を劣化させる懸念があった。そこで、上下部電極は比較的低い温度(400℃以下)かつ枚葉成膜による短時間で形成可能な、たとえば400℃以下で成膜が可能な金属を用いた、いわゆるMIM構造のキャパシタが今後主流になると思われる。
MIM構造のキャパシタにおいて、容量絶縁膜に比誘電率の高い酸化ジルコニウム(ZrOX)、酸化ハフニウム(HfOX)及び酸化アルミニウム(以下AlO)を加えたAlXM(1−X)OYの非晶質膜を用いる半導体装置が特許文献1で提案されている。
また、特許文献2では、容量絶縁膜として、Al−rich HfOX−Al2O3混合膜及びHf−rich HfOX−Al2O3混合膜の積層構造からなる誘電体膜を形成することが提案されている。
単体のHfOXもしくはZrOXは成膜時自己結晶化する問題が知られており、これらの文献は、その問題を回避する手段として、AlOを添加して結晶成長を抑制するという方法を提案している。
特開2004−214304号公報
特開2004−214602号公報
しかしながら、特許文献1や特許文献2で提案されているような従来のAlOを添加するMIM構造のキャパシタでは、AlO添加により誘電率が低下し、実質的なセル容量の低下が生じるという問題が発生する。
また、セル表面積一定でセル容量を大きくする場合、容量絶縁膜の物理膜厚を減少させる必要があるが、従来のAlOを添加するMIM構造のキャパシタでは、容量絶縁膜の物理膜厚を減少させるに伴ってリーク電流が増大し、デバイスの消費電力が増大し、動作不良などを誘引するという問題も発生する。
図10に、Al組成比別のリーク電流−容量絶縁膜酸化膜換算膜厚の関係を示す。
図10から明らかなように、容量絶縁膜膜厚が減少するに従って、リーク電流が増大している。
また、AlO添加割合が多いものと少ないものを比較すると、AlO添加割合が多いものの方が、容量絶縁膜が厚い領域でもリーク電流が増大していることがわかる。図10において、例えば物理膜厚が1.4nmの容量絶縁膜について見ると、HfO:AlO=3:7の組成比の容量絶縁膜のリーク電流は、HfO:AlO=5:5やHfO:AlO=7:3などのAlO組成比が小さい容量絶縁膜のリーク電流よりも大きくなっている。このことから、AlO添加割合が多いほど、リーク電流が発生し易いことがわかる。
したがって、誘電率の低下およびリーク電流の増大という点から、容量絶縁膜にAlを添加することは避けるのが望ましい。
しかしながら、容量絶縁膜としてHfO、ZrO等の単体で用いる場合、堆積時に自己結晶化が進行することが知られており、その結晶膜中に存在する粒界が原因で、キャパシタへの電圧印加時に、容量絶縁膜に絶縁破壊が生じ易くなり、信頼性が低下するという問題が発生する恐れがある。
本発明は、上述した従来の課題を解決するもので、従来に比べて、リーク電流を低減でき、しかも信頼性を確保しつつ、誘電率の低下を抑制できる、MIM構造のキャパシタを備えた半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
上述した課題を解決するために、第1の本発明は、
(1)非晶質酸化ハフニウムで構成された容量絶縁膜と、(2)前記容量絶縁膜の両側に配置された、それぞれ金属膜から成る上部電極および下部電極と、を有するMIM構造のキャパシタ、
を備えた半導体装置である。
(1)非晶質酸化ハフニウムで構成された容量絶縁膜と、(2)前記容量絶縁膜の両側に配置された、それぞれ金属膜から成る上部電極および下部電極と、を有するMIM構造のキャパシタ、
を備えた半導体装置である。
また、第2の本発明は、
前記容量絶縁膜の膜厚は、4nm以上かつ8nm以下である、第1の本発明の半導体装置である。
前記容量絶縁膜の膜厚は、4nm以上かつ8nm以下である、第1の本発明の半導体装置である。
また、第3の本発明は、
前記上部電極および前記下部電極は、窒化チタン、窒化タンタルまたは窒化タングステンを含む、第1の本発明の半導体装置である。
前記上部電極および前記下部電極は、窒化チタン、窒化タンタルまたは窒化タングステンを含む、第1の本発明の半導体装置である。
また、第4の本発明は、
その両面間を貫通する導電性部材を有する、前記下部電極の下に配置される層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜の下に配置されたトランジスタとを備え、
前記下部電極は、前記導電性部材によって前記トランジスタと電気的に接続されている、第1の本発明の半導体装置である。
その両面間を貫通する導電性部材を有する、前記下部電極の下に配置される層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜の下に配置されたトランジスタとを備え、
前記下部電極は、前記導電性部材によって前記トランジスタと電気的に接続されている、第1の本発明の半導体装置である。
また、第5の本発明は、
半導体基板上に層間絶縁膜を形成する層間絶縁膜形成工程と、
前記層間絶縁膜の両面間を貫通する導電性部材を、前記層間絶縁膜内に形成する導電性部材形成工程と、
前記層間絶縁膜上に、前記導電性部材により電気的に接続される下部電極を形成する下部電極形成工程と、
前記下部電極上に、非晶質酸化ハフニウムで構成される容量絶縁膜を形成する容量絶縁膜形成工程と、
前記容量絶縁膜上に上部電極を形成する上部電極形成工程とを備えた半導体装置の製造方法である。
半導体基板上に層間絶縁膜を形成する層間絶縁膜形成工程と、
前記層間絶縁膜の両面間を貫通する導電性部材を、前記層間絶縁膜内に形成する導電性部材形成工程と、
前記層間絶縁膜上に、前記導電性部材により電気的に接続される下部電極を形成する下部電極形成工程と、
前記下部電極上に、非晶質酸化ハフニウムで構成される容量絶縁膜を形成する容量絶縁膜形成工程と、
前記容量絶縁膜上に上部電極を形成する上部電極形成工程とを備えた半導体装置の製造方法である。
また、第6の本発明は、
前記容量絶縁膜形成工程では、キャリアガスとしてN2を用いる、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記容量絶縁膜形成工程では、キャリアガスとしてN2を用いる、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
また、第7の本発明は、
前記容量絶縁膜形成工程では、ハフニウムを含む気体および酸素系気体を交互に供給する方法である原子層堆積法(ALD法)、または化学的気相堆積法(CVD法)を用いて、前記容量絶縁膜を前記下部電極上に形成する、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記容量絶縁膜形成工程では、ハフニウムを含む気体および酸素系気体を交互に供給する方法である原子層堆積法(ALD法)、または化学的気相堆積法(CVD法)を用いて、前記容量絶縁膜を前記下部電極上に形成する、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
また、第8の本発明は、
前記容量絶縁膜形成工程において前記容量絶縁膜を形成する際の成膜温度は、200℃以上かつ270℃以下であり、圧力は、20Pa以上かつ100Pa以下である、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記容量絶縁膜形成工程において前記容量絶縁膜を形成する際の成膜温度は、200℃以上かつ270℃以下であり、圧力は、20Pa以上かつ100Pa以下である、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
また、第9の本発明は、
前記容量絶縁膜形成工程は、形成する前記容量絶縁膜中の不純物を再酸化法を用いて除去する再酸化工程を含む、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記容量絶縁膜形成工程は、形成する前記容量絶縁膜中の不純物を再酸化法を用いて除去する再酸化工程を含む、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
また、第10の本発明は、
前記容量絶縁膜形成工程は、ハフニウムを含む気体および酸素系気体を交互に供給する原子層堆積法、または化学的気相堆積法を用いて、前記容量絶縁膜を前記下部電極上に形成する容量絶縁膜堆積工程と、形成する前記容量絶縁膜中の不純物を再酸化法を用いて除去する再酸化工程とを含み、前記容量絶縁膜堆積工程の後に前記再酸化工程を行う一連の工程を繰り返し行う工程である、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記容量絶縁膜形成工程は、ハフニウムを含む気体および酸素系気体を交互に供給する原子層堆積法、または化学的気相堆積法を用いて、前記容量絶縁膜を前記下部電極上に形成する容量絶縁膜堆積工程と、形成する前記容量絶縁膜中の不純物を再酸化法を用いて除去する再酸化工程とを含み、前記容量絶縁膜堆積工程の後に前記再酸化工程を行う一連の工程を繰り返し行う工程である、第5の本発明の半導体装置の製造方法である。
また、第11の本発明は、
前記再酸化法は、リモートプラズマ酸化方法、O3ガス暴露方法、紫外線照射下でのO3ガス暴露方法のいずれかである、第9または第10の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記再酸化法は、リモートプラズマ酸化方法、O3ガス暴露方法、紫外線照射下でのO3ガス暴露方法のいずれかである、第9または第10の本発明の半導体装置の製造方法である。
また、第12の本発明は、
前記容量絶縁膜形成工程では、形成させる前記容量絶縁膜中の炭素不純物濃度を1%以下にする、第9または第10の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記容量絶縁膜形成工程では、形成させる前記容量絶縁膜中の炭素不純物濃度を1%以下にする、第9または第10の本発明の半導体装置の製造方法である。
本発明により、従来に比べて、リーク電流を低減でき、しかも信頼性を確保しつつ、誘電率の低下を抑制できる、MIM構造のキャパシタを備えた半導体装置およびその製造方法を提供できる。
まず、本発明の半導体装置およびその製造方法の概要について説明する。
本発明の半導体装置が備えるMIM構造のキャパシタは、下部電極および上部電極との間に非晶質HfOX膜を容量絶縁膜として挟みこんで形成されるキャパシタである。そして、容量絶縁膜とする非晶質HfOX膜は、TEMAHに代表される有機金属化合物を原料として成膜され、成膜後リモートプラズマによるラジカル酸化により、膜中の炭素不純物が1%以下に制御された非晶質HfOX膜である。
図4(a)に、本発明の半導体装置の第1の製造方法の流れを示す模式図を、図4(b)に、本発明の半導体装置の第2の製造方法の流れを示す模式図をそれぞれ示す。
本発明の半導体装置の第1の製造方法は、下部電極および上部電極との間に非晶質HfOX膜が容量絶縁膜として形成されるキャパシタの製造方法に特徴があり、その非晶質HfOX膜は、下部電極上にALD法(原子層堆積法)を用いて積層させる方法を用いて堆積される。
HfOXの成膜原料として、Hfを含む有機化合物を用いる。Hfの有機化合物の具体例としては、Hf(NCH3C2H5)4、Hf(C(CH3)3)、Hf(N(CH3)2)、Hf(N(C2H5))などが挙げられるが、Hf(NCH3C2H5)4またはTEMAHが一般的に用いられている。
図4(a)に示すように、ALD法(原子層堆積法)の工程(S100)は、具体例として、TEMAHに代表されるハフニウム(Hf)を含有した有機金属原料を吸着させる工程(S101)、未吸着有機金属原料を排気する工程(S102)、吸着した有機金属原料をO3暴露により酸化成膜する工程(S103)、およびO3を排気する工程(S104)からなる。
本発明の半導体装置の第1の製造方法は、図4(a)に示すようなこれらのALD法の工程(S100)を繰り返し、必要な膜厚のHfOX膜を得た後、そのHfOX膜をさらに、リモート酸素プラズマ、O3もしくは紫外線照射下のO3を用いて再酸化し、膜中の不必要な炭素および窒素残留物を最大限除去する再酸化工程(S110)を有することを特徴とする。
なお、この本発明の半導体装置の第1の製造方法については、後述する実施の形態1でさらに詳細に説明する。
本発明の半導体装置の第2の製造方法は、図4(b)に示すように、第1の製造方法により得たHfOX膜上に、再度第1の製造方法で成膜したHfOXを堆積することを繰り返すことにより成膜を行うことを特徴とする製造方法である。図4(b)に示すS120の工程は、図4(a)に示すALD法の工程(S100)と再酸化工程(S110)を合わせた一連の工程を示している。
なお、この本発明の半導体装置の第2の製造方法についても、後述する実施の形態1でさらに詳細に説明する。
上記本発明の半導体装置の各製造方法において、成膜される容量絶縁膜は非晶質HfOXであり、そのALD法を用いたHfOX積層膜の各層の酸化剤としては、O3、UV照射下でのO3法、もしくは酸素プラズマ暴露が用いられる。
比誘電率は、従来のキャパシタのAlO添加の積層膜では10〜20の間であるのに対して、本発明の半導体装置のキャパシタでは、HfOX単層であるがゆえ、20以上の値を得ることが可能である。
図11は、本発明のHfO膜のリーク特性および従来型のAlO/HfO混合膜(組成比1:1)のリーク特性を示しており、両者とも酸化膜換算膜厚(Teq)は1.2nm相当の膜厚を有している。
本発明の半導体装置のキャパシタの容量絶縁膜のリーク電流特性は、図11に示すように、従来のAlO/HfO混合膜より2桁以上のリーク電流の低減が見られている。本発明のHfOX膜は、リーク電流の流れが薄膜ゲート酸化膜同様、Fowler Nordheim(F−N)トンネリング機構あるいは直接トンネリング機構に支配されるところのリーク電流特性に類似しているが、リーク特性、信頼性等、キャパシタとして実用上問題ないことは確認済みである。
また、本発明の半導体装置を製造する際に、容量絶縁膜の原料の導入方法として、成膜チャンバー内において液体有機金属原料を気化させ導入する方法を用いることにより、原料の供給が安定し、均一な特性を有するキャパシタが得られる。
次に、本発明の半導体装置の具体的な構成およびその製造方法の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1の半導体装置を示す断面図である。本実施の形態1の半導体装置は、メモリセル選択用トランジスタ50とMIM構造のキャパシタ51で構成されている。
図1は、本発明の実施の形態1の半導体装置を示す断面図である。本実施の形態1の半導体装置は、メモリセル選択用トランジスタ50とMIM構造のキャパシタ51で構成されている。
メモリセル選択用トランジスタ50は、半導体基板1上に形成された素子分離絶縁膜2と、素子分離絶縁膜2に囲まれた活性領域に形成されたゲート絶縁膜3と、ゲート絶縁膜3上に形成されたゲート電極4と、ゲート電極4をマスクとして不純物拡散により形成された高濃度不純物拡散層5と、ゲート絶縁膜3およびゲート電極4の側面を覆うサイドウォール6と、サイドウォール6をマスクとして不純物拡散により形成された低濃度不純物拡散層7と、ゲート電極4の上部に形成されたシリサイド層8とで構成されている。
また、MIM構造のキャパシタ51は、半導体基板1上に形成された第1の層間絶縁膜10と、第1の層間絶縁膜10内にその両面間を貫通するように形成された導電性部材11と、第1の層間絶縁膜10の上に形成された第2の層間絶縁膜12と、第2の層間絶縁膜12に形成された溝に、その溝を覆うように形成され、且つ、導電性部材11と電気的に接続される下部電極14と、下部電極14および第2の層間絶縁膜12を覆う容量絶縁膜15と、容量絶縁膜15を覆う上部電極16とで構成されている。ここで、低濃度不純物拡散層7は、導電性部材11と電気的に接続されている。
次に、本実施の形態1の半導体装置の製造方法について説明する。
図2(a)〜(c)および図3(a)〜(c)は、本実施の形態1の半導体装置の製造方法の各工程を示す断面図である。
まず、図2(a)に示すように、半導体基板1の上に、LOCOS法もしくはSTI分離法を用いて素子分離絶縁膜2を形成する。次に、素子分離絶縁膜2に囲まれた活性領域上に、熱酸化法によりゲート絶縁膜3を形成する。次に、ゲート絶縁膜3上に、CVD法によりポリシリコン膜を成長させ、フォトリソグラフィー法及びドライエッチング法により、ポリシリコン膜をパターンニングしてゲート電極4を形成する。次に、ゲート電極4間に露出している半導体基板1に、フォトリソグラフィー法及びイオン注入法を用い、ゲート電極4をマスクとして、高濃度不純物拡散層5を形成する。次に、CVD法及びエッチング技術を用いて、ゲート絶縁膜3およびゲート電極4の側面にシリコン酸化膜からなるサイドウォール6を形成する。次に、サイドウォール6間に露出している半導体基板1に、フォトリソグラフィー法及びイオン注入法を用い、サイドウォール6をマスクとして、低濃度不純物拡散層7を形成する。その後、ゲート電極4上および拡散層5、7の上部に、サリサイド技術によりシリサイド層8を形成する。以上の工程により、メモリセル選択用トランジスタ50が形成される。
なお、以降の工程はシリサイド層8の拡散を抑えるため、400℃以下の温度で処理することとする。
次に、図2(b)に示すように、メモリセル選択用トランジスタ50を覆うように、CVD法により、第1の層間絶縁膜10を形成する。この第1の層間絶縁膜10には、400℃以下で成膜可能な、例えば高密度プラズマを用いたCVD−SiO2膜などを用いるのが望ましい。なお、この第1の層間絶縁膜10を形成する工程が、本発明の層間絶縁膜形成工程の一例にあたる。
次に、フォトリソグラフィー法及びドライエッチング法により、第1の層間絶縁膜10に、低濃度不純物拡散層7に貫通するコンタクトホールを形成する。次に、そのコンタクトホール内に、CVD法もしくはALD法により、バリアメタル及び金属膜からなる導電性部材11を形成する。ここで、金属膜としてはタングステンを用いる。なお、この第1の層間絶縁膜10を貫通する導電性部材11を形成する工程が、本発明の導電性部材形成工程の一例にあたる。
次に、図2(c)に示すように、第1の層間絶縁膜10の上に、CVD法により、第2の層間絶縁膜12を形成する。ここで、第2の層間絶縁膜12としては、低温成膜可能な例えば窒化膜を成長させた後、プラズマを用いた同じく低温成膜可能なTEOS膜などを成長させる。次に、フォトリソグラフィー法及びドライエッチング法により、第2の層間絶縁膜12に、導電性部材11にまで達する溝13を形成する。
次に、図3(a)に示すように、第2の層間絶縁膜12の上に、CVD法により、溝13内を覆うように、たとえば窒化チタン膜(図示せず)を形成する。この窒化チタン膜も低温成膜が可能なTDMATなど有機金属材料を用いてCVD成長もしくはALD成長させる方法で成膜することが望ましい。窒化チタンの代わりに、同様に低温成膜可能な窒化タングステン、窒化タンタル等を用いても良い。
次に、溝13内からはみだした窒化チタン膜をエッチング法により除去し、下部電極14を形成する。その後、溝13内に形成された下部電極14の表面をアッシングにより除去する。ここで、下部電極14をアッシングにより除去する際、下部電極14の表面が酸素プラズマに暴露され、下部電極14の表面上に薄い酸化チタンが形成される。これがセル容量の低下、リーク電流の増大の原因となるため、これらの改善及び次工程の容量絶縁膜のインキュベーションを安定化させる目的で、アッシングの後に下部電極14の表面をリモートプラズマで窒化する。
次に、図3(b)に示すように、第2の層間絶縁膜12及び下部電極14上に、ALD法を用いて、溝13を覆うように容量絶縁膜15を形成する。ここで、容量絶縁膜15としてはHfOX膜を用いる。なお、この容量絶縁膜15を形成する工程が、本発明の容量絶縁膜形成工程の一例にあたる。
次に、図3(c)に示すように、CVD法により、容量絶縁膜15上に溝13内を埋めるように上部電極16を形成する。
その後、ドライエッチング法により、上部電極16および容量絶縁膜15をエッチングする。次に、低温成膜可能なたとえばプラズマTEOSなどを用いて層間絶縁膜17を成膜する。その後、コンタクトホール内タングステンプラグ工程に準ずる処理を行い、上部電極プラグ18を形成する。さらに配線層間膜19を成膜後、第一配線層20を形成する。その後、多層の配線層工程、および層間絶縁層工程を経て必要なデバイスが形成される。
次に、図3(b)に示した本実施の形態1の容量絶縁膜形成工程の詳細について説明する。
ALD法による容量絶縁膜15の形成は、図4(a)に示すように、TEMAHに代表されるHfを含有した有機金属原料を吸着させる工程(S101)、未吸着有機金属原料を排気する工程(S102)、吸着した有機金属原料をO3暴露により酸化成膜する工程(S103)、およびO3を排気する工程(S104)を繰り返す、いわゆるALD法により4〜8nm程度の必要な膜厚のHfOX膜を得た後、そのHfOX膜をさらにリモート酸素プラズマ、O3もしくは紫外線照射下のO3を用いて再酸化することにより、HfOX膜中の不必要な炭素、窒素残留物を最大限除去する再酸化工程(S110)を行なう。
また、図4(a)に示したALD法の工程(S100)により形成された4〜8nm程度の必要な膜厚のHfOX膜を得た後に、さらにその形成工程(S100)を繰り返してもよい。
なお、本実施の形態1では、ALD法の工程(S100)を用いて必要な膜厚のHfOX膜を形成させることとしたが、ALD法の代わりにCVD法(化学的気相堆積法)を用いて必要な膜厚のHfOX膜を形成させてもよい。なお、必要な膜厚のHfOX膜を形成させるALD法の工程(S100)またはCVD法の工程が、本発明の容量絶縁膜堆積工程の一例にあたる。
図5は、プラズマ酸化量とHfOX膜中の比誘電率の分布の関係を示す図である。プラズマ酸化量が多いほど、HfOX中の比誘電率は大きくなり、また膜内の比誘電率のばらつきも小さくなる。したがって、比誘電率およびそのばらつきの点からも、上記の再酸化する工程(S110)を行うのが好ましい。
非晶質HfOX膜の原料としてはTEMAHを用いるが、TEMAHは常温で液体であり、100℃程度に保持された気化器よりキャリアN2ガス(0.5〜2slm程度)に伴われ配管を通して供給されるので、H2Oとの反応により固化しやすく、その固体の飛散がパーティクルの原因になりやすい。そのため、プロセス安定性の面からキャリアN2の露点は低くなければならず、露点は−112℃(水分濃度ppbレベル)程度以下が望ましい。
また、配管内部の部分的な温度差により再液化等が起こった場合、TEMAHの固化等による配管の詰まり、パーティクルの発生等が懸念される。ゆえに配管の各部温度も100〜150℃の間の一定温度に保持されるのが望ましい。
TEMAHは配管を通してチャンバー内部に供給され、ウェハ上に吸着するが、そのときのウェハ温度は200〜270℃程度が望ましい。200℃以下の場合、反応レートが遅く、かつ膜中の炭素、窒素不純物の割合が4%を超え、膜質の劣化が顕著となる。また270℃以上の場合、不純物濃度は低下する傾向にあるが、TEMAHの自己分解が始まり、レートの制御、およびHfOX膜の結晶成長、もしくは組成制御が困難になり、膜質の劣化が進行する。
また、成膜圧力は20Pa〜100Pa程度が望ましい。非晶質HfOX膜の膜厚は4nmから8nm程度である。図6に、熱工程温度と臨界結晶化膜厚との関係を示す。
図6より、HfOの成膜温度が高いとき、たとえば400℃で成膜した場合、4nm程度でHfOXは堆積時結晶化するが、成膜温度を250℃程度まで低下させた場合、7nm程度まで非晶質のままで存在することが示されている。しかしながら250℃で成膜した場合、膜中に残留炭素が1%以上存在し、リーク特性および信頼性の劣化を引き起こすことも知られている。
そこで次に、4〜8nm程度に成長した非晶質HfOX膜中の残留炭素および窒素不純物を除去するための再酸化処理(図4(a)のS110の処理)について説明する。
酸化雰囲気は、酸素リモートプラズマ、O3雰囲気もしくは紫外線照射下でのO3雰囲気による酸化処理が望ましく、処理温度は200℃〜350℃、処理時間は2〜10分である。
図7は、非晶質HfOX膜が成長した後に、プラズマもしくはO3を用いて再酸化させた場合前後のHfOX膜中の残留炭素濃度のSIMS深さ方向分布について示している。
プラズマ処理を行なうことにより、表面側を中心に残留炭素濃度が低下していることが確認される。また、O3を用いて処理した場合であるが、プラズマ処理に比べて、分布が比較的平坦であるとの結果が得られた。これは、プラズマが表面側の反応が支配的で、膜内部においては酸素活性種の失活により反応が進まないのに対して、O3の場合は膜内部においてもプラズマほどは失活せずに反応が進行することを示していると考えられる。
いずれの場合においても、条件の最適化により再酸化効率を上げることが可能であると考える。残留炭素を除去することにより、リーク電流を低減させ、経時絶縁破壊(TDDB)特性評価時、キャパシタの寿命を延ばすことが可能となる。
図8に、再酸化処理別のリーク特性の面内ばらつきについて示す。再酸化処理を行なうことにより、面内のリーク特性のばらつきが抑えられていることがわかる。これは、再酸化を行なわなかった場合に炭素の残留等に起因するばらつきがあったものに対して、再酸化処理を加えることにより、膜組成、膜質の均質性が増し、リーク電流のばらつきが低減された好ましい例である。
また、本実施の形態1において、上部電極材料としては、下部電極同様、窒化チタン材料で問題ない。しかしながら、非晶質HfOX膜の膜質を損なうことなく上部電極を成長させる必要があり、窒化チタンでも400℃以下の低温成膜が基本的に難しいTiCl4を用いたCVD窒化チタン膜を用いる方法は望ましくない。その場合、低温成膜可能な窒化チタンとして、スパッタ法による成膜とMO−CVDもしくはALD法による成膜方法がある。
しかしながら、スパッタ法により成膜させた窒化チタンは被覆性に難があるため、400℃以下の低温成膜が可能なTDMATなど有機金属材料を用いてCVD成長もしくはALD成長させた窒化チタン膜であることが望ましい。また十分被覆された窒化チタン膜上に、さらにスパッタによる窒化チタン膜を成膜することにより、上部電極の強度が増し、かつ抵抗率の低下が得られる。
また、本実施の形態1では、下部電極及び上部電極としては窒化チタン材料を用いる例で説明したが、これに限らずに窒化タンタル、窒化タングステン等の他の金属材料を用いてもよい。
本実施の形態1の半導体装置の製造方法により成膜したHfOX膜、および従来のAlOを添加した、いわゆるAHO膜のリーク電流−酸化膜換算膜厚との関係を図10に示している。AlO添加膜の場合、AlO添加割合に依存して高リーク電流であることが明白である。これはAlO添加により、当然のことながら膜の実質的誘電率が低下し、所望の酸化膜換算膜厚を得るには物理膜厚を低減させなければならないことにほかならない。
なお、本実施の形態1の半導体装置は、本来の目的としてメモリ動作のみを想定したデバイスであるが、ロジックデバイスとメモリデバイスを混載した構成にも適用できる。
図9に、ロジックデバイスとメモリデバイスとを混載した構成の本発明の半導体装置の一例の断面図を示す。
メモリデバイス部53は、図1に示した半導体装置と同じ構成であり、そのメモリデバイス部53に隣接させて同一基板上にロジックデバイス部52を形成させている。
ロジックデバイス部52の形成は、第2の層間絶縁膜12を形成する工程(図2(c)の工程)までメモリデバイス部53とほぼ同等の工程を経た後、溝13の形成を省略し、導電性部材11に延長する導電性部材21を形成する工程を付加することにより形成可能である。
以上に説明したように、本発明の半導体装置の製造方法は、AlOを添加せずに非晶質HfOX単体で容量絶縁膜に使用することを実現するものである。そして、本発明により、MIM構造のキャパシタにおいて、Alを添加しないその容量絶縁膜を用いて、大容量化、低リーク電流を同時に満たす半導体装置を提供するとともに、低コスト及び高信頼性を誇る半導体装置の製造方法を提供することができる。
そして、本発明の半導体装置およびその製造方法を用いると、容量絶縁膜としての酸化ハフニウムの非晶質性を損なうことなく不純物を除去することができるため、結晶性抑制のためのAlOを添加する必要がないことにより、単位当たりのセル容量を増大させ、リーク電流を最低限に抑えることが可能となる。また非晶質であるため、粒界起因の絶縁破壊寄与を抑えることができ、必要な経時絶縁破壊特性など信頼性も得ることが可能となる。
本発明に係る半導体装置およびその製造方法は、従来に比べて、リーク電流を低減でき、しかも信頼性を確保しつつ、誘電率の低下を抑制できる効果を有するMIM構造のキャパシタを備えているので、MIM構造のキャパシタを備える半導体装置およびその製造方法等に有用である。
1 半導体基板
2 素子分離絶縁膜
3 ゲート絶縁膜
4 ゲート電極
5 高濃度不純物拡散層
6 サイドウォール
7 低濃度不純物拡散層
8 シリサイド層
10 第1の層間絶縁膜
11 導電性部材
12 第2の層間絶縁膜
13 溝
14 下部電極
15 容量絶縁膜
16 上部電極
17 層間絶縁膜
18 上部電極プラグ
19 配線層間膜
20 第一配線層
21 導電性部材
50 メモリセル選択用トランジスタ
51 MIM構造のキャパシタ
52 ロジックデバイス部
53 メモリデバイス部
2 素子分離絶縁膜
3 ゲート絶縁膜
4 ゲート電極
5 高濃度不純物拡散層
6 サイドウォール
7 低濃度不純物拡散層
8 シリサイド層
10 第1の層間絶縁膜
11 導電性部材
12 第2の層間絶縁膜
13 溝
14 下部電極
15 容量絶縁膜
16 上部電極
17 層間絶縁膜
18 上部電極プラグ
19 配線層間膜
20 第一配線層
21 導電性部材
50 メモリセル選択用トランジスタ
51 MIM構造のキャパシタ
52 ロジックデバイス部
53 メモリデバイス部
Claims (12)
- (1)非晶質酸化ハフニウムで構成された容量絶縁膜と、(2)前記容量絶縁膜の両側に配置された、それぞれ金属膜から成る上部電極および下部電極と、を有するMIM構造のキャパシタ、
を備えた半導体装置。 - 前記容量絶縁膜の膜厚は、4nm以上かつ8nm以下である、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記上部電極および前記下部電極は、窒化チタン、窒化タンタルまたは窒化タングステンを含む、請求項1に記載の半導体装置。
- その両面間を貫通する導電性部材を有する、前記下部電極の下に配置される層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜の下に配置されたトランジスタとを備え、
前記下部電極は、前記導電性部材によって前記トランジスタと電気的に接続されている、請求項1に記載の半導体装置。 - 半導体基板上に層間絶縁膜を形成する層間絶縁膜形成工程と、
前記層間絶縁膜の両面間を貫通する導電性部材を、前記層間絶縁膜内に形成する導電性部材形成工程と、
前記層間絶縁膜上に、前記導電性部材により電気的に接続される下部電極を形成する下部電極形成工程と、
前記下部電極上に、非晶質酸化ハフニウムで構成される容量絶縁膜を形成する容量絶縁膜形成工程と、
前記容量絶縁膜上に上部電極を形成する上部電極形成工程とを備えた半導体装置の製造方法。 - 前記容量絶縁膜形成工程では、キャリアガスとしてN2を用いる、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記容量絶縁膜形成工程では、ハフニウムを含む気体および酸素系気体を交互に供給する方法である原子層堆積法(ALD法)、または化学的気相堆積法(CVD法)を用いて、前記容量絶縁膜を前記下部電極上に形成する、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記容量絶縁膜形成工程において前記容量絶縁膜を形成する際の成膜温度は、200℃以上かつ270℃以下であり、圧力は、20Pa以上かつ100Pa以下である、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記容量絶縁膜形成工程は、形成する前記容量絶縁膜中の不純物を、再酸化法を用いて除去する再酸化工程を含む、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記容量絶縁膜形成工程は、ハフニウムを含む気体および酸素系気体を交互に供給する原子層堆積法、または化学的気相堆積法を用いて、前記容量絶縁膜を前記下部電極上に形成する容量絶縁膜堆積工程と、形成する前記容量絶縁膜中の不純物を再酸化法を用いて除去する再酸化工程とを含み、前記容量絶縁膜堆積工程の後に前記再酸化工程を行う一連の工程を繰り返し行う工程である、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記再酸化法は、リモートプラズマ酸化方法、O3ガス暴露方法、紫外線照射下でのO3ガス暴露方法のいずれかである、請求項9または10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記容量絶縁膜形成工程では、形成させる前記容量絶縁膜中の炭素不純物濃度を1%以下にする、請求項9または10に記載の半導体装置の製造方法。
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-
2006
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