JP2008087915A - 吸着搬送構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送手段1にて搬送される吸着ステージ2を備える。真空引用連結部材20を、吸着ステージ2の吸引口9に連結した状態で、エアを吸引して吸着ステージ2の吸着面2aにワークWを吸着させる。第1栓部材12が吸引口9に付設されて、真空引用連結部材20の吸引口9からの開放状態でエアの流入を規制する。真空引き状態で、規制部材33が吸着ステージ2の開放口10を塞ぐ。第2栓部材13で、規制部材33の開放状態でエアの流入を規制する。真空開放機構35が開放口に連結されて、第2栓部材13の規制力に抗してエアを流入させる。
【選択図】図1
Description
2 吸着ステージ
2a 吸着面
3 駆動輪
4 従動輪
5 ベルト
8 ワーク吸着孔
9 開放口
11 連通路
12 第1栓部材
12a 逆止弁
13 第2栓部材
13a 逆止弁
14 バネ部材
17 バネ部材
20 基板
20 真空引用連結部材
21 真空発生器
22 基板
23 ノズル
24 駆動機構
33 規制部材
34 蓋体
35 真空開放機構
36 押圧体
40 孔部
51 フレーム
W ワーク
Claims (7)
- 搬送手段にて搬送されるとともに、ワーク吸着孔と、吸引口と、開放口と、ワーク吸着孔と吸引口と開放口とを連通する連通路とを有する吸着ステージと、
前記吸引口に連結された状態で、真空発生器の駆動によって前記連通路内のエアを吸引して、ワーク吸着孔を介して前記吸着ステージの吸着面にワークを吸着させる真空引用連結部材と、
前記吸引口に付設されて、真空引用連結部材の吸引口からの開放状態で前記連通路内へのエアの流入を規制してワーク吸着状態を維持する第1栓部材と、
真空引用連結部材が吸引口に連結された真空引き状態で、前記開放口を塞いで連通路内へのエアの流入を規制する規制部材と、
前記開放口に付設されて、規制部材の開放状態で前記連通路内へのエアの流入を規制する第2栓部材と、
前記規制部材の開放状態で前記開放口に連結されて、前記第2栓部材の規制力に抗して連通路内へエアを流入させる真空開放機構とを備えたことを特徴とする吸着搬送構造。 - 前記吸着ステージに、このステージに吸着されたワークの吸着面側へのアクセスを許容する孔部を設けたことを特徴とする請求項1の吸着搬送構造。
- 前記搬送手段が、駆動輪と従動輪とに掛け回されるエンドレスベルトを備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2の吸着搬送構造。
- 前記第1栓部材及び第2栓部材を逆止弁にて構成したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかの吸着搬送構造。
- 前記真空引用連結部材が、基板と、この基板に付設されて前記吸引口に嵌合して前記逆止弁のバネ部材の弾発力に抗して前記連通路内のエアを吸引するためのノズルと、前記基板を前記吸引口に対して接近離間する方向に移動させる駆動機構とを備えたことを特徴とする請求項4の吸着搬送構造。
- 規制部材が前記真空引用連結部材の基板に付設されて、前記ノズルが吸引口に連結された状態で開放口に嵌合する蓋体であることを特徴とする請求項5の吸着搬送構造。
- 真空開放機構は、前記開放口に連結された状態で前記第2栓部材を構成する逆止弁のバネの弾発力に抗して逆止弁を開状態とする押圧体にて構成したことを特徴とする請求項4〜請求項6のいずれかの吸着搬送構造。
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