JP2009083017A - ワーク吸着保持装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】少量の圧縮空気にてワークの吸着および解放を行うことができるようにしたエアシリンダ方式によるワーク吸着保持装置を提供する。
【解決手段】吸着パット1が接続される空気室10Aと大気に開放の空気室10Bを有する第1エアシリンダ10と、それぞれ電磁切換弁40に接続される空気室20A,20Bを有する第2エアシリンダ20の各ピストン11,21をピストンロッド12を介して相互に連結し、ワークWの吸着時には、電磁切換弁40により空気室20Aをコンプレッサ30に接続し、空気室20Bを大気に開放してピストン11を矢印A方向に移動させて第1空気室10A内を負圧とし、ワークWの解放時には、電磁切換弁40により空気室20Bをコンプレッサ30に接続し、空気室20Aを大気に開放して、ピストン11を矢印B方向に移動させて第1空気室10A内を大気圧に戻す。
【選択図】図1
【解決手段】吸着パット1が接続される空気室10Aと大気に開放の空気室10Bを有する第1エアシリンダ10と、それぞれ電磁切換弁40に接続される空気室20A,20Bを有する第2エアシリンダ20の各ピストン11,21をピストンロッド12を介して相互に連結し、ワークWの吸着時には、電磁切換弁40により空気室20Aをコンプレッサ30に接続し、空気室20Bを大気に開放してピストン11を矢印A方向に移動させて第1空気室10A内を負圧とし、ワークWの解放時には、電磁切換弁40により空気室20Bをコンプレッサ30に接続し、空気室20Aを大気に開放して、ピストン11を矢印B方向に移動させて第1空気室10A内を大気圧に戻す。
【選択図】図1
Description
本発明は、被搬送物であるワークの表面に当接する吸着パットを有し、吸着パット内を負圧(真空)としてワークを吸着保持するワーク吸着保持装置に関するものである。
ワーク吸着保持装置は多くの分野で利用されているが、液晶表示装置の分野では液晶セル(ワーク)の工程間搬送などに用いられている。吸着パッドにてワークを吸着するには真空状態が必要とされるが、真空を得る方法には大別して、真空ポンプによる方法と、エジェクタによる方法とが知られている。
しかしながら、真空ポンプによる方法では、吸着保持装置の稼働中、常時真空ポンプを運転しておく必要があり、吸着時にのみ運転させるいわゆるアンロード運転ができないため、消費電力の点で問題がある。
また、別の問題として、真空ポンプは水分を非常に嫌う。真空ポンプ中に水分が混入すると真空度の低下や故障の原因となるため、真空ポンプを使用する場合には、その使用環境を整備しなければならない、と言った煩わしさがある。
これに対して、エジェクタによれば、コンプレッサから供給される圧縮空気により手軽に真空が得られる。しかしながら、この場合においても、吸着保持装置の稼働中、常時コンプレッサを運転しておく必要があり、真空ポンプと同様に消費電力の点で問題がある。
また、1台のコンプレッサに対して多数のエジェクタを接続して各エジェクタで真空を得る場合、例えばすべてのエジェクタがワークを吸着すると、圧縮空気の使用量が増大し、コンプレッサから導かれる配管内の圧力が低下し、ワーク吸着力が低下することがあり、信頼性の面でも問題が生ずる。
なお、特許文献1には、真空ポンプによる吸着機能とエジェクタによる吸着機能の両方を備え、真空ポンプがダウンした場合に、エジェクタを動作させるワーク吸着保持装置が提案されている。
したがって、本発明の課題は、真空ポンプ方式、エジェクタ方式のいずれでもなく、少量の圧縮空気にてワークの吸着および解放を行うことができるようにしたエアシリンダ方式によるワーク吸着保持装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、被搬送物であるワークの表面に吸着パットを当接させ、上記吸着パット内を負圧として上記ワークを吸着保持するワーク吸着保持装置において、同軸的に配置される第1および第2の2つのエアシリンダと、圧縮空気供給源と、電磁切換弁とを含み、上記第1エアシリンダ内の第1ピストンと上記第2エアシリンダ内の第2ピストンとが同一のピストンロッドを介して相互に連結されており、上記第1エアシリンダ内の反ピストンロッド挿通側の第1空気室に所定の配管を介して上記吸着パッドが接続され、上記第1エアシリンダ内のピストンロッド挿通側の第2空気室が大気に開放されているとともに、上記第2エアシリンダ内のピストンロッド挿通側の第3空気室と反ピストンロッド挿通側の第4空気室とが上記電磁切換弁に接続され、上記電磁切換弁には、上記第3空気室を上記圧縮空気供給源に接続し上記第4空気室を大気に開放する第1切換位置と、上記第3空気室と上記第4空気室をともに大気に開放する第2切換位置と、上記第4空気室を上記圧縮空気供給源に接続し上記第3空気室を大気に開放する第3切換位置とが設けられていることを特徴としている。
請求項2に記載の発明は、請求項1において、上記第3空気室と上記電磁切換弁との間には、上記第3空気室内の空気圧をほぼ一定に保つレギュレータが介装されていることを特徴としている。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2において、上記第4空気室と上記電磁切換弁との間には、空気の流通速度を調整するスピードコントローラが介装されていることを特徴としている。
請求項4に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれか1項において、上記第1エアシリンダと上記第2エアシリンダとの間には、上記ピストンロッドに作用し、上記電磁切換弁が上記第2切換位置に切り換えられる際に、上記第1ピストンを所定の初期位置に位置決めするばね手段が設けられていることを特徴としている。
また、請求項5に記載の発明は、請求項4において、上記ばね手段として、上記第1エアシリンダと上記ピストンロッドに設けられている鍔との間に介装された圧縮ばねが用いられることを特徴としている。
請求項1に記載の発明によれば、上記電磁切換弁を第1切換位置に切り換えて、上記圧縮空気供給源より上記第3空気室に圧縮空気を供給し上記第4空気室を大気に開放して、上記第2ピストンを介して上記第1ピストンを上記第1空気室内の容積を拡大する方向に移動させ、上記第1空気室内に負圧を発生させることにより、上記吸着パッドにてワークを負圧吸着することができる。また、上記電磁切換弁を第3切換位置に切り換えて、上記圧縮空気供給源より上記第4空気室に圧縮空気を供給し上記第3空気室を大気に開放して、上記第2ピストンを介して上記第1ピストンを上記第1空気室内の容積を縮小する方向に移動させ、上記第1空気室内を陽圧とすることにより、上記吸着パッドからワークを解放することができる。いずれの場合も、上記第2シリンダに対する圧縮空気の供給量は、上記第2ピストン(上記第1ピストン)を所定ストローク移動可能とするだけの分量でよい。
上記第3空気室と上記電磁切換弁との間に上記第3空気室内の空気圧をほぼ一定に保つレギュレータを介装する請求項2に記載の発明によれば、上記圧縮空気供給源より上記第3空気室に圧縮空気を供給し続けることなく、上記第3空気室内の圧力をほぼ一定に保つことができる。
上記第4空気室と上記電磁切換弁との間に空気の流通速度を調整するスピードコントローラを介装する請求項3に記載の発明によれば、ピストンの移動速度、特に上記第1空気室内を陽圧する際の速度を適正に制御することができる。
上記第1エアシリンダと上記第2エアシリンダとの間に、上記ピストンロッドに作用し、上記電磁切換弁が上記第2切換位置に切り換えられる際に、上記第1ピストンを所定の初期位置に位置決めするばね手段を設ける請求項4に記載の発明によれば、上記第2エアシリンダの第3空気室と第4空気室とがともに大気に開放される際、上記第1ピストンを自動的に初期位置にもたらすことができる。
また、上記ばね手段として、上記第1エアシリンダと上記ピストンロッドに設けられている鍔との間に介装された圧縮ばねを用いる請求項5に記載の発明によれば、上記電磁切換弁を第3切換位置に切り換えて、上記圧縮空気供給源より上記第4空気室に圧縮空気を供給し上記第3空気室を大気に開放して、上記第2ピストンを介して上記第1ピストンを上記第1空気室内の容積を縮小させる際、上記圧縮ばねが自然状態よりも圧縮されたことをもって上記第1空気室内が陽圧になったことを知ることができる。
次に、図1および図2により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図1は本発明のワーク吸着保持装置の構成を示す模式図で、図2(a)〜(c)はワーク吸着保持装置の動作説明図である。
図1に示すように、このワーク吸着保持装置は、吸着パッド1内を負圧としてワークWを吸着保持するため、基本的な構成として、第1および第2の2つのエアシリンダ10,20と、圧縮空気供給源30と、電磁切換弁40とを備えている。
なお、吸着パッド1には、ゴム材などにより吸盤状に形成されたものが好ましく採用されるが、カップ状に形成されたものでもよい。ワークWには、吸着パッド1が密着される平滑面を有する物品、例えばガラス板や、ガラス板を基材とする液晶セル(液晶パネル)などが予定される。また、圧縮空気供給源30にはコンプレッサが用いられ、以下の説明において、圧縮空気供給源をコンプレッサと言うことがある
第1エアシリンダ10と第2エアシリンダ20は同軸的に配置され、第1エアシリンダ10内のピストン11(請求項1の第1ピストン)と第2エアシリンダ20内のピストン21(請求項1の第2ピストン)とが、同一のピストンロッド12を介して相互に連結されている。
第1エアシリンダ10内はピストン11により、第1および第2の2つの空気室10A,10Bに区画されているが、このうちの反ピストンロッド挿通側(図1において左側)の第1空気室10A(請求項1の第1空気室)には、所定の配管を介して吸着パッド1が接続され、ピストンロッド挿通側(図1において右側)の第2空気室10B(請求項1の第2空気室)は大気に開放されている。
第2エアシリンダ20内もピストン21により、第1および第2の2つの空気室20A,20Bに区画されているが、このうちのピストンロッド挿通側(図1において左側)の第1空気室20A(請求項1の第3空気室)は、空気圧調整用のレギュレータ50を介して電磁切替弁40に接続され、反ピストンロッド挿通側(図1において右側)の第2空気室20B(請求項1の第4空気室)は、空気の流通速度を調整するスピードコントローラ60を介して電磁切替弁40に接続されている。
レギュレータ50は、第2エアシリンダ20の第1空気室20A内の圧力を所定の圧力に保つリリーフ機能を有する圧力制御弁51と、圧力制御弁51に並列に接続された逆止弁52とを備え、スピードコントローラ60は、可変流量絞り弁61と、可変流量絞り弁61に並列に接続された逆止弁62とを備えた構成であってよい。
電磁切替弁40は、第1ないし第3の3つの切換位置S1〜S3を備え、第1切換位置S1では、第2エアシリンダ20の第1空気室20Aをコンプレッサ30に接続し、第2エアシリンダ20の第2空気室20Bを大気に開放する。
第2切換位置S2では、第2エアシリンダ20の第1空気室20Aと第2空気室20Bをともに大気に開放する。第3切換位置S3では、第2エアシリンダ20の第2空気室20Bをコンプレッサ30に接続し、第1空気室20Aを大気に開放する。
また、第1シリンダ10と第2シリンダ20の間におけるピストンロッド12の中間部分には鍔13が固着されており、この実施形態では、鍔13と第1シリンダ10の端部との間に、ピストン11を第1シリンダ10の第2空気室10B側に向けて付勢する圧縮ばね14が介装されている。
次に、図2(a)〜(c)を併せて参照して、このワーク吸着保持装置の動作について説明する。
まず、ワークWを吸着しない初期状態(待機状態)のとき、電磁切換弁40は第2切換位置S2に切り換えられ、図2(a)に示すように、第2シリンダ20の第1空気室20A,第2空気室20Bはともに大気に開放され、これにより、圧縮ばね14が自然状態にまで伸び、第1シリンダ10のピストン11が初期位置に位置決めされる。
なお、ピストン11が初期位置にあるときの第1シリンダ10の第1空気室10A,第2空気室10Bの各容積をQa,Qbとし、第2シリンダ20の第1空気室20A,第2空気室20Bの各容積をQc,Qdとする。
ワークWを吸着するには、図示しない搬送手段(もしくは昇降手段)などにより、図2(b)に示すように、吸着パッド1をワークWに押し付けて密着させ、第1シリンダ10の第1空気室10Aを大気と遮断する。
そして、電磁切換弁40を第1切換位置S1として、コンプレッサ30からレギュレータ50を介して第2シリンダ20の第1空気室20A内に圧縮空気を供給するとともに、第2シリンダ20の第2空気室20Bを大気に開放する。
これにより、図2(b)に示すように、ピストン21とともにピストン11が、第1シリンダ10の第1空気室10A内の容積を大きくする矢印A方向(図1,図2において右方向)に移動する。
このときのピストン11,21の移動にともなう容積変化量をQeとすれば、第1シリンダ10の第1空気室10A内の容積はQa+Qe,第2空気室10B内の容積はQb−Qe、第2シリンダ20の第1空気室20A内の容積はQc+Qe,第2空気室20B内の容積はQd−Qeとなり、第1シリンダ10の第1空気室10A内が負圧となり、吸着パッド1にワークWが負圧吸着される。
吸着時の負圧は、第2シリンダ20の第1空気室20A内に送り込む空気圧によって制御されるが、この実施形態では、レギュレータ50により第1空気室20A内の空気圧が所定の圧力に保持されるため、必要な空気の供給が完了したら、コンプレッサ30の運転を休止してアンロード運転状態とすることもできる。
なお、吸着パッド1の吸着面に空気のリークのおそれがある場合には、ピストン11の矢印A方向の移動ストロークを大きめにすればよい。
ワークWを所定位置にまで搬送したのち、負圧吸着を解いて、吸着パッド1からワークWを解放するには、電磁切換弁40を第3切換位置S3として、図2(c)に示すように、コンプレッサ30からスピードコントローラ60を介して第2シリンダ20の第2空気室20B内に圧縮空気を供給するとともに、第2シリンダ20の第1空気室20Aを大気に開放する。
これにより、ピストン21とともにピストン11が、第1シリンダ10の第1空気室10A内の容積を小さくする矢印B方向(図1,図2においてにおいて左方向)に移動することになる。この移動距離は、圧縮ばね14が自然状態から縮む所定距離とする。
このときのピストン11,21の移動にともなう容積変化量をQf(Qf>Qe)とすれば、第1シリンダ10の第1空気室10A内の容積はQa−Qf,第2空気室10B内の容積はQb+Qf、第2シリンダ20の第1空気室20A内の容積はQc−Qf,第2空気室20B内の容積はQd+Qfとなり、第1シリンダ10の第1空気室10A内にQa−Qfによる陽圧が戻り、ワークWの吸着が解除される。
なお、第1空気室10A内を陽圧化するピストン11の移動速度は、スピードコントローラ60によって選択することができる。また、ユーザーは圧縮ばね14が縮められたことをもって第1空気室10A内が陽圧化されたことを認識することができる。
ワークWの吸着解除後、電磁切換弁40が第2切換位置S2に切り換えられ、図2(a)に示す初期状態に戻され、第2シリンダ20の第1空気室20A,第2空気室20Bがともに大気に開放され、第2シリンダ20はフリーとなり、第1シリンダ10のピストン11は圧縮ばね14により初期状態に戻される。
なお、上記実施形態では、ピストン11の初期位置を決めるためのばね手段として圧縮ばね14を用いているが、変形例として、鍔13と第2シリンダ20の端部との間に引っ張りばねを介装してもよい。
以上説明したように、本発明によれば、真空ポンプやエジェクタが不要であり、圧縮空気供給源としてのコンプレッサがあれば、ワークの負圧吸着を実現できる。また、一定少量の空気消費で吸着可能であるため、1台のコンプレッサに複数台の本発明によるワーク吸着保持装置を接続し、そのすべてを同時に運転したとしても、圧力低下などの問題は生じない。
1 吸着パッド
10 第1シリンダ
10A 第1空気室
10B 第2空気室
11 ピストン
12 ピストンロッド
13 鍔
14 圧縮ばね
20 第2シリンダ
20A 第1空気室
20B 第2空気室
21 ピストン
30 圧縮空気供給源(コンプレッサ)
40 電磁切換弁
50 レギュレータ
60 スピードコントローラ
W ワーク
10 第1シリンダ
10A 第1空気室
10B 第2空気室
11 ピストン
12 ピストンロッド
13 鍔
14 圧縮ばね
20 第2シリンダ
20A 第1空気室
20B 第2空気室
21 ピストン
30 圧縮空気供給源(コンプレッサ)
40 電磁切換弁
50 レギュレータ
60 スピードコントローラ
W ワーク
Claims (5)
- 被搬送物であるワークの表面に吸着パットを当接させ、上記吸着パット内を負圧として上記ワークを吸着保持するワーク吸着保持装置において、
同軸的に配置される第1および第2の2つのエアシリンダと、圧縮空気供給源と、電磁切換弁とを含み、上記第1エアシリンダ内の第1ピストンと上記第2エアシリンダ内の第2ピストンとが同一のピストンロッドを介して相互に連結されており、
上記第1エアシリンダ内の反ピストンロッド挿通側の第1空気室に所定の配管を介して上記吸着パッドが接続され、上記第1エアシリンダ内のピストンロッド挿通側の第2空気室が大気に開放されているとともに、上記第2エアシリンダ内のピストンロッド挿通側の第3空気室と反ピストンロッド挿通側の第4空気室とが上記電磁切換弁に接続され、
上記電磁切換弁には、上記第3空気室を上記圧縮空気供給源に接続し上記第4空気室を大気に開放する第1切換位置と、上記第3空気室と上記第4空気室をともに大気に開放する第2切換位置と、上記第4空気室を上記圧縮空気供給源に接続し上記第3空気室を大気に開放する第3切換位置とが設けられていることを特徴とするワーク吸着保持装置。 - 上記第3空気室と上記電磁切換弁との間には、上記第3空気室内の空気圧をほぼ一定に保つレギュレータが介装されていることを特徴とする請求項1に記載のワーク吸着保持装置。
- 上記第4空気室と上記電磁切換弁との間には、空気の流通速度を調整するスピードコントローラが介装されていることを特徴とする請求項1または2に記載のワーク吸着保持装置。
- 上記第1エアシリンダと上記第2エアシリンダとの間には、上記ピストンロッドに作用し、上記電磁切換弁が上記第2切換位置に切り換えられる際に、上記第1ピストンを所定の初期位置に位置決めするばね手段が設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のワーク吸着保持装置。
- 上記ばね手段として、上記第1エアシリンダと上記ピストンロッドに設けられている鍔との間に介装された圧縮ばねが用いられることを特徴とする請求項4に記載のワーク吸着保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007253756A JP2009083017A (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | ワーク吸着保持装置 |
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JP (1) | JP2009083017A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2020080181A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | Thk株式会社 | アクチュエータ |
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-
2007
- 2007-09-28 JP JP2007253756A patent/JP2009083017A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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