CN209868312U - 玻璃基板的制造装置 - Google Patents

Abstract

提供一种玻璃基板的制造装置，能够在不停止玻璃基板的吸附的状态下将在玻璃基板的吸附时所吸引的液体排出。玻璃基板(G)的制造装置(1)具备具有吸引孔(17)的平台(2)、将吸引孔维持为负压的真空罐(3)、以及对真空罐进行减压的真空泵(13)，通过将吸引孔吸引为负压而将玻璃基板(G)吸附并固定于平台。真空罐具有：第一罐(4)、配置于第一罐的下方的第二罐(5)、将平台与第一罐连通的平台流路(6)、将第一罐与第二罐连通的罐流路(7)、将第一罐与真空泵连通的第一泵流路(8)、将第二罐与真空泵连通的第二泵流路(9)、打开或关闭罐流路的第一控制阀(10)、以及打开或关闭第二泵流路的第二控制阀(11)。

Description

玻璃基板的制造装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板的制造装置的技术。

背景技术

以往，已知有如下技术：在对玻璃基板的端面进行磨削加工等时，将玻璃基板吸附并固定于平台。例如如专利文献1的记载。

在专利文献1中公开了具备形成有液体供给孔以及吸引孔的保持平台(平台)的吸附保持装置。吸附保持装置通过从液体供给孔供给水等液体来使玻璃板(玻璃基板)顺畅地移动，从而对玻璃板进行定位。然后，吸附保持装置通过使排气泵工作，将玻璃板吸附并固定于吸引孔。此时，所供给的液体从吸引孔被吸引，并经由截止阀而向外部排出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-144180号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

然而，若在吸附着玻璃板的状态下打开截止阀，则液体、空气也从配置有截止阀的流路被吸引，因此吸引孔的压力上升。由此，吸引孔的吸引力降低，会妨碍玻璃板的吸附。因此，在排出所吸引的液体时，需要停止玻璃板的吸附。

本实用新型的课题在于提供能够在不停止玻璃基板的吸附的状态下将在玻璃基板的吸附时所吸引的液体排出的玻璃基板的制造装置。

用于解决课题的方案

本实用新型所要解决的课题如上，接下来对用于解决该课题的方案进行说明。

即，玻璃基板的制造装置具备：平台，其具备吸引孔；真空罐，其将所述吸引孔维持为负压；以及真空泵，其对所述真空罐进行减压，通过将所述吸引孔吸引为负压从而将玻璃基板吸附并固定于所述平台，所述玻璃基板的制造装置的特征在于，所述真空罐具有：第一罐；第二罐，其配置于所述第一罐的下方；平台流路，其将所述平台与所述第一罐连通；罐流路，其将所述第一罐与所述第二罐连通；第一泵流路，其将所述第一罐与所述真空泵连通；第二泵流路，其将所述第二罐与所述真空泵连通；第一控制阀，其打开或关闭所述罐流路；以及第二控制阀，其打开或关闭所述第二泵流路。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，通过将第一控制阀以及第二控制阀设为关闭状态，从而第一罐与第二罐之间的流路被切断。因此，即使在液体的排出时第二罐内的压力上升，也维持第一罐内的负压。由此，吸引孔的吸引力不会降低。因此，能够在不停止玻璃基板的吸附的状态下将在玻璃基板的吸附时所吸引的液体排出。

另外，在本实用新型的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述玻璃基板的制造装置还具备压缩机，所述压缩机向所述第二罐供给压缩气体。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，在液体的排出时向第二罐供给压缩气体，因此第二罐内的压力的上升加速。因此，能够促进液体从第二罐的排出。

另外，在本实用新型的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述玻璃基板的制造装置还具备加热气体流路，所述加热气体流路用于使由所述真空泵的废热加热后的气体触碰上所述平台流路。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，能够防止平台流路内的液体的冻结。因此，能够防止平台流路由于液体的冻结而被封闭从而无法进行玻璃基板的吸附的情况。另外，能够有效利用真空泵的废热。

另外，在本实用新型的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述玻璃基板的制造装置还具备卷绕于所述第一罐的外周的电热线。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，能够防止第一罐内的液体的冻结。因此，能够防止液体滞留于第一罐液体而无法排除液体的情况。

另外，在本实用新型的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述玻璃基板的制造装置还具备卷绕于所述平台流路的外周的电热线。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，能够防止平台流路内的液体的冻结。因此，能够防止平台流路由于液体的冻结而被封闭从而无法进行玻璃基板的吸附的情况。

实用新型的效果

作为本实用新型的效果，起到以下所示的效果。

即，根据本实用新型的玻璃基板的制造装置，能够在不停止玻璃基板的吸附的状态下将在玻璃基板的吸附时所吸引的液体排出。

附图说明

图1是示出本实用新型的一个实施方式的玻璃基板的制造装置的整体结构的图。

图2是示出本实用新型的一个实施方式的玻璃基板的制造装置中的平台的图，且图2的(a)是平台的俯视图，图2的(b)是平台的侧视图。

图3是示出本实用新型的一个实施方式的玻璃基板的制造装置中的卷绕于第一罐的外周的电热线的图。

图4是示出本实用新型的一个实施方式的玻璃基板的制造装置中的卷绕于平台流路的外周的电热线的图。

附图标记说明：

1 玻璃基板的制造装置

2 平台

3 真空罐

4 第一罐

5 第二罐

6 平台流路

7 罐流路

8 第一泵流路

9 第二泵流路

10 第一控制阀

11 第二控制阀

13 真空泵

14 压缩机

16 加热气体流路

17 吸引孔

28 外周

29 电热线

30 外周

31 电热线

G 玻璃基板

L 液体

具体实施方式

接下来，参照图1至图4对本实用新型的实施方式进行说明。

需要说明的是，图1～图4的图中的空心箭头表示气体以及液体L的流动。另外，虚线箭头仅表示气体的流动。另外，实线箭头主要表示液体L的流动。

首先，使用图1以及图2对玻璃基板G的制造装置1进行说明。

玻璃基板G的制造装置1具备平台2、真空罐3、真空泵13、压缩机14。

平台2从下方将玻璃基板G以平置姿态支承。平台2以隔着并列形成的多个间隙的方式被分割为多个(例如4个)构成构件2a～2d，在各构成构件2a～2d形成有多个吸引孔17。在各个构成构件2a～2d，除了多个吸引孔17，还形成有多个使液体L(例如水)流出而进行供给的液体供给口18。多个液体供给口18分别通过液体供给流路19而与未图示的液体供给源(例如泵)连接。需要说明的是，在构成构件2a～2d的多个间隙中，能够供用于将玻璃基板G相对于平台2搬入或搬出的搬运带20穿过。

真空罐3将形成于平台2的吸引孔17维持为负压。真空罐3具有第一罐4、第二罐5、平台流路6、罐流路7、第一泵流路8、第二泵流路9、第一控制阀10、第二控制阀11、第三控制阀12。

第一罐4将内部维持为减压状态(真空)，从而将吸引孔17维持为负压。气体以及液体L从吸引孔17通过平台流路6而流入第一罐4。第一罐4具有分配到达自身的气体与液体L的前进路径的功能。具体而言，第一罐4能够使到达自身的气体流入第一泵流路8，并且能够使到达自身的液体L流入罐流路7。需要说明的是，第一罐4具有液位传感器21，能够对第一罐4内的液体L的液位进行检测。

第二罐5用于将第一罐4内维持为负压(真空)。第二罐5配置在第一罐4的下方。液体L从第一罐4通过罐流路7而流入第二罐5。第二罐5具有用于将到达自身的液体L排出至外部的排出流路22。排出流路22与第二罐5的底部连接。因此，液体L在重力的作用下而从第二罐5的底部朝向排出流路22流动。需要说明的是，第二罐5具有液位传感器23，能够对第二罐5内的液体L的液位进行检测。

平台流路6将平台2与第一罐4连通。平台流路6的一端分支而与吸引孔17分别连接，平台流路6的另一端与第一罐4的侧部连接。平台流路6从吸引孔17朝向第一罐4的侧部并向下方延伸。因此，液体L除了真空泵13的吸引力还在重力的作用下而从吸引孔17朝向第一罐4的侧部流动。

罐流路7将第一罐4与第二罐5连通。罐流路7的一端与第一罐4的底部连接，罐流路7的另一端与第二罐5的顶部连接。因此，液体L在重力的作用下而从第一罐4的底部朝向第二罐5的顶部流动。

第一泵流路8将第一罐4与真空泵13连通。第一泵流路8的一端与第一罐4的侧部连接，第一泵流路8的另一端与真空泵13的连接。因此，第一罐4内的气体被真空泵13吸引。

第二泵流路9将第二罐5与真空泵13连通。第二泵流路9的一端与第二罐5的侧部连接，第二泵流路9的另一端与真空泵13连接。因此，第二罐5内的气体被真空泵13吸引。需要说明的是，第一泵流路8与第二泵流路9在真空泵13侧合流。

第一控制阀10打开或关闭罐流路7。第一控制阀10配置于罐流路7。例如，第一控制阀10为电磁开闭阀。在第一控制阀10为打开状态的情况下，成为气体以及液体L能够通过罐流路7而在第一罐4与第二罐5之间移动的状态。在第一控制阀10为关闭状态的情况下，成为气体以及液体L无法通过罐流路7而在第一罐4与第二罐5之间移动的状态。

第二控制阀11打开或关闭第二泵流路9。第二控制阀11配置于第二泵流路9。例如，第二控制阀11为电磁开闭阀。在第二控制阀11为打开状态的情况下，成为气体能够通过第二泵流路9而在真空泵13与第二罐5之间移动的状态，并且成为气体能够通过第一泵流路8以及第二泵流路9而在第一罐4与第二罐5之间移动的状态。在第二控制阀11为关闭状态的情况下，成为气体无法通过第二泵流路9而在真空泵13与第二罐5之间移动的状态，并且成为气体无法通过第一泵流路8以及第二泵流路9而在第一罐4与第二罐5之间移动的状态。需要说明的是，在第二泵流路9上配置有由作业者调整开度的流量调整阀(针阀)24，能够通过流量调整阀24来调整从第二罐5通向真空泵13与第一罐4之间的气体的流量。

第三控制阀12打开或关闭排出流路22。第三控制阀12配置于排出流路22。例如，第三控制阀12为电磁开闭阀。在第三控制阀12为打开状态的情况下，成为气体以及液体L能够通过排出流路22而在第二罐5与外部之间移动的状态。在第三控制阀12为关闭状态的情况下，成为气体以及液体L无法通过排出流路22而在第二罐5与外部之间移动的状态。

真空泵13使第一罐4与第二罐5成为负压(真空)。由于减压状态的第一罐4通过平台流路6而与吸引孔17连通，因此吸引孔17成为负压。真空泵13经由吸引孔17而使负压作用于玻璃基板G，从而能够将玻璃基板G吸附并固定于平台2。在玻璃基板G的吸附时，负压也作用于平台2上的液体L，因此液体L被吸引孔17吸引。

压缩机14向第二罐5供给压缩气体(例如压缩空气)。压缩机14通过压缩气体流路27而与第二罐5连接。

第四控制阀15打开或关闭压缩气体流路27。第四控制阀15配置于压缩气体流路27。例如，第四控制阀15为电磁开闭阀。在第四控制阀15为打开状态的情况下，成为向第二罐5供给压缩气体的状态。在第四控制阀15为关闭状态的情况下，成为不向第二罐5供给压缩气体的状态。

加热气体流路16用于使由真空泵13的废热加热后的气体(例如空气)触碰上平台流路6。加热气体流路16的一端与真空泵13的排气口连接，并且加热气体流路16的另一端朝向平台流路6(具体而言是平台流路6的第一罐4侧的连接口)。因此，从真空泵13的排气口排出的加热后的气体触碰上平台流路6的第一罐4侧的连接口。

接下来，对玻璃基板G的制造装置1的液体L的排出动作进行说明。需要说明的是，在液体L的排出动作的开始前，玻璃基板G的制造装置1将第一控制阀10设为打开状态，将第二控制阀11设为打开状态，将第三控制阀12设为关闭状态，将第四控制阀15设为关闭状态，从而使玻璃基板G吸附并固定于吸引孔17。此时，从吸引孔17吸引的液体L经由第一罐4而贮存于第二罐5。另外，第一罐4与第二罐5为负压(真空)。

首先，玻璃基板G的制造装置1在判定为第二罐5中贮存有规定量的液体L使，将第一控制阀10以及第二控制阀11设为关闭状态。由此，第一罐4与第二罐5之间的气体以及液体L的移动被切断。需要说明的是，规定量是指用于判定开始液体L的排出动作的液体L的量。另外，基于液位传感器23所检测的第二罐5内的液体L的液位、玻璃基板G的制造装置1的运转时间来对贮存于第二罐5的液体L的量进行判定。

接下来，玻璃基板G的制造装置1将第四控制阀15设为打开状态。由此，从压缩机14向第二罐5供给压缩气体。压缩机14向第二罐5供给压缩气体，由此能够加速第二罐5内的压力上升，并且能够使第二罐5内的压力高于大气压。需要说明的是，也可以不设置压缩机14，而通过大气开放向第二罐5供给气体(空气)。

接下来，玻璃基板G的制造装置1将第三控制阀12设为打开状态。液体L通过排出流路22而被排出至外部。压缩机14在加速第二罐5内的压力上升的同时使第二罐5内的压力升高，因而使液体L的排出高速化。

接下来，玻璃基板G的制造装置1在判定为贮存于第二罐5的液体L的排出结束时，将第四控制阀15设为关闭状态。由此，压缩气体从压缩机14向第二罐5的供给停止。

接下来，玻璃基板G的制造装置1将第三控制阀12设为关闭状态。由此，成为第二罐5与外部之间的气体以及液体L的移动被切断的状态。

接下来，玻璃基板G的制造装置1将第二控制阀11设为打开状态。由此，第二罐5内的气体被真空泵13吸引，第二罐5成为负压(真空)。

最后，玻璃基板G的制造装置1将第一控制阀10设为打开状态。由此，第一罐4内的液体L向第二罐5流入。

根据这样构成的玻璃基板G的制造装置1，通过将第一控制阀10以及第二控制阀11设为关闭状态，从而第一罐4与第二罐5之间的气体的移动被切断。因此，在液体L的排出时，即使第二罐5内的压力上升，也能够维持第一罐4的负压(真空)。由此，吸引孔17的吸引力不会降低。因此，能够在不停止玻璃基板G的吸附的状态下将在玻璃基板G的吸附时所吸引的液体L排出。另外，在液体L的排出时，向第二罐5供给压缩气体，因此第二罐5内的压力上升加速，第二罐5内的压力升高。因此，能够促进液体L从第二罐5的排出。

玻璃基板G的制造装置1在每次固定、释放玻璃基板G时，重复从大气压至真空的排气动作。在排气动作中，平台流路6内的压力下降，通过持续排气而液体L的气化加快，因此迅速夺取气化热。另外，产生由气体绝热膨胀而引起的温度降低。因此，通过重复排气动作，平台流路6的温度降低，有时平台流路6内的液体L发生冻结。尤其是，平台流路6的第一罐4侧的连接口处的流路变窄，因此容易因液体L的冻结而流路发生堵塞。加热气体流路16通过使加热后的气体触碰上平台流路6的第一罐4侧的连接口，从而能够防止变窄的流路内的液体L的冻结。需要说明的是，加热气体流路16也可以使加热后的气体触碰上平台流路6的其他位置。

根据这样构成玻璃基板G的制造装置1，防止平台流路6内的液体L的冻结。因此，能够防止平台流路6由于液体L的冻结而被封闭从而无法进行玻璃基板G的吸附的情况。并且，能够有效利用真空泵13的废热。

接下来，使用图3以及图4对玻璃基板G的制造装置1的其他特征进行说明。

在玻璃基板G的制造装置1中，由于与平台流路6内的液体L发生冻结相同的理由，有时第一罐4内的液体L也会冻结。因此，玻璃基板G的制造装置1根据需要而具备卷绕于第一罐4的外周28的电热线29。电热线29从外周28对第一罐4进行加热。

根据这样构成的玻璃基板G的制造装置1，能够防止第一罐4内的液体L的冻结。因此，能够防止液体L滞留于第一罐4而无法排出液体L的情况。

玻璃基板G的制造装置1根据需要而具备卷绕于平台流路6的外周30的电热线31。电热线31从外周30对平台流路6进行加热。

根据这样构成玻璃基板G的制造装置1，能够防止平台流路6内的液体L的冻结。因此，能够防止平台流路6由于液体L的冻结而被封闭从而无法进行玻璃基板G的吸附的情况。

上述的实施方式仅示出了代表性的实施方式，能够在不脱离一个实施方式的主旨的范围内进行各种变形来实施。当然还可以以各种方式来实施，本实用新型的范围由实用新型的权利要求书示出，且包括与实用新型的权利要求书的记载等同的含义以及范围内的全部变更。

工业实用性

本实用新型能够适当地使用于如下那样的玻璃基板的制造装置，其以在平台上供给有水的状态对玻璃基板进行定位，使玻璃基板吸附并固定于吸引孔。

Claims (5)

1.一种玻璃基板的制造装置，其具备：平台，其具备吸引孔；真空罐，其将所述吸引孔维持为负压；以及真空泵，其对所述真空罐进行减压，

通过将所述吸引孔吸引为负压从而将玻璃基板吸附并固定于所述平台，

所述玻璃基板的制造装置的特征在于，

所述真空罐具有：

第一罐；

第二罐，其配置于所述第一罐的下方；

平台流路，其将所述平台与所述第一罐连通；

罐流路，其将所述第一罐与所述第二罐连通；

第一泵流路，其将所述第一罐与所述真空泵连通；

第二泵流路，其将所述第二罐与所述真空泵连通；

第一控制阀，其打开或关闭所述罐流路；以及

第二控制阀，其打开或关闭所述第二泵流路。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，

所述玻璃基板的制造装置还具备压缩机，所述压缩机向所述第二罐供给压缩气体。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，

所述玻璃基板的制造装置还具备加热气体流路，所述加热气体流路用于使由所述真空泵的废热加热后的气体触碰上所述平台流路。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，

所述玻璃基板的制造装置还具备卷绕于所述第一罐的外周的电热线。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，

所述玻璃基板的制造装置还具备卷绕于所述平台流路的外周的电热线。