JP2008085390A

JP2008085390A - バリスタ機能付きノイズフィルタ及びバリスタ機能付きノイズフィルタアレイ

Info

Publication number: JP2008085390A
Application number: JP2006259665A
Authority: JP
Inventors: Hisashi Yamaguchi; 尚志山口; Kazutaka Fujiwara; 和崇藤原; Yasuo Miyashita; 泰男宮下
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 2006-09-25
Filing date: 2006-09-25
Publication date: 2008-04-10

Abstract

【課題】バリスタ機能付きノイズフィルタにおいて、実装面積の低減を図るために小型化可能であると共に、特性ばらつきが小さく信頼性を向上させること。
【解決手段】複数層の誘電体シート２Ａ〜２Ｈと、誘電体シート２Ａ〜２Ｈ面上にパターン形成された導電性パターン３Ｂ〜３Ｇで構成されるインダクタ部４と、誘電体シート２Ａ〜２Ｈの外表面に形成されインダクタ部４の両端に接続される一対の信号端子電極５と、バリスタ材料で形成されたバリスタシート６と、バリスタシート６の面上に互いに離間してパターン形成され一対の信号端子電極５に接続されたバリスタ電極７と、バリスタシート６の面上にバリスタ電極７に対して所定間隔を空けてパターン形成されたグランドパターン電極８と、バリスタシート６及び誘電体シート２Ａ〜２Ｈの外表面に形成されグランドパターン電極８に接続されたグランド端子電極９とを備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、実装面積が小さく信頼性の高いバリスタ機能付きノイズフィルタ及びバリスタ機能付きノイズフィルタアレイに関する。

従来、電子機器のノイズ対策用として、インダクタやコンデンサあるいはそれらを組み合わせたＬ型、Ｔ型あるいはπ型の回路構成とされたノイズフィルタが使用されている。また、電子機器の低電圧化に伴い、静電気サージ対策用の機能部品としてチップ型バリスタの用途が広がってきている。これらノイズフィルタやチップ型バリスタは、搭載する電子機器の小型化に伴い、その実装面積の低減が望まれている。

例えば特許文献１には、インダクタ及びコンデンサより構成されるＬＣフィルタとバリスタとが積層により１チップ化されたバリスタ、ＬＣフィルタ兼用複合素子が提案されている。このバリスタ、ＬＣフィルタ兼用複合素子では、インダクタパターンが形成されたバリスタ材料のシートとコンデンサパターンが形成されたバリスタ材料のシートとグランドパターンの形成されたバリスタ材料のシートとを積層し、インダクタ部とコンデンサ部とバリスタ部とを構成している。

特開２００６−１１５４６０号公報

上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、静電気に対して低電圧で応答するバリスタ特性が必要な場合、特許文献１に記載されている従来の技術では、パターン間に介在するバリスタ材料のシート層厚を薄くする必要があるが、層厚を薄くするとパターン間（層間）のばらつきが大きくなると共にパターンによる凹凸の影響が大きくなる。このため、特性ばらつきが大きくなると共に、電界集中等が生じ易くなって信頼性が低下してしまう。さらに、薄層化によりピンホール等のシート欠陥が発生し易くなり、やはり信頼性が低下する不都合があった。

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、実装面積の低減を図るために小型化可能であると共に、特性ばらつきが小さく信頼性を向上させることができるバリスタ機能付きノイズフィルタ及びバリスタ機能付きノイズフィルタアレイを提供することを目的とする。

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明のバリスタ機能付きノイズフィルタは、誘電体材料で形成された単層又は複数層の誘電体シートと、前記誘電体シートの面上にパターン形成された導電性パターンで構成されるインダクタ部と、前記誘電体シートの外表面に形成され前記インダクタ部の両端に接続される一対の信号端子電極と、前記誘電体シートに積層されバリスタ材料で形成されたバリスタシートと、前記バリスタシートの面上に互いに離間してパターン形成され一対の前記信号端子電極の少なくとも一方に接続されたバリスタ電極と、前記バリスタシートの面上に前記バリスタ電極に対して所定間隔を空けてパターン形成されたグランドパターン電極と、前記バリスタシート又は前記誘電体シートの外表面に形成され前記グランドパターン電極に接続されたグランド端子電極とを備えていることを特徴とする。

このバリスタ機能付きノイズフィルタでは、バリスタシートの面上に互いに離間して配され信号端子電極に接続されたバリスタ電極と、バリスタ電極に対して所定間隔を空けて配されたグランドパターン電極とをそれぞれパターン形成しているので、同一平面上においてバリスタ電極とグランドパターン電極との電極間距離をパターニング技術により高精度に得ることができる。したがって、バリスタシートを必要以上に薄くする必要がなく、サージ耐圧を決定するバリスタ電極−グランドパターン電極間が高精度に設定可能であるので、特性ばらつきを低減できると共に高い信頼性を得ることができる。また、インダクタ部とバリスタ部とが積層されて一体化されているので、実装面積を低減することができると共に、バリスタ電極とグランドパターン電極との同一平面配置により積層数を削減することができる。

また、本発明のバリスタ機能付きノイズフィルタは、前記バリスタシートに積層され誘電体材料で形成された第１コンデンサ用シートと、前記第１コンデンサ用シートに積層され誘電体材料で形成された第２コンデンサ用シートと、前記第１コンデンサ用シート及び前記第２コンデンサ用シートの一方の面上にパターン形成され前記グランド端子電極に接続されたグランド側コンデンサ電極と、前記第１コンデンサ用シート及び前記第２コンデンサ用シートの他方の面上にパターン形成され前記信号端子電極の一方に接続された信号側コンデンサ電極とからなる調整用コンデンサ部とを備えていることを特徴とする。すなわち、このバリスタ機能付きノイズフィルタでは、バリスタシートに積層状態に形成された調整用コンデンサ部を備えているので、使用する周波数に対応して静電容量を調整することができる。

また、本発明のバリスタ機能付きノイズフィルタは、前記誘電体材料が、前記バリスタシートを形成するバリスタ材料と同材料であることを特徴とする。すなわち、このバリスタ機能付きノイズフィルタでは、誘電体材料もバリスタシートを形成するバリスタ材料と同材料で形成しているので、シート用に複数材料を用いる必要がないと共にバリスタ電極とグランドパターン電極との電極間に誘電体シートのバリスタ材料が埋まるため、より安定したバリスタ特性を得ることができる。

さらに、本発明のバリスタ機能付きノイズフィルタは、前記バリスタ材料が、ＺｎＯを主成分とする材料であることを特徴とした。すなわち、このバリスタ機能付きノイズフィルタでは、電圧／電流非直線性に優れてサージ吸収能力が高いＺｎＯを主成分とするバリスタ材料を採用するので、高いバリスタ特性を得ることができる。

また、本発明のバリスタ機能付きノイズフィルタは、前記バリスタ電極と前記グランドパターン電極とが、互いに所定間隔を空けて対向配置された櫛歯状の側部を有することを特徴とする。すなわち、このバリスタ機能付きノイズフィルタは、バリスタ電極とグランドパターン電極との対向側部が櫛歯状にパターン形成されているので、対向面積を大きくすることができ、電極間で流せる電流を大きくすることが可能になる。

本発明のバリスタ機能付きノイズフィルタアレイは、上記本発明のバリスタ機能付きノイズフィルタを複数備え、複数の前記バリスタ機能付きノイズフィルタが、同一の前記誘電体シート及び前記バリスタシートで形成されていることを特徴とする。すなわち、このバリスタ機能付きノイズフィルタアレイでは、複数の上記本発明のバリスタ機能付きノイズフィルタを同一の誘電体シート及びバリスタシートで形成しているので、パターニング技術により互いに均一で高精度な特性が得られると共に多配線用としてさらに小型なチップ状アレイを得ることができる。

本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係るバリスタ機能付きノイズフィルタ及びバリスタ機能付きノイズフィルタアレイによれば、バリスタ機能を付加することで小型化ができ、バリスタシートの面上にバリスタ電極と、これに対して所定間隔を空けて配されたグランドパターン電極とをそれぞれパターン形成しているので、特性ばらつきを低減できると共に高い信頼性を得ることができる。特に、低電圧動作用のバリスタ機能を有するノイズフィルタとして好適である。

以下、本発明に係るバリスタ機能付きノイズフィルタの第１実施形態を、図１から図６を参照しながら説明する。

本実施形態のバリスタ機能付きノイズフィルタ１は、図１及び図２に示すように、誘電体材料で形成され複数積層された誘電体シート２Ａ〜２Ｈと、誘電体シート２Ｂ〜２Ｇの面上にパターン形成された導電性パターン３Ｂ〜３Ｇで構成されるインダクタ部４と、誘電体シート２Ａ〜２Ｈの外表面（側端面）に形成されインダクタ部４の両端に接続される一対の信号端子電極５と、誘電体シート２Ｈに積層されバリスタ材料で形成されたバリスタシート６と、バリスタシート６の面上に互いに離間してパターン形成され一対の信号端子電極５にそれぞれ接続された一対のバリスタ電極７と、バリスタシート６の面上に一対のバリスタ電極７の間に配されバリスタ電極７に対して所定間隔を空けてパターン形成されたグランドパターン電極８と、バリスタシート６及び誘電体シート２Ａ〜２Ｈの外表面に形成されグランドパターン電極８に接続されたグランド端子電極９とを備えている。

すなわち、カバー層として配された誘電体シート２Ａ下に重ねられる誘電体シート２Ｂ上には、図３に示すように、一端が一方の信号端子電極５と接続される導電体パターン３Ｂがパターン形成されている。また、誘電体シート２Ｂ下に重ねられる誘電体シート２Ｃ上には、一端が上方の誘電体パターン２Ｂの他端と第１スルーホール１１で接続されたコ字状の導電体パターン３Ｃがパターン形成されている。

さらに、誘電体シート２Ｃ下に重ねられる誘電体シート２Ｄ上には、図４に示すように、一端が導電体パターン３Ｃの他端に第２スルーホール１２を介して接続されたコ字状の導電体パターン３Ｄがパターン形成されている。そして、誘電体シート２Ｄ下に重ねられる誘電体シート２Ｅ上には、一端が導電体パターン３Ｄの他端に第３スルーホール１３を介して接続されたコ字状の導電体パターン３Ｅがパターン形成されている。

次に、誘電体シート２Ｅ下に重ねられる誘電体シート２Ｆ上には、一端が導電体パターン３Ｅの他端に第４スルーホール１４を介して接続されたコ字状の導電体パターン３Ｆがパターン形成されている。最後に、誘電体シート２Ｆ下に重ねられる誘電体シート２Ｇ上には、図５に示すように、一端が導電体パターン３Ｆの他端に第５スルーホール１５を介して接続され他端が他方の信号端子電極５に接続された導電体パターン３Ｇがパターン形成されている。したがって、第１〜第５スルーホール１１〜１５を介して導電体パターン３Ｂ〜３Ｇが、螺旋状に接続されたコイル状のインダクタ部４を構成している。

誘電体シート２Ｇ下にはマージン層である誘電体シート２Ｈが重ねられ、さらにその下にバリスタシート６が重ねられる。なお、マージン層である誘電体シート２Ｈは、省略しても構わない。バリスタシート６を形成するバリスタ材料は、電圧／電流非直線性に優れてサージ吸収能力が高いＺｎＯ（酸化亜鉛）を主成分とする材料を採用する。また、上記誘電体シート２Ａ〜２Ｈを形成する誘電体材料は、バリスタシート６を形成する上記バリスタ材料と同材料のＺｎＯを主成分とする材料で形成され、インダクタ部４では誘電体として機能する。なお、バリスタ材料は、半導体セラミックスであり、ＺｎＯを主成分とし、Ｂｉ（ビスマス）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｏ（コバルト）等が添加されている。

バリスタシート６上のバリスタ電極７とグランドパターン電極８との間隔は、所望のサージ耐圧に応じて設定されるが、本実施形態ではサージ耐圧１０〜３０Ｖ（１ｍＡ）として、例えば２０〜３０μｍの間隔に設定されている。このようにバリスタシート６上のバリスタ電極７とグランドパターン電極８とによってインダクタ部４の両側に接続された一対のバリスタ部１６が構成される。
このように接続されたインダクタ部４及びバリスタ部１６は、図６に示すような等価回路となる。この配置のバリスタ部１６により、静電気が入った際に静電気をグランドに逃がすことが可能になる。

このバリスタ機能付きノイズフィルタ１を作製するには、複数個を同時形成する方法が用いられる。すなわち、まずＺｎＯを主成分としたバリスタ原料を用いてスラリーを作製し、ドクターブレード法により複数個分の誘電体シート２Ａ〜２Ｈ及びバリスタシート６となる元シートを複数作製する。次に、これら元シートの面上にＡｇ（銀）又はＡｇ／Ｐｄ（鉛）電極ペーストを用いて、複数個分の導電体パターン３Ｂ〜３Ｇ、バリスタ電極７及びグランドパターン電極８をスクリーン印刷によってパターン形成する。

また、第１〜第５スルーホール１１〜１５は、対応するシートの所定位置にパンチングにより形成し、Ａｇ又はＡｇ／Ｐｄ電極ペーストを充填することで形成する。そして、上述した積層順序で各元シートを重ね、各チップ単位に切断後、焼成してそれぞれチップ状素子とされる。さらに、チップ状素子の所定の外表面位置に、Ａｇペーストを焼成させたＡｇ電極５ａとＮｉ／ＳｎメッキによるＮｉ／Ｓｎ電極５ｂとによって信号端子電極５及びグランド端子電極９を形成して、バリスタ機能付きノイズフィルタ１が作製される。

このように本実施形態では、バリスタシート６の面上に互いに離間して配され信号端子電極５に接続されたバリスタ電極７と、バリスタ電極７に対して所定間隔を空けて配されたグランドパターン電極８とをそれぞれパターン形成しているので、同一平面上においてバリスタ電極７とグランドパターン電極８との電極間距離をパターニング技術により高精度に得ることができる。

したがって、バリスタシート６を必要以上に薄くする必要がなく、サージ耐圧を決定するバリスタ電極７−グランドパターン電極８間が高精度に設定可能であるので、特性ばらつきを低減できると共に高い信頼性を得ることができる。また、インダクタ部４とバリスタ部１６とが積層されて一体化されているので、実装面積を低減することができると共に、バリスタ電極７とグランドパターン電極８との同一平面配置により積層数を削減することができる。

また、誘電体材料もバリスタシート６を形成するバリスタ材料と同材料で形成しているので、シート用に複数材料を用いる必要がないと共にバリスタ電極７とグランドパターン電極８との電極間に誘電体シート２Ｈのバリスタ材料が埋まるため、より安定したバリスタ特性を得ることができる。

次に、本発明に係る第２実施形態について、図７及び図８を参照して以下に説明する。なお、以下の各実施形態の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。

第２実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、一つのバリスタ機能付きノイズフィルタ１が１チップ化されているのに対し、第２実施形態は、バリスタ機能付きノイズフィルタアレイ２１であって、図７及び図８に示すように、複数のバリスタ機能付きノイズフィルタ１が、同一の誘電体シート２Ａ〜２Ｈ及びバリスタシート６で形成されて１チップ化された点である。

すなわち、第２実施形態のバリスタ機能付きノイズフィルタアレイ２１では、４つのバリスタ機能付きノイズフィルタ１を並列に配して構成されており、共通の誘電体シート２Ａ〜２Ｈ及びバリスタシート６を有したチップ状アレイ素子である。また、このバリスタ機能付きノイズフィルタアレイ２１では、各バリスタ機能付きノイズフィルタ１が共通したグランドパターン電極８及びグランド端子電極９を有している。

すなわち、バリスタシート６に形成されたグランドパターン電極８は、長辺方向に延在してパターン形成され、短辺側端部に形成されたグランド端子電極９に接続されている。
このように第２実施形態では、複数のバリスタ機能付きノイズフィルタ１を同一の誘電体シート２Ａ〜２Ｈ及びバリスタシート６で形成しているので、パターニング技術により互いに均一で高精度な特性が得られると共に多配線用としてさらに小型なチップ状アレイを得ることができる。

次に、本発明に係るバリスタ機能付きノイズフィルタの第３実施形態について、図９から図１１を参照して以下に説明する。

第３実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、インダクタ部４とバリスタ部１６とで構成されているのに対し、第３実施形態のバリスタ機能付きノイズフィルタ３１では、図９から図１１に示すように、さらにバリスタ部１６の下部に静電容量調整のための調整用コンデンサ部３２が積層状態に設けられている点である。

すなわち、第３実施形態のバリスタ機能付きノイズフィルタ３１は、バリスタシート６に積層され誘電体材料で形成された第１コンデンサ用シート３３と、第１コンデンサ用シート３３に積層され誘電体材料で形成された第２コンデンサ用シート３４と、第１コンデンサ用シート３３の面上にパターン形成されグランド端子電極９に接続されたグランド側コンデンサ電極３５と、第２コンデンサ用シート３４の面上にパターン形成され信号端子電極５の一方に接続された信号側コンデンサ電極３６とからなる調整用コンデンサ部３２とを備えている。

したがって、グランド側コンデンサ電極３５と信号側コンデンサ電極３６とが第１コンデンサ用シート３３を挟んだ状態で調整用コンデンサ部３２を構成している。
なお、グランド側コンデンサ電極３５と信号側コンデンサ電極３６との間隔（すなわち第１コンデンサ用シート３３の厚さ）は、調整用コンデンサ部３２がバリスタ部とならないように、バリスタ電極７とグランドパターン電極８との間隔よりも大きく設定されている。

また、上記第１コンデンサ用シート３３及び第２コンデンサ用シート３４を構成する誘電体材料は、誘電体シート２Ａ〜２Ｈ及びバリスタシート６と同材料のＺｎＯを主成分とするバリスタ材料が採用されている。
このように第３実施形態では、バリスタシート６に積層状態に形成された調整用コンデンサ部３２を備えているので、使用する周波数に対応して静電容量を調整することができる。すなわち、調整用コンデンサ部３２を設けることで、バリスタ電圧を変化させずに、フィルタ特性を回路に合わせて調節することができる。

次に、本発明に係るバリスタ機能付きノイズフィルタの第４実施形態について、図１２を参照して以下に説明する。

第４実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、一対のバリスタ電極７とグランドパターン電極８とは、互いに直線状側部で対向配置されているのに対し、第３実施形態では、図１２に示すように、一対のバリスタ電極４７とグランドパターン電極４８とが、互いに櫛歯状とされた側部で対向配置されている点である。すなわち、第４実施形態では、バリスタ電極４７とグランドパターン電極４８との両対向側部がそれぞれ互いに所定間隔を空けて対向配置された櫛歯状にパターン形成されている。

このように第４実施形態では、パターニング技術によりバリスタ電極４７とグランドパターン電極４８との両対向側部を櫛歯状に高精度に形成することができ、両者の対向面積を大きくすることができる。これにより、第４実施形態では、第１実施形態に比べて電極間に流せる電流量を大きくすることが可能になる。

なお、本発明の技術範囲は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上述したように誘電体シート２Ａ〜２Ｈを構成する誘電体材料とバリスタシート６を構成するバリスタ材料とを同材料とすることが好ましいが、それぞれ別々の材料で形成しても構わない。なお、この場合、インダクタ部に含まれる寄生容量を小さくするために、誘電体シートを形成する材料は、バリスタシートを形成する材料よりも低誘電率であることが好ましい。
また、上述したように、ＺｎＯを主成分とするバリスタ材料が好ましいが、ＴｉＯ_２（酸化チタン）、ＳｒＴｉＯ_３（チタン酸ストロンチウム）等を用いたバリスタ材料を採用しても構わない。

また、インダクタ部４はコイル状のものを採用したが、ジグザグに折り返されたミアンダ状の導電体パターン等の他のパターン構成からなるインダクタ部を採用しても構わない。
さらに、上記各実施形態では、インダクタ部４の両側にバリスタ部１６が接続されているπ型の回路構成が採用されているが、インダクタ部４の一端側のみにバリスタ部１６が接続されたＬ型の回路構成を採用しても構わない。

本発明に係る第１実施形態のバリスタ機能付きノイズフィルタを示す断面図（図２のＡ−Ａ線断面図）である。第１実施形態において、バリスタ機能付きノイズフィルタを示す斜視図である。第１実施形態において、バリスタ機能付きノイズフィルタの誘電体シート２Ａ〜２Ｃまでを示す分解斜視図である。第１実施形態において、バリスタ機能付きノイズフィルタの誘電体シート２Ｄ〜２Ｆまでを示す分解斜視図である。第１実施形態において、バリスタ機能付きノイズフィルタの誘電体シート２Ｇ〜２Ｈ及びバリスタシート６までを示す分解斜視図である。第１実施形態において、バリスタ機能付きノイズフィルタの等価回路を示す回路図である。本発明に係る第２実施形態のバリスタ機能付きノイズフィルタアレイにおいて、バリスタシートを示す平面図である。第２実施形態において、バリスタ機能付きノイズフィルタアレイを示す平面図である。本発明に係る第３実施形態のバリスタ機能付きノイズフィルタを示す断面図である。第３実施形態において、バリスタ機能付きノイズフィルタの等価回路を示す回路図である。第３実施形態において、バリスタ機能付きノイズフィルタの第１コンデンサ用シート及び第２コンデンサ用シートを示す分解斜視図である。本発明に係る第４実施形態のバリスタ機能付きノイズフィルタにおいて、バリスタシートを示す平面図である。

符号の説明

１、３１…バリスタ機能付きノイズフィルタ、２Ａ〜２Ｈ…誘電体シート、３Ｂ〜３Ｇ…導電性パターン、４…インダクタ部、５…信号端子電極、６…バリスタシート、７、４７…バリスタ電極、８、４８…グランドパターン電極、９…グランド端子電極、２１…バリスタ機能付きノイズフィルタアレイ、３２…調整用コンデンサ部、３３…第１コンデンサ用シート、３４…第２コンデンサ用シート、３５…グランド側コンデンサ電極、３６…信号側コンデンサ電極

Claims

誘電体材料で形成された単層又は複数層の誘電体シートと、
前記誘電体シートの面上にパターン形成された導電性パターンで構成されるインダクタ部と、
前記誘電体シートの外表面に形成され前記インダクタ部の両端に接続される一対の信号端子電極と、
前記誘電体シートに積層されバリスタ材料で形成されたバリスタシートと、
前記バリスタシートの面上に互いに離間してパターン形成され一対の前記信号端子電極の少なくとも一方に接続されたバリスタ電極と、
前記バリスタシートの面上に前記バリスタ電極に対して所定間隔を空けてパターン形成されたグランドパターン電極と、
前記バリスタシート又は前記誘電体シートの外表面に形成され前記グランドパターン電極に接続されたグランド端子電極とを備えていることを特徴とするバリスタ機能付きノイズフィルタ。
請求項１に記載のバリスタ機能付きノイズフィルタにおいて、
前記バリスタシートに積層され誘電体材料で形成された第１コンデンサ用シートと、
前記第１コンデンサ用シートに積層され誘電体材料で形成された第２コンデンサ用シートと、
前記第１コンデンサ用シート及び前記第２コンデンサ用シートの一方の面上にパターン形成され前記グランド端子電極に接続されたグランド側コンデンサ電極と、
前記第１コンデンサ用シート及び前記第２コンデンサ用シートの他方の面上にパターン形成され前記信号端子電極の一方に接続された信号側コンデンサ電極とからなる調整用コンデンサ部とを備えていることを特徴とするバリスタ機能付きノイズフィルタ。
請求項１又は２に記載のバリスタ機能付きノイズフィルタにおいて、
前記誘電体材料が、前記バリスタシートを形成するバリスタ材料と同材料であることを特徴とするバリスタ機能付きノイズフィルタ。
請求項３に記載のバリスタ機能付きノイズフィルタにおいて、
前記バリスタ材料が、ＺｎＯを主成分とする材料であることを特徴としたバリスタ機能付きノイズフィルタ。
請求項１から４のいずれか一項に記載のバリスタ機能付きノイズフィルタにおいて、
前記バリスタ電極と前記グランドパターン電極とが、互いに所定間隔を空けて対向配置された櫛歯状の側部を有することを特徴としたバリスタ機能付きノイズフィルタ。
請求項１から５のいずれか一項に記載のバリスタ機能付きノイズフィルタを複数備え、
複数の前記バリスタ機能付きノイズフィルタが、同一の前記誘電体シート及び前記バリスタシートで形成されていることを特徴とするバリスタ機能付きノイズフィルタアレイ。