JP2008074661A - エピタキシャル炭化珪素単結晶基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭化珪素単結晶基板1上に、異なる窒素濃度をもつ複数の層を有して基底面転位密度を抑制する抑制層2と抑制層2上に形成された活性層3とを有する炭化珪素単結晶薄膜を形成してなるエピタキシャル炭化珪素単結晶基板、特に抑制層2が基板1側から活性層3側へと階段状に窒素濃度が低減した構造を有するエピタキシャル炭化珪素単結晶基板、及び、その製造方法。
【選択図】図2
Description
である。
2インチ(50mm)ウェハ用SiC単結晶インゴットから、c軸からオフ角度8度で約400μmの厚さでスライスし、粗削りとダイヤモンド砥粒による通常研磨を実施し、4H型のポリタイプを有するSiC単結晶基板を得た。このSiC単結晶基板のオフ角度8度のSi面に、エピタキシャル成長を実施した。
実施例1と同様のインゴットからスライス、粗削り、通常研磨を行って、4H型のポリタイプを有する2インチ(50mm)のSiC単結晶基板を得た。このSiC単結晶基板のオフ角度8度のSi面に、エピタキシャル成長を実施した。
実施例1と同様のインゴットからスライス、粗削り、通常研磨を行って、4H型のポリタイプを有する2インチ(50mm)のSiC単結晶基板を得た。このSiC単結晶基板のオフ角度8度のSi面に、エピタキシャル成長を実施した。
実施例1と同様のインゴットからスライス、粗削り、通常研磨を行って、4H型のポリタイプを有する2インチ(50mm)のSiC単結晶基板を得た。このSiC単結晶基板のオフ角度8度のSi面に、エピタキシャル成長を実施した。
2…抑止層
3…活性層
21…抑止層第一層
22…抑止層第二層
23…抑止層第三層
Claims (7)
- 炭化珪素単結晶基板上に炭化珪素単結晶薄膜を有するエピタキシャル炭化珪素単結晶基板であって、前記炭化珪素単結晶薄膜が、異なる窒素濃度を有して基底面転位密度を抑制する複数の層からなる抑制層と、前記抑制層の上に形成された活性層とを有することを特徴とするエピタキシャル炭化珪素単結晶基板。
- 前記炭化珪素単結晶基板が、(0001)面(Si面)もしくは(000-1)面(C面)に対して0.1度以上10度以下の範囲で傾斜したエピタキシャル成長面を有する請求項1に記載のエピタキシャル炭化珪素単結晶基板。
- 前記抑制層の窒素濃度が、炭化珪素単結晶基板側から活性層側へと順に階段状に低減している請求項1又は2に記載のエピタキシャル炭化珪素単結晶基板。
- 炭化珪素単結晶基板上に、熱CVD法(熱化学蒸着法)によって炭化珪素単結晶薄膜を形成するエピタキシャル炭化珪素単結晶基板の製造方法であって、異なる窒素濃度を有して基底面転位密度を抑制する複数の抑制層を前記基板上に形成した後、該抑制層上に炭化珪素単結晶薄膜の活性層を形成することを特徴とするエピタキシャル炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶基板が(0001)面(Si面)もしくは(000-1)面(C面)に対して0.1度以上10度以下の範囲で傾斜したエピタキシャル成長面を有する請求項4に記載のエピタキシャル炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記複数の抑制層を形成する際に、炭化珪素単結晶基板側から活性層側へと順に窒素濃度を階段状に低減させる請求項5記載のエピタキシャル炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のエピタキシャル炭化珪素単結晶基板を用いてなるデバイス。
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