JP2008065458A - 類似度分布を利用したテンプレートマッチング方法を用いた検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テンプレート選択画像からテンプレートを切出すテンプレート切出し手段と、前記テンプレート選択画像における前記テンプレートとの類似度の分布である周辺類似度分布情報を算出する周辺類似度算出手段と、前記探索画像における前記テンプレートとの類似度の分布である探索画像類似度分布情報を算出する探索画像類似度算出部と、前記周辺類似度分布と前記探索画像類似度分布情報との間の類似度分布間類似度情報を算出する類似度分布間類似度算出手段と、前記類似度分布間類似度に基づいてマッチング位置を決定するマッチング位置決定部とを備える。
【選択図】図1
Description
図2は、テンプレート選択画像と、探索画像として入力される走査式電子顕微鏡画像とを表している。走査式電子顕微鏡画像は非常にノイズが多く、そのままではパターンがノイズに埋もれてしまってパターンの判読が難しい。そのため何度か同じ画像を取り直して、それらを積算する。パターンの情報は取り直しても変化しないが、ノイズは取り直すたびにランダムに変化するため、積算することによってノイズが減少してパターンがはっきり現れるようになる。
図15は、図12に示す2段階の倍率の代わりにn段階の倍率でテンプレート選択画像と探索画像を撮影する場合を示す図である。図12と同じ参照符は同様の構成要素を示す。カメラや電子顕微鏡などで撮影された画像、或いはそれを一旦保存しておいた画像がテンプレート選択画像としてテンプレート登録部1に入力される。テンプレート登録部1に入力されたテンプレート選択画像からテンプレート切出し部2はテンプレートを切り出す。周辺類似度算出部3はテンプレート選択画像におけるテンプレートとの類似度の分布を周辺類似度分布情報として出力する。テンプレートや周辺類似度分布情報は探索画像に対してテンプレートマッチングを行うまでテンプレート登録部1に記憶されている。
N1×N2のサイズの画像f(n1,n2)とg(n1,n2)に対して
このようにして回転や拡縮がどの程度かを推定しておき、それに応じてテンプレートや周辺類似度分布情報に回転や拡縮を施しておくことで、より確実なテンプレート・マッチングが期待できる。その際、テンプレートのオフセットには注意を払う必要がある。
2 テンプレート切出し部
3 周辺類似度算出部
4 画像探索部
5 探索画像類似度算出部
6 類似度分布間類似度算出部
7 マッチング位置決定部
8 探索画像対テンプレート類似度算出部
9 マッチング上位候補選定部
10 上位候補切出し部
11 探索画像対上位候補類似度分布算出部
Claims (20)
- 探索画像にテンプレートマッチングを行う検査装置において、
テンプレート選択画像からテンプレートを切出すテンプレート切出し手段と、
前記テンプレート選択画像における前記テンプレートとの類似度の分布である周辺類似度分布情報を算出する周辺類似度算出手段と、
前記探索画像における前記テンプレートとの類似度の分布である探索画像類似度分布情報を算出する探索画像類似度算出部と、
前記周辺類似度分布と前記探索画像類似度分布情報との間の類似度分布間類似度情報を算出する類似度分布間類似度算出手段と、
前記類似度分布間類似度に基づいてマッチング位置を決定するマッチング位置決定部とを備えることを特徴とする検査装置。 - 前記周辺類似度分布情報および前記探索画像類似度分布情報は座標ごとの類似度を画素値とする画像であることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記周辺類似度分布情報および前記探索画像類似度分布情報は、それぞれの原画像である前記テンプレート選択画像および前記探索画像より解像度が低いことを特徴とする請求項2記載の検査装置。
- 前記周辺類似度分布情報および前記探索画像類似度分布情報において類似度が高い領域が膨張されていることを特徴とする請求項2記載の検査装置。
- 前記周辺類似度分布情報および前記探索画像類似度分布情報は、類似度の高い箇所の座標情報と類似度のリストであることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記類似度分布間類似度情報を算出する際、類似度の高い箇所の一致は所定の幅をもって判定することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記テンプレート選択画像としては、テンプレート切り出し用と周辺類似度分布算出用で、同一視野でノイズの異なる2枚の画像を用いることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記テンプレートと前記テンプレート選択画像、或いは前記テンプレートと前記周辺類似度分布とを関連付けて記憶する手段をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 複数の異なる倍率で撮影した前記テンプレート選択画像と前記探索画像から、それぞれの倍率に対応する前記周辺類似度分布情報と前記探索画像類似度分布情報を生成し、これらを基にマッチング位置を決定することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記周辺類似度分布に高い類似度を示す箇所が多数あった場合には、選択したテンプレートが不適切であると判断して警告を発することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記テンプレート選択画像と前記探索画像の間で回転や拡縮が生じた場合は、その程度を検知して、前記テンプレート、及び前記周辺類似度分布をその程度に応じて補正することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 探索画像にテンプレートマッチングを行う検査装置において、
テンプレート選択画像からテンプレートを切出すテンプレート切出し手段と、
前記テンプレート選択画像における前記テンプレートとの類似度の分布である周辺類似度分布情報を算出する周辺類似度算出手段と、
前記探索画像における前記テンプレートと類似度が高い領域をマッチング上位候補として選定して切出すマッチング上位候補選定部と、
前記探索画像における前記マッチング上位候補との類似度の分布である探索画像対上位候補類似度分布情報を算出する探索画像類似度算出部と、
前記周辺類似度分布と前記探索画像対上位類似候補類似度分布情報との間の類似度分布間類似度情報を算出する類似度分布間類似度算出手段と、
前記類似度分布間類似度に基づいてマッチング位置を決定するマッチング位置決定部とを備えることを特徴とする検査装置。 - 前記周辺類似度分布情報および前記探索画像対上位候補類似度分布情報は座標ごとの類似度を画素値とする画像であることを特徴とする請求項12記載の検査装置。
- 前記周辺類似度分布情報および前記探索画像対上位候補類似度分布情報は、それぞれの原画像である前記テンプレート選択画像および前記探索画像より解像度が低いことを特徴とする請求項13記載の検査装置。
- 前記周辺類似度分布情報および前記探索画像対上位候補類似度分布情報において類似度が高い領域が膨張されていることを特徴とする請求項13記載の検査装置。
- 前記周辺類似度分布情報および前記探索画像類似度分布情報は、類似度の高い箇所の座標情報と類似度のリストであることを特徴とする請求項12記載の検査装置。
- 前記類似度分布間類似度情報を算出する際、類似度の高い箇所の一致は所定の幅をもって判定することを特徴とする請求項12記載の検査装置。
- 前記テンプレートと前記テンプレート選択画像、或いは前記テンプレートと前記周辺類似度分布とを関連付けて記憶する手段をさらに備えることを特徴とする請求項12記載の検査装置。
- 複数の異なる倍率で撮影した前記テンプレート選択画像と前記探索画像から、それぞれの倍率に対応する前記周辺類似度分布情報と前記探索画像対上位候補類似度分布情報を生成し、これらを基にマッチング位置を決定することを特徴とする請求項12記載の検査装置。
- 前記周辺類似度分布に高い類似度を示す箇所が多数あった場合には、選択したテンプレートが不適切であると判断して警告を発することを特徴とする請求項12記載の検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006240375A JP4891712B2 (ja) | 2006-09-05 | 2006-09-05 | 類似度分布を利用したテンプレートマッチング方法を用いた検査装置 |
US11/836,452 US7925076B2 (en) | 2006-09-05 | 2007-08-09 | Inspection apparatus using template matching method using similarity distribution |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006240375A JP4891712B2 (ja) | 2006-09-05 | 2006-09-05 | 類似度分布を利用したテンプレートマッチング方法を用いた検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008065458A true JP2008065458A (ja) | 2008-03-21 |
JP4891712B2 JP4891712B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=39188681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006240375A Active JP4891712B2 (ja) | 2006-09-05 | 2006-09-05 | 類似度分布を利用したテンプレートマッチング方法を用いた検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7925076B2 (ja) |
JP (1) | JP4891712B2 (ja) |
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JP4891712B2 (ja) | 2012-03-07 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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