JP2008062552A - ヘッドユニットの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】板部材からインク吐出面までの距離を一定にする。
【解決手段】ヘッドユニット７０を製造するには、まず、インクジェットヘッド１を形成する。次に、フレーム７１の上面であってリザーバベースプレート９２の両端部と対向する領域に接着層７５´を形成する。次に、フレーム７１の位置決め孔７３に治具１２５の突起１２８を挿入しつつフレーム７１の下面と治具１２５の上面１２７ａと当接させるように、治具１２５上にフレーム７１を載置する。そして、インクジェットヘッド１を、リザーバベースプレート９２の位置決め孔９２ａに突起１２８を挿入しつつ接着層７５´とリザーバベースプレート９２の下面とを接触させるように、且つ、インク吐出面４ａと平面１２６ａとが対向するように、治具１２５上に載置する。次に、インク吐出面４ａと平面１２６ａとを当接させた状態で接着層７５を硬化させる。
【選択図】図１１

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出するインクジェットヘッドを有するヘッドユニットの製造方法に関する。

特許文献１には、マニホールドから圧力室を通ってノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、圧力室内のインクに圧力を付与するアクチュエータユニットとを有するヘッド本体と、ヘッド本体の上面に固定されたリザーバユニットと、リザーバユニットの上面に固定されたプレートとを含む複数のインクジェットヘッドが、プレートを介してフレームに固定されたインクジェットヘッドアセンブリについて記載されている。

このインクジェットヘッドアセンブリにおいて、各インクジェットヘッドのプレートには、長手方向に沿って配置され厚み方向に貫通した複数の貫通孔が形成されている。リザーバユニットの上面には、プレートの貫通孔と対向する位置にネジ孔部が形成されている。そして、プレートの貫通孔のそれぞれにボルトが挿通され、ボルトがネジ孔部に螺合されることで、プレートの平坦な下面とリザーバユニットの上面とが密着した状態でプレートとリザーバユニットとが固定される。これにより、リザーバユニットの上面及び下面が面方向に直交する方向に撓まなくなり、リザーバユニットに接着されている流路ユニット４の上面及び下面（複数のノズルが形成されたノズル面：インク吐出面）もプレートの下面と平行となるように矯正されるので、ノズル面の平面度が向上する。

特開２００５−１８６３８３号公報

上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドアセンブリの各インクジェットヘッドにおいて、リザーバユニットは、５枚のプレートが互いに接着剤で接合されることで構成されている。また、流路ユニットは、マニホールド、圧力室及びノズルなどのインク流路を構成する複数の孔がそれぞれ形成された９枚のプレートが複数の個別インク流路を形成するように積層されることによって構成されている。これら９枚のプレートどうしが接着剤で互いに接合されている場合、流路ユニットを構成する９枚のプレート間、流路ユニットとリザーバユニットとの間及びリザーバユニットを構成する５枚のプレート間の接着剤の厚みにばらつきが生じると、リザーバユニットの上面に固定されたプレートからノズル面までの距離がインクジェットヘッド毎にばらつく。このような複数のインクジェットヘッドが、フレームの上面とプレートの下面とが接するようにフレームに固定されていると、ノズル面に対して垂直な方向に関して、フレームから各ノズル面までの距離がインクジェットヘッド毎にばらついたインクジェットヘッドアセンブリとなってしまう。このようなインクジェットヘッドアセンブリが設けられたインクジェットプリンタで記録媒体に印字を行うと、ノズルから吐出されたインクの着弾位置精度がインクジェットヘッド毎にばらつくので印字品質が低下する。

そこで、本発明の目的は、板部材からインク吐出面までの距離が一定なヘッドユニットの製造方法を提供することである。

本発明のヘッドユニットの製造方法は、インク吐出面を有するノズルプレート及び最も長尺なプレートを含む複数のプレートが積層されることによって構成されており、インク供給口から前記インク吐出面に形成されたノズルに至るインク流路を有するインクジェットヘッドと、前記複数のプレートのうち、前記最も長尺なプレートの両端にそれぞれ接合された板部材とを有するヘッドユニットの製造方法において、前記複数のプレートを積層し、前記インク流路を有する前記インクジェットヘッドを形成するインクジェットヘッド形成工程と、前記板部材の一方の面に接着剤を塗布して接着層を形成する接着層形成工程とを備えている。そして、前記インク吐出面と当接する第１の面を有する支持部と、平面視で前記支持部の外側において前記第１の面と垂直な方向に所定距離突出し、且つ前記第１の面と平行な第２の面が形成された当接部とを含むヘッドユニット用治具の前記第２の面に、前記板部材の前記接着層が形成された領域を除く部分を当接させるとともに、前記インクジェットヘッド形成工程で形成された前記インクジェットヘッドを、前記第１の面と前記インク吐出面とが対向し且つ前記最も長尺なプレートの両端と前記板部材に形成された前記接着層とが接触するように前記ヘッドユニット用治具に載置する載置工程と、前記載置工程で載置された前記インクジェットヘッドの前記インク吐出面と前記第１の面とを当接させた状態で、前記接着層を硬化させる接着層硬化工程とを備えている。

これによると、接着層硬化工程において、最も長尺なプレートの両端が接着層と接触及びインク吐出面が第１の面と当接した状態で接着層が硬化するので、板部材の第２の面と当接した部分からインク吐出面までの距離が、治具の第１の面から第２の面までの所定距離で規定される。したがって、同じヘッドユニット用治具で形成されたヘッドユニットにおいて、板部材の第２の面と当接した部分からインク吐出面までの距離がヘッドユニット毎にばらつきにくくなる。その結果、ヘッドユニットを板部材を介してプリンタなどの記録装置に取り付けたときに、インク吐出面のレベルがヘッドユニット毎にばらつかず、印字品質が安定する。

本発明においては、前記インクジェットヘッド形成工程において、複数の前記インクジェットヘッドを形成し、前記載置工程において、前記複数のインクジェットヘッドを、前記第１の面と前記インク吐出面とがそれぞれ対向し且つ前記接着層と前記最も長尺なプレートの両端とが接触するように前記ヘッドユニット用治具に載置することが好ましい。これにより、複数のインクジェットヘッドのインク吐出面のレベルがインクジェットヘッド毎にばらつきにくくなる。

また、本発明においては、前記載置工程において、前記第２の面が前記板部材の前記接着層が形成された前記一方の面と反対側の面と当接していることが好ましい。これにより、板部材の接着層が形成されていない面とヘッドユニット用治具の第２の面とを当接させても、ヘッドユニットを製造することができる。

また、このとき、前記インクジェットヘッド形成工程には、前記複数のプレートのそれぞれに、前記インク流路を構成する一又は複数の流路孔を形成する流路孔形成工程と、前記流路孔形成工程で前記流路孔が形成された前記複数のプレートのうち少なくとも１枚のプレート上に紫外線又は熱硬化性樹脂を塗布する塗布工程と、前記インク吐出面と当接する第３の面を有する支持部と、平面視で当該支持部の外側において、前記第３の面と垂直な方向に前記所定距離よりも大きく前記第３の面から突出し、且つ前記第３の面と平行な第４の面が形成された当接部とを含むヘッド用治具を用いて、前記塗布工程で前記紫外線又は熱硬化性樹脂が塗布された前記プレートを含む複数の前記プレートを、前記第３の面と前記ノズルプレートの前記インク吐出面とが当接しつつ前記第４の面と前記最も長尺なプレートの両端とが対向するように積層する積層工程と、前記積層工程で積層された積層体の前記ノズルプレート及び前記最も長尺なプレートを前記第３及び第４の面にそれぞれ当接させた状態で、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を硬化させる硬化工程とが含まれている。そして、前記塗布工程において、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を、前記最も長尺なプレートから前記ノズルプレートまでにあるいずれか２枚のプレートの間に配置していてもよい。これによると、積層工程で積層された積層体には、最も長尺なプレートとノズルプレートとの間に紫外線又は熱硬化性樹脂からなる層が形成されている。そして、硬化工程において、最も長尺なプレートの両端が第４の面と、インク吐出面が第３の面と当接した状態で紫外線又は熱硬化性樹脂からなる層が硬化するので、インクジェットヘッドの最も長尺なプレートの第４の面と当接する面からインク吐出面までの距離が、ヘッド用治具の第３の面から第４の面までの所定距離で規定される。したがって、同じヘッド用治具で形成されたインクジェットヘッドにおいて、インクジェットヘッドの最も長尺なプレートからインク吐出面までの距離がインクジェットヘッド毎にばらつきにくくなる。したがって、ヘッドユニットを板部材を介してプリンタなどの記録装置に取り付けたときに、インク吐出面のレベルがヘッドユニット毎にばらつかず、より印字品質が安定する。

また、このとき、前記インクジェットヘッドが、複数の前記プレートが互いに積層されて構成されており、共通インク室と、前記共通インク室の出口から一表面に開口する圧力室を経て前記一表面とは反対側の前記インク吐出面の前記ノズルに至る個別インク流路とを含む第１インク流路が形成された流路ユニットと、複数の前記プレートが互いに積層されて構成されており、前記流路ユニットの前記一表面に固定され、且つ前記インク供給口と前記第１インク流路とを繋ぐ第２インク流路が形成されたリザーバユニットとを有し、前記最も長尺なプレートが、前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレートに含まれており、当該複数のプレートのうち最も厚みが分厚いプレートである。そして、前記流路孔形成工程後であって前記積層工程前には、前記流路孔が形成された前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレート及び前記流路孔が形成された前記流路ユニットを構成する前記複数のプレートに熱硬化性接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、前記接着剤塗布工程で前記熱硬化性接着剤が塗布された前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレートを、前記第２インク流路が形成されるように積層するリザーバユニット積層工程と、前記リザーバユニット積層工程で形成された積層体を加圧しつつ加熱して、前記熱硬化性接着剤を硬化させることにより前記リザーバユニットを形成するリザーバユニット形成工程と、前記接着剤塗布工程で前記熱硬化性接着剤が塗布された前記流路ユニットを構成する前記複数のプレートを、前記第１インク流路が形成されるように積層する流路ユニット積層工程と、前記流路ユニット積層工程で形成された積層体を加圧しつつ加熱して、前記熱硬化性接着剤を硬化させることにより前記流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程とをさらに備えていてもよい。これにより、リザーバユニット単体を形成することで、リザーバユニットを構成する複数のプレートのうち最も長尺なプレートを除くプレートがほとんど反らずに、最も長尺なプレートに沿って接合される。

また、このとき、前記積層工程において、前記リザーバユニット形成工程で形成された前記リザーバユニットを、前記第１インク流路と前記第２インク流路とが互いに連通するように、前記流路ユニット形成工程で形成された前記流路ユニットの前記一表面に積層していてもよい。これにより、リザーバユニット及び流路ユニットが個別に形成された後、リザーバユニットと流路ユニットとを積層するので、リザーバユニット及び流路ユニットを構成する複数のプレートを一度に積層する場合に比べて、その取り扱いが容易になる。

また、このとき、前記塗布工程において、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を、前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレートのうち、前記流路ユニットの前記一表面に積層される前記プレートの前記一表面と対向する面に塗布していてもよい。これにより、リザーバユニット及び流路ユニットを個別に形成し、それぞれを積層してインクジェットヘッドを製造する場合においても、製造されたインクジェットヘッドの最も長尺なプレートからインク吐出面までの距離がインクジェットヘッド毎にばらつきにくくなる。

また、このとき、前記ヘッドユニット用治具が、前記第２の面から突出した突起を有しており、前記最も長尺なプレートの両端及び前記板部材には、前記突起が挿通可能な位置決め孔がそれぞれに形成されており、前記載置工程において、前記突起を前記位置決め孔に挿通させていてもよい。これにより、板部材の最も長尺なプレートに対する接合位置が安定する。

また、本発明においては、前記載置工程において、前記第２の面が前記板部材の前記接着層が形成された前記一方の面と当接していることが好ましい。これにより、板部材の接着層が形成された一方の面とヘッドユニット用治具の第２の面とを当接させても、ヘッドユニットを製造することができる。

また、このとき、前記ヘッドユニット用治具の前記当接部が、平面視で前記第１の面と前記第２の面との間であって、前記第１面と垂直な方向に関して前記第１の面と前記第２の面との間に前記第１の面と平行な第３の面を有しており、前記インクジェットヘッド形成工程には、前記複数のプレートのそれぞれに、前記インク流路を構成する一又は複数の流路孔を形成する流路孔形成工程と、前記流路孔形成工程で前記流路孔が形成された前記複数のプレートのうち少なくとも１枚のプレート上に紫外線又は熱硬化性樹脂を塗布する塗布工程と、前記ヘッド用治具を用いて、前記塗布工程で前記紫外線又は熱硬化性樹脂が塗布された前記プレートを含む複数の前記プレートを、前記第１の面と前記ノズルプレートの前記インク吐出面とが当接しつつ前記第３の面と前記最も長尺なプレートの両端とが対向するように積層する積層工程と、前記積層工程で積層された積層体の前記ノズルプレート及び前記最も長尺なプレートを前記第１及び第３の面にそれぞれ当接させた状態で、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を硬化させる硬化工程とが含まれている。そして、前記塗布工程において、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を、前記最も長尺なプレートから前記ノズルプレートまでにあるいずれか２枚のプレートの間に配置していてもよい。これにより、１つのヘッドユニット用治具でインクジェットヘッド及びそれを有するヘッドユニットを製造することができ、工程が簡略化される。また、治具が１つになることで、治具にかかるコストが減少し、ヘッドユニットの製造コストも減少する。

また、このとき、前記ヘッドユニット用治具が、前記第３の面から突出した突起を有しており、前記最も長尺なプレートの両端及び前記板部材には、前記突起が挿通可能な位置決め孔がそれぞれに形成されており、前記載置工程において、前記突起を前記位置決め孔に挿通させていてもよい。これにより、板部材の最も長尺なプレートに対する接合位置が安定する。

また、このとき、前記流路孔形成工程後であって前記積層工程前には、前記流路孔が形成された前記複数のプレートに熱硬化性接着剤を塗布する接着剤塗布工程をさらに備えており、前記硬化工程において、前記接着剤塗布工程で塗布された前記熱硬化性接着剤及び前記塗布工程で塗布された前記熱硬化性樹脂を硬化させていてもよい。これにより、硬化工程でインクジェットヘッドを構成する複数のプレートを一度に接合することが可能になり、インクジェットヘッドの製造工程を短縮することが可能になる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

図１は、本発明の第１実施形態によるヘッドユニットの製造方法によって製造されたヘッドユニットの分解斜視図である。図２は、図１に示すII−II線に沿ったインクジェットヘッドの断面図である。図１に示すように、ヘッドユニット７０は、フレーム（板部材）７１と、フレーム７１に固定された４つのインクジェットヘッド１とを含んでいる。

フレーム７１は、主走査方向に長手方向を有する長方形平面形状を有した枠体であって、その平面形状とほぼ相似形状の貫通部７２がフレーム７１の中央に形成されている。フレーム７１は、金属からなる平板枠状の板部材となっている。貫通部７２は、４つのインクジェットヘッド１が配置可能な大きさとなっている。また、フレーム７１の主走査方向の両端部には、副走査方向に沿って等間隔に４つの位置決め孔７３がそれぞれ形成されている。そして、この位置決め孔７３と後述するリザーバベースプレート９２の位置決め孔９２ａとが位置決めされ、フレーム７１とリザーバベースプレート９２とが接着層７５（後述する）を介して互いに接合される。これによって、ヘッドユニット１が構成される。なお、ヘッドユニット７０は、図示しないインクジェットプリンタにフレーム７１を介して取り付けられる。

インクジェットヘッド１は、主走査方向に長手方向を有する略直方体形状を有しており、フレーム７１の主走査方向の両端部に副走査方向に沿って４つ並べて接合される。なお、４つのインクジェットヘッド１は、それぞれ異なる色のインクが供給され、例えば、図１中手前から奥に向かってマゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクが供給される。つまり、このヘッドユニット７０は、カラーインクジェットプリンタに取り付けられる、カラー対応のヘッドユニット７０である。また、４つのインクジェットヘッド１は、いずれも同じ構成からなるので、１つのインクジェットヘッド１について以下に説明する。

図２に示すように、インクジェットヘッド１は、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とを有するヘッド本体１３と、ヘッド本体１３の上面に配置されこのヘッド本体１３にインクを供給するリザーバユニット９０と、アクチュエータユニット２１に駆動信号を供給するドライバＩＣ５２が実装されたフレキシブルプリント配線板（Flexible Printed Circuit：ＦＰＣ）５０と、ＦＰＣ５０と電気的に接続された制御基板５４とを含んでいる。

アクチュエータユニット２１の上面には、図２に示すように、ＦＰＣ５０の一端が電気的に接続されている。また、ＦＰＣ５０の他端は、リザーバユニット９０の上方において水平に配置された制御基板５４のコネクタ５４ａに接続されている。そして、制御基板５４からの指令に基づいて、ドライバＩＣ５２が、ＦＰＣ５０に設けられた配線を介してアクチュエータユニット２１に駆動信号を供給するように構成されている。

リザーバユニット９０は、その内部にインクを貯溜するインクリザーバ（第２インク流路）９０ａを有しており、このインクリザーバ９０ａは流路ユニット４のインク供給口５ｂに連通している。したがって、このインクリザーバ９０ａ内のインクは、インク供給口５ｂを介して流路ユニット４内のインク流路に供給される。

アクチュエータユニット２１、リザーバユニット９０、制御基板５４及びＦＰＣ５０等は、金属材料で形成されたサイドカバー５３とヘッドカバー５５とにより覆われており、外部に飛散するインクやインクミストの侵入が防止されている。また、リザーバユニット９０の側面とＦＰＣ５０との間には、弾力性を有するスポンジ５１が介装されており、このスポンジ５１により、ドライバＩＣ５２がサイドカバー５３の内面に押し付けられている。したがって、ドライバＩＣ５２で発生した熱がサイドカバー５３及びサイドカバー５３を経由してヘッドカバー５５から速やかに外部に放散されるようになっている。ここでは、サイドカバー５３及びヘッドカバー５５は放熱部材としても機能している。

次に、ヘッド本体１３について詳細に説明する。図３は、図２のヘッド本体１３を透視した平面図である。図４は、図３中の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。ヘッド本体１３の流路ユニット４は、図３に示すように、インクジェットヘッド１の長手方向と同方向に延在した矩形平面形状を有している。流路ユニット４の上面には、台形形状を有する４つのアクチュエータユニット２１が千鳥状に２列に配列された状態でそれぞれ接着されている。

流路ユニット４の下面、すなわち、インク吐出面４ａには、アクチュエータユニット２１の接着領域に対向した領域に多数のノズル８が配置されている。また、流路ユニット４の上面には、図４に示すように、角部が丸くなった略菱形形状の複数の圧力室１０が２方向に沿ってマトリクス状に配列されている。これらの圧力室１０は、１つのアクチュエータユニット２１に対して１つの圧力室群９を構成している。

図３及び図４に示すように、流路ユニット４内には、インク供給口５ｂに連なるマニホールド流路５と、このマニホールド流路５から分岐する副マニホールド流路（共通インク室）５ａが形成されている。副マニホールド流路５ａは、台形形状のアクチュエータユニット２１と対向する領域において、流路ユニット４の長手方向に延在している。流路ユニット４の上面では、複数の圧力室１０が副マニホールド流路５ａに沿って配列し、流路ユニット４の短手方向に互いに平行な１６列の圧力室列を構成している。長手方向に見たとき、各圧力室列は、１つおいて隣接する圧力室群９の対応する圧力室列と直線状に繋がっている。一方、反対側のインク吐出面では、複数のノズル８が圧力室１０と同様に配置されている。なお、図面を分かりやすくするために、図４においては、アクチュエータユニット２１が二点鎖線で描かれており、さらに、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０、アパーチャ１２が実線で描かれている。

次に、ヘッド本体１３の断面構造について説明する。図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。図５に示すように、ヘッド本体１３は、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とが貼り合わされたものである。流路ユニット４は、上から、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０の、９枚の金属プレートが積層された積層構造を有する。これらの金属プレート２２〜３０にそれぞれ形成された孔（流路孔）により、流路ユニット４内に、副マニホールド流路５ａの出口からアパーチャ１２、圧力室１０を介してノズル８に至る、複数の個別インク流路３２が形成されている。このように流路ユニット４には、インク供給口５ｂからノズル８に至る、マニホールド流路５、マニホールド流路５から分岐した副マニホールド流路５ａ、及び、副マニホールド流路５ａからさらに分岐した個別インク流路３２からなるインク流路（第１インク流路）３３が形成されている。そして、アクチュエータユニット２１が圧力室１０の開口を塞ぐように流路ユニット４の上面に接着されている。

次に、アクチュエータユニット２１について説明する。図６は、アクチュエータユニットを示す図であり、（ａ）は部分断面図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。図６（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれの厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された３枚の圧電シート４１〜４３を含んでいる。これら圧電シート４１〜４３は、１つの圧力室群９を構成するすべての圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４３が連続平板層として形成されているので、例えば、スクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。圧電シート４１〜４３は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミック材料からなるものである。

個別電極３５は、略１μｍの厚みで、図６（ｂ）に示すように、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の個別電極３５における鋭角部の一方は延出され、その先端には略１６０μｍの径を有する円形のランド３６が設けられている。

最上層の圧電シート４１とその下方の圧電シート４２との間には、共通電極３４が配置されている。共通電極３４は、圧電シート４２の上面のほぼ全体に形成され、図示しない領域において接地されている。これにより、個別電極３５ごとに電位を制御することができるようになっている。

アクチュエータユニット２１は、いわゆるユニモルフタイプの構成となっており、個別電極３５に対応して個別のアクチュエータが多数作り込まれている。

次に、アクチュエータユニット２１の動作について説明する。アクチュエータユニット２１は、外部から吐出要求があると、ドライバＩＣ５２から駆動信号が供給される。各アクチュエータは、駆動信号が与えられると、圧力室１０側に凸となるように変形する。このとき、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。

次に、リザーバユニット９０について説明する。図７は、図２に示すリザーバユニット９０の縦断面図である。リザーバユニット９０は、図２及び図７に示すように、流路ユニット４の上面に紫外線硬化性樹脂からなる接着層２を介して接着された下部リザーバ９５と、下部リザーバ９５の上面に配置された樹脂製の上部リザーバ９１とがネジ止めされて構成されている。

下部リザーバ９５は、金属で形成されたリザーバベースプレート９２、リザーバプレート９３及びアンダープレート９４の３枚のプレートが互いに位置合わせされて積層されたものである。ここで、３枚のプレート９２〜９４は、流路ユニット４の長手方向（主走査方向）と同じ方向に長手方向を有している。これら３枚のプレート９２〜９４の短手方向の長さは、図２に示すように、２つのサイドカバー５３間の距離よりも短くなっている。

リザーバベースプレート９２は、図７に示すように、リザーバプレート９３及びアンダープレート９４よりも厚みが分厚く形成されており、これら２枚のプレート９３，９４よりも強度が高くなっている。また、リザーバベースプレート９２は、図１及び図７に示すように、その長手方向に関してリザーバプレート９３及びアンダープレート９４よりも長く両側に延出している。一方、リザーバプレート９３及びアンダープレート９４は、その長手方向に関して、流路ユニット４を構成する９枚のプレート２２〜３０とほぼ同じ長さとなっている。つまり、リザーバユニット９０及び流路ユニット４を構成する複数のプレートは、リザーバベースプレート９２を除いたほぼ同じ長さとなるプレートのグループと、これらプレートよりも長い、すなわち、最も長尺なリザーバベースプレート９２との２つのグループに分けられる。

リザーバベースプレート９２の長手方向両端部には、位置決め孔９２ａが形成されている。この位置決め孔９２ａは、上述したようにフレーム７１の位置決め孔７３とちょうど重なるように位置合わせされることで、インクジェットヘッド１がフレーム７１の所定箇所に位置決めされる。

リザーバベースプレート９２には、上部リザーバ９１内の後述するインク流路９６と、リザーバプレート９３に形成された後述するインク流路６２とを連通させる貫通孔（流路孔）６１が形成されている。リザーバプレート９３には、貫通孔６１及びアンダープレート９４に形成された後述する１０個の貫通孔６３に連通するインク流路６２となる孔（流路孔）が形成されている。アンダープレート９４には、平面視で、１０個のインク供給口５ｂに対向する位置に、それぞれ貫通孔（流路孔）６３が形成されている。また、アンダープレート９４には、その下面の貫通孔６３が形成されていない部分にその厚みが小さくなった凹部９４ａが形成されている。これにより、下部リザーバ９５を流路ユニット４に接着層２を介して接着したときに、凹部９４ａによって流路ユニット４と下部リザーバ９５との間に隙間が形成される。そして、この隙間にアクチュエータユニット２１が配置されている。

上部リザーバ９１には、その内部にインク流路９６が形成されている。インク流路９６は、図７の左上部に、上面が開口したインク供給部９６ａを有しており、このインク供給部９６ａの開口（インク供給口）からインクが供給される。また、インク流路９６の図７の下部には、リザーバベースプレート９２に沿って、ダンパフィルム１０１が設けられている。このダンパフィルム１０１は、リザーバユニット９０内のインクに伝わった振動を減衰するものである。そして、インク流路９６の途中部位であって、ダンパフィルム１０１と対向する領域には、フィルタ９７が設けられている。このため、インク供給部９６ａから供給されたインクは、フィルタ９７によって混入した異物が取り除かれ、下部リザーバ９５に流れ込む。

このようにリザーバユニット９０は、上部リザーバ９１に形成されたインク流路９６と、下部リザーバ９５に形成された、貫通孔６１、インク流路６２及び貫通孔６３からなるインクリザーバ９０ａとを有しており、インク供給口（開口）に供給されたインクを、貫通孔６３を介してインク供給口５ｂに分配する。

続いて、ヘッドユニット７０の製造方法について、以下に説明する。はじめに、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。図８は、インクジェットヘッド１の製造工程のフロー図である。図９は、本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッド１の製造工程を経時的に示した図である。

インクジェットヘッド１を製造するには、流路ユニット４、アクチュエータユニット２１及びリザーバユニット９０などの部品を別々に作成し、それから各部品を組み付ける。本実施の形態では、アクチュエータユニット２１が積層された流路ユニット４とリザーバユニット９０とを、ステップ１８で説明するような治具を用いて組み付ける点に１つの特徴がある。まず、流路ユニット４の製造工程から説明する。流路ユニット４を作製するには、図８のステップ１（Ｓ１）において、これを構成する各プレート２２〜３０に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図５に示すような孔（流路孔）を各プレート２２〜３０に形成する（流路孔形成工程）。

次に、ステップ２（Ｓ２）において、ノズルプレート３０を除く各プレート２２〜２９の下面（ノズルプレート３０側の面）にエポキシ系の熱硬化性接着剤を塗布する（接着剤塗布工程）。そして、ステップ３（Ｓ３）において、９枚のプレート２２〜３０を、マニホールド流路５、副マニホールド流路５ａ及び個別インク流路３２が形成されるように、つまりインク流路３３が形成されるように積層する（流路ユニット積層工程）。

次に、ステップ４（Ｓ４）において、ステップ３で形成された９枚のプレート２２〜３０からなる流路ユニット前躯体（積層体）を、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しつつ加圧する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して９枚のプレート２２〜３０が互いに接合され、図５に示すような流路ユニット４の作製が完了する（流路ユニット形成工程）。

アクチュエータユニット２１を作製するには、まず、ステップ５（Ｓ５）において、圧電セラミックスのグリーンシートを複数用意する。グリーンシートは、予め焼成による収縮量を見込んで整形される。そのうちの一部のグリーンシート上に、導電性ペーストを共通電極３４のパターンにスクリーン印刷する。そして、治具を用いてグリーンシート同士を位置合わせしつつ、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートの下に、共通電極３４のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせ、さらにその下に、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートを１枚重ね合わせる。

そして、ステップ６（Ｓ６）において、ステップ５で得られた積層体を公知のセラミックスと同様に脱脂し、さらに所定の温度で焼成する。これにより、３枚のグリーンシートが圧電シート４１〜４３となり、導電性ペーストが共通電極３４となる。その後、最上層にある圧電シート４１上に、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷する。さらに、導電性ペーストを焼成して、圧電シート４１上に個別電極３５を形成する。しかる後、ガラスフリットを含む金を、個別電極３５の延出部表面上に印刷して、ランド３６を形成する。このようにして、図６に描かれたようなアクチュエータユニット２１の作製が完了する。

リザーバユニット９０を作製するには、まず、ステップ７（Ｓ７）において、上部リザーバ９１を作製する。上部リザーバ９１を作製するには、公知の射出成形法によって上部リザーバ９１の樹脂部材を形成後、フィルタ９７及びダンパフィルム１０１を所定箇所に貼り付け、上部リザーバ９１を形成する。

次に、ステップ８（Ｓ８）において、下部リザーバ９５を作製する。下部リザーバ９５を作製するには、これを構成する３枚のプレート９２〜９４に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図７に示すような孔（流路孔）及び凹部９４ａを形成する（流路孔形成工程）。なお、各プレート９２〜９４における孔の形成には、プレス加工を用いてもよい。

次に、ステップ９（Ｓ９）において、アンダープレート９４を除く２枚のプレート９２，９３の下面にエポキシ系の熱硬化性接着剤を塗布する（接着剤塗布工程）。このとき、リザーバベースプレート９２の両端部であってリザーバプレート９３と対向しない領域には、熱硬化性接着剤を塗布せず、それ以外の下面部分に熱硬化性接着剤を塗布する。この両端部の領域は、インクジェットヘッド１をフレーム７１に取り付ける取り付け面となり、インク吐出面の配設位置に関する基準面である。この両端部が、後述のヘッド用治具（当接部：第４の面）に当接することになる。そして、ステップ１０（Ｓ１０）において、３枚のプレート９２〜９４を、インクリザーバ９０ａが形成されるように積層する（リザーバユニット積層工程）。

次に、ステップ１１（Ｓ１１）において、ステップ１０で形成された３枚のプレート９２〜９４からなる下部リザーバ前躯体（積層体）を、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しつつ加圧する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して３枚のプレート９２〜９４が互いに接合され、図７に示すような下部リザーバ９５の作製が完了する。このとき、リザーバベースプレート９２は、すべてのプレート材の中で一番厚く、高剛性であって、外力によって変形しにくい。そのため、２枚のプレート９３，９４がリザーバベースプレート９２に倣って接合されるので、下部リザーバ９５を構成する３枚のプレートがほとんど反らない下部リザーバ９５となる。そして、インクリザーバ９０ａとインク流路９６とが連通するように、下部リザーバ９５の上面上に上部リザーバ９１を配置し、上部リザーバ９１と下部リザーバ９５とをネジで固定する。こうして、リザーバユニット９０が完成する（リザーバユニット形成工程）。

変形例として、上部リザーバ９１の樹脂部材及びフィルム１０１の耐熱温度が、熱硬化性接着剤の硬化温度よりも高い場合、下部リザーバ前躯体に上部リザーバ９１をネジで固定してから下部リザーバ前躯体を加熱しつつ加圧して、熱硬化性接着剤を硬化させてもよい。このような変形例であっても、ステップ１１と同様に、リザーバユニット９０が製造される。

なお、上述したステップ１〜ステップ４の流路ユニット作製工程、ステップ５〜ステップ６のアクチュエータユニット作製工程、及び、ステップ７〜ステップ１１のリザーバユニット作製工程は、いずれも独立して行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

次に、ステップ１２（Ｓ１２）において、ステップ４で得られた流路ユニット４の上面であってアクチュエータユニット２１が貼り付けられる領域にエポキシ系の熱硬化性接着剤を塗布する。本実施の形態では、バーコータで接着剤を塗布しているが、転写法による塗布を行ってもよい。

次に、ステップ１３（Ｓ１３）において、流路ユニット４に塗布された熱硬化性接着剤層上に、アクチュエータユニット２１を載置する。このとき、各アクチュエータユニット２１は、個別電極３５と圧力室１０とが対向するように流路ユニット４に対して位置決めされる。この位置決めは、予め作製工程（ステップ１〜ステップ６）において流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１に形成された位置決めマーク（図示せず）に基づいて行われる。

次に、ステップ１４（Ｓ１４）において、ステップ１３で積層された流路ユニット４とアクチュエータユニット２１との積層体、すなわち、ヘッド本体前躯体を、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しつつ加圧する。そして、ステップ１５（Ｓ１５）において、積層体を自然冷却する。次に、ステップ１６（Ｓ１６）において、アクチュエータユニット２１のランド３６とドライバＩＣ５２が実装されたＦＰＣ５０の配線とを接合する。こうして、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とで構成されたヘッド本体１３が完成する。この段階で、ノズルプレート３０を含むヘッド本体１３と、リザーバベースプレート９２を含むリザーバユニット９０とが準備される。

次に、ステップ１７（Ｓ１７）において、リザーバユニット９０の下面（流路ユニット４の上面と対向する面であって凹部９４ａが形成されていない部分）に紫外線硬化性樹脂を所定厚みとなるように塗布する（塗布工程）。紫外線硬化性樹脂は、各種のＵＶ硬化樹脂から選択可能であり、ＵＶ光のエネルギーによって架橋硬化する。また、紫外線硬化性樹脂は、ステップ２、ステップ９及びステップ１２で塗布された熱硬化性接着剤よりも粘性が高く、所定厚みに盛ることが可能なものである。

ここで、後述のステップ１８（Ｓ１８）において用いられるヘッド用治具１０５について説明する。治具１０５は、図９（ａ）に示すように、インク吐出面４ａと平行な平面（第３の面）１０６ａを有しインク吐出面４ａを支持する支持部１０６と、平面視で支持部１０６の外側であってリザーバベースプレート９２の長手方向両端部と対向する位置に形成された一対の壁（当接部）１０７とを有している。この支持部１０６は一対の壁１０７に両側から挟まれて、断面が凹形状となっている。平面１０６ａは、平面視においてインク吐出面４ａよりも一回り大きな形状となっている。一対の壁１０７の上面（第４の面）１０７ａは、平面１０６ａと平行であって、平面１０６ａから平面１０６ａに対して垂直な方向（上方）に所定距離Ｔだけ突出した（離隔した）位置に形成されている。この所定距離Ｔは、流路ユニット４を構成する９枚のプレート２２〜３０の厚み、リザーバベースプレート９２を除く下部リザーバ９５を構成する２枚のプレート９３，９４の厚み及び各プレート間の熱硬化性接着剤の厚みなどを合計した距離となっている。

そして、ステップ１８において、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、治具１０５の支持部１０６の平面１０６ａと流路ユニット４のインク吐出面４ａとが当接するように、支持部１０６の平面１０６ａ上にヘッド本体１３を載置する。そして、アンダープレート９４に形成された貫通孔６３と流路ユニット４のインク供給口５ｂとが連通するように、且つ、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部と壁１０７の上面１０７ａとが対向するように、リザーバユニット９０をヘッド本体１３及び治具１０５に対して位置決めしつつ、流路ユニット４の上面上にリザーバユニット９０を積層する（積層工程）。なお、流路ユニット４とリザーバユニット９０との間に介在する紫外線硬化樹脂は、その粘度よっては、リザーバユニット９０が上から積層されてもその厚みが変化してリザーバベースプレート９２と治具とが接するまでに時間がかかることがある。そのため、図９（ｂ）に示すように、リザーバベースプレート９２の下面と治具の上面１０７ａとの間に僅かな隙間が生じることがある。

次に、ステップ１９（Ｓ１９）において、図９（ｃ）に示すように、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部の下面を壁１０７の上面１０７ａに当接するように、ヘッド本体１３とリザーバユニット９０とからなる積層体９９を治具１０５に近づく方向（下方）に押圧する。このとき、積層体９９は治具１０５側に押圧されているので、ステップ１８で平面１０６ａと当接したインク吐出面４ａはそのまま当接した状態が保たれる。また、このときの押圧によって、所定厚みに盛られた紫外線硬化性樹脂の厚みが減少し、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部の下面が上面１０７ａに当接する。この状態で、図示しないＵＶ光照射器から紫外線硬化性樹脂に向かってＵＶ光を照射し、紫外線硬化性樹脂を硬化させる（硬化工程）。こうして、厚みが減少した紫外線硬化性樹脂が硬化することで、リザーバユニット９０と流路ユニット４とを接合する接着層２が形成され、治具１０５の平面１０６ａから上面１０７ａまでの所定距離Ｔとリザーバベースプレート９２の下面からインク吐出面４ａまでの距離とがほぼ同じ距離となる、リザーバユニット９０及びヘッド本体１３からなる積層体９９の形成が完了する。

しかる後、ＦＰＣ５０と制御基板５４とをコネクタ５４ａを介して電気的に接続し、流路ユニット４とでリザーバユニット９０及びアクチュエータユニット２１とを取り囲むようにサイドカバー５３及びヘッドカバー５５を組み付け工程を経ることによって、上述したインクジェットヘッド１が完成する。

続いて、フレーム７１の製造方法及び製造されたフレーム７１に４つのインクジェットヘッド１を接合してヘッドユニット７０を製造する方法について、以下に説明する。図１０は、ヘッドユニット７０の製造工程のフロー図である。図１１は、ヘッドユニット７０の製造工程を経時的に示した図である。

フレーム７１を製造するには、まず、ステップ２０（Ｓ２０）において、フレーム７１となる金属製の長方形平板に、打ち抜き加工によって貫通部７２を形成する。次に、ステップ２１（Ｓ２１）において、長方形平板の長手方向（主走査方向）の両端部に、短手方向（副走査方向）に沿って等間隔に４つの位置決め孔７３をそれぞれ形成する。このとき、これらの位置決め孔７３の間隔は、各位置決め孔７３とインクジェットヘッド１の位置決め孔９２ａとをちょうど重なるように位置決めしたときに、４つのインクジェットヘッド１が互いに干渉しないような間隔となっている。こうして、フレーム７１が形成される。なお、フレーム７１の製造工程（ステップ２０〜２１）は、独立した工程であるため、インクジェットヘッド１の製造工程よりも先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

次に、ステップ２２（Ｓ２２）において、フレーム７１の上面において、各位置決め孔７３の近傍領域であってリザーバベースプレート９２の長手方向両端部と対向する領域に、熱硬化性接着剤を接着層７５よりも厚みのある所定厚みに塗布し接着層７５´（図１１（ａ）参照）を形成する（接着層形成工程）。このときの熱硬化性接着剤も、本実施形態においては紫外線硬化性樹脂と同様に、ステップ２、ステップ９及びステップ１２で塗布された熱硬化性接着剤よりも粘性が高く、所定厚みに盛ることが可能なものである。なお、ステップ２、ステップ９及びステップ１２で塗布された熱硬化性接着剤は、ステップ２２において塗布する熱硬化性接着剤と同様なものであってもよい。

ここで、後述のステップ２３（Ｓ２３）において用いられるヘッドユニット用治具１２５について説明する。治具１２５は、図１１（ａ）に示すように、上述した治具１０５とほぼ同様な構成となっており、インク吐出面４ａと平行な平面（第１の面）１２６ａを有しインク吐出面４ａを支持する支持部１２６と、平面視で支持部１２６の外側であってリザーバベースプレート９２の長手方向両端部と対向する位置に形成された一対の壁（当接部）１２７とを有している。この支持部１２６は一対の壁１２７に両側から挟まれて、断面が凹形状となっている。平面１２６ａは、平面視において、４つのインク吐出面４ａと対向可能でこれらよりも一回り大きな形状となっている。一対の壁１２７の上面（第２の面）１２７ａは、平面１２６ａと平行であって、平面１２６ａから平面１２６ａに対して垂直な方向（上方）に所定距離Ｕだけ突出した（離隔した）位置に形成されている。この所定距離Ｕは、所定距離Ｔからフレーム７１と接着層７５の厚みだけ減じた距離となっている。つまり、壁１２７の平面１２６ａからの突出高さは、前述の壁１０７の平面１０６ａからの突出高さよりも低くなっている。また、一対の壁１２７の平面１２７ａには、平面１２７ａに対して垂直な方向（上方）に突出した８つの突起１２８が設置されている。これら突起１２８は、リザーバベースプレート９２の位置決め孔９２ａに対向する位置に形成されており、図１１中手前から奥に向かう方向に平行な方向に等間隔で、各壁１２７に４つずつ形成されている。

そして、ステップ２３において、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、フレーム７１の位置決め孔７３に突起１２８をそれぞれ挿入しつつフレーム７１の接着層７５´が形成されていない下面と上面１２７ａと当接させるように、治具１２５上にフレーム７１を載置する。そして、製造された４つのインクジェットヘッド１を、リザーバベースプレート９２の位置決め孔９２ａに突起１２８を挿入しつつ接着層７５´とリザーバベースプレート９２の下面とを接触させるように、且つ、各インク吐出面４ａと平面１２６ａとが対向するように、治具１２５上に載置する（載置工程）。このとき、所定距離Ｕは上述のように所定距離Ｔからフレーム７１と接着層７５の厚みだけ減じた距離であるため、接着層７５´と接着層７５との厚みの差の分だけ、インク吐出面４ａと平面１２６ａとは対向しつつも離隔している。また、フレーム７１及びリザーバベースプレート９２の位置決め孔７３，９２ａに各突起１２８が挿通されることで、フレーム７１のリザーバベースプレート９２に対する接合位置が安定する。

次に、ステップ２４（Ｓ２４）において、図１１（ｃ）に示すように、各インクジェットヘッド１のリザーバベースプレート９２を治具１２５側に押圧する。このときの押圧によって、接着層７５´の厚みが減少し、インク吐出面４ａが平面１２６ａと当接する。そして、この状態で、４つのインクジェットヘッド１とフレーム７１とを加熱し、厚みの減少した接着層７５´を硬化させる（接着層硬化工程）。こうして、厚みが小さくなった接着層７５´が硬化して接着層７５となり、治具１２５の平面１２６ａから上面１２７ａまでの所定距離Ｕと、フレーム７１の下面からインク吐出面４ａまでの距離とがほぼ同じ距離となる、ヘッドユニット７０が製造される。

なお、インクジェットヘッド１の上部リザーバ９１及び制御基板５４などが、接着層７５を形成する熱硬化性接着剤の硬化温度よりも低い耐熱性を有している場合は、熱硬化性接着剤を上述した紫外線硬化性樹脂などにすることで、上部リザーバ９１及び制御基板５４などに熱影響が生じなくなる。また、インクジェットヘッド形成工程で上部リザーバ９１や制御基板５４などを取り付けずに、流路ユニット４、アクチュエータユニット２１及び下部リザーバ９５からなる積層体に上述のフレーム７１を接着層７５を介して接合し、その後に、上部リザーバ９１や制御基板５４などを取り付けてもよい。これによって、各部材の接着に用いられる接着剤や樹脂の選択の自由度が上がる。

以上のような本実施形態によるヘッドユニット７０の製造方法によると、ステップ２４の接着層硬化工程において、最も長尺なリザーバベースプレート９２の両端が接着層７５と接触及びインク吐出面４ａが平面１２６ａと当接した状態で接着層７５が硬化するので、フレーム７１の下面からインク吐出面４ａまでの距離が、所定距離Ｕとほぼ同じ距離となる。したがって、同じ治具１２５で形成されたヘッドユニット７０において、フレーム７１の下面からインク吐出面４ａまでの距離がヘッドユニット毎にばらつきにくくなる。その結果、ヘッドユニット７０をフレーム７１を介してプリンタなどの記録装置に取り付けたときに、インク吐出面４ａのレベルがヘッドユニット毎にばらつかず、得られる印字品質が安定する。

また、４つのインクジェットヘッドがフレーム７１に接着層７５を介して接合されているので、１つのヘッドユニット７０における各インクジェットヘッド１のインク吐出面４ａのレベルがインクジェットヘッド毎に揃うことになる。また、フレーム７１の接着層７５が形成されていない下面と治具１２５の上面１２７ａとを当接させても、ヘッドユニット７０を製造することができる。

また、ステップ１８の積層工程においては、流路ユニット４の上面上に紫外線硬化性樹脂を介してリザーバユニット９０を積層し積層体９９を形成している。そして、ステップ１９の硬化工程において、リザーバベースプレート９２の両端が上面１０７ａと、インク吐出面４ａが平面１０６ａと当接した状態で紫外線硬化性樹脂を硬化させるので、リザーバベースプレート９２の下面からインク吐出面４ａまでの距離が、治具１０５の所定距離Ｔとほぼ同じ距離となる。したがって、同じ治具１０５で形成されたインクジェットヘッド１において、インクジェットヘッド１の最も長尺なリザーバベースプレート９２からインク吐出面４ａまでの距離がインクジェットヘッド毎に揃うことになる。したがって、ヘッドユニット７０をフレーム７１を介してプリンタなどの記録装置に取り付けたときに、インク吐出面４ａのレベルがヘッドユニット毎にばらつかず、印字品質がより安定する。また、リザーバユニット９０と流路ユニット４とを個別に形成した後、リザーバユニット９０と流路ユニット４とを積層して積層体９９を構成しているので、リザーバユニット９０及び流路ユニット４を構成する複数のプレートを一度に積層して積層体９９と同様な積層体を構成する場合に比べて、その取り扱いが容易になる。

また、リザーバユニット９０の下面に紫外線硬化性樹脂が塗布された後、流路ユニット４の上面に紫外線硬化性樹脂を介してリザーバユニット９０が配置されている。このように、リザーバユニット９０及び流路ユニット４を個別に形成し、それぞれを積層してインクジェットヘッド１を製造する場合においても、製造されたインクジェットヘッド１の最も長尺なリザーバベースプレート９２からインク吐出面４ａまでの距離がインクジェットヘッド毎にばらつきにくくなる。

続いて、本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッド及びヘッドユニットの製造方法について以下に説明する。図１２は、本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドの製造工程を経時的に示した図である。図１３は、インクジェットヘッド１の製造工程の部分フロー図である。本実施形態のヘッドユニットは、第１実施形態の接着層７５と同様な接着層２７５（後述する）がフレーム７１の下面に形成されインクジェットヘッド１のリザーバベースプレート９２とフレーム７１との接合箇所が上下入れ替わって構成されたものであり、それ以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、第１実施形態と同様なものは、同符号で示し説明を省略する。

まず、本実施形態におけるインクジェットヘッド１の製造方法について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド１を製造するには、第１実施形態のステップ１〜ステップ１７と同じステップを行い、ヘッド本体１３とリザーバユニット９０とを製造し準備する。

ここで、ヘッド本体１３とリザーバユニット９０とを接合するときの治具（ヘッドユニット用治具）２０５について、図１２（ａ）を参照しつつ以下に説明する。治具２０５は、ヘッド本体１３とリザーバユニット９０とを接合してインクジェットヘッド１を製造するとき、及び、治具２０５で製造されたインクジェットヘッド１とフレーム７１とを接合するときに使用するものであり、この治具２０５の形態に特徴がある。

治具２０５は、図１２（ａ）に示すように、インク吐出面４ａと平行な平面（第１の面）２０６ａを有しインク吐出面４ａを支持する支持部２０６と、平面視で支持部２０６の外側であってフレーム７１の長手方向両端部と対向する位置（図１５参照）に形成された一対の壁（当接部）２０７とを有している。この支持部２０６は一対の壁２０７に両側から挟まれて、断面が凹形状となっている。平面２０６ａは、平面視において、４つのインク吐出面４ａと対向可能でこれらよりも一回り大きな形状となっている。一対の壁２０７の上面（第２の面）２０７ａは、平面２０６ａと平行であって、平面２０６ａから平面２０６ａに対して垂直な方向（上方）に所定距離Ｖだけ突出した（離隔した）位置に形成されている。この所定距離Ｖは、流路ユニット４を構成する９枚のプレート２２〜３０の厚み、下部リザーバ９５を構成する３枚のプレート９２〜９４の厚み、各プレート間の熱硬化性接着剤の厚み及び接着層２，２７５の厚みなどを合計した距離となっている。また、一対の壁２０７には、平面視で平面２０６ａと上面２０７ａとの間であって、平面２０６ａに対して垂直な方向に関して平面２０６ａと上面２０７ａとの間に形成された平面２０６ａと平行な段差面（第３の面）２０７ｂが形成されている。この段差面２０７ｂと平面２０６ａとの上下方向の離隔距離（所定距離）は、第１実施形態の所定距離Ｔと同じである。つまり、所定距離Ｖからリザーバベースプレート９２の厚みと接着層２７５の厚みとを減じた距離となっている。

また、段差面２０７ｂには、段差面２０７ｂから上方に突出した８つの突起２２８が設置されている。これら突起２２８は、リザーバベースプレート９２の位置決め孔９２ａに対向する位置に形成されており、図１２（ａ）中手前から奥に向かう方向に平行な方向に等間隔で、各壁２０７に４つずつ形成されている。

そして、図１３に示すステップ１８（Ｇ１８）において、図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、治具２０５の支持部２０６の平面２０６ａと流路ユニット４のインク吐出面４ａとが当接するように、支持部２０６の平面２０６ａ上にヘッド本体１３を載置する。そして、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部と壁２０７の段差面２０７ｂとを対向させつつリザーバベースプレート９２の位置決め孔９２ａに突起２２８を挿入し、流路ユニット４の上面上にリザーバユニット９０を積層する（積層工程）。このとき、ヘッド本体１３は、リザーバユニット９０が突起２２８によって位置決めされる位置に基づいて、アンダープレート９４に形成された貫通孔６３と流路ユニット４のインク供給口５ｂとが連通するように、平面２０６ａ上に位置決めされている。なお、流路ユニット４とリザーバユニット９０との間に介在する紫外線硬化樹脂は、その粘度よっては、リザーバユニット９０が上から積層されてもその厚みが変化してリザーバベースプレート９２と治具２０５とが接するまでに時間がかかることがある。そのため、図１２（ｂ）に示すように、リザーバベースプレート９２の下面と治具２０５の段差面２０７ｂとの間に僅かな隙間が生じることがある。

次に、ステップ１９（Ｇ１９）において、図１２（ｃ）に示すように、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部の下面を段差面２０７ｂに当接するように、ヘッド本体１３とリザーバユニット９０とからなる積層体９９を治具２０５に近づく方向（下方）に押圧する。このとき、積層体９９は治具２０５側に押圧されているので、ステップ１８で平面２０６ａと当接したインク吐出面４ａはそのまま当接した状態が保たれる。また、このときの押圧によって、所定厚みに盛られた紫外線硬化性樹脂の厚みが減少し、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部の下面が段差面２０７ｂに当接する。この状態で、図示しないＵＶ光照射器から紫外線硬化性樹脂に向かってＵＶ光を照射し、紫外線硬化性樹脂を硬化させる（硬化工程）。こうして、厚みが減少した紫外線硬化性樹脂が硬化することで、リザーバユニット９０と流路ユニット４とを接合する接着層２が形成され、治具２０５の平面２０６ａから段差面２０７ｂまでの所定距離とリザーバベースプレート９２の下面からインク吐出面４ａまでの距離とがほぼ同じ距離となる、リザーバユニット９０及びヘッド本体１３からなる積層体９９の形成が完了する。

続いて、インクジェットヘッド１とフレーム７１とを接合してヘッドユニットを製造する方法について、以下に説明する。図１４は、本発明の第２実施形態におけるヘッドユニットの製造工程のフロー図である。図１５は、本発明の第２実施形態におけるヘッドユニットの製造工程を経時的に示した図である。

ヘッドユニットを製造するには、図１４に示すように、第１実施形態の場合と同様のステップを踏むが、フレーム７１に対する接着剤の形成位置が異なっている。第１実施形態のステップ２０及びステップ２１と同様なステップ２０（Ｇ２０）及びステップ２１（Ｇ２１）を行う。ここでは、一対の壁２０７の段差面２０７ｂに設置された突起２２８によって、インクジェットヘッド１が位置決めされている。

この後、ステップ２２（Ｇ２２）において、図１５（ａ）に示すように、フレーム７１の下面に熱硬化性接着剤２７５´を塗布する。この熱硬化性接着剤２７５´は、第１実施形態と同様に粘度の高いものが用いられる。次に、ステップ２３（Ｇ２３）において、フレーム７１の位置決め穴７３に突起２２８を挿入しつつフレーム７１の下面と一対の壁２０７の上面２０７ａとを対向配置する。このとき、熱硬化性接着剤２７５´とリザーバベースプレート９２の上面とが接触することになる。熱硬化性接着剤２７５´の粘度によっては、この段階で、フレーム７１の下面と上面２０７ａとの間に僅かな隙間が生じることがある。

次に、ステップ２４（Ｇ２４）において、図１５（ｂ）に示すように、フレーム７１を治具２０５側に押圧する。これによって、フレーム７１の下面と一対の壁２０７の上面２０７ａとが当接する。この状態で、全体を加熱して接着剤２７５´を硬化させ接着層２７５とする（接着層硬化工程）。これによって、ヘッドユニットが製造され、フレーム７１の下面から各インク吐出面４ａまでの距離が所定距離Ｖに揃う。

以上のように、本実施形態によるヘッドユニットの製造方法によると、１つの治具２０５で、インクジェットヘッド１及びヘッドユニットを製造することができる。第１実施形態のように異なる治具を用いることがない分、製造したインクジェットヘッドを他の治具に移動させる工程などがなくなり、全体の工程が簡略化される。また、治具２０５が１つになることで、治具２０５にかかるコストが減少し、ヘッドユニットの製造コストも減少する。また、治具間でのバラツキの影響が軽減されるので、その分、フレーム７１の下面から各インク吐出面４ａまでの距離の所定距離Ｖに対する精度が向上し、さらに高品質の印字が可能となる。また、フレーム７１の接着層２７５が形成された下面と治具２０５の上面２０７ａとを当接させても、ヘッドユニットを製造することができる。

続いて、本発明の第３実施形態によるヘッドユニットの製造方法について以下に説明する。図１６は、本発明の第３実施形態によるヘッドユニットの製造工程のフロー図である。なお、上述した第１実施形態と同様なものについては、同符号を示し説明を省略する。

本実施形態におけるヘッドユニットの製造方法においては、リザーバユニット９０とヘッド本体１３とを接着するのに、第１実施形態で採用した紫外線硬化性樹脂に替えて熱硬化性樹脂を採用し、流路ユニット４を構成する９枚のプレート間、下部リザーバ９５を構成する３枚のプレート９２〜９４間、及び、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１との間の熱硬化性接着剤を硬化させるときに、リザーバユニット９０と流路ユニット４間に配置する熱硬化性樹脂も同時に硬化させる。つまり、インクジェットヘッドの製造方法が第１実施形態と異なるだけで、それ以外は第１実施形態と同様である。以下、図１６を参照しつつ具体的に説明する。

本実施形態におけるインクジェットヘッドを製造するには、図１６に示すように、第１実施形態のステップ１〜ステップ３と同じステップ１（Ｆ１）〜ステップ３（Ｆ３）を行う。こうして、９枚のプレート２２〜３０からなる流路ユニット前躯体が形成される。次に、第１実施形態のステップ５〜ステップ６と同じステップ４（Ｆ４）〜ステップ５（Ｆ５）を行い、アクチュエータユニット２１を作製する。

次に、第１実施形態のステップ８〜ステップ１０と同じステップ６（Ｆ６）〜ステップ８（Ｆ８）を行う。こうして、３枚のプレート９２〜９４からなる下部リザーバ前躯体が形成される。

次に、第１実施形態のステップ１２〜ステップ１３とほぼ同様なステップ９（Ｆ９）〜ステップ１０（Ｆ１０）を行う。つまり、流路ユニット前躯体の上面であってアクチュエータユニット２１が貼り付けられる領域にエポキシ系の熱硬化性接着剤を塗布した後、その熱硬化性接着剤層上に、第１実施形態と同様に位置決めしてアクチュエータユニット２１を載置し、ヘッド本体前躯体を形成する。

次に、第１実施形態のステップ１６〜ステップ１７と同様なステップ１１（Ｆ１１）〜ステップ１２（Ｆ１２）を行う。つまり、アクチュエータユニット２１のランド３６とドライバＩＣ５２が実装されたＦＰＣ５０の配線とを接合した後、下部リザーバ前躯体の下面（キャビティプレート２２の上面と対向する面であって凹部９４ａが形成されていない部分）に熱硬化性樹脂を所定厚みとなるように塗布する（塗布工程）。この熱硬化性樹脂は、各種の熱硬化樹脂からなるものであり、硬化温度以上に加熱されることによって硬化する。また、この段階で用いる熱硬化性樹脂も第１実施形態の紫外線硬化性樹脂と同様に、ステップ２、ステップ７及びステップ９で塗布された熱硬化性接着剤よりも粘性が高く、所定厚みに盛ることが可能なものである。

次に、ステップ１３（Ｆ１３）において、第１実施形態と同様の治具１０５を用いて、治具１０５の支持部１０６の平面１０６ａとヘッド本体前躯体の下面（インク吐出面４ａ）とが当接するように、支持部１０６の平面１０６ａ上にヘッド本体前躯体を載置する。そして、アンダープレート９４に形成された貫通孔６３とキャビティプレート２２のインク供給口５ｂとが連通するように、且つ、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部が壁１０７の上面１０７ａと対向するように、下部リザーバ前躯体をヘッド本体前躯体及び治具１０５に対して位置決めしつつ、ヘッド本体前躯体のキャビティプレート２２の上面上に熱硬化性樹脂を介して下部リザーバ前躯体を積層する（積層工程）。このときにおいても、第１実施形態と同様に、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部の下面と上面１０６ａとの間に僅かな隙間が生じることがある。

次に、ステップ１４（Ｆ１４）において、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部の下面を壁１０７の上面１０７ａに当接するように、ステップ１３で形成された積層体（すなわち、ヘッド本体前躯体と下部リザーバ前躯体とが積層したもの）を治具１０５に近づく方向（下方）に押圧する。このとき、積層体は治具１０５側に押圧されているので、ステップ１３で平面１０６ａと当接したインク吐出面４ａはそのまま当接した状態が保たれる。また、このときの押圧によって、所定厚みに盛られた熱硬化性樹脂の厚みが減少し、リザーバベースプレート９２の長手方向両端部の下面が上面１０７ａに当接する。この状態で、ステップ１３で形成された積層体を加熱し、熱硬化性樹脂を硬化させる（硬化工程）。こうして、厚みが減少した熱硬化性樹脂が硬化することで、第１実施形態の接着層２と同様な接着層が形成され、治具１０５の平面１０６ａから上面１０７ａまでの所定距離Ｔとリザーバベースプレート９２の下面からインク吐出面４ａまでの距離とがほぼ同じ距離となる。これによって、ヘッド本体１３と下部リザーバ９５とからなる積層体の形成が完了する。なお、このステップ１４の加熱によって各プレート間の熱硬化性接着剤も硬化するため、ヘッド本体前躯体がヘッド本体１３となり、下部リザーバ前躯体が下部リザーバ９５となる。

次に、第１実施形態のステップ７と同様なステップ１５（Ｆ１５）を行い、上部リザーバ９１を形成する。そして、ステップ１６（Ｆ１６）において、インクリザーバ９０ａとインク流路９６とが連通するように、ステップ１４で形成された下部リザーバ９５の上面上に上部リザーバ９１を配置し、上部リザーバ９１と下部リザーバ９５とをネジで固定する。こうして、ヘッド本体１３とリザーバユニット９０からなる積層体の形成が完了する。

しかる後、ＦＰＣ５０と制御基板５４とをコネクタ５４ａを介して電気的に接続し、流路ユニット４とでリザーバユニット９０及びアクチュエータユニット２１とを取り囲むようにサイドカバー５３及びヘッドカバー５５を組み付け工程を経ることによって、本実施形態によるインクジェットヘッドが完成する。

以上のような本実施形態によるインクジェットヘッドの製造方法によると、ステップ１４の硬化工程でインクジェットヘッドを構成する複数のプレートを一度に硬化させて接合することが可能になり、第１及び第２実施形態に比べてインクジェットヘッドの製造工程を短縮することができる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した第１実施形態においては、４つのインクジェットヘッド１を１つの枠状のフレーム７１に接着層７５を介して接合しているが、１つのインクジェットヘッド１のリザーバベースプレート９２の両端下面に接着層を介して板部材を接合していてもよい。つまり、インクジェットヘッド１は少なくとも１つ以上あればよく、フレームも単なる板部材でもよい。また、治具１２５の上面１２７ａに突起１２８が形成されていなくてもよい。この場合、フレーム７１及びリザーバベースプレート９２にも位置決め孔７３，９２ａが形成されていなくてもよい。

また、上述した各実施形態においては、流路ユニット４とリザーバユニット９０との間に配置する紫外線硬化樹脂や熱硬化性樹脂は、他の部位に用いる樹脂（接着剤）より粘度を高くしていたが、所定の厚さが塗布できる範囲で低くしてもよく、他の部位に用いるものと同じであってもよい。このときには、部位に対応して異なる樹脂材を用いる必要がなくなり、コスト的なメリットがある。また、ステップ１８（Ｓ１８，Ｇ１８）及びステップ１３（Ｆ１３）において、リザーバユニット９０の自重によって、直ちにリザーバベースプレート９２の両端部下面と上面１０７ａ及び段差面２０７ｂとが当接することになり、ステップ１９（Ｓ１９）、ステップ１４（Ｆ１４）では、単に樹脂材の硬化処理（紫外線照射あるいは加熱）を施せばよい。また、フレーム７１とリザーバベースプレート９２との間に配置する熱硬化性接着剤においても、上述と同様のことがいえ、ステップ２３（Ｓ２３）において、インクジェットヘッド１の自重によって、直ちにインク吐出面４ａと平面１０６ａとが当接することになり、ステップ２４（Ｓ２４）では、単に樹脂材の硬化処理を施せばよい。加えて、ステップ２３（Ｇ２３）においても、フレーム７１の自重によって、直ちにフレーム７１の下面と上面２０７ａとが当接することになり、ステップ２４（Ｇ２４）では、単に樹脂材の硬化処理を施せばよい。

本発明の第１実施形態によるヘッドユニットの製造方法によって製造されたヘッドユニットの分解斜視図である。 図１に示すII−II線に沿った断面図である。 図２のヘッド本体の平面図である。 図３中の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。 アクチュエータユニットを示す図であり、（ａ）は部分断面図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。 図２に示すリザーバユニットの縦断面図である。 インクジェットヘッドの製造工程のフロー図である。 本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドの製造工程を経時的に示した図である。 ヘッドユニットの製造工程のフロー図である。 ヘッドユニットの製造工程を経時的に示した図である。 本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドの製造工程を経時的に示した図である。 本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッドの製造工程の部分フロー図である。 本発明の第２実施形態によるヘッドユニットの製造工程のフロー図である。 本発明の第２実施形態によるヘッドユニットの製造工程を経時的に示した図である。 本発明の第３実施形態によるヘッドユニットの製造工程のフロー図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
２ 接着層
４ 流路ユニット
４ａ インク吐出面
５ｂ インク供給口
８ ノズル
１０ 圧力室
２１ アクチュエータユニット
２２ キャビティプレート
２３ ベースプレート
２４ アパーチャプレート
２５ サプライプレート
２６〜２８ マニホールドプレート
２９ カバープレート
３０ ノズルプレート
３２ 個別インク流路
３３ インク流路（第１インク流路）
７０ ヘッドユニット
７１ フレーム（板部材）
７３ 位置決め孔
７５，７５´，２７５，２７５´ 接着層
９０ リザーバユニット
９０ａ インクリザーバ（第２インク流路）
９２ リザーバベースプレート
９２ａ 位置決め孔
９３ リザーバプレート
９４ アンダープレート
１０５ 治具（ヘッド用治具）
１０６ 支持部
１０６ａ 平面（第３の面）
１０７ 壁（当接部）
１０７ａ 上面（第４の面）
１２５ 治具（ヘッドユニット用治具）
１２６ 支持部
１２６ａ 平面（第１の面）
１２７ 壁（当接部）
１２７ａ 上面（第２の面）
１２８，２２８ 突起
２０５ 治具
２０６ 支持部
２０６ａ 平面（第１の面）
２０７ 壁（当接部）
２０７ａ 上面（第２の面）
２０７ｂ 段差面（第３の面）

Claims (15)

1. インク吐出面を有するノズルプレート及び最も長尺なプレートを含む複数のプレートが積層されることによって構成されており、インク供給口から前記インク吐出面に形成されたノズルに至るインク流路を有するインクジェットヘッドと、
   前記複数のプレートのうち、前記最も長尺なプレートの両端にそれぞれ接合された板部材とを有するヘッドユニットの製造方法において、
   前記複数のプレートを積層し、前記インク流路を有する前記インクジェットヘッドを形成するインクジェットヘッド形成工程と、
   前記板部材の一方の面に接着剤を塗布して接着層を形成する接着層形成工程と、
   前記インク吐出面と当接する第１の面を有する支持部と、平面視で前記支持部の外側において前記第１の面と垂直な方向に所定距離突出し、且つ前記第１の面と平行な第２の面が形成された当接部とを含むヘッドユニット用治具の前記第２の面に、前記板部材の前記接着層が形成された領域を除く部分を当接させるとともに、前記インクジェットヘッド形成工程で形成された前記インクジェットヘッドを、前記第１の面と前記インク吐出面とが対向し且つ前記最も長尺なプレートの両端と前記板部材に形成された前記接着層とが接触するように前記ヘッドユニット用治具に載置する載置工程と、
   前記載置工程で載置された前記インクジェットヘッドの前記インク吐出面と前記第１の面とを当接させた状態で、前記接着層を硬化させる接着層硬化工程とを備えていることを特徴とするヘッドユニットの製造方法。
2. 前記インクジェットヘッド形成工程において、複数の前記インクジェットヘッドを形成し、
   前記載置工程において、前記複数のインクジェットヘッドを、前記第１の面と前記インク吐出面とがそれぞれ対向し且つ前記接着層と前記最も長尺なプレートの両端とが接触するように前記ヘッドユニット用治具に載置することを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニットの製造方法。
3. 前記載置工程において、前記第２の面が前記板部材の前記接着層が形成された前記一方の面と反対側の面と当接していることを特徴とする請求項１又は２に記載のヘッドユニットの製造方法。
4. 前記インクジェットヘッド形成工程には、
   前記複数のプレートのそれぞれに、前記インク流路を構成する一又は複数の流路孔を形成する流路孔形成工程と、
   前記流路孔形成工程で前記流路孔が形成された前記複数のプレートのうち少なくとも１枚のプレート上に紫外線又は熱硬化性樹脂を塗布する塗布工程と、
   前記インク吐出面と当接する第３の面を有する支持部と、平面視で当該支持部の外側において、前記第３の面と垂直な方向に前記所定距離よりも大きく前記第３の面から突出し、且つ前記第３の面と平行な第４の面が形成された当接部とを含むヘッド用治具を用いて、前記塗布工程で前記紫外線又は熱硬化性樹脂が塗布された前記プレートを含む複数の前記プレートを、前記第３の面と前記ノズルプレートの前記インク吐出面とが当接しつつ前記第４の面と前記最も長尺なプレートの両端とが対向するように積層する積層工程と、
   前記積層工程で積層された積層体の前記ノズルプレート及び前記最も長尺なプレートを前記第３及び第４の面にそれぞれ当接させた状態で、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を硬化させる硬化工程とが含まれており、
   前記塗布工程において、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を、前記最も長尺なプレートから前記ノズルプレートまでにあるいずれか２枚のプレートの間に配置することを特徴とする請求項３に記載のヘッドユニットの製造方法。
5. 前記インクジェットヘッドが、
   複数の前記プレートが互いに積層されて構成されており、共通インク室と、前記共通インク室の出口から一表面に開口する圧力室を経て前記一表面とは反対側の前記インク吐出面の前記ノズルに至る個別インク流路とを含む第１インク流路が形成された流路ユニットと、
   複数の前記プレートが互いに積層されて構成されており、前記流路ユニットの前記一表面に固定され、且つ前記インク供給口と前記第１インク流路とを繋ぐ第２インク流路が形成されたリザーバユニットとを有し、
   前記最も長尺なプレートが、前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレートに含まれており、当該複数のプレートのうち最も厚みが分厚いプレートであり、
   前記流路孔形成工程後であって前記積層工程前には、
   前記流路孔が形成された前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレート及び前記流路孔が形成された前記流路ユニットを構成する前記複数のプレートに熱硬化性接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
   前記接着剤塗布工程で前記熱硬化性接着剤が塗布された前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレートを、前記第２インク流路が形成されるように積層するリザーバユニット積層工程と、
   前記リザーバユニット積層工程で形成された積層体を加圧しつつ加熱して、前記熱硬化性接着剤を硬化させることにより前記リザーバユニットを形成するリザーバユニット形成工程と、
   前記接着剤塗布工程で前記熱硬化性接着剤が塗布された前記流路ユニットを構成する前記複数のプレートを、前記第１インク流路が形成されるように積層する流路ユニット積層工程と、
   前記流路ユニット積層工程で形成された積層体を加圧しつつ加熱して、前記熱硬化性接着剤を硬化させることにより前記流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程とをさらに備えていることを特徴とする請求項４に記載のヘッドユニットの製造方法。
6. 前記積層工程において、前記リザーバユニット形成工程で形成された前記リザーバユニットを、前記第１インク流路と前記第２インク流路とが互いに連通するように、前記流路ユニット形成工程で形成された前記流路ユニットの前記一表面に積層することを特徴とする請求項５に記載のヘッドユニットの製造方法。
7. 前記塗布工程において、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を、前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレートのうち、前記流路ユニットの前記一表面に積層される前記プレートの前記一表面と対向する面に塗布することを特徴とする請求項６に記載のヘッドユニットの製造方法。
8. 前記ヘッドユニット用治具が、前記第２の面から突出した突起を有しており、
   前記最も長尺なプレートの両端及び前記板部材には、前記突起が挿通可能な位置決め孔がそれぞれに形成されており、前記載置工程において、前記突起を前記位置決め孔に挿通させることを特徴とする請求項３〜７のいずれか１項に記載のヘッドユニットの製造方法。
9. 前記載置工程において、前記第２の面が前記板部材の前記接着層が形成された前記一方の面と当接していることを特徴とする請求項１又は２に記載のヘッドユニットの製造方法。
10. 前記ヘッドユニット用治具の前記当接部が、平面視で前記第１の面と前記第２の面との間であって、前記第１面と垂直な方向に関して前記第１の面と前記第２の面との間に前記第１の面と平行な第３の面を有しており、
    前記インクジェットヘッド形成工程には、
    前記複数のプレートのそれぞれに、前記インク流路を構成する一又は複数の流路孔を形成する流路孔形成工程と、
    前記流路孔形成工程で前記流路孔が形成された前記複数のプレートのうち少なくとも１枚のプレート上に紫外線又は熱硬化性樹脂を塗布する塗布工程と、
    前記ヘッド用治具を用いて、前記塗布工程で前記紫外線又は熱硬化性樹脂が塗布された前記プレートを含む複数の前記プレートを、前記第１の面と前記ノズルプレートの前記インク吐出面とが当接しつつ前記第３の面と前記最も長尺なプレートの両端とが対向するように積層する積層工程と、
    前記積層工程で積層された積層体の前記ノズルプレート及び前記最も長尺なプレートを前記第１及び第３の面にそれぞれ当接させた状態で、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を硬化させる硬化工程とが含まれており、
    前記塗布工程において、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を、前記最も長尺なプレートから前記ノズルプレートまでにあるいずれか２枚のプレートの間に配置することを特徴とする請求項９に記載のヘッドユニットの製造方法。
11. 前記インクジェットヘッドが、
    複数の前記プレートが互いに積層されて構成されており、共通インク室と、前記共通インク室の出口から一表面に開口する圧力室を経て前記一表面とは反対側の前記インク吐出面の前記ノズルに至る個別インク流路とを含む第１インク流路が形成された流路ユニットと、
    複数の前記プレートが互いに積層されて構成されており、前記流路ユニットの前記一表面に固定され、且つ前記インク供給口と前記第１インク流路とを繋ぐ第２インク流路が形成されたリザーバユニットとを有し、
    前記最も長尺なプレートが、前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレートに含まれており、当該複数のプレートのうち最も厚みが分厚いプレートであり、
    前記流路孔形成工程後であって前記積層工程前には、
    前記流路孔が形成された前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレート及び前記流路孔が形成された前記流路ユニットを構成する前記複数のプレートに熱硬化性接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
    前記接着剤塗布工程で前記熱硬化性接着剤が塗布された前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレートを、前記第２インク流路が形成されるように積層するリザーバユニット積層工程と、
    前記リザーバユニット積層工程で形成された積層体を加圧しつつ加熱して、前記熱硬化性接着剤を硬化させることにより前記リザーバユニットを形成するリザーバユニット形成工程と、
    前記接着剤塗布工程で前記熱硬化性接着剤が塗布された前記流路ユニットを構成する前記複数のプレートを、前記第１インク流路が形成されるように積層する流路ユニット積層工程と、
    前記流路ユニット積層工程で形成された積層体を加圧しつつ加熱して、前記熱硬化性接着剤を硬化させることにより前記流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程とをさらに備えていることを特徴とする請求項１０に記載のヘッドユニットの製造方法。
12. 前記積層工程において、前記リザーバユニット形成工程で形成された前記リザーバユニットを、前記第１インク流路と前記第２インク流路とが互いに連通するように、前記流路ユニット形成工程で形成された前記流路ユニットの前記一表面に積層することを特徴とする請求項１１に記載のヘッドユニットの製造方法。
13. 前記塗布工程において、前記紫外線又は熱硬化性樹脂を、前記リザーバユニットを構成する前記複数のプレートのうち、前記流路ユニットの前記一表面に積層される前記プレートの前記一表面と対向する面に塗布することを特徴とする請求項１２に記載のヘッドユニットの製造方法。
14. 前記ヘッドユニット用治具が、前記第３の面から突出した突起を有しており、
    前記最も長尺なプレートの両端及び前記板部材には、前記突起が挿通可能な位置決め孔がそれぞれに形成されており、前記載置工程において、前記突起を前記位置決め孔に挿通させることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか１項に記載のヘッドユニットの製造方法。
15. 前記流路孔形成工程後であって前記積層工程前には、前記流路孔が形成された前記複数のプレートに熱硬化性接着剤を塗布する接着剤塗布工程をさらに備えており、
    前記硬化工程において、前記接着剤塗布工程で塗布された前記熱硬化性接着剤及び前記塗布工程で塗布された前記熱硬化性樹脂を硬化させることを特徴とする請求項５又は１０に記載のヘッドユニットの製造方法。

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