JPH07256882A

JPH07256882A - インクジェット記録ヘッド、その製造方法及び該記録ヘッドを具備する記録装置

Info

Publication number: JPH07256882A
Application number: JP4873794A
Authority: JP
Inventors: Shuji Koyama; 修司小山; Haruhiko Terai; 晴彦寺井; Toshio Kashino; 俊雄樫野; Seiichiro Karita; 誠一郎刈田; Koichi Komata; 好一小俣; Hiroshi Koizumi; 寛小泉; Takeshi Origasa; 剛折笠; Akira Goto; 顕後藤; Kimiyuki Hayashizaki; 公之林崎; Masaki Inaba; 正樹稲葉
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-03-18
Filing date: 1994-03-18
Publication date: 1995-10-09

Abstract

(57)【要約】【目的】吐出エネルギー発生素子が設けられた基板を
基台に精度良く並べることを可能にした、製造歩留りが
高く、安価な長尺のインクジェット記録ヘッドの製造方
法を提供する。【構成】インクを吐出させるために利用されるエネル
ギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設けられた
基板１００を、基台３００上に接着する工程を有するイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法において、基板を基
台に接着する際に基台に塗布する接着剤３０１層の厚さ
をａ、基板と基台とを接着する際用いる配列治具の高さ
をｂ、基板の厚さをｃ、基台の反り量をｄとするとき、
ａ＋ｃ≧ｂ，ｂ≧ｃ＋ｄ，ａ≦３００（μｍ）の３式を
同時に満たすように基板を基台に接着することを特徴と
するインクジェット記録ヘッドの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、記録液体（インク）を
吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッド、その製
造方法及び該記録ヘッドを具備する記録装置に関するも
のである。特に吐出口を略記録幅に対応した数だけ配列
させて構成されるフルマルチタイプのインクジェット記
録ヘッド、その製造方法及び該記録ヘッドを具備する記
録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリンタ、複写機、ファクシミリ等の記
録装置は、画像情報に基づいて、紙やプラスチック薄
板、布、等の被記録材上にドットパターンから成る画像
を記録していくように構成されている。

【０００３】前記記録装置は、その記録方式によりイン
クジェット式、ワイヤードット式、サーマル式、電子写
真式等に分けることができ、そのうちのインクジェット
式記録装置は、インクジェット記録ヘッドの吐出口から
記録液（インク）を滴として吐出飛翔させ、これを被記
録材に付着させて記録するように構成されている。

【０００４】中でも、熱エネルギーをインクに作用させ
インクの状態変化を利用してインクを滴として吐出させ
る方式の記録ヘッドは、記録信号に対する応答性が良
く、吐出口の高密度化が容易である等の利点を有してい
る。

【０００５】また、この熱エネルギーを利用してインク
を吐出させる方式であって、被記録材の幅に略対応して
吐出口および電気熱変換体（吐出エネルギー発生素子）
を配列させた、フルマルチタイプの記録ヘッド及びこの
記録ヘッドを用いるインクジェット記録装置は、その高
速性能の面から大いに期待されている。

【０００６】これまで、これらの記録ヘッドを製造する
には、ＩＣのダイボンディングと同じように転写ピンに
よって接着剤を、その厚さが２５±５μｍになるように
塗布していた。図５は、背景技術に係る通常のインクジ
ェット記録ヘッドの、図６は同長尺タイプのインクジェ
ット記録ヘッドの、それぞれの製造方法の一例を示す工
程図である。両図において、（１）に示されるように基
台（ベースプレート）３００の上に接着剤３０１を設
け、しかる後（２）に示されるようにヒーターボード１
００を（あるいは長尺ヒーターボード１０４を）接着剤
３０１によって基台３００に接着することにより、イン
クジェット記録ヘッドを製造していた。符号１０１は吐
出エネルギー発生素子（ヒーター）を、１０２は信号供
給用のパッドを示す。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術に係る接着では、これまでの記録ヘッドにはそれ
なりに有効であったが、特に６４又は１２８といった比
較的少ない数の吐出エネルギー発生素子を設けた基板を
必要な数だけ一枚の基台上に精度よく並べて接着するフ
ルマルチタイプのインクジェット記録ヘッドの製造方法
に適用させる場合、接着剤の層厚が薄過ぎたり、接着剤
のパターン形状がばらつきやすかったりしたため次のよ
うな問題があった。（１）吐出エネルギー発生素子が設けられた基板の厚さ
のバラツキや基台の反りがあるため、これまでの接着剤
の層厚では基板が基台に接触してしまい、精度良く基板
を基台に配列することができなかった。（２）接着剤パターン形状が基板に対して左右、上下で
均等でないことが多いため、複数の溝を有する一つの天
板を１２８ノズル当たり２から４ｋｇ重の力で上から押
さえた時、各々の基板が接着剤の少ない方に傾き、基板
間に隙間を生じさせ、印字特性を悪化させてしまうこと
があった。

【０００８】本出願に係る第一の発明の目的は、吐出エ
ネルギー発生素子が設けられた基板を基台に精度良く並
べる事を可能にした、製造歩留りが高く、安価な長尺の
インクジェット記録ヘッド、その製造方法及び該記録ヘ
ッドを備えた記録装置を提供することにある。

【０００９】本出願に係る第二の発明の目的は、複数の
溝を有する一つの天板を１２８ノズル当たり２から４ｋ
ｇ重の力で押さえても、天板の下部にある基板が傾くこ
となく製造できる、印字特性の良好なインクジェット記
録ヘッド、その製造方法及び該ヘッドを備えた記録装置
を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、インクを吐出させるために利用されるエネルギー
を発生する複数のエネルギー発生素子が設けられた基板
を、基台上に接着する工程を有するインクジェット記録
ヘッドの製造方法において、基板を基台に接着する際に
基台に塗布する接着剤の層厚をａ、基板と基台とを接着
する際用いる配列治具の高さをｂ、基板の厚さをｃ、基
台の反り量をｄとするとき、ａ＋ｃ≧ｂ，ｂ≧ｃ＋ｄ，
ａ≦３００（μｍ）の３式を同時に満たすように基板を
基台に接着することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法である。

【００１１】また本発明の製造方法は、接着後の基板１
チップに対する接着剤のパターンにおいて、０．７５≦
接着剤の上面積／接着剤の下面積≦１．２５且つ０．７
５≦接着剤の左面積／接着剤の右面積≦１．２５とし、
基板１チップの面積ｅに対する接着剤の接着面面積ｆの
割合ｆ／ｅを０．４以上１．０以下とすることを含むも
のである。

【００１２】また本発明は、上記いずれかの製造方法で
製造されたインクジェット記録ヘッドである。

【００１３】また本発明のインクジェット記録ヘッド
は、エネルギー発生素子が電気エネルギーを与えること
によって発熱し、インクに状態変化を生ぜしめてインク
の吐出を行わせるための電気熱変換体であるものを含
む。

【００１４】また本発明のインクジェット記録ヘッド
は、記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐出口が複数
設けられているフルマルチタイプのものを含む。

【００１５】また本発明のインクジェット記録ヘッド
は、エネルギー発生素子が設けられた基板の複数を長尺
な基台上に接着してなるものを含む。

【００１６】また本発明は、記録媒体の被記録面に対向
してインクを吐出するインク吐出口が設けられている前
記インクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録
ヘッドを載置するための部材とを具備することを特徴と
するインクジェット記録装置である。

【００１７】

【作用】本出願に係る第１の発明は、６４又は１２８と
いった比較的少ない数の吐出エネルギー発生素子（熱エ
ネルギーを利用したインクジェット記録方式では、一対
の電極及びこれら電極の間に設けられた発熱抵抗体）が
設けられた基板を必要な数だけ基台に接着する場合、基
台に接着する際に基台に塗布する接着剤の層厚をａ、基
板と基台とを接着する際用いる治具の高さをｂ、基板の
厚さをｃ、基台の反り量をｄとした時、ａ＋ｃ≧ｂ，ｂ
≧ｃ＋ｄ，ａ≦３００（μｍ）の３式を同時に満たすこ
とを特徴とする。

【００１８】上記構成は、基台上に塗布された接着層の
厚さが基台（ベースプレート）の反りや基板（これより
ヒーターボードと呼ぶ）の厚さバラツキを吸収できるた
め、ヒーターボードが基台に接触せず精度良く並べる事
を可能としたものである。

【００１９】また第二の目的を達成するため、本出願に
係る第二の発明は、６４又は１２８といった比較的少な
い数の吐出エネルギー発生素子が設けられたヒーターボ
ードを必要な数だけ基台に並べヒーターボードを接着し
た後の接着剤のパターンが、基板１チップに対する接着
剤パターンにおいて、０．７５≦接着剤の上面積／接着
剤の下面積≦１．２５且つ０．７５≦接着剤の左面積／
接着剤の右面積≦１．２５とし、基板１チップの面積ｅ
に対する接着剤の接着面面積ｆの割合ｆ／ｅを０．４以
上１．０以下としたことを特徴とする。

【００２０】図８に基板１チップに対する接着剤パター
ンの１例を示す。図中、８１はヒーターボード基板、８
２は接着剤パターンである。上面積、下面積、左面積、
右面積をこの図を用いて説明する。基板中心を通り基板
の上辺及び下辺と平行な中心線より上側の面積が上面積
８２ａ、下側の面積が下面積８２ｂであり、基板中心を
通り基板の側辺と平行な中心線より図において、左側の
面積が８２ｃ、右側の面積が８２ｄである。

【００２１】従って接着剤パターンが上記条件を満たす
ならば、接着層が基板の中心に対してほぼ左右、上下対
称なため、複数の溝を有する一つの天板を１２８ノズル
当たり２から４ｋｇ重の力で押さえた時、ヒーターボー
ドに均一に荷重がかかるため天板の下部にある基板が傾
くことなく製造できるものである。この構成にすること
で、基板が傾くことがなくなるために基板間の隙間がな
く、吐出口とヒーターとの間の距離も一定なため、ノズ
ル間のクロストークもなく、吐出速度が１０（ｍ／ｓ）
以上である新しい長尺のインクジェット記録ヘッドを提
供できる。

【００２２】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装
置において、優れた効果をもたらすものである。

【００２３】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有利である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた液体（イ
ンク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【００２４】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。尚、
上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４
３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用する
と、更に優れた記録を行なうことができる。

【００２５】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路又は直角液流路）の他
に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。

【００２６】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。

【００２７】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効果を
一層有効に発揮することができる。

【００２８】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。

【００２９】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モー
ドを行うことも安定した記録を行うために有効である。

【００３０】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成するか複数個を組み合わせによっ
てでも良いが、異なる色の複色カラー、または混色によ
るフルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明
は極めて有効である。

【００３１】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調
整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温
度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与
時にインクが液状をなすものであればよい。

【００３２】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するか、ま
たはインクの蒸発防止を目的として放置状態で固化する
インクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクとして吐出するものや、記録媒体に到達する時点で
は既に固化し始めるもの等のような、熱エネルギーの付
与によって初めて液化する性質のインクの使用も本発明
には適用可能である。このような場合インクは、特開昭
５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６
０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部または
貫通孔に液状または固形物として保持された状態で、電
気熱変換体に対して対向するような形態としてもよい。
本発明においては、上述した各インクに対して最も有効
なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００３３】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さら
には送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採る
ものであっても良い。

【００３４】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。

【００３５】実施例１図１は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方
法の一例を示す工程図である。

【００３６】図中、３００は材質がアルミニウム、板厚
が３ｍｍの基台、３０１は接着剤（東レシリコーン社製
の商品名：ＳＥ−４４００）、１００はヒーターボード
（幅９ｍｍ、奥行き５ｍｍのチップサイズ）、１０１は
吐出エネルギー発生素子、１０２はパッド、１０３は配
列治具、１０５は真空吸着部、ａは接着剤の層厚、ｂは
治具高さ、ｃはヒーターボード厚さである。治具高さｂ
は基板を支える面と基台を支える面との間の距離であ
る。図７は基台３００の反り量ｄを説明する模式図であ
る。

【００３７】まず基台３００に接着剤３０１を印刷によ
って図１の工程（１）のようにヒーターボードに対応し
て塗布する。

【００３８】次いで、図１の工程（２）のように、配列
治具１０３の画像認識等を利用して精度良く複数のヒー
ターボード１００を基台３００上に並べる。図１の工程
（３）のように真空吸着部１０５を介しての真空吸着等
を利用してヒーターボード１００を配列治具１０３に密
着させる。すなわち、先程の接着剤３０１が塗布された
基台３００を、ヒーターボード１００のヒーター面が下
になるように配列治具１０３の段差部に載置する。接着
剤３０１を硬化させて、ヒーターボード１００を複数並
べた長尺基板１０６が完成する。

【００３９】接着剤の層厚ａを２０〜４００μｍ、治具
の高さｂを６６０μｍ〜９００μｍ、ヒーターボードの
厚さｃを６１０〜６４５μｍ、基台の反り量ｄを１０〜
５０μｍの範囲で変化させ、且つ接着前の接着面積を幅
５×奥行き３ｍｍ、幅６×奥行き４ｍｍの２種類に変化
させて上記要領でインクジェット記録ヘッドを作製し、
基板の所定位置に対する位置ずれを調べた。その結果を
表１に示す。

【００４０】

【表１】表１中、Ｎｏ．１に示すように接着剤の層厚ａを２０μ
ｍ、治具の高さｂを６６０μｍ、ヒーターボードの厚さ
を６４５μｍ、基台の反り量ｄを１０μｍ、接着前の接
着面積を１５ｍｍ² として１１個のヒータボードを配列
した結果、各ヒーターボード間の上下段差、前後の位置
ずれは２μｍ以内に収まった。表１中、Ｎｏ．１は、ａ
＋ｃ≧ｂ，ｂ≧ｃ＋ｄ，ａ≦３００（μｍ）の３式を同
時に満たしている。表１中、Ｎｏ．１と同じように、上
の式を満たしているＮｏ．４〜１４は配列後の上下段
差、前後の位置ずれが２μｍ以内に収まった。

【００４１】また表１中、Ｎｏ．２に示すようにｂ≧ｃ
＋ｄは満たしているがａ＋ｃ＜ｂとして試作した場合ヒ
ーターボードが基台に接着しなかった。そして、表１
中、Ｎｏ．３に示すようにａ＋ｃ≧ｂは満たしているが
ｂ＜ｃ＋ｄとして試作した場合ヒーターボードが基台に
接触してしまい配列精度は３μｍ以上になってしまっ
た。

【００４２】そして、表１中、Ｎｏ．１５〜１８に示す
ように接着剤の層厚ａを３５０μｍ以上にすると、接着
剤硬化後、上下段差、前後の位置ずれが３μｍ以上にな
った。これは、接着剤の層厚が厚過ぎると接着剤を熱硬
化するときの熱による硬化収縮でヒーターボードが動く
ためであると考えられる。

【００４３】このように作製した長尺基板１０６に、複
数のインク吐出口２０３とそのインク吐出口の各々に連
通した複数の溝を有する天板２００を、１２８ノズル当
たり３Ｋｇ重の力でバネによって接合した。これを図３
に示す。図３において符号３０２は、天板２００が接合
された後に複数の基板間に注入される封止材（本実施例
では、東芝シリコン社製ＳＥ９１４０）である。

【００４４】図３に示すものに更に信号・電力供給パッ
ド４０１が配設された配線基板４００、コネクター４０
２をつけて図２に示すようなフルマルチタイプのインク
ジェット記録ヘッドが完成する。

【００４５】図４において６００がフルマルチ（フルラ
イン）インクジェット記録ヘッドを示しており、このイ
ンクジェット記録ヘッドから、被記録媒体搬送ローラー
７００に搬送される紙や布等の被記録媒体８００に向け
てインクが吐出され、これによって記録がなされる。

【００４６】実施例２基台３００の上に塗布された接着剤３０１のパターン
（ベタパターン及び柱状パターン）にヒーターボード１
００を配列し熱硬化した後、接着剤３０１のパターンの
上下面積比率、左右面積比率、接着剤面積ｆとヒーター
ボードチップ面積ｅとの面積比率（ｆ／ｅ）、及びノズ
ル同士のクロストークの関係を調べた結果を表２に示し
た。

【００４７】

【表２】表２の接着剤のパターンは一つのヒーターボード上のパ
ターンを示しており、実際には複数のヒーターボードに
対応して基台にそのようなパターンが印刷されている。

【００４８】表２のＮｏ．１からＮｏ．４に示す通り接
着剤とヒーターボードの面積比率が０．１から０．３の
場合、クロストークが発生し吐出速度が６（ｍ／ｓ）と
なってしまった。また、Ｎｏ．７及びＮｏ．８に示す通
り、上下、左右の面積比率のどちらか一方が０．７５以
上１．２５以下の範囲に入らない場合、クロストークが
発生してしまった。

【００４９】そして、上下、左右の面積比率が０．７５
以上１．２５以下の範囲に入っており、接着剤とヒータ
ーボードとの面積比率が０．４以上１．０以下であるＮ
ｏ．５，６，９，１０はクロストークの発生が無く、吐
出速度が１０（ｍ／ｓ）以上であった。

【００５０】また基台３００上に塗布する接着剤パター
ンをベタ状から柱状に変えてヒーターボードを配列した
結果を表２のＮｏ．１１から２０に示す。

【００５１】図９は柱状パターンの上面積、下面積、左
面積、右面積を説明する図である。基板９１の中心線よ
り上側の全ての接着剤パターンの面積の合計が上面積９
２ａ、下側全ての接着剤パターンの面積の合計が下面積
９２ｂであり、基板９１の中心線より左側全ての接着剤
パターンの面積の合計が左面積９２ｃ、右側全ての接着
剤パターンの面積の合計が右面積である。

【００５２】表２からも明らかなように、上下、左右
の、面積比率が０．７５以上１．２５以下の範囲に入っ
ており、接着剤とヒーターボードとの面積比率が０．４
以上１．０以下であるＮｏ．１５，１６，１９，２０は
クロストークの発生が無く、吐出速度が１０（ｍ／ｓ）
以上であった。その他のＮｏ．１１，１２，１３，１
４，１７，１８は、上記条件を満足しておらず、クロス
トークが発生し吐出速度が６（ｍ／ｓ）以下だった。

【００５３】これは、ヒーターボード１００と基台３０
０との間の接着剤のパターンについて、０．７５≦接着
剤の上面積／接着剤の下面積≦１．２５且つ０．７５≦
接着剤の左面積／接着剤の右面積≦１．２５とし、基板
１チップの面積ｅに対する接着剤の接着面面積ｆの割合
ｆ／ｅを０．４以上１．０以下としたことにより、複数
の溝を有する一つの天板をバネ等によって１２８ノズル
当たり２から４ｋｇ重の力で上から押さえても、各々の
基板が接着剤の少ない方に傾かず、基板間に隙間を生じ
させないため、印字特性を著しく良好にさせたと考えら
れる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、接
着剤の層厚、配列治具の高さ、基台の反り量、基板の厚
さが所定の関係を満たすように基板と基台とを接着する
ことによって、基台に吐出エネルギー発生素子が設けら
れた基板を精度良く並べることが可能になり、製造歩留
りが高く、安価な長尺のインクジェット記録ヘッドを提
供することができる。

【００５５】また基板１チップに対する接着剤のパター
ンが所定の条件を満たすように接着剤層を形成すること
によって、複数の溝を有する一つの天板を１２８ノズル
当たり２から４ｋｇ重の力で押さえても、天板の下部に
ある基板が傾くことなく製造可能であるため、印字特性
の良好なインクジェット記録ヘッドを提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造
方法の一例を示す工程図である。

【図２】本発明に係る製造工程の一例を示す模式図であ
る。

【図３】天板を接合した基板の構成例を示す断面図であ
る。

【図４】インクジェット記録ヘッドと被記録媒体との関
係を示す模式図である。

【図５】背景技術に係るインクジェット記録ヘッドの製
造方法の一例を示す工程図である。

【図６】背景技術に係る長尺タイプのインクジェット記
録ヘッドの製造方法の一例を示す工程図である。

【図７】基台の反り量を説明する模式図である。

【図８】基板１チップに対する接着剤のパターンの一例
を示す模式図である。

【図９】基板１チップに対する接着剤のパターンの他の
例を示す模式図である。

【符号の説明】

８１ヒーターボード基板８２接着剤パターン９１ヒーターボード基板９２接着剤パターン１００ヒーターボード１０１吐出エネルギー発生素子１０２パッド１０３配置治具１０４長尺ヒーターボード１０５真空吸着部１０６長尺基板２００天板２０１液室２０２流路２０３吐出口２０４インク供給口３００基台（ベースプレート）３０１接着剤３０２封止材４００配線基板４０１信号・電力供給パッド４０２コネクタ６００フルマルチインクジェット記録ヘッド７００被記録媒体搬送ローラー８００被記録媒体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者刈田誠一郎東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者小俣好一東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者小泉寛東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者折笠剛東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者後藤顕東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者林崎公之東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者稲葉正樹東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者小野敬之東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐出させるために利用されるエ
ネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が設けら
れた基板を、基台上に接着する工程を有するインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法において、基板を基台に接着
する際に基台に塗布する接着剤の層厚をａ、基板と基台
とを接着する際用いる配列治具の高さをｂ、基板の厚さ
をｃ、基台の反り量をｄとするとき、ａ＋ｃ≧ｂ，ｂ≧
ｃ＋ｄ，ａ≦３００（μｍ）の３式を同時に満たすよう
に基板を基台に接着することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】接着後の基板１チップに対する接着剤の
パターンにおいて、０．７５≦接着剤の上面積／接着剤
の下面積≦１．２５且つ０．７５≦接着剤の左面積／接
着剤の右面積≦１．２５とし、基板１チップの面積ｅに
対する接着剤の接着面面積ｆの割合ｆ／ｅを０．４以上
１．０以下とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】請求項１又は２に記載の製造方法で製造
されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】エネルギー発生素子が電気エネルギーを
与えることによって発熱し、インクに状態変化を生ぜし
めてインクの吐出を行わせるための電気熱変換体である
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
出口が複数設けられているフルマルチタイプのものであ
る請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】エネルギー発生素子が設けられた基板の
複数を長尺な基台上に接着してなる請求項３に記載のイ
ンクジェット記録ヘッド。
【請求項７】記録媒体の被記録面に対向してインクを
吐出するインク吐出口が設けられている請求項３に記載
のインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録
ヘッドを載置するための部材とを具備することを特徴と
するインクジェット記録装置。