JP3126590B2

JP3126590B2 - 液体噴射ヘッド、該液体噴射ヘッドを有するヘッドカートリッジ、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JP3126590B2
Application number: JP10546994A
Authority: JP
Inventors: 寛小泉; 晴彦寺井; 俊雄樫野; 修司小山; 誠一郎刈田; 好一小俣; 剛折笠; 正樹稲葉; 顕後藤; 公之林崎; 敬之小野
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-05-19
Filing date: 1994-05-19
Publication date: 2001-01-22
Anticipated expiration: 2016-01-22
Also published as: JPH07309012A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液体を吐出して記録を行
う液体噴射ヘッド、該液体噴射ヘッドを有するヘッドカ
ートリッジおよび液体噴射装置に関する。特に吐出エネ
ルギー発生素子が配された素子基板を複数並べて長尺化
が図られた液体噴射ヘッド、これを用いたヘッドカート
リッジ、液体噴射装置に関する。

【０００２】また、この液体噴射ヘッドの製造方法に関
する。

【０００３】また、本発明は、オフィスで用いられるプ
リンタだけでなく布に対して記録を行う捺染装置として
のプリンタ等の産業上利用できるプリンタへも適用する
ことができる。

【０００４】

【背景技術】プリンタ、複写機、ファクシミリ等の記録
装置は、画像情報に基づいて、紙やプラスチック薄板、
布等の被記録材上にドットパターンから成る画像を記録
していくように構成されている。

【０００５】前記記録装置は、その記録方式により、イ
ンクジェット式、ワイヤードット式、サーマル式、電子
写真式等に分けることができる。そのうちのインクジェ
ット式（インクジェットプリント装置）は、インクジェ
ット記録ヘッドの吐出口から記録液（インク）滴を吐出
飛翔させ、これを被記録材に付着させて記録するように
構成されており、低騒音での高速記録が可能であるた
め、近年多く利用されている。

【０００６】中でも、熱エネルギーをインクに作用さ
せ、熱膨張による圧力を利用してインク液滴を吐出させ
る方式（バブルジェット方式）の記録ヘッドは、記録信
号に対する応答性が良く、吐出口の高密度化が容易であ
るなどの利点を有している。

【０００７】また、この熱エネルギーを利用してインク
を吐出させる方式であって、被記録材の幅に略対応して
吐出口および電気熱変換体（吐出エネルギー発生素子）
を長尺に配列させた、フルラインタイプの記録ヘッド
（フルライン記録ヘッド）およびこの記録ヘッドを用い
るインクジェットプリント装置は、その高速性能の面か
ら大いに期待されている。

【０００８】しかしながら、上記フルライン記録ヘッド
においては、記録領域の略全幅に渡って設けられた吐出
エネルギー発生素子をすべてに渡って欠陥なく加工する
ことが非常に困難であった。

【０００９】すなわち、例えばＡ３サイズの記録紙を４
００ｄｐｉ（ｄｏｔｐｅｒｉｎｃｈ１インク当り
のドット数）の記録密度で記録するライン記録ヘッドで
は、４７３６個の吐出エネルギー発生素子（バブルジェ
ット方式では一対の電極およびこれらの電極の間に設け
られた発熱抵抗体）を１つの欠陥もなく全てに渡って加
工しなくてはならず、極めてその製造が困難であった。
従ってヘッドコストが高くなかなか実用化まで達するこ
とができずにいた。

【００１０】そこでこの課題を解決するために、発明者
らは特願平６−３４８１０号で示した方法を提案した。

【００１１】即ち、この提案においては、数千個の吐出
エネルギー発生素子を有する素子基板に比べ、６４個や
１２８個といった比較的少ない数の吐出エネルギー発生
素子を設けた素子基板（以下ヒーターボードとも呼ぶ）
を、必要な数だけ同一の支持体の上に複数の素子基板間
においても、１つの素子基板上の素子配置ピッチと同じ
ピッチを達成できるよう精度よく並べて接着することに
よってヘッドの長尺化を達成している。このため、今ま
でフォトリソ加工などの技術で長尺な素子基板を無欠陥
で作り上げようとして困難性を生じていた長尺な記録ヘ
ッド用基体を極めて高い歩溜りで得ることができる。

【００１２】このようにして得られた記録ヘッド用基体
に、複数素子基板に対応したインク吐出口とこれに通ず
る流路を構成する溝を有する天板としての溝付部材を接
合することで、長尺のインクジェット記録ヘッドを得る
ことができる。このように、複数の素子基板を連続的に
覆う長尺な溝付部材を用いることで、個々の素子基板に
対応した溝付部材を複数用いる場合に比べて、インクの
吐出方向のばらつきを防止でき、良好な画像を得ること
ができる。

【００１３】又、複数の素子基板を覆う連続した溝付部
材を用いているため、１つの素子基板上での素子の配置
ピッチを複数の素子基板間においても達成するよう、素
子基板を配列することができる。従って上述した効果に
加え、ヘッドおよび装置の小型化を達成することがで
き、又、記録動作が容易な記録ヘッドを提供することが
できる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら本発明者
らがさらに研究を進めた結果、素子基板の継ぎ目付近の
吐出口と継ぎ目付近でない吐出口からの吐出とでは、吐
出性能に差を生じる場合があることを見い出した。この
ようにインクの吐出性能に差がある場合には、記録画像
にすじやむらを生じてしまい良好な画質を得ることがで
きない。

【００１５】本発明者らが上述の吐出性能の不良につい
て検討した結果次のような解決すべき課題があることが
わかった。上述のように支持体の同一面側に複数の素子
基板を連続的に並べてヘッドを製造する場合、素子基板
を支持体上に配置する精度上、又、支持体と素子基板と
の熱膨張率の違いから、素子基板間に若干の隙間を設け
て素子基板を配置する必要がある。図９は、支持体上に
配された複数の素子基板１００に対して流路を構成する
溝か設けられた溝付部材を接合したヘッドの断面図を示
している。素子基板間には上述のように、隙間Ｌがある
が、この隙間Ｌが、素子基板の配置精度によって大きく
なったり、素子基板側に対する溝付部材の取り付け位置
にずれが生じた場合、符号２０２で示される流路のよう
に、流路が隙間の方に開放してしまい、インクを吐出す
るための圧力が逃げてしまうことがあった。このため隙
間近傍の吐出口からのインクの吐出性能が他の吐出口か
らの吐出と異なってしまい、記録画像にすじやむらが生
じてしまうことがあった。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上述のような課題を解決
するための液体噴射ヘッド、ヘッドカートリッジ、液体
噴射装置の主たる要件は、液体を吐出するための吐出エ
ネルギー発生素子が複数設けられた素子基板を、支持体
の同一面側に複数有する基体と、前記吐出エネルギー発
生素子に対応した流路を構成するための溝が複数設けら
れた溝付部材とを有し、前記基体と前記溝付部材を接合
することで、前記流路が形成されていると共に前記溝付
部材の前記溝を形成するための壁によって、前記複数の
素子基板間の隙間が覆われており、前記溝付部材は前記
溝を形成するための壁の内、前記複数の素子基板間の隙
間に対応した壁の幅が他の壁の幅より広いことを特徴と
するものである。

【００１７】このような構成により、各吐出口ごとで液
体の吐出方向や吐出性能がそろっていることで良好な記
録を行うことができると共に、高速記録が可能なインク
ジェットヘッドを歩留りよく提供することができる。

【００１８】また、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法
は、液体を吐出するための吐出エネルギー発生素子が複
数設けられた素子基板を、支持体の同一面側に複数配し
た基体を準備する工程と、前記吐出エネルギー発生素子
に対応した流路を形成するための溝が複数設けられ、複
数の前記素子基板のエネルギー発生素子列を覆うための
溝付部材を準備する工程と、前記基体に対して前記溝付
部材を接合することによって、前記素子基板間の隙間を
前記溝付部材の溝を構成する壁で覆うと共に、流路を形
成する工程と、を有し、前記溝付部材は、溝を形成する
ための壁の内、前記複数の素子基板間の隙間に対応した
壁の幅が他の壁の幅より広いことを特徴とする方法であ
る。

【００１９】このような方法によって、上述のような効
果を有するヘッドを容易に歩留りよく、低コストで得る
ことができる。

【００２０】

【実施例】以下の説明においては、液体としてインクを
用いて説明するが、本発明においては、これに限られる
ものではない。

【００２１】又、本発明において記録とは、文字を記録
することのみ、また意味のある画像のみを意味するもの
ではなく、意味の無い画像を記録することをも含む言葉
として用いる。

【００２２】以下図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００２３】図１は本発明の液体噴射ヘッド（以下、イ
ンクジェットヘッドともいう。）を主要な部品の構成が
わかるように説明するための図である。本実施例ではイ
ンク吐出口の密度３６０ｄｐｉ（７０．５μｍ）インク
の吐出口数３００８ノズル（印字幅２１２ｍｍ）のイン
クジェットヘッドについて説明する。

【００２４】図１において、素子基板（以下ヒーターボ
ードともいう）１００は吐出エネルギー発生素子１０１
が所定の位置に３６０ｄｐｉの密度にて１２８ケ設けら
れているものである。ここでは、素子としてインクに熱
を与えるための発熱抵抗素子が設けられている例を示し
た。また、このヒーターボードには外部からの電気信号
により任意のタイミングで吐出エネルギー発生素子１０
１を駆動させたりする信号パッド、その駆動のための電
力などを供給するための電力パッド等１０２が設けられ
ている。

【００２５】ヒーターボード１００は金属やセラミック
スといった材質で作られた支持体（ベースプレート）３
００の表面上に接着剤にて接着固定されている。

【００２６】図２にヒーターボード１００をベースプレ
ート３００上に複数連続的に並べた状態の詳細図を示
す。ベースプレート３００の所定の場所に、所定の厚さ
で塗布された接着剤３０１によってヒーターボード１０
０は接着固定されており、この際ヒーターボード１００
上に設けられた吐出エネルギー発生素子１０１がヒータ
ーボード１００上に配置されたピッチＰ＝７０．５μｍ
と同じピッチに隣接するヒーターボードの吐出エネルギ
ー発生素子のピッチがなるように精度よく配置されてい
る。この際の配置及びヒーターボードの寸法精度だが、
配置に関してはその絶対位置に対して精度±２μｍ、ヒ
ーターボードの寸法精度はｌ±５μｍである。どちらも
最新の装置を使ったものであり、現状この値をさらによ
くすることは困難である。従って、この精度からヒータ
ーボードの隙間をＬとすると交差は±２×＋±５×２＝
±１４となる。本実施例ではこの交差を見込んでＬ＝１
４として作ったので隙間はＬ＝１４±１４μｍの設定と
なる。

【００２７】図１において、ベースプレート３００には
ヒーターボード１００と同様に配線基板４００が接着貼
付されている。この際ヒーターボード１００上のパッド
１０２と配線基板上に設けられた信号・電力供給パッド
４０１とが所定の位置関係となるような位置関係で接着
貼付されることとなっている。また配線基板には外部か
らの印字信号や駆動電力を供給するためのコネクター４
０２が設けられている。

【００２８】次に流路を形成するための溝が設けられた
溝付部材である天板２００について説明する。

【００２９】図３は、天板の上面図（ａ）、正面図
（ｂ）、下面図（ｃ）、ＸＸ断面図（ｄ）をそれぞれ示
している。

【００３０】同図で天板２００はヒーターボード１００
に設けられた吐出エネルギー発生素子１０１に対応して
設けられた流路２０２、各流路に対応して設けられたイ
ンクを記録媒体に向けて吐出させるための各流路に連通
したオリフィス２０３、各流路２０２に対してインクを
供給するために各流路に連通した液室２０１、液室２０
１に対してインクタンク（図示せず）から供給されたイ
ンクを流入させるためのインク供給口２０４といった部
品で構成されている。天板２００はヒーターボード１０
０を複数ならべて設けられた吐出エネルギー発生素子列
をほぼ覆いかぶさるような長さで構成されている。

【００３１】本発明においては図１で示されるように天
板２００はその流路２０２とベースプレート３００上に
並べられたヒーターボード１００上の吐出エネルギー発
生素子１０１との位置関係を所定の位置関係になるよう
に位置合せして結合させている。

【００３２】ここで溝付部材である天板を複数のヒータ
ーボードが設けられた支持体に対して接合する工程につ
いて説明しておく。

【００３３】ベースプレート３００の上に複数のヒータ
ーボード１００が定められた寸法通りに接着接合された
基体を準備する。

【００３４】次に図４で示されるように接合機（全体は
図示せず）に設けられた基台２０５の定められた位置に
前述の基体を配置する。この基体配置位置は基台２０５
に設けられたピンにより一定となるようになっている。
次に天板２００を接合機に設けられたハンド２０６に置
く。このハンド２０６にもあらかじめ天板２００が定め
られた位置に置かれるようになっている。以上のように
ベースプレート３００および天板２００をそれぞれ基台
２０５、ハンド２０６に置くことでお互いの位置関係は
ある程度の範囲内に設定される。次に接合機に設けられ
た顕微鏡にて位置を確認する。まずノズル吐出口数３０
０８の半分に相当する１５０４番目のヒーター１０１を
Ａ方向から見て位置を確認する。即ちＡ方向から見たヒ
ーターを画像処理により接合機内での正確な位置をまず
決定する。次に同じく１５０４番目のノズルに相当する
オリフィスをＢ方向から見て位置を確認する。このＢ方
向から見た位置をＡ方向から見た位置に合わせるよう図
のｘ方向位置を調整する。

【００３５】この際接合機自体の位置調整精度は±２μ
ｍを持っておりｘ方向ではこの精度でもって位置合わせ
は可能になる。続いてハンド２０６をその精度を保った
ままｚ方向におろして天板２００をヒーターボード１０
０に接合する。この後Ｂ方向（ｙ方向）に天板を押しつ
けながらハンド２０６を取り除きバネにて固定する（図
示せず）。

【００３６】ここでは、結合法としてバネ等によってメ
カ的に押えこんだが、その他にも接着剤によって固定し
たり、それらを組み合わせたりすることなど色々な方法
がある。これらにより天板２００とヒーターボード１０
０は図５のような関係で固定される。

【００３７】以上説明して来た天板２００は切削等によ
る機械加工やモールド成型法、注型法、フォトリソグラ
フィーを使った方法等の公知の方法を用いて製造できる
ことを付け加えておく。

【００３８】以上説明したようにベースプレートの一方
の面側にそれぞれ複数のエネルギー発生素子が設けられ
たヒーターボードを複数配列した基体に対して、複数の
ヒーターボードのエネルギー発生素子列を覆うような長
尺の天板（溝付部材）を取り付けたヘッド構成とした。

【００３９】このような構成によって、１つのヒーター
ボードにそれぞれ天板を取り付けた小ヘッドを複数並べ
た場合のように、インクの供給系が複雑化せず、小型
化、低コスト化を達成したヘッドを提供することができ
る。また、複数のヒーターボードをベースプレートの一
方の面側にのみ配置していることで電気的な配線をも簡
略化することができる。また、複数のヒーターボードの
エネルギー発生素子列を覆うような長尺な天板を基体に
取り付けているため、小ヘッドを並べた場合のように流
路の方向が小ヘッドごとにばらばらになることが抑制さ
れる。特に上述したように天板を１つとした場合には、
１度の位置合わせで、全ての流路の方向を同じくするこ
とができ、印字ずれ等のない長尺なヘッドを容易に得る
ことができる。

【００４０】このような構成であるため、外側からみる
と一体のオリフィスプレートに並んだノズルオリフィス
から吐出され、しかもノズル自体も一体にならんだもの
となっているため、吐出も均一であり吐出方向もそろっ
ており、あたかも一体の長尺ヘッドの吐出性能が得られ
る。

【００４１】また、小ヘッドを並べる構成の場合には、
小ヘッドごとにインクの濡れを防止するためのシーリン
グを行う必要があるが、複数のヒーターボードのエネル
ギー発生素子列を覆うような長尺な天板の場合、シーリ
ングを行う回数が少なくてすむ。もちろん上述のように
天板が１つの場合には、このシーリングも１回で済むた
め最も容易である。

【００４２】このように複数のヒーターボードのエネル
ギー発生素子列を覆うような長尺な天板を複数用いて長
尺なヘッドを作成しても充分に本発明の効果を得ること
はできるが、天板１つの場合が最も望ましいことは前述
の通りである。

【００４３】先の実施例においては、インクを吐出する
ためのオリフィス（吐出口）が設けられた天板を示し
た。このようにオリフィス自体が天板に設けられている
場合は、インクの吐出方向自体も天板で決定できるた
め、高画質記録を高速で行いうるヘッドを最も容易に得
ることができる。このように天板がオリフィスを有さな
い形態のヘッドであって、各ヒーターボードと溝天の接
合によって、オリフィスが形成されるヘッドであって
も、本発明の長尺な天板を用いることで、インク流路の
方向を揃えることができ、インク吐出方向の安定性を図
ることができ、延いては、良好な画像を得ることができ
る。

【００４４】なお天板２００を構成する材料としては、
正確に溝を形成できる樹脂であれば良いが、さらに機械
的強度寸法安定性、耐インク性に優れたものであること
が望ましい。このような材料としてはエポキシ樹脂、ア
クリル樹脂、ジクリコール・ジアルキルカーボネード樹
脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ
イミド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂
等が望ましく、特にポリサルフォンやポリエーテルサル
フォン等の樹脂がその成型性、耐液性等の観点から望ま
しい。

【００４５】また天板２００には図３（ｄ）Ｘ−Ｘ断面
に示すように天板２００の熱膨張率を規制する支持部材
２０５が天板２００の樹脂の中に入っている。この支持
部材２０５はベースプレート３００と同様のステンレス
鋼で出来ている。支持部材２０５は表面にブラスト加
工、ローレット加工といった表面加工が入っていて天板
２００の樹脂との密着度が向上するようになっており、
その機械的強度から天板２００の熱膨張率はステンレス
鋼のそれにならうようになっている。これによってヘッ
ドの天板２００とベースプレート３００は同一の熱膨張
率を持つことになり、熱によるヒーターとノズルのずれ
は発生しない。

【００４６】図５に本実施例のヒーターボードの隙間と
天板２００の壁の関係を示す模式図を表わす。前に説明
したようにヒーターボード１００が隙間Ｌを持って並べ
られていてＬ＝１４±１４μｍとなっている。この時１
つのヒーターボード上の吐出エネルギー発生素子のピッ
チＰと等しくなるようにヒーターボード端部の吐出エネ
ルギー発生素子１０１はヒーターボード間の隙間を挾ん
でピッチＰ＝７０．５μｍの間隔を配列している。一
方、ヘッド用基体に対向する天板２００には流路を構成
する溝２０２がピッチＰ＝７０．５μｍで配列されてお
り、流路２０２をそれぞれ分ける壁２０６の厚さ（本実
施例においては、基体側と接合面の幅）をＷ₃＝２０μ
ｍとしている。ただしヒーターボードの隙間に相当する
所の壁２０６の幅はＷ₁＝３６μｍになるよう広げられ
ている。即ち隙間をはさむ流路２０２が左右それぞれα
づつピッチをずらしてある（ここでα＝８μｍであ
る）。

【００４７】これによって両隣りの壁はＷ₂＝１２μｍ
と小さくなっている。これより流路２０２のピッチは図
の左側からＰ，Ｐ−α，Ｐ＋２α，Ｐ−α，Ｐとなって
いる。さらに点線で示したが、オリフィス２０３は吐出
エネルギー発生素子の配置ピッチに対応したピッチＰで
設けられている。

【００４８】天板の壁を今まで説明したような関係の構
造にすることで隙間Ｌが製造交差によって最大（Ｌ＝１
４＋１４＝２８μｍ）である時でも、この最大の隙間Ｌ
より広い壁幅Ｗ₁＝３６μｍであるため常に隙間を覆い
かぶせることが可能である。さらに実際にはヒーターボ
ードと天板を合わせる際の誤差があり（通常±４μｍ程
度）これを含めても十分覆いかぶせることができる。

【００４９】このような構造にすることによって、ヒー
ターボード間に隙間が生じてもこれを覆うことができ、
この隙間を通して、インクを吐出するための吐出圧力が
漏れてしまう虞れがない。

【００５０】次に図６および図７を参照して本発明の液
体噴射ヘッドを説明する。今まで説明してきたように、
ガラス、シリコン、セラミックス、金属等のベースプレ
ートの上に吐出エネルギー発生素子が作り込まれたヒー
ターボードを複数個精度良く配置接着したものに対し
て、オリフィス液流路が作り込まれた天板を接合するこ
とによってインクジェットヘッドを製造した。図６はこ
のようなインクジェットヘッドを適用したインクジェッ
トカートリッジを模式的に示している。このＩＪＣはイ
ンクジェットヘッド５００と、そのインクジェット記録
ヘッドに供給するためのインクを貯蔵することが可能な
インク容器５０１とが一体的に形成されている。このよ
うな構成によって、前述した実施例の効果を有するイン
クジェットカートリッジを提供することができる。

【００５１】図７は本発明が適用可能な記録ヘッドのう
ち最も顕著な効果があらわれる。記録媒体の記録幅に対
応した幅にオリフィスが並べられたいわゆるフルライン
タイプのインクジェット記録ヘッドおよびそのインクジ
ェット記録装置（液体噴射装置）の模式的概略説明図を
示している。

【００５２】図７において、６００がフルラインインク
ジェット記録ヘッドを示しており、このインクジェット
記録ヘッドから、記録媒体搬送ローラー７００に搬送さ
れる紙や布等の記録媒体８００に向けてインクが吐出さ
れ、これによって記録がなされる。本発明のインクジェ
ット記録ヘッドの場合、吐出エネルギー発生素子を設け
たヒーターボードを複数個並べることで記録ヘッドを製
造するので、フルラインヘッドのような長いインクジェ
ット記録ヘッドでも容易に製造することができる。

【００５３】図８は小型の記録ヘッドを搭載した記録装
置を示している。図８で示される記録装置においてはキ
ャリッジＨＣ上にインクタンク部９０１と記録ヘッド部
９０２とが着脱可能なインクジェット記録ヘッドカート
リッジが搭載されており、またこのキャリッジ、記録媒
体８００を搬送するための搬送ローラ等を駆動する駆動
源としてのモーター９０３、駆動源からの動力をキャリ
ッジに伝えるためのキャリッジ軸９０４等を有してい
る。さらに、インクジェット記録ヘッドにインクを吐出
するための信号を供給するための信号供給手段を有して
いる。

【００５４】また、今まで説明してきた記録装置で、搭
載されるインクジェット記録ヘッドの種類ないし個数に
ついて単色のインク１個のみで説明したが、記録色や濃
度を異にする複数のインクに対応して複数個設けられる
ものであってもよい。即ち、複数色のインクに対応した
複数個のヘッドを搭載されたカラー記録装置に対しても
本発明のヘッドを使用することは当然である。さらに加
えて、以上説明した本発明の実施例においては、インク
を液体として説明しているが、室温やそれ以下で固化す
るインクであって、室温で軟化もしくは液化するものを
用いてもよく、あるいはインクジェット方式ではインク
自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調整を行っ
てインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温度制御す
るものが一般的であるから、使用記録信号付与時にイン
クが液状をなすものを用いてもよい。加えて、放置状態
で固化し、加熱によって液化するインクを用いてもよ
い。

【００５５】また本発明においては特に長尺な記録ヘッ
ドの要求が高い捺染装置および捺染装置と前処理装置、
後処理装置を組み込んだ捺染システムにおいても印字む
らのない長尺ヘッドを提供することができ、高精細高画
質の記録が可能な捺染装置およびシステムを提供するこ
とができる。

【００５６】またこのインクジェット記録ヘッドを用い
ることによって、画像の乱れのないファクシミリや複写
機やプリンター等の記録装置を得ることができる。

【００５７】

【発明の効果】以上、説明したような構成によって、吐
出エネルギー発生素子のピッチを一定にするように複数
の素子基板を支持体の同一面側に配列したヘッドにおい
ても、素子基板の境界の隙間の影響をインク吐出に与え
ることがないため、境界近傍のインクの吐出方向のずれ
などの吐出不良が軽減されたインクジェットヘッドやイ
ンクジェットヘッドカートリッジを提供することができ
る。

【００５８】又、複数の素子基板を覆う連続した溝付部
材を用いているため、素子基板ごとにインクの吐出方向
がずれてしまうといった虞れのないインクジェットヘッ
ドやインクジェットカートリッジを提供することができ
る。

【００５９】又、本発明のインクジェットプリンタにお
いては、上述のインクの吐出方向のずれを軽減した長尺
インクジェットヘッドやインクジェットカートリッジを
用いることによって、記録すじやむらが軽減され高速記
録を行うことができる。

【００６０】又、本発明の捺染装置においても、上述の
ように良好な画像を高速で記録することができる。

【００６１】又、本発明のインクジェットヘッドの製造
方法においては、簡略化された方法で、インクの吐出不
良が軽減されたインクジェットを製造することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体噴射ヘッドの模式的斜視図であ
る。

【図２】本発明の液体噴射ヘッドのヒーターボードの配
置を説明するための模式図である。

【図３】本発明の液体噴射ヘッドの天板を説明するため
の模式図である。

【図４】本発明の液体噴射ヘッドの製造工程を説明する
図である。

【図５】本発明の液体噴射ヘッドのヒーターボードと天
板の位置関係を説明するための模式図である。

【図６】本発明の液体噴射ヘッドを適用したヘッドカー
トリッジの模式的斜視図である。

【図７】本発明のフルラインの液体噴射ヘッドと液体噴
射ヘッドを搭載した記録装置を概念的に示す図である。

【図８】本発明の液体噴射ヘッドを適用したインクジェ
ットカートリッジを搭載した記録装置の説明図である。

【図９】背景技術の記録ヘッドを説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１００ヒーターボード（素子基板）１０１吐出エネルギー発生素子１０２パッド２００天板２０１液室２０２流路２０３オリフィス２０４インク供給口３００ベースプレート３０１接着剤３０２封止剤４００配線基板４０１信号・電力供給パッド４０２コネクター５００インクジェット記録ヘッド５０１インクタンク６００フルラインインクジェット記録ヘッド７００記録媒体搬送ローラー８００記録媒体９０１インクタンク部９０２記録ヘッド部９０３モーター９０４キャリッジ軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小山修司東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者刈田誠一郎東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者小俣好一東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者折笠剛東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者稲葉正樹東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者後藤顕東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者林崎公之東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者小野敬之東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (56)参考文献特開平３−184860（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41J 2/05 B41J 2/16

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】液体を吐出するための吐出エネルギー発
生素子が複数設けられた素子基板を、支持体の同一面側
に複数有する基体と、前記吐出エネルギー発生素子に対応した流路を構成する
ための溝が複数設けられた溝付部材とを有し、前記基体と前記溝付部材を接合することで、前記流路が
形成されていると共に前記溝付部材の前記溝を形成する
ための壁によって、前記複数の素子基板間の隙間が覆わ
れており、前記溝付部材は前記溝を形成するための壁の
内、前記複数の素子基板間の隙間に対応した壁の幅が他
の壁の幅より広いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】各素子基板の吐出エネルギー発生素子の
配置間隔を維持するように複数の素子基板が配置されて
いる請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】前記吐出エネルギー発生素子は、発熱抵
抗素子である請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】前記液体はインクである請求項１に記載
の液体噴射ヘッド。
【請求項５】前記素子基板は、被記録媒体の記録可能
領域に対応した幅に前記吐出エネルギー発生素子が複数
配されている請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】請求項１ないし５のいずれか１項に記載
の液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに供給するため
のインクを保持するインク容器とを有するヘッドカート
リッジ。
【請求項７】請求項１ないし５のいずれか１項に記載
の液体噴射ヘッドと、被記録媒体を搬送するための手段
を有する液体噴射装置。
【請求項８】液体を吐出するための吐出エネルギー発
生素子が複数設けられた素子基板を、支持体の同一面側
に複数配した基体を準備する工程と、前記吐出エネルギー発生素子に対応した流路を形成する
ための溝が複数設けられ、複数の前記素子基板のエネル
ギー発生素子列を覆うための溝付部材を準備する工程
と、前記基体に対して前記溝付部材を接合することによっ
て、前記素子基板間の隙間を前記溝付部材の溝を構成す
る壁で覆うと共に、流路を形成する工程と、を有し、前記溝付部材は、溝を形成するための壁の内、
前記複数の素子基板間の隙間に対応した壁の幅が他の壁
の幅より広いことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方
法。