JP2008044000A - 加工深さを増加したレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】波長の異なる複数のレーザL1、L2、L3から出射したレーザ光を同一光軸上にビーム合成してなるレーザ光を集光レンズ6にて、屈折率の波長分散に基づく該集光レンズ6の焦点距離の波長依存性を利用することにより集光し、同一光軸上別々の位置にフォーカスして被加工物Wに照射して、かつ、レーザ光を波長の短い順に繰り返して点灯させることにより、厚物材料に対しても高性能の加工を可能にする。被加工材Wの表面から浅い順に加工の中心を移動することにより、加工の効率性を高めることができる。レーザ光のパルス時間幅は、被加工材Wの溶融のタイミングを考慮すると、1ns以上10s以下がより効果的である。
【選択図】図1
Description
(1)波長の異なる複数のレーザ光を同一光軸上にビーム合成してなるレーザ光を、集光レンズにて、屈折率の波長分散に基づく集光レンズの焦点距離の波長依存性を利用することにより、光軸上の異なる集光点に集光して被加工材の加工を行ない、かつ、
前記複数のレーザ光を波長の短い順に繰り返して点灯させることを特徴とするレーザ加工装置。
(2)前記複数のレーザがそれぞれファイバレーザから発振したレーザ光であることを特徴とする(1)に記載のレーザ加工装置。
(3)前記レーザの空間モードがシングルモードであることを特徴とする(2)に記載のレーザ加工装置。
(4)前記ビーム合成の手段として波長合成素子を具備することを特徴とする(2)または(3)に記載のレーザ加工装置。
(5)前記波長合成素子がWDMカプラーであることを特徴とする(4)に記載のレーザ加工装置。
(6)前記複数のレーザビームを1ns以上10s以下の時間幅で繰り返し点灯させることを特徴とする(1)〜(5)のいずれかに記載のレーザ加工装置。
本願第1の発明である加工深さを増加したレーザ加工装置の一例について、レーザ切断における実施の形態を図1に示すブロック図を用いて説明する。なお、切断のほか穴明け、溶接、焼き入れ、表面処理、または表層除去等を行うレーザ加工装置においても、同様に適用できることは明らかである。
L2 発振波長λ2を有するレーザ
L3 発振波長λ3を有するレーザ
1,2,3 伝送用光ファイバ
4,5 WDMカプラー
6 集光レンズ
7 レーザ加工ノズル
8 レンズ
9 レーザL1から出射した波長λ1のレーザ光(2本の線で挟まれる領域)
10 レーザL2から出射した波長λ2のレーザ光(2本の線で挟まれる領域)
11 レーザL3から出射した波長λ3のレーザ光(2本の線で挟まれる領域)
12 光ファイバ1から出射した波長λ1(実線)、λ2(破線)、λ3(一点鎖線)のレーザ光(各2本の線で挟まれる領域)
W ワーク(被切断材)
M1 波長λ1とλ2のレーザ光をビーム合成する波長合成ミラー
M2 波長λ1、λ2、λ3のレーザ光をビーム合成する波長合成ミラー
P1 波長λ1のレーザ光の集光点
P2 波長λ2のレーザ光の集光点
P3 波長λ3のレーザ光の集光点
Claims (6)
- 波長の異なる複数のレーザ光を同一光軸上にビーム合成してなるレーザ光を、集光レンズにて、屈折率の波長分散に基づく該集光レンズの焦点距離の波長依存性を利用することにより、光軸上の異なる集光点に集光して被加工材の加工を行ない、かつ、前記複数のレーザ光を波長の短い順に繰り返して点灯させることを特徴とするレーザ加工装置。
- 前記複数のレーザ光がそれぞれファイバレーザから発振したレーザ光であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザ光の空間モードがシングルモードであることを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工装置。
- 前記ビーム合成の手段として波長合成素子を具備することを特徴とする請求項2または3に記載のレーザ加工装置。
- 前記波長合成素子がWDMカプラーであることを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工装置。
- 前記複数のレーザ光を1ns以上10s以下の時間幅で繰り返し点灯させることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のレーザ加工装置。
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