JP2002028795A - レーザ溶接方法及び装置 - Google Patents

レーザ溶接方法及び装置

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JP2002028795A
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朗 松縄
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 高反射率・高熱拡散率を有する金属部材でも
十分な溶け込み断面積および溶け込み深さを実現し、良
好な溶接接合を得ること。 【解決手段】 第1のYAGレーザ10は連続波の基本
波YAGレーザ光LBcw(波長1064nm)を生成
し、第2のYAGレーザ12は高速繰り返しパルス発振
の第2高調波QスイッチYAGレーザ光LBSHG(波長
532nm)を生成する。第1のYAGレーザからの基
本波YAGレーザ光と第2のYAGレーザからの第2高
調波のQスイッチYAGレーザ光とはそれぞれのレーザ
伝送路を通って出射ユニット16に送られる。そして、
出射ユニット内で両レーザ光はそれぞれコリメータレン
ズ64およびビームエキスパンダ70により所定のビー
ム径に調節されてからダイクロイックミラー66により
同一の軸上に重畳せしめられ、集光レンズ68によりワ
ークWの被溶接部WP付近に集光させられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を用いて
金属部材を溶接するレーザ溶接方法および装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】レーザ溶接法は、金属部材の被溶接部に
レーザ光を照射して、レーザエネルギーにより該被溶接
部を一瞬に溶融させて冶金的に接合する技術である。従
来より、レーザ溶接用の固体レーザとしてYAGレーザ
が多く使用されている。YAGレーザは、連続発振が可
能なうえQスイッチによるジャイアントパルスの高速繰
り返し発振が可能であり、レーザ出力の波形制御も容易
に行える。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、レーザ溶接
法においては、反射率および熱拡散(伝導)率の高い金
属は、レーザ光の吸収が低いため溶融し難く、良好な溶
接接合を得るのが困難とされている。
【0004】従来より、アルミニウム合金には連続発振
のパルスレーザ光を照射するパルスレーザ法が有効とさ
れており、本願の発明者等は特許第2984962号に
おいてアルミニウム合金用のパルスレーザ溶接法におい
て溶接剥がれ等の溶接欠陥のない高品質な溶接接合を保
証する波形制御技術を開示している。また、最近、アル
ミニウム合金の溶融特性を改善する技術として、連続発
振のYAGパルスレーザ光(波長1064nm)とQス
イッチによる高速繰り返しパルス発振のYAGレーザ光
(波長1064nm)とを異なる方向(2方向)から同
一の被溶接部に向けて多重照射する技法も知られてい
る。
【0005】しかしながら、今日の産業界では、反射率
や熱拡散率がアルミニウム合金よりも高い純アルミニウ
ムや純銅等の金属に対して有効なレーザ溶接法が切に求
められている。
【0006】本発明は、上記のような従来の実情ないし
問題点に鑑みてなされたものであり、高反射率・高熱拡
散率を有する金属部材でも十分な溶け込み断面積および
溶け込み深さを実現し、良好な溶接接合が得られるレー
ザ溶接方法および装置を提供することを目的とする。
【0007】本発明の別の目的は、各種金属材料の溶融
特性の改善に有効なレーザ溶接方法および装置を提供す
ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のレーザ溶接方法は、レーザ光を用いて金
属部材を溶接するためのレーザ溶接方法において、所定
の基本周波数を有する基本波レーザ光と前記基本周波数
の整数倍の周波数を有する1種類または複数種類の高調
波レーザ光とを実質的に同軸上に重畳したうえで前記金
属部材の被溶接部に照射し、前記被溶接部を前記同軸上
に重畳した複数のレーザ光のエネルギーで冶金的に接合
する方法とした。
【0009】本発明のレーザ溶接方法によれば、基本波
レーザ光と高調波レーザ光とが同軸上に重畳して金属部
材の被溶接部に入射することにより、異波長である両レ
ーザ光の相乗作用が最大限に発揮されてレーザエネルギ
ーの吸収効率が高められ、高反射率・高熱拡散率の金属
部材であっても大きな溶け込み断面積および溶け込み深
さを得ることができる。
【0010】本発明において、好ましくは、前記高調波
レーザ光のビーム径を前記基本波レーザ光のビーム径よ
りも細くしてよい。これにより、高調波レーザ光により
金属部材の被溶接部に深いキーホールを形成することが
できる。
【0011】また、好ましくは、前記基本波レーザ光を
連続発振のレーザ光とし、前記高調波レーザ光を高速繰
り返しパルス発振のレーザ光としてよい。特に、高調波
レーザ光はジャイアントパルス型のQスイッチレーザ光
としてよい。
【0012】本発明のレーザ溶接装置は、レーザ光を用
いて金属部材を溶接するためのレーザ溶接装置におい
て、所定の基本周波数を有する基本波レーザ光を連続発
振で生成する第1のレーザ発振部と、前記基本周波数の
整数倍の周波数を有する高調波レーザ光を高速繰り返し
パルス発振で生成する第2のレーザ発振部と、前記基本
波レーザ光と前記高調波レーザ光とを所定のタイミング
で時間的に重畳させるように前記第1および第2のレー
ザ発振部のレーザ発振動作を制御する制御部と、前記第
1のレーザ発振部からの前記基本波レーザ光と前記第2
のレーザ発振部からの前記高調波レーザ光とをそれぞれ
の光軸がほぼ直角に交差するようにミラー両面にそれぞ
れ入射せしめ、前記基本波レーザ光および前記高調波レ
ーザ光のうちの一方をまっすぐに透過させるとともに他
方を直角に反射させることにより双方のレーザ光を同一
の軸上で重畳せしめるダイクロイックミラーと、 前記
光学素子からの前記同一の軸上に重畳した前記基本波レ
ーザ光および前記高調波レーザ光を実質的に同一の軸上
で集光させて前記金属部材の被溶接部に照射する集光レ
ンズとを具備する構成とした。
【0013】本発明のレーザ溶接装置によれば、かかる
構成により、上記のような本発明のレーザ溶接方法を効
果的に実施することができる。
【0014】好ましい一態様として、前記第1のレーザ
発振部が、第1の固体レーザ媒体と、第1の励起光源
と、第1の光共振器とを有し、前記第1の励起光源を点
灯させて、その光エネルギーを前記第1の固体レーザ媒
体に供給して前記第1の固体レーザ媒体および前記第1
の光共振器により連続発振で前記基本波レーザ光を出力
する構成であってよい。
【0015】また、好ましい一態様として、前記第2の
レーザ発振部が、第2の固体レーザ媒体と、第2の励起
光源と、Qスイッチと、第2の光共振器と、波長変換器
とを有し、前記第2の励起光源を点灯させて、その光エ
ネルギーを前記第2の固体レーザ媒体に供給して前記第
2の固体レーザ媒体、前記Qスイッチおよび前記第2の
光共振器により高速繰り返しパルス発振で前記基本周波
数を有する基本波のレーザ光を出力し、前記高速繰り返
しパルス発振の基本波レーザ光を前記波長変換器により
前記高速繰り返しパルス発振の高調波レーザ光に変換す
る構成であってよい。
【0016】また、好ましい一態様として、前記制御部
が、前記基本波レーザ光を所定時間にわたって持続的に
連続発振で出力するように前記第1のレーザ発振部を制
御するとともに、前記高調波レーザ光を前記所定時間中
に所定周波数の高速繰り返しパルス発振で出力させるよ
うに前記第2のレーザ発振部を制御する構成であってよ
い。
【0017】本発明のレーザ溶接装置において、好まし
くは、前記第1のレーザ発振部より生成された前記基本
波レーザ光もしくは前記第2のレーザ発振部より生成さ
れた前記高調波レーザ光を一端面に入射せしめ、他端面
より前記レーザ光を出射する光ファイバと、前記光ファ
イバの他端面より放射状に出射される前記基本波レーザ
光もしくは前記高調波レーザ光を平行光にして前記ダイ
クロイックミラー側に通すコリメータレンズとを具備す
る構成としてよい。さらには、前記第1のレーザ発振部
より生成された前記基本波レーザ光もしくは前記第2の
レーザ発振部より生成された前記高調波レーザ光のビー
ム径を所定の倍率で拡大して前記ダイクロイックミラー
側に通すビームエキスパンダを具備する構成としてもよ
い。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、添付図を参照して本発明の
実施形態を説明する。
【0019】図1に、本発明の一実施形態におけるYA
Gレーザ溶接装置の構成を示す。このYAGレーザ溶接
装置は、2つのYAGレーザ10,12と、両レーザ1
0,12を制御する制御部14と、1つの出射ユニット
16とで構成されている。
【0020】第1のYAGレーザ10において、レーザ
発振器18は、YAGロッド20と、このYAGロッド
20に励起用の光を供給する励起光供給部22と、YA
Gロッド20の両端面にそれぞれ対向し、かつ互いに所
定の間隔を隔てて配置された一対の光共振器ミラーすな
わち全反射ミラー24および部分反射ミラー(出力ミラ
ー)26とを有している。
【0021】励起光供給部22は、放電ランプまたは半
導体レーザ等からなる励起光源を備えている。レーザ電
源部28より供給される電力に応じて該励起光源が励起
光EBを発生し、この励起光EBがYAGロッド20に
供給または照射されることで、YAGロッド20が励起
光EBのエネルギーによって励起され、誘導放出でロッ
ド端面より軸方向に光が放出される。YAGロッド20
の両端面より放出された光のうち共振周波数の光が全反
射ミラー24と出力ミラー26との間で閉じ込められて
増幅され、その一部が出力ミラー26より連続発振の基
本波YAGレーザ光(波長1064nm)LBcwとして
出力されるようになっている。
【0022】第1のYAGレーザ10より生成された基
本波YAGレーザ光LBcwは、反射ミラー30、入射ユ
ニット32および光ファイバ34を介して出射ユニット
16の第1レーザ光取入れ口16aまで伝送される。レ
ーザ発振器18のレーザ出射口から入射ユニット32ま
でのレーザ伝送路の回りには筒状の光路カバー36が設
けられてよい。入射ユニット32内には集光レンズ38
が配置されており、ほぼ平行光で空中を伝播してきた基
本波YAGレーザLBcwは集光レンズ38により集光さ
れて光ファイバ34の一端面に入射するようになってい
る。
【0023】第2のYAGレーザ12において、レーザ
発振器40は、YAGロッド42と、このYAGロッド
42に励起用の光を供給する励起光供給部44と、YA
Gロッド42の両端面にそれぞれ対向し、かつ互いに所
定の間隔を隔てて配置された一対の光共振器ミラー(全
反射ミラー46および出力ミラー48)と、Qスイッチ
50と、波長変換器52とを有している。
【0024】YAGロッド42、励起光供給部44およ
び光共振器ミラー46,48は、上記第1のYAGレー
ザ10のレーザ発振器18におけるYAGロッド20、
励起光供給部22および光共振器ミラー24,26とそ
れぞれ同様の構成および機能を有するものであってよ
い。
【0025】Qスイッチ50はたとえば音響光学Qスイ
ッチからなる。レーザ電源部54内のQスイッチ制御回
路(図示せず)がQスイッチドライバ56を介して所定
の周期で一時中断する高周波電気信号によりQスイッチ
50を駆動する。これにより、高周波電気信号が中断す
る度毎にピークパワーのきわめて高いジャイアントパル
スのQスイッチYAGレーザ光LBQ(波長1064n
m)が出力ミラー48より生成される。このQスイッチ
YAGレーザ光LBQの繰り返し周波数は、高周波電気
信号を一時中断させるQスイッチ周波数に相当する。
【0026】波長変換器52は、異方性結晶を有してお
り、その異方性結晶の非線型効果を利用することによ
り、出力ミラー48からの基本波(波長1064nm)
のQスイッチYAGレーザ光LBQを第2高調波(波長
532nm)のQスイッチYAGレーザ光LBSHGに変
換する。
【0027】第2のYAGレーザ12のレーザ発振器4
0より生成される第2高調波のQスイッチYAGレーザ
光LBSHGは、光ファイバを介することなく空中を伝播
して出射ユニット16の第2レーザ光取入れ口16bま
で伝送される。レーザ発振器40のレーザ出射口から出
射ユニット16の第2レーザ光取入れ口16bまでのレ
ーザ伝送路の回りには筒状の光路カバー58が設けられ
てよい。
【0028】制御部14は、たとえばマイクロコンピュ
ータおよび所要の周辺装置で構成されてよく、内蔵のメ
モリに格納されるプログラムやユーザにより設定入力さ
れる各種条件データ等に応じて上記第1および第2のレ
ーザ10,12におけるレーザ発振動作を各レーザ電源
部28,54を通して個別的かつ統括的に制御する。
【0029】出射ユニット16は、下端部にレーザ出射
口16cを有する筒状のユニット本体60を有し、この
ユニット本体60内の所定位置に所要の各光学部品を配
置している。より詳細には、ユニット本体60の上端部
に光ファイバ34の端部を着脱可能に取り付けするため
のコネクタ62を設け、このコネクタ62と下端部のレ
ーザ出射口16cとを結ぶ一直線の軸上に所定の間隔を
置いて上から順にコリメータレンズ64、ダイクロイッ
クミラー66および集光レンズ68を配置している。
【0030】また、ユニット本体60の中間部の一側面
に上記第2のレーザ光取入れ口16bを構成する水平筒
状部60aを設け、この水平筒状部60aの中に第2の
レーザ12からの第2高調波QスイッチYAGレーザ光
LBSHGのビーム径を所望の倍率で拡大するためのビー
ムエキスパンダ70を配置している。ここで、ビームエ
キスパンダ70の光軸がコリメータレンズ64の光軸と
ダイクロイックミラー66にてほぼ直角に交差するよう
に設定(位置合わせ)してよい。
【0031】なお、レーザ溶接中にワークWの被溶接部
WPを酸化防止のため周囲の空気からシールド(遮断)
するのが好ましい。このシールド用の不活性ガスたとえ
ばアルゴンガス(Ar)や窒素ガス(N2)等を出射ユ
ニット16側から被溶接部WPに吹き付ける場合には、
出射ユニット16のレーザ出射口16c付近にシールド
ガス噴射部(図示せず)を設けてよい。
【0032】図2に、出射ユニット16内における光学
系の詳細な構成と作用を示す。ビームエキスパンダ70
は、たとえば凹レンズ72と凸レンズ74とからなるガ
リレオタイプでよく、凹レンズ72に入るレーザビーム
の径をφ1、凸レンズ74より出るレーザビームの径を
φ2、凹レンズ72および凸レンズ74の焦点距離をそ
れぞれf1,f2とすると、倍率NはN=φ2/φ1=f2
/f1で与えられる。ビームエキスパンダ70によりビ
ーム径を広げられた第2高調波QスイッチYAGレーザ
光LBSHGは、ユニット本体60内の中心部に第2のレ
ーザ光取入れ口16bの方を向いて約45゜の傾きに配
置されたダイクロイックミラー66の下面66aに入射
角45゜で入射する。
【0033】一方、光ファイバ34を介して第1のYA
Gレーザ10より伝送されてきた基本波YAGレーザ光
LBcwは、光ファイバ34の端面より放射状に出てコリ
メータレンズ64に通されることで、所望のビーム径φ
0を有する平行光となる。このビーム径φ0は、光ファイ
バ34の端面とコリメータレンズ64との間の距離を調
節することで任意の値に調整できる。好ましくは、基本
波YAGレーザ光LBcwのビーム径φ0を、ビームエキ
スパンダ70からの第2高調波QスイッチYAGレーザ
光LBSHGのビーム径φ2よりも大きな(たとえば数倍以
上大きな)径に設定してよい。コリメータレンズ64に
より所定のビーム径φ0を有するに至った平行光の基本
波YAGレーザ光LBcwは、ダイクロイックミラー66
の上面66bに入射角45゜で入射する。
【0034】ダイクロイックミラー66は、ガラス基板
上に誘電体多層膜をコーティングした吸収散乱の非常に
少ないミラーであり、第2高調波(波長532nm)の
YAGレーザ光に対しては高い(90%以上)反射率を
示し、基本波(波長1064nm)のYAGレーザ光に
対しては高い(90%以上)透過率を示す。したがっ
て、コリメータレンズ64より垂直方向に直進してきた
基本波YAGレーザ光LBcwは、ダイクロイックミラー
66を透過してまっすぐ垂直下方へに進む。一方、ビー
ムエキスパンダ70より水平方向に直進してきた第2高
調波QスイッチYAGレーザ光LBSHGは、ダイクロイ
ックミラー66で45゜の反射角で垂直下方に反射し
(行路を曲げ)、上方からの基本波YAGレーザ光LB
cwとほぼ同一の軸上で重畳(合流)する。
【0035】上記のようにしてダイクロイックミラー6
6で透過または反射した基本波YAGレーザ光LBcw
第2高調波QスイッチYAGレーザ光LBSHGは、同一
軸上を垂直下方にそれぞれ直進して共通の集光レンズ6
8に入射し、集光レンズ68により金属部材のワークW
の被溶接部WP付近に集光させられる。集光レンズ68
は、いわゆる色消しレンズであり、異波長の基本波YA
Gレーザ光LBcw(波長1064nm)と第2高調波Q
スイッチYAGレーザ光LBSHG(波長532nm)に
対して色収差を出さないように構成されている。
【0036】次に、この実施形態によるYAGレーザ装
置の作用を説明する。図3に、このYAGレーザ装置に
おいて純銅や純アルミニウム等の高反射率・高熱拡散率
を有する金属に好適なレーザ出力波形の基本パターンを
示す。
【0037】この実施形態において、第1のレーザ10
は、上記のような構成により、たとえば図3の(A)に
示すように所望のパルス幅(持続時間)Tsを有する連
続発振の基本波YAGパルスレーザ光LBcwを生成す
る。ここで、この基本波YAGパルスレーザ光LBcw
パワー(レーザ出力)Pcwは、レーザ電源部28より励
起光供給部22の励起光源に与える電力を調節すること
により所定範囲内で任意の値に設定できる。
【0038】一方、第2のレーザ12は、上記のような
構成により、たとえば図3の(B)に示すように所望の
高速繰り返し周波数(Qスイッチ周波数)fQを有する
第2高調波QスイッチYAGレーザ光LBSHGを生成す
る。ここで、QスイッチYAGレーザ光LBSHGのピー
クパワーPpや繰り返し周波数fQは、Qスイッチ50に
対する高周波電気信号の変調を制御することにより任意
に可変調整することができる。なお、このQスイッチY
AGレーザ光LBSHGの平均パワーPaは、ピークパワー
Ppとディーティサイクルη(η=fQ・τp×100)
との積(η・Pp)で与えられ、通常のレーザ溶接では
基本波YAGパルスレーザ光LBcwのパワーPcwよりも
低い値に設定されてよい。
【0039】制御部14は、第1および第2のレーザ1
0,12のレーザ発振動作を統括制御することにより、
図3の(A)に示すような連続発振の基本波YAGパル
スレーザ光LBcwと図3の(B)に示すような高速繰り
返し発振のQスイッチYAGレーザ光LBSHGとを任意
のタイミングで時間的に重畳させることができる。
【0040】好ましくは、図3の(C)に示すように、
連続発振の基本波YAGパルスレーザ光LBcwが持続し
ているパルス時間(Ts)中は始終第2高調波Qスイッ
チYAGレーザ光LBSHGが高速繰り返し周波数fQで発
振出力されるような時間的重畳関係に設定してよい。
【0041】図4に、この実施形態において、図3の
(C)に示すような時間的重畳関係で連続発振の基本波
YAGパルスレーザ光LBcwと第2高調波QスイッチY
AGレーザ光LBSHGとを第1および第2のレーザ1
0,12よりそれぞれ発生させ、かつ両レーザ光L
cw,LBSHGを出射ユニット16にて上記のように同
軸に重畳させたうえで、高反射率・高熱拡散率の金属部
材(ワークW)に照射したときの被溶接部WPにおける
溶融部の断面構造を模式的に示す。
【0042】また、参考(比較)例として、図5および
図6に、連続発振の基本波YAGパルスレーザ光LBcw
および第2高調波QスイッチYAGレーザ光LBSHG
それぞれ単独でワークWに照射した場合の溶融部の断面
構造を示す。
【0043】図4に示すように、この実施形態によれ
ば、連続発振の基本波YAGレーザ光LBcwと第2高調
波QスイッチYAGレーザ光LBSHGとの同軸重畳照射
による相乗作用により、ワークWが高反射率・高熱拡散
率の金属部材であっても大きな溶け込み断面積および溶
け込み深さを得ることができる。本発明によりこのよう
な優れた溶融特性が得られるメカニズムは未だはっきり
解明されているわけではないが、次の2つの要因が考え
られる。
【0044】1つの要因として、第2高調波Qスイッチ
YAGレーザ光LBSHGにより形成されるキーホールK
H内で基本波YAGパルスレーザ光LBcwが多重反射し
ながら内奥へ軸方向(垂直下方)に進むことによりレー
ザエネルギーの吸収効率が飛躍的に高められることが考
えられる。あるいは、短波長により吸収率の高い第2高
調波QスイッチYAGレーザ光LBSHGにより被溶接部
WP付近の温度が上昇し、そこにパワーの大きな基本波
YAGパルスレーザ光LBcwが照射することによりレー
ザエネルギーの吸収効率が飛躍的に上昇することが考え
られる。いずれにせよ、両レーザ光LBcw,LBSHG
同軸上に重畳して被溶接部WPに入射することにより、
上記の相乗作用が最大限に高められ、溶融部が横方向に
も縦方向にも大きく延びる。
【0045】これに対して、図5に示すように、連続発
振の基本波YAGパルスレーザ光LBcwを単独で高反射
率・高熱拡散率の金属部材(ワークW)に照射した場合
は、レーザエネルギーが被溶接部WPの深くまで浸透で
きないため、溶け込み深さd’が非常に短い(浅い)。
【0046】また、図6に示すように、第2高調波Qス
イッチYAGレーザ光LBSHGを単独で高反射率・高熱
拡散率の金属部材(ワークW)に照射した場合は、ある
程度深いところまで溶かすことができるが、それでも連
続発振の基本波YAGパルスレーザ光LBcwと同軸上に
重畳して照射される場合(本実施例)に比して浅く
(D’<D)、なによりも溶け込み断面積が小さすぎ
る。
【0047】図7〜図9に、本発明をシーム溶接に適用
して得られる溶融特性のデータを従来例と比較して示
す。
【0048】図7の実施例は、基本波YAGパルスレー
ザ光LBcwのパルス幅Tsを変えたときの被溶接部WP
に得られる溶融部の溶け込み深さD(d)を示す。ワー
クWの材質を純銅(A1050)とし、主要な加工条件とし
て、送り速度vを0.6mm/s、シールドガス(N
2)の流量を30リットル/min、第2高調波Qスイ
ッチYAGレーザ光LBSHGの平均パワーPaを40W、
Qスイッチ周波数fQを10kHzに選んでいる。な
お、基本波YAGパルスレーザ光LBcwの繰り返し周波
数(パルス周波数)はたとえば5Hzに設定してよい。
【0049】図7のグラフから明らかなように、本発明
によれば、純銅(A1050)に対して2mm以上の最大溶
け込み深さdを達成することができる。一方、図7に比
較例として示すように、基本波YAGパルスレーザ光L
cw単独のレーザ溶接では、0.5mm以上の溶け込み
深さを実現するのは難しい。
【0050】図8の実施例は、基本波YAGパルスレー
ザ光LBcwのパワーPcwおよびシーム送り速度vを変え
たときの被溶接部WPに得られる溶融部の溶け込み断面
積S(mm2)を示す。ワークWの材質はステンレス鋼
(Type 304)であり、主要な加工条件として、シールド
ガス(Ar)の流量を30リットル/min、第2高調
波QスイッチYAGレーザ光LBSHGの平均パワーPaを
43.2W、Qスイッチ周波数fQを10kHzに選ん
でいる。なお、基本波YAGパルスレーザ光LBcwの繰
り返し周波数(パルス周波数)はたとえば5Hzに設定
してよい。
【0051】図8のグラフから、基本波YAGパルスレ
ーザ光LBcwのパワーPcwおよびシーム送り速度vをそ
れぞれ如何なる値に選んでも、本発明によれば被溶接部
の溶融断面積が大幅に増大することがわかる。特に、レ
ーザ出力値として通常使用される400〜600Wにお
いて、基本波YAGパルスレーザ光LBcw単独の場合
(従来技術)に比して2倍以上の溶融断面積が得られる
ことがわかる。
【0052】図9の実施例は、同一条件のレーザ溶接に
より高反射率・高熱拡散率の金属部材である純銅(A105
0)、純アルミニウム(A5083)およびステンレス鋼(Ty
pe 304)でそれぞれ得られる溶融部の溶け込み断面積S
(mm2)を比較して示す。主要な加工条件として、シ
ーム送り速度vを0.6mm/s、シールドガス(N
2)の流量を30リットル/min、基本波YAGパル
スレーザ光LBcwのパワーPcwを275W、第2高調波
QスイッチYAGレーザ光LBSHGの平均パワーPaを4
0W、Qスイッチ周波数fQを10kHzに選んでい
る。基本波YAGパルスレーザ光LBcwの繰り返し周波
数(パルス周波数)はたとえば5Hzに設定してよい。
【0053】図9のグラフから、本発明によればいずれ
の金属部材でも被溶接部の溶融断面積を大幅に増大させ
ることができる。材質別では、純銅(A1050)<純アル
ミニウム(A5083)<ステンレス鋼(Type 304)の大小
関係で、ステンレス鋼(Type304)で最も大きな溶融断
面積が得られる。
【0054】上記した実施形態では、第1のレーザ10
より生成された基本波YAGレーザ光LBcwを光ファイ
バ34を介して出射ユニット16の第1レーザ光取入れ
口16aに取り込むとともに、第2のレーザ12より生
成された第2高調波QスイッチYAGレーザ光LBSHG
を光ファイバを介さずに出射ユニット16の第2レーザ
光取入れ口16bに取り込む構成であった。かかる構成
は一例であり、種々の変形が可能である。たとえば、基
本波YAGレーザ光LBcwを第2レーザ光取入れ口16
bに取り込み、第2高調波QスイッチYAGレーザ光L
SHGを第1レーザ光取入れ口16aに取り込む構成も
可能である。
【0055】上記した実施形態では、連続発振の基本波
YAGレーザ光LBcwと高速繰り返しパルス発振の第2
高調波QスイッチYAGレーザ光LBSHGとを同軸上に
重畳してワークWに照射した。しかし、第2高調波以外
にも第3高調波(波長355nm)や第4高調波(波長
266nm)等の他の高調波YAGレーザ光も使用可能
である。さらには、連続発振の基本波YAGレーザ光L
cwに対して複数種類たとえば第2高調波QスイッチY
AGレーザ光LBSHGおよび第3高調波QスイッチYA
Gレーザ光LBTHGを同軸重畳させるレーザ溶接法も可
能である。この場合、出射ユニット16の中または外に
もう1つのダイクロイックミラーを設ければよい。
【0056】また、上記した実施形態はYAGレーザを
利用するものであったが、本発明は他のレーザ(特に固
体レーザ)を使用することもできる。
【0057】上記した実施形態のように、本発明のレー
ザ溶接法は高反射率・高熱拡散率の金属部材に対して特
に顕著な効果を奏するものであるが、アルミニウム合金
や鉄等の他の金属部材に適用しても有効である。
【0058】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、各種
金属材料の溶融特性を大幅に改善することができ、特に
高反射率・高熱拡散率を有する金属部材でも十分な溶け
込み断面積および溶け込み深さを実現し、良好な溶接接
合を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態におけるYAGレーザ溶接
装置の構成を示すブロック図である。
【図2】実施形態のYAGレーザ溶接装置における出射
ユニット内の光学系の構成と作用を示す図である。
【図3】実施形態のYAGレーザ溶接装置における各部
のレーザ出力波形の基本パターンを示す図である。
【図4】実施形態のレーザ溶接により得られる溶融部の
断面構造を模式的に示す図である。
【図5】一比較例のレーザ溶接により得られる溶融部の
断面構造を模式的に示す図である。
【図6】別の比較例のレーザ溶接により得られる溶融部
の断面構造を模式的に示す図である。
【図7】本発明をシーム溶接に適用して得られる一溶融
特性のデータを従来例と比較して示す図である。
【図8】本発明をシーム溶接に適用して得られる一溶融
特性のデータを従来例と比較して示す図である。
【図9】本発明をシーム溶接に適用して得られる一溶融
特性のデータを従来例と比較して示す図である。
【符号の説明】
10 第1のYAGレーザ 12 第2のYAGレーザ 14 制御部 16 出射ユニット 16a 第1レーザ光取入れ口 16b 第2レーザ光取入れ口 64 コリメータレンズ 66 ダイクロイックミラー 68 集光レンズ 70 ビームエキスパンダ
フロントページの続き Fターム(参考) 4E068 BA00 CA02 CA04 CB02 CD02 CD08 CD12 DB01 5F072 AB01 AK01 HH07 KK05 KK12 MM04 QQ02 RR01 RR03 SS06 YY06

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光を用いて金属部材を溶接するた
    めのレーザ溶接方法において、 所定の基本周波数を有する基本波レーザ光と前記基本周
    波数の整数倍の周波数を有する1種類または複数種類の
    高調波レーザ光とを実質的に同軸上に重畳したうえで前
    記金属部材の被溶接部に照射し、前記被溶接部を前記同
    軸上に重畳した複数のレーザ光のエネルギーで冶金的に
    接合することを特徴とするレーザ溶接方法。
  2. 【請求項2】 前記高調波レーザ光のビーム径を前記基
    本波レーザ光のビーム径よりも細くすることを特徴とす
    る請求項1に記載のレーザ溶接方法。
  3. 【請求項3】 前記基本波レーザ光が連続発振のレーザ
    光であり、前記高調波レーザ光が高速繰り返しパルス発
    振のレーザ光であることを特徴とする請求項1または2
    に記載のレーザ溶接方法。
  4. 【請求項4】 レーザ光を用いて金属部材を溶接するた
    めのレーザ溶接装置において、 所定の基本周波数を有する基本波レーザ光を連続発振で
    生成する第1のレーザ発振部と、 前記基本周波数の整数倍の周波数を有する高調波レーザ
    光を高速繰り返しパルス発振で生成する第2のレーザ発
    振部と、 前記基本波レーザ光と前記高調波レーザ光とを所定のタ
    イミングで時間的に重畳させるように前記第1および第
    2のレーザ発振部のレーザ発振動作を制御する制御部
    と、 前記第1のレーザ発振部からの前記基本波レーザ光と前
    記第2のレーザ発振部からの前記高調波レーザ光とをそ
    れぞれの光軸がほぼ直角に交差するようにミラー両面に
    それぞれ入射せしめ、前記基本波レーザ光および前記高
    調波レーザ光のうちの一方をまっすぐに透過させるとと
    もに他方を直角に反射させることにより双方のレーザ光
    を同一の軸上で重畳せしめるダイクロイックミラーと、 前記光学素子からの前記同一の軸上に重畳した前記基本
    波レーザ光および前記高調波レーザ光を実質的に同一の
    軸上で集光させて前記金属部材の被溶接部に照射する集
    光レンズとを具備することを特徴とするレーザ溶接装
    置。
  5. 【請求項5】 前記第1のレーザ発振部が、第1の固体
    レーザ媒体と、第1の励起光源と、第1の光共振器とを
    有し、前記第1の励起光源を点灯させて、その光エネル
    ギーを前記第1の固体レーザ媒体に供給して前記第1の
    固体レーザ媒体および前記第1の光共振器により連続発
    振で前記基本波レーザ光を出力することを特徴とする請
    求項4に記載のレーザ溶接装置。
  6. 【請求項6】 前記第2のレーザ発振部が、第2の固体
    レーザ媒体と、第2の励起光源と、Qスイッチと、第2
    の光共振器と、波長変換器とを有し、前記第2の励起光
    源を点灯させて、その光エネルギーを前記第2の固体レ
    ーザ媒体に供給して前記第2の固体レーザ媒体、前記Q
    スイッチおよび前記第2の光共振器により高速繰り返し
    パルス発振で前記基本周波数を有する基本波のレーザ光
    を出力し、前記高速繰り返しパルス発振の基本波レーザ
    光を前記波長変換器により前記高速繰り返しパルス発振
    の高調波レーザ光に変換することを特徴とする請求項4
    または5に記載のレーザ溶接装置。
  7. 【請求項7】 前記制御部が、前記基本波レーザ光を所
    定時間にわたって持続的に連続発振で出力するように前
    記第1のレーザ発振部を制御するとともに、前記高調波
    レーザ光を前記所定時間中に所定周波数の高速繰り返し
    パルス発振で出力させるように前記第2のレーザ発振部
    を制御することを特徴とする請求項4〜6のいずれかに
    記載のレーザ溶接装置。
  8. 【請求項8】 前記第1のレーザ発振部より生成された
    前記基本波レーザ光もしくは前記第2のレーザ発振部よ
    り生成された前記高調波レーザ光を一端面に入射せし
    め、他端面より前記レーザ光を出射する光ファイバと、 前記光ファイバの他端面より放射状に出射される前記基
    本波レーザ光もしくは前記高調波レーザ光を平行光にし
    て前記ダイクロイックミラー側に通すコリメータレンズ
    とを具備することを特徴とする請求項4〜7のいずれか
    に記載のレーザ溶接装置。
  9. 【請求項9】 前記第1のレーザ発振部より生成された
    前記基本波レーザ光もしくは前記第2のレーザ発振部よ
    り生成された前記高調波レーザ光のビーム径を所定の倍
    率で拡大して前記ダイクロイックミラー側に通すビーム
    エキスパンダを具備することを特徴とする請求項4〜8
    のいずれかに記載のレーザ溶接装置。
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Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005209965A (ja) * 2004-01-23 2005-08-04 Miyachi Technos Corp 高調波パルスレーザ装置及び高調波パルスレーザ発生方法
JP2006035315A (ja) * 2004-07-27 2006-02-09 Snecma 少なくとも二つの部品をレーザ溶接する方法、およびこの方法を適用する関連する装置
JP2006066794A (ja) * 2004-08-30 2006-03-09 Miyachi Technos Corp ワイヤボンディング方法
JP2006094600A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Miyachi Technos Corp 回転子結線方法
EP1714729A2 (en) * 2005-04-22 2006-10-25 Miyachi Technos Corporation Laser welding method and laser welding apparatus
JP2006316290A (ja) * 2005-05-10 2006-11-24 Miyachi Technos Corp 金メッキ剥離方法及び金メッキ剥離装置
JP2008279503A (ja) * 2007-05-09 2008-11-20 Eo Technics Co Ltd マルチレーザシステム
US7804644B2 (en) 2005-09-26 2010-09-28 Laserfront Technologies, Inc. Optical level control device, method for controlling same, and laser application device
US8097829B2 (en) * 2006-04-27 2012-01-17 Hitachi Zosen Corporation Laser processing method and laser processing apparatus
CN102476242A (zh) * 2010-11-22 2012-05-30 松下电器产业株式会社 焊接方法及焊接装置
CN102508362A (zh) * 2011-11-15 2012-06-20 深圳市光大激光科技股份有限公司 一种双光束耦合装置
CN102581485A (zh) * 2011-01-13 2012-07-18 深圳市光大激光科技股份有限公司 激光焊接设备
JP2013035048A (ja) * 2011-08-10 2013-02-21 Disco Corp レーザー加工装置
JP2014188526A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Brother Ind Ltd レーザ加工装置
CN106181032A (zh) * 2016-07-29 2016-12-07 温州大学 一种激光焊接系统及方法
CN112108768A (zh) * 2019-06-21 2020-12-22 南京航空航天大学 一种用于改善双激光束双侧同步焊接收弧缺陷的脉冲激光转换装置与方法
CN112676702A (zh) * 2020-11-19 2021-04-20 武汉凌云光电科技有限责任公司 复合双波长对于有色金属的精密微焊接的方法和装备
CN115922061A (zh) * 2022-12-07 2023-04-07 长沙大科激光科技有限公司 基于超声实时测量的铜铝异种金属搭接焊方法
EP4282569A1 (en) * 2022-05-24 2023-11-29 Laserssel Co., Ltd Turntable type probe pin bonding apparatus with a dual laser optic module

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016222357A1 (de) 2016-11-15 2018-05-17 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Verfahren zum Tiefschweißen eines Werkstücks, mit Einstrahlen eines Laserstrahls in die von einem anderen Laserstrahl erzeugte Kapillaröffnung

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01233085A (ja) * 1988-03-15 1989-09-18 Nec Corp レーザ溶接方法
JPH10249568A (ja) * 1997-03-05 1998-09-22 Suzuki Motor Corp レーザ加工装置
JPH11277272A (ja) * 1998-03-30 1999-10-12 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザドリル装置及びレーザ穴あけ加工方法
JPH11307940A (ja) * 1998-04-24 1999-11-05 Shunichi Okada レーザー加工方法
JP2000042779A (ja) * 1998-07-22 2000-02-15 Suzuki Motor Corp レーザ加工装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01233085A (ja) * 1988-03-15 1989-09-18 Nec Corp レーザ溶接方法
JPH10249568A (ja) * 1997-03-05 1998-09-22 Suzuki Motor Corp レーザ加工装置
JPH11277272A (ja) * 1998-03-30 1999-10-12 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザドリル装置及びレーザ穴あけ加工方法
JPH11307940A (ja) * 1998-04-24 1999-11-05 Shunichi Okada レーザー加工方法
JP2000042779A (ja) * 1998-07-22 2000-02-15 Suzuki Motor Corp レーザ加工装置

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1598907A3 (en) * 2004-01-23 2007-06-13 Miyachi Technos Corporation Harmonic pulse laser apparatus and method for generating harmonic pulse laser beams
JP2005209965A (ja) * 2004-01-23 2005-08-04 Miyachi Technos Corp 高調波パルスレーザ装置及び高調波パルスレーザ発生方法
JP2006035315A (ja) * 2004-07-27 2006-02-09 Snecma 少なくとも二つの部品をレーザ溶接する方法、およびこの方法を適用する関連する装置
US7265314B2 (en) * 2004-07-27 2007-09-04 Snecma Method and apparatus for laser welding using a CW laser beam combined with a pulsed laser beam
JP2006066794A (ja) * 2004-08-30 2006-03-09 Miyachi Technos Corp ワイヤボンディング方法
JP2006094600A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Miyachi Technos Corp 回転子結線方法
JP4647961B2 (ja) * 2004-09-22 2011-03-09 ミヤチテクノス株式会社 回転子結線方法
KR101266924B1 (ko) * 2005-04-22 2013-06-04 미야치 테크노스 가부시키가이샤 레이저 용접방법 및 레이저 용접장치
EP1714729A3 (en) * 2005-04-22 2006-12-06 Miyachi Technos Corporation Laser welding method and laser welding apparatus
EP1714729A2 (en) * 2005-04-22 2006-10-25 Miyachi Technos Corporation Laser welding method and laser welding apparatus
US7807939B2 (en) * 2005-04-22 2010-10-05 Miyachi Corporation Laser welding method and laser welding apparatus
JP2006316290A (ja) * 2005-05-10 2006-11-24 Miyachi Technos Corp 金メッキ剥離方法及び金メッキ剥離装置
JP4646690B2 (ja) * 2005-05-10 2011-03-09 ミヤチテクノス株式会社 金メッキ剥離装置
US7916393B2 (en) 2005-09-26 2011-03-29 Laserfront Technologies, Inc. Optical level control device, method for controlling same, and laser application device
US7804644B2 (en) 2005-09-26 2010-09-28 Laserfront Technologies, Inc. Optical level control device, method for controlling same, and laser application device
US8097829B2 (en) * 2006-04-27 2012-01-17 Hitachi Zosen Corporation Laser processing method and laser processing apparatus
JP2008279503A (ja) * 2007-05-09 2008-11-20 Eo Technics Co Ltd マルチレーザシステム
CN102476242A (zh) * 2010-11-22 2012-05-30 松下电器产业株式会社 焊接方法及焊接装置
JP2012110905A (ja) * 2010-11-22 2012-06-14 Panasonic Corp 溶接方法および溶接装置
CN102581485A (zh) * 2011-01-13 2012-07-18 深圳市光大激光科技股份有限公司 激光焊接设备
JP2013035048A (ja) * 2011-08-10 2013-02-21 Disco Corp レーザー加工装置
CN102508362A (zh) * 2011-11-15 2012-06-20 深圳市光大激光科技股份有限公司 一种双光束耦合装置
JP2014188526A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Brother Ind Ltd レーザ加工装置
CN106181032A (zh) * 2016-07-29 2016-12-07 温州大学 一种激光焊接系统及方法
CN106181032B (zh) * 2016-07-29 2019-02-01 温州大学 一种激光焊接系统及方法
CN112108768A (zh) * 2019-06-21 2020-12-22 南京航空航天大学 一种用于改善双激光束双侧同步焊接收弧缺陷的脉冲激光转换装置与方法
CN112676702A (zh) * 2020-11-19 2021-04-20 武汉凌云光电科技有限责任公司 复合双波长对于有色金属的精密微焊接的方法和装备
EP4282569A1 (en) * 2022-05-24 2023-11-29 Laserssel Co., Ltd Turntable type probe pin bonding apparatus with a dual laser optic module
CN115922061A (zh) * 2022-12-07 2023-04-07 长沙大科激光科技有限公司 基于超声实时测量的铜铝异种金属搭接焊方法

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