JP2008279503A - マルチレーザシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1レーザビームを出射する第1レーザ発振器と、第2レーザビームを出射する第2レーザ発振器と、第1レーザ発振器から出射された第1レーザビームが入射され、入射された第1レーザビームを加工しようとする基板上の所望の位置に偏向させるための第1スキャナ対と、第2レーザ発振器から出射された第2レーザビームが入射され、入射された第2レーザビームを加工しようとする基板上の所望の位置に偏向させるための第2スキャナ対と、第1及び第2スキャナ対を経由したレーザビームが入射され、入射されたそれぞれのレーザビームを所定直径のスポットに集束させて基板上に照射するためのスキャンレンズと、を備えるマルチレーザシステムである。
【選択図】図3
Description
110 第1レーザ発振器
111,121 レーザビーム
120 第1レーザ発振器
131 第1スキャナ対
132 第2スキャナ対
140 スキャンレンズ
141 入射面
150 シャトルユニット
160 ビームエキスパンダ
Claims (6)
- 第1レーザビームを出射する第1レーザ発振器と、
第2レーザビームを出射する第2レーザ発振器と、
前記第1レーザ発振器から出射された第1レーザビームが入射され、入射された第1レーザビームを、加工しようとする基板上の所望の位置に偏向させるための第1スキャナ対と、
前記第2レーザ発振器から出射された第2レーザビームが入射され、入射された第2レーザビームを、加工しようとする基板上の所望の位置に偏向させるための第2スキャナ対と、
前記第1及び第2スキャナ対を経由したレーザビームが入射され、入射されたそれぞれのレーザビームを所定直径のスポットに集束させて、前記基板上に照射するためのスキャンレンズと、を備えることを特徴とするマルチレーザシステム。 - 前記第1レーザ発振器と前記第1スキャナ対との間に配されるものであって、前記第1レーザビームが入射され、入射された第1レーザビームを二つの第1レーザビームに分割して、二つの第1経路に沿って進める第1分割手段と、
前記第2レーザ発振器と前記第2スキャナ対との間に配されるものであって、前記第2レーザビームが入射され、入射された第2レーザビームを二つの第2レーザビームに分割して、二つの第2経路に沿って進める第2分割手段と、をさらに備え、
前記第1スキャナ対は、前記二つの第1経路を経由した分割された二つの第1レーザビームのそれぞれに対応する二つのスキャナ対を備え、
前記第2スキャナ対は、前記二つの第2経路を経由した分割された二つの第2レーザビームのそれぞれに対応する二つのスキャナ対を備えることを特徴とする請求項1に記載のマルチレーザシステム。 - 前記第1分割手段及び第2分割手段は、入射されるレーザビームの50%は反射させ、残りの50%は透過させるビームスプリッタを備えることを特徴とする請求項2に記載のマルチレーザシステム。
- 前記第1レーザ発振器及び前記第2レーザ発振器は、異なる波長を有するレーザビームを出射することを特徴とする請求項1に記載のマルチレーザシステム。
- 前記第1レーザ発振器及び前記第2レーザ発振器は、異なるパルス幅を有するレーザビームを出射することを特徴とする請求項1に記載のマルチレーザシステム。
- 前記第1レーザ発振器と前記第1スキャナ対との間及び前記第2レーザ発振器と前記第2スキャナ対との間のそれぞれに設置されたシャトルユニットをさらに備え、
前記シャトルユニットは、入射されるレーザビームの全部を遮断するビーム遮断部と、入射されるレーザビームの全部を透過させるビーム透過部と、前記レーザビームが前記ビーム遮断部またはビーム透過部のうち何れか一つに選択的に入射されるように、前記ビーム遮断部またはビーム透過部の位置を変更させるための移送手段と、を備えることを特徴とする請求項1に記載のマルチレーザシステム。
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