JP2005313475A - 樹脂加工方法および樹脂加工装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 フレキシブルな樹脂加工を容易に行うことができる樹脂加工方法および樹脂加工装置を提供する。
【解決手段】 波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。波長λ1のレーザ光L1を樹脂50に照射して樹脂50の温度を上昇させ、波長λ2のレーザ光L2を樹脂50に照射して樹脂50を硬化させる。
【選択図】 図2

Description

本発明は、レーザ光を樹脂に照射して該樹脂を加工する方法よび装置に関するものである。
レーザ光を照射して該樹脂を加工する技術として特許文献1〜4に開示されたものが知られている。特許文献1に開示された樹脂加工技術は、レーザ光波長において透過率が高い樹脂を加工するために、樹脂に金属材料を押し付けて、この金属材料にレーザ光を照射して金属材料の温度を上昇させることで、樹脂を加工する。
特開平10−235489号公報
特許文献1に開示された樹脂加工技術は、加工を行うに際して適切な金属材料を選択し該金属材料を樹脂に押し付けてレーザ光を照射する必要があることから、加工作業の際の手間が増え、フレキシブルな加工をすることができない。
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、フレキシブルな樹脂加工を容易に行うことができる樹脂加工方法および樹脂加工装置を提供することを目的とする。
本発明に係る樹脂加工方法は、各々の中心波長が互いに波長幅以上異なる複数の波長のレーザ光を照射して樹脂を加工することを特徴とする。或いは、本発明に係る樹脂加工方法は、各々の中心波長が互いに100nm以上異なる複数の波長のレーザ光を照射して樹脂を加工することを特徴とする。複数の波長として、例えば、波長範囲800nm〜1100nm内の何れかの波長と、波長500nm以下の何れかの波長とが含まれる。このように、本発明に係る樹脂加工方法では、複数の波長のレーザ光を樹脂に照射して該樹脂を加工することにより、フレキシブルな樹脂加工を容易に行うことができる。ここで、樹脂の加工とは、硬化、加熱、溶着、穿孔、掘削および切断の何れかである。また、加工対象の樹脂として1または2以上のものが含まれる。以下では、この樹脂の加工として硬化、加熱、溶着、穿孔、掘削および切断の何れかを行う場合を、幾つかに分けて記す。
本発明に係る樹脂加工方法は、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長のレーザ光によって樹脂の温度を上昇させ、第2波長のレーザ光を樹脂に照射して樹脂を硬化させるのが好適である。ここで、第2波長が500nm以下であるのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長のレーザ光によって樹脂の温度を上昇させ、第2波長のレーザ光を樹脂に照射して樹脂の分子結合を切断するのが好適である。ここで、第2波長が500nm以下であるのが好適である。樹脂の分子結合切断は、温度が高いほど促進されるため、この方法であれば、第2波長における樹脂の透過率が15%以上でも加工を行うことができる。
本発明に係る樹脂加工方法は、加工対象の樹脂として第1樹脂および第2樹脂を含み、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長において第2樹脂の透過率より第1樹脂の透過率が大きく、第2波長において第1樹脂の透過率より第2樹脂の透過率が大きく、第1波長のレーザ光を第1樹脂を透過させて第2樹脂に照射するとともに、第2波長のレーザ光を第2樹脂を透過させて第1樹脂に照射して、第1樹脂と第2樹脂とを溶着するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、加工対象の樹脂として第1樹脂,第2樹脂および第3樹脂を含み、第1樹脂,第2樹脂および第3樹脂がこの順に配置され、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長において第2樹脂の透過率より第1樹脂の透過率が大きく、第2波長において第3樹脂の透過率より第1樹脂および第2樹脂それぞれの透過率が大きく、第1波長のレーザ光を第1樹脂を透過させて第2樹脂に照射して第1樹脂と第2樹脂とを溶着するとともに、第2波長のレーザ光を第1樹脂および第2樹脂を透過させて第3樹脂に照射して第2樹脂と第3樹脂とを溶着するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、加工対象の樹脂として第1樹脂,第2樹脂および第3樹脂を含み、第3樹脂,第1樹脂および第2樹脂がこの順に配置され、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長において第2樹脂の透過率より第1樹脂の透過率が大きく、第1波長のレーザ光を第1樹脂を透過させて第2樹脂に照射して第1樹脂と第2樹脂とを溶着するとともに、第2波長のレーザ光を第3樹脂に照射して第3樹脂を硬化させるのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、加工対象の樹脂として第1樹脂,第2樹脂,第3樹脂および第4樹脂を含み、第4樹脂,第3樹脂,第1樹脂および第2樹脂がこの順に配置され、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長において第2樹脂の透過率より第1樹脂,第3樹脂および第4樹脂それぞれの透過率が大きく、第2波長において第4樹脂の透過率が15%以上であり、第1波長のレーザ光を第1樹脂,第3樹脂および第4樹脂を透過させて第2樹脂に照射して第1樹脂と第2樹脂とを溶着するとともに、第2波長のレーザ光を第4樹脂を透過させて第3樹脂に照射して第3樹脂により第1樹脂と第4樹脂とを接着するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、加工対象の樹脂として第1樹脂および第2樹脂を含み、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長において第2樹脂の透過率より第1樹脂の透過率が大きく、第1波長のレーザ光を第1樹脂を透過させて第2樹脂に照射して第1樹脂と第2樹脂とを溶着するとともに、第2波長のレーザ光を第1樹脂に照射して第1樹脂を掘削、切断または穿孔するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、加工対象の樹脂として第1樹脂および第2樹脂を含み、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長および第2波長それぞれにおいて第2樹脂の透過率より第1樹脂の透過率が大きく、第1波長のレーザ光を第1樹脂を透過させて第2樹脂に照射して第2樹脂を予加熱し、第2波長のレーザ光を第1樹脂を透過させて第2樹脂に照射して第2樹脂を本加熱して、第1樹脂と第2樹脂とを溶着するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長のレーザ光によって樹脂を予加熱し、第2波長のレーザ光によって樹脂を本加熱するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、加工対象の樹脂として第1樹脂,第2樹脂および第3樹脂を含み、第1樹脂,第2樹脂および第3樹脂がこの順に配置され、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長において第2樹脂の透過率より第1樹脂の透過率が大きく、第2波長において第2樹脂の透過率より第3樹脂の透過率が大きく、第1波長のレーザ光を第1樹脂を透過させて第2樹脂に照射して第1樹脂と第2樹脂とを溶着するとともに、第2波長のレーザ光を第3樹脂を透過させて第2樹脂に照射して第2樹脂と第3樹脂とを溶着するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、加工対象の樹脂として第1樹脂,第2樹脂,第3樹脂および第4樹脂を含み、第4樹脂,第3樹脂,第1樹脂および第2樹脂がこの順に配置され、複数の波長として第1波長および第2波長を含み、第1波長において第1樹脂の透過率より第2樹脂の透過率が大きく、第2波長において第4樹脂の透過率が15%以上であり、第1波長のレーザ光を第2樹脂を透過させて第1樹脂に照射して第1樹脂と第2樹脂とを溶着するとともに、第2波長のレーザ光を第4樹脂を透過させて第3樹脂に照射して第3樹脂により第1樹脂と第4樹脂とを接着するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、複数の波長のレーザ光をバンドルファイバにより導光して樹脂に照射するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工方法は、複数の波長のレーザ光のうちの少なくとも2波長のレーザ光を一定時間に亘り同時に樹脂に照射するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工装置は、各々の中心波長が互いに波長幅以上異なる複数の波長のレーザ光を出力し、これら複数の波長のレーザ光を樹脂に照射して該樹脂を加工することを特徴とする。或いは、本発明に係る樹脂加工装置は、各々の中心波長が互いに100nm以上異なる複数の波長のレーザ光を出力し、これら複数の波長のレーザ光を樹脂に照射して該樹脂を加工することを特徴とする。複数の波長として、例えば、波長範囲800nm〜1100nm内の何れかの波長と、波長500nm以下の何れかの波長とが含まれる。このように、本発明に係る樹脂加工装置では、複数の波長のレーザ光が出力されて樹脂に照射されることで該樹脂が加工されるので、フレキシブルな樹脂加工を容易に行うことができる。ここで、樹脂の加工とは、硬化、加熱、溶着、穿孔、掘削および切断の何れかである。
本発明に係る樹脂加工装置は、複数の波長のレーザ光をバンドルファイバにより導光して樹脂に照射するのが好適である。
本発明に係る樹脂加工装置は、複数の波長のレーザ光のうちの少なくとも2波長のレーザ光を一定時間に亘り同時に樹脂に照射するのが好適である。
本発明によれば、フレキシブルな樹脂加工を容易に行うことができる。
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図1は、本実施形態に係る樹脂加工装置1の構成図である。この図に示される樹脂加工装置1は、光源11,12、レンズ21,22、バンドルファイバ30およびレンズ40を備え、樹脂50を加工するものである。
光源11は中心波長λ1のレーザ光L1を出力し、光源12は中心波長λ2のレーザ光L2を出力する。中心波長λ1と中心波長λ2とは互いに異なる。光源11から出力されるレーザ光L1の波長幅(半値全幅)をW1とし、光源12から出力されるレーザ光L2の波長幅(半値全幅)をW2とすると、中心波長λ1と中心波長λ2とは互いに「W1+W2」以上異なる。或いは、中心波長λ1と中心波長λ2とは互いに100nm以上異なる。光源11,12それぞれは好適には半導体レーザ光源である。
バンドルファイバ30は、複数本の光ファイバが束ねられたものであり、光源11,12から出力されたレーザ光L1,L2を第1端面に入力して導光し第2端面から出力する。バンドルファイバ30の第1端面と光源11,12との間にはレンズ21,22が挿入されている。レンズ21は、光源11から出力された波長λ1のレーザ光を集光してバンドルファイバ30の第1端面に入射させる。レンズ22は、光源12から出力された波長λ2のレーザ光を集光してバンドルファイバ30の第1端面に入射させる。バンドルファイバ30の第2端面の側にはレンズ40が設けられている。このレンズ40は、バンドルファイバ30の第2端面から出射されたレーザ光L1,L2を集光して樹脂50に照射させる。
次に、本実施形態に係る樹脂加工装置1の動作を説明するとともに、本実施形態に係る樹脂加工方法について説明する。光源11から出力された波長λ1のレーザ光L1は、レンズ21により集光されてバンドルファイバ30の第1端面に入射する。光源12から出力された波長λ2のレーザ光L2は、レンズ22により集光されてバンドルファイバ30の第1端面に入射する。バンドルファイバ30の第1端面に入射したレーザ光L1,L2は、バンドルファイバ30により導光されて第2端面から出力され、レンズ40により集光されて樹脂50に照射される。このとき、2波長のレーザ光は、互いに異なる時間に樹脂50に照射されてもいいが、一定時間に亘り同時に樹脂50に照射されるのが好適である。
このようにして、樹脂50は、複数の波長のレーザ光が照射されることで加工される。複数の波長のレーザ光を樹脂50に照射して樹脂50を加工することにより、フレキシブルな樹脂加工を容易に行うことができる。ここで、樹脂50の加工とは、硬化、加熱、溶着、穿孔、掘削および切断の何れかである。また、加工対象の樹脂50として、1または2以上のものが含まれる。樹脂へのレーザ光の照射に際しては、本実施形態のようにバンドルファイバ30を用いることでレーザ光照射が容易となるが、必ずしもバンドルファイバを用いる必要はなく、適当な光学系を経てレーザ光を樹脂に照射させてもよい。
以下では、樹脂加工として硬化、加熱、溶着、穿孔、掘削および切断の何れかを行う実施形態について説明する。
(樹脂加工方法の第1実施形態)
図2は、第1実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第1実施形態に係る樹脂加工方法は、基材60の上の樹脂50を硬化させるものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。波長λ1のレーザ光L1を樹脂50に照射して樹脂50の温度を上昇させ、波長λ2のレーザ光L2を樹脂50に照射して樹脂50を硬化させる。レーザ光L1,L2は、樹脂50の全体に照射される。なお、レーザ光L1によって基材60の温度を上昇させ、間接的に樹脂50を加熱してもよい。
レーザ光L1は、樹脂50または基材60の温度を上昇させるためのものであり、例えば波長λ1が波長範囲800nm〜1100nm内の何れかの波長である。レーザ光L2は、樹脂50を硬化させるためのものであり、例えば波長λ2が波長500nm以下の何れかの波長である。このように、レーザ光L1の照射により樹脂50の温度を上昇させることにより、レーザ光L2の照射による樹脂50の硬化反応が促進されるので、短時間に硬化を終了させることができて、樹脂劣化を低減することができる。
(樹脂加工方法の第2実施形態)
図3は、第2実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第2実施形態に係る樹脂加工方法は、樹脂50を穿孔、掘削または切断するものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。波長λ1のレーザ光L1を樹脂50に照射して樹脂50の温度を上昇させ、波長λ2のレーザ光L2を樹脂50に照射して樹脂50の分子結合を切断する。
レーザ光L1は樹脂50の全体に照射される。一方、レーザ光L2は、樹脂50のうちの加工位置(または加工領域)に選択的に照射され、微小ビーム径とされて樹脂50への照射位置が走査されてもよいし、加工領域形状と同一のビーム形状とされて樹脂50に照射されてもよい。
レーザ光L1は、樹脂50の温度を上昇させためのものであり、例えば波長λ1が波長範囲800nm〜1100nm内の何れかの波長である。レーザ光L2は、樹脂50を穿孔、掘削または切断するためのものであり、例えば波長λ2が波長500nm以下の何れかの波長である。
このように、レーザ光L1の照射により樹脂50の温度を上昇させることにより、レーザ光L2の照射による樹脂50の分子結合切断が促進されるので、短時間に加工を終了させることができて、樹脂劣化を低減することができるとともに、加工エッジを鋭くすることができる。
また、波長λ2における樹脂50の透過率が15%以上である場合にも、温度上昇による分子結合切断促進効果により、最適な加工を行うことができる。
(樹脂加工方法の第3実施形態)
図4は、第3実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第3実施形態に係る樹脂加工方法は、樹脂51と樹脂52とを溶着するものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。
波長λ1において樹脂52の透過率より樹脂51の透過率が大きく、波長λ1のレーザ光L1は樹脂51を透過して樹脂52に照射される。また、波長λ2において樹脂51の透過率より樹脂52の透過率が大きく、波長λ2のレーザ光L2は樹脂52を透過して樹脂51に照射される。波長λ1における樹脂51の透過率は15%以上であるのが好適であり、波長λ2における樹脂52の透過率は15%以上であるのが好適である。レーザ光L1,L2は、樹脂51と樹脂52とを溶着すべき領域の全体に照射される。
このように、レーザ光L1が樹脂52により吸収されるとともに、レーザ光L2が樹脂51により吸収されることで、樹脂51と樹脂52との間に溶着層Aが形成されて、樹脂51と樹脂52とが溶着されるので、均一な溶着が可能である。
(樹脂加工方法の第4実施形態)
図5は、第4実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第4実施形態に係る樹脂加工方法は、樹脂51と樹脂52とを溶着するとともに、樹脂52と樹脂53とを溶着するものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。樹脂51,樹脂52および樹脂53は、この順に配置されている。
波長λ1において樹脂52の透過率より樹脂51の透過率が大きく、波長λ1のレーザ光L1は樹脂51を透過して樹脂52に照射されて、樹脂51と樹脂52とが溶着される。また、波長λ2において樹脂53の透過率より樹脂51および樹脂52それぞれの透過率が大きく、波長λ2のレーザ光L2は樹脂51および樹脂52を透過して樹脂53に照射されて、樹脂52と樹脂53とが溶着される。
このように、レーザ光L1が樹脂52により吸収されることで、樹脂51と樹脂52との間に溶着層A1が形成されて、樹脂51と樹脂52とが溶着され、これと同時に、レーザ光L2が樹脂53により吸収されることで、樹脂52と樹脂53との間に溶着層A2が形成されて、樹脂52と樹脂53とが溶着される。
(樹脂加工方法の第5実施形態)
図6は、第5実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第5実施形態に係る樹脂加工方法は、樹脂51と樹脂52とを溶着するとともに、樹脂53を硬化させるものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。樹脂53,樹脂51および樹脂52がこの順に配置されている。
波長λ1において樹脂52の透過率より樹脂51の透過率が大きく、波長λ1のレーザ光L1は樹脂51を透過して樹脂52に照射されて、樹脂51と樹脂52との間に溶着層Aが形成され、樹脂51と樹脂52とが溶着される。また、波長λ2のレーザ光L2は樹脂53に照射されて、樹脂53は硬化する。このように溶着と硬化とが同時に行われる。
(樹脂加工方法の第6実施形態)
図7は、第6実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第6実施形態に係る樹脂加工方法は、樹脂51と樹脂52とを溶着するとともに、樹脂51と樹脂54とを接着するものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。樹脂54,樹脂53,樹脂51および樹脂52がこの順に配置されている。
波長λ1において樹脂52の透過率より樹脂51,樹脂53および樹脂54それぞれの透過率が大きく、波長λ1のレーザ光L1は樹脂54,樹脂53および樹脂51を透過して樹脂52に照射されて、樹脂51と樹脂52との間に溶着層Aが形成され、樹脂51と樹脂52とが溶着される。また、波長λ2において樹脂54の透過率が15%以上であり、波長λ2のレーザ光L2は樹脂54を透過して樹脂53に照射されて、樹脂53により樹脂51と樹脂54とが接着される。このように溶着と接着とが同時に行われる。
(樹脂加工方法の第7実施形態)
図8は、第7実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第7実施形態に係る樹脂加工方法は、樹脂51と樹脂52とを溶着するとともに、樹脂51を掘削、切断または穿孔するものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。
波長λ1において樹脂52の透過率より樹脂51の透過率が大きく、波長λ1のレーザ光L1は樹脂51を透過し樹脂52に照射されて、樹脂51と樹脂52との間に溶着層Aが形成され、樹脂51と樹脂52とが溶着される。また、波長λ2のレーザ光L2は樹脂51に照射されて、樹脂51は掘削、切断または穿孔される。
レーザ光L2は、樹脂51のうちの加工位置(または加工領域)に選択的に照射され、微小ビーム径とされて樹脂51への照射位置が走査されてもよいし、加工領域形状と同一のビーム形状とされて樹脂51に照射されてもよい。
このように溶着と掘削等とが同時に行われる。
(樹脂加工方法の第8実施形態)
図9は、第8実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第8実施形態に係る樹脂加工方法は、樹脂51と樹脂52とを溶着するものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。
波長λ1および波長λ2それぞれにおいて樹脂52の透過率より樹脂51の透過率が大きい。波長λ1のレーザ光L1は樹脂51を透過して樹脂52に照射されて、樹脂52は予加熱される。また、波長λ2のレーザ光L2は樹脂51を透過して樹脂52に照射されて、樹脂52は本加熱される。これにより、樹脂51と樹脂52との間に溶着層Aが形成され、樹脂51と樹脂52とが溶着される。
(樹脂加工方法の第9実施形態)
図10は、第9実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第9実施形態に係る樹脂加工方法は、基材60の上の樹脂50を加熱するものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。または、基材60を加熱し、樹脂50を間接的に加熱する。波長λ1のレーザ光L1によって樹脂50は予加熱され、また、波長λ2のレーザ光L2によって樹脂50は本加熱される。このように予加熱と本加熱とを同時に行うことができるので、加熱時間の短縮が可能となり、樹脂劣化を低減することができる。
(樹脂加工方法の第10実施形態)
図11は、第10実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第10実施形態に係る樹脂加工方法は、樹脂51と樹脂52とを溶着するとともに、樹脂52と樹脂53とを溶着するものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。樹脂51,樹脂52および樹脂53は、この順に配置されている。
波長λ1において樹脂52の透過率より樹脂51の透過率が大きく、波長λ1のレーザ光L1は樹脂51を透過して樹脂52に照射されて、樹脂51と樹脂52とが溶着される。また、波長λ2において樹脂52の透過率より樹脂53の透過率が大きく、波長λ2のレーザ光L2は樹脂53を透過して樹脂52に照射されて、樹脂52と樹脂53とが溶着される。
このように、レーザ光L1が樹脂52により吸収されることで、樹脂51と樹脂52との間に溶着層A1が形成されて、樹脂51と樹脂52とが溶着され、これと同時に、レーザ光L2が樹脂52により吸収されることで、樹脂52と樹脂53との間に溶着層A2が形成されて、樹脂52と樹脂53とが溶着される。
(樹脂加工方法の第11実施形態)
図12は、第11実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。この第11実施形態に係る樹脂加工方法は、樹脂51と樹脂52とを溶着するとともに、樹脂51と樹脂54とを接着するものであって、波長λ1のレーザ光L1および波長λ2のレーザ光L2を用いる。樹脂54,樹脂53,樹脂51および樹脂52がこの順に配置されている。
波長λ1において樹脂51の透過率より樹脂52の透過率が大きく、波長λ1のレーザ光L1は樹脂52を透過して樹脂51に照射されて、樹脂51と樹脂52との間に溶着層Aが形成され、樹脂51と樹脂52とが溶着される。また、波長λ2において樹脂54の透過率が15%以上であり、波長λ2のレーザ光L2は樹脂54を透過して樹脂53に照射されて、樹脂53により樹脂51と樹脂54とが接着される。このように溶着と接着とが同時に行われる。
本実施形態に係る樹脂加工装置1の構成図である。 第1実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第2実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第3実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第4実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第5実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第6実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第7実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第8実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第9実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第10実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。 第11実施形態に係る樹脂加工方法の説明図である。
符号の説明
1…樹脂加工装置、11,12…光源、21,22…レンズ、30…バンドルファイバ、40…レンズ、50〜54…樹脂。

Claims (22)

  1. 各々の中心波長が互いに波長幅以上異なる複数の波長のレーザ光を照射して樹脂を加工することを特徴とする樹脂加工方法。
  2. 各々の中心波長が互いに100nm以上異なる複数の波長のレーザ光を照射して樹脂を加工することを特徴とする樹脂加工方法。
  3. 前記樹脂の加工が、硬化、加熱、溶着、穿孔、掘削および切断の何れかであることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂加工方法。
  4. 前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長のレーザ光によって前記樹脂の温度を上昇させ、前記第2波長のレーザ光を前記樹脂に照射して前記樹脂を硬化させる、ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  5. 前記第2波長が500nm以下であることを特徴とする請求項4記載の樹脂加工方法。
  6. 前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長のレーザ光によって前記樹脂の温度を上昇させ、前記第2波長のレーザ光を前記樹脂に照射して前記樹脂の分子結合を切断する、ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  7. 前記第2波長が500nm以下であり、前記第2波長における前記樹脂の透過率が15%以上である、ことを特徴とする請求項6記載の樹脂加工方法。
  8. 加工対象の前記樹脂として第1樹脂および第2樹脂を含み、前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長において前記第2樹脂の透過率より前記第1樹脂の透過率が大きく、前記第2波長において前記第1樹脂の透過率より前記第2樹脂の透過率が大きく、
    前記第1波長のレーザ光を前記第1樹脂を透過させて前記第2樹脂に照射するとともに、前記第2波長のレーザ光を前記第2樹脂を透過させて前記第1樹脂に照射して、前記第1樹脂と前記第2樹脂とを溶着する、
    ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  9. 加工対象の前記樹脂として第1樹脂,第2樹脂および第3樹脂を含み、前記第1樹脂,前記第2樹脂および前記第3樹脂がこの順に配置され、前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長において前記第2樹脂の透過率より前記第1樹脂の透過率が大きく、前記第2波長において前記第3樹脂の透過率より前記第1樹脂および前記第2樹脂それぞれの透過率が大きく、
    前記第1波長のレーザ光を前記第1樹脂を透過させて前記第2樹脂に照射して前記第1樹脂と前記第2樹脂とを溶着するとともに、
    前記第2波長のレーザ光を前記第1樹脂および前記第2樹脂を透過させて前記第3樹脂に照射して前記第2樹脂と前記第3樹脂とを溶着する、
    ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  10. 加工対象の前記樹脂として第1樹脂,第2樹脂および第3樹脂を含み、前記第3樹脂,前記第1樹脂および前記第2樹脂がこの順に配置され、前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長において前記第2樹脂の透過率より前記第1樹脂の透過率が大きく、
    前記第1波長のレーザ光を前記第1樹脂を透過させて前記第2樹脂に照射して前記第1樹脂と前記第2樹脂とを溶着するとともに、
    前記第2波長のレーザ光を前記第3樹脂に照射して前記第3樹脂を硬化させる、
    ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  11. 加工対象の前記樹脂として第1樹脂,第2樹脂,第3樹脂および第4樹脂を含み、前記第4樹脂,前記第3樹脂,前記第1樹脂および前記第2樹脂がこの順に配置され、前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長において前記第2樹脂の透過率より前記第1樹脂,前記第3樹脂および前記第4樹脂それぞれの透過率が大きく、前記第2波長において前記第4樹脂の透過率が15%以上であり、
    前記第1波長のレーザ光を前記第1樹脂,前記第3樹脂および前記第4樹脂を透過させて前記第2樹脂に照射して前記第1樹脂と前記第2樹脂とを溶着するとともに、
    前記第2波長のレーザ光を前記第4樹脂を透過させて前記第3樹脂に照射して前記第3樹脂により前記第1樹脂と前記第4樹脂とを接着する、
    ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  12. 加工対象の前記樹脂として第1樹脂および第2樹脂を含み、前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長において前記第2樹脂の透過率より前記第1樹脂の透過率が大きく、
    前記第1波長のレーザ光を前記第1樹脂を透過させて前記第2樹脂に照射して前記第1樹脂と前記第2樹脂とを溶着するとともに、
    前記第2波長のレーザ光を前記第1樹脂に照射して前記第1樹脂を掘削、切断または穿孔する、
    ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  13. 加工対象の前記樹脂として第1樹脂および第2樹脂を含み、前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長および前記第2波長それぞれにおいて前記第2樹脂の透過率より前記第1樹脂の透過率が大きく、
    前記第1波長のレーザ光を前記第1樹脂を透過させて前記第2樹脂に照射して前記第2樹脂を予加熱し、前記第2波長のレーザ光を前記第1樹脂を透過させて前記第2樹脂に照射して前記第2樹脂を本加熱して、前記第1樹脂と前記第2樹脂とを溶着する、
    ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  14. 前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長のレーザ光によって前記樹脂を予加熱し、前記第2波長のレーザ光によって前記樹脂を本加熱する、ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  15. 加工対象の前記樹脂として第1樹脂,第2樹脂および第3樹脂を含み、前記第1樹脂,前記第2樹脂および前記第3樹脂がこの順に配置され、前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長において前記第2樹脂の透過率より前記第1樹脂の透過率が大きく、前記第2波長において前記第2樹脂の透過率より前記第3樹脂の透過率が大きく、
    前記第1波長のレーザ光を前記第1樹脂を透過させて前記第2樹脂に照射して前記第1樹脂と前記第2樹脂とを溶着するとともに、
    前記第2波長のレーザ光を前記第3樹脂を透過させて前記第2樹脂に照射して前記第2樹脂と前記第3樹脂とを溶着する、
    ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  16. 加工対象の前記樹脂として第1樹脂,第2樹脂,第3樹脂および第4樹脂を含み、前記第4樹脂,前記第3樹脂,前記第1樹脂および前記第2樹脂がこの順に配置され、前記複数の波長として第1波長および第2波長を含み、前記第1波長において前記第1樹脂の透過率より前記第2樹脂の透過率が大きく、前記第2波長において前記第4樹脂の透過率が15%以上であり、
    前記第1波長のレーザ光を前記第2樹脂を透過させて前記第1樹脂に照射して前記第1樹脂と前記第2樹脂とを溶着するとともに、
    前記第2波長のレーザ光を前記第4樹脂を透過させて前記第3樹脂に照射して前記第3樹脂により前記第1樹脂と前記第4樹脂とを接着する、
    ことを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  17. 前記複数の波長のレーザ光をバンドルファイバにより導光して前記樹脂に照射することを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  18. 前記複数の波長のレーザ光のうちの少なくとも2波長のレーザ光を一定時間に亘り同時に前記樹脂に照射することを特徴とする請求項3記載の樹脂加工方法。
  19. 各々の中心波長が互いに波長幅以上異なる複数の波長のレーザ光を出力し、これら複数の波長のレーザ光を樹脂に照射して該樹脂を加工することを特徴とする樹脂加工装置。
  20. 各々の中心波長が互いに100nm以上異なる複数の波長のレーザ光を出力し、これら複数の波長のレーザ光を樹脂に照射して該樹脂を加工することを特徴とする樹脂加工装置。
  21. 前記複数の波長のレーザ光をバンドルファイバにより導光して前記樹脂に照射することを特徴とする請求項19または20に記載の樹脂加工装置。
  22. 前記複数の波長のレーザ光のうちの少なくとも2波長のレーザ光を一定時間に亘り同時に前記樹脂に照射することを特徴とする請求項19または20に記載の樹脂加工装置。
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