JP2008042044A - 薄膜トランジスタアレイ基板、その製造方法、及び表示装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 80
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 194
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 145
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims abstract description 143
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 16
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 16
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 35
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 136
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 12
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical group [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42384—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate for thin film field effect transistors, e.g. characterised by the thickness or the shape of the insulator or the dimensions, the shape or the lay-out of the conductor
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/4908—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET for thin film semiconductor, e.g. gate of TFT
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1248—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition or shape of the interlayer dielectric specially adapted to the circuit arrangement
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- H01L29/30—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by physical imperfections; having polished or roughened surface
- H01L29/34—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by physical imperfections; having polished or roughened surface the imperfections being on the surface
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66742—Thin film unipolar transistors
- H01L29/6675—Amorphous silicon or polysilicon transistors
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- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
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- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78651—Silicon transistors
- H01L29/7866—Non-monocrystalline silicon transistors
- H01L29/78672—Polycrystalline or microcrystalline silicon transistor
- H01L29/78675—Polycrystalline or microcrystalline silicon transistor with normal-type structure, e.g. with top gate
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Abstract
【課題】高信頼性で性能の安定した薄膜トランジスタアレイ基板、及びその製造方法を提供すること
【解決手段】本発明にかかる薄膜トランジスタアレイ基板は、絶縁基板1上に形成された所定のパターン形状を持つポリシリコン層2と、ポリシリコン層2を覆うように形成されたゲート絶縁膜3と、を備えた薄膜トランジスタアレイ基板であって、ゲート絶縁膜3は、絶縁基板1及びポリシリコン層2の表面に設けられた第1のゲート絶縁膜31と、ポリシリコン層2、及び第1のゲート絶縁膜31を覆うように形成された第2のゲート絶縁膜32とを備え、ポリシリコン層2の表面と第1のゲート絶縁膜31の表面とが同じ研磨面となっているものである。
【選択図】 図2
【解決手段】本発明にかかる薄膜トランジスタアレイ基板は、絶縁基板1上に形成された所定のパターン形状を持つポリシリコン層2と、ポリシリコン層2を覆うように形成されたゲート絶縁膜3と、を備えた薄膜トランジスタアレイ基板であって、ゲート絶縁膜3は、絶縁基板1及びポリシリコン層2の表面に設けられた第1のゲート絶縁膜31と、ポリシリコン層2、及び第1のゲート絶縁膜31を覆うように形成された第2のゲート絶縁膜32とを備え、ポリシリコン層2の表面と第1のゲート絶縁膜31の表面とが同じ研磨面となっているものである。
【選択図】 図2
Description
本発明は、薄膜トランジスタアレイ基板、その製造方法、及び表示装置に関するものである。
ガラス基板等の絶縁基板上に形成される有機EL表示装置や液晶表示装置は、低温多結晶(ポリ)シリコン(LTPS)薄膜トランジスタ(TFT)の活用により、飛躍的に高性能化が進んでいる。表示装置周辺の回路形成にLTPSTFTを使用すると、IC及びIC装着基板の使用が削減されるため、表示装置の周辺を簡略化することができ、狭額縁で高信頼性の表示装置が実現できる。また、液晶表示装置においては画素毎のスイッチングTr(トランジスタ)の容量が小さくなるだけでなく、ドレイン側に接続するストレージキャパシタの面積も縮小できることから、高解像度で高開口率の液晶表示装置が実現できる。このため、携帯電話用程度の小型パネルでQVGA(画素数:240×320)やVGA(画素数:480×640)の高解像液晶表示装置にはLTPSTFTが主導的な役割を果たしている。
図4は、従来のLTPSTFTの構成を示す断面図である。図4(a)はソース・ドレイン領域が形成されている方向に沿って切断した断面図であり、図4(b)は図4(a)と垂直な方向に切断した断面図である。従来のTFTは、図4(a)に示すように、絶縁基板1の上にソース領域21、ドレイン領域22、及びチャネル領域23を持つポリシリコン層2が形成されている。更に、ポリシリコン層2の上にゲート絶縁膜3が形成され、ゲート絶縁膜3上のチャネル領域23を覆う部分にゲート電極4が形成されている。
LTPSTFTでは、500℃以下の低温プロセスにおいてシリコン層を多結晶化するために、レーザーによる表面加熱(レーザーアニーリング)を利用している。多結晶化後のポリシリコン層2の表面には、図4のように凹凸が形成される。この凹凸は、多結晶シリコン(ポリシリコン)の結晶粒界に起因すると考えられている。照射するレーザーの波長、照射面の表面状態、照射時の雰囲気等により異なるが、通常、LTPSTFTにおけるポリシリコン層2表面の凹凸はpeak to valley値で10〜40nm程度である。ポリシリコン層2上に形成するゲート絶縁膜3の膜厚は約100nmであり、ポリシリコン層2表面の凹凸と近いレベルとなっている。すなわち、ポリシリコン層2の突起部では、図4に示すように、ゲート絶縁膜3の膜厚が薄くなる。TFT駆動時には、このゲート絶縁膜3が薄い部分へ電荷が集中し、ゲート耐圧不良を引き起こす。このように、ポリシリコン層2の表面突起は、LTPSTFT製品の歩留まり及び信頼性を低下させる大きな要因となっている。
ポリシリコン層2の結晶粒の大きさは、照射するレーザーの波長及びエネルギーの大きさによって決まる。ポリシリコン層2内の結晶粒を大きくすると、高いキャリア移動度が得られ、TFTの性能は向上する。しかし、結晶粒が大きくなるにつれ、ポリシリコン層2表面の凹凸は激しくなってしまう。TFT特性の更なる向上のため、シリコン結晶粒径の拡大やゲート絶縁膜3の薄膜化が進められており、ポリシリコン層2の表面突起は今後更に大きな問題となると考えられる。
このような課題を解決するため、次のような技術が開示されている。従来のLTPSTFTでは、ゲート絶縁膜3の膜厚を更に厚くすることによって絶縁膜耐圧の絶対値を向上させている。しかしながら、ゲート絶縁膜3の厚膜化によりTFT特性は劣化してしまう。すなわち、TFTの閾値電圧(Vth)は増加し、オン電流(Ion)は減少する。また、ゲート絶縁膜3の膜厚を厚くしても、ポリシリコン層2の突起部ではゲート絶縁膜の膜厚が薄く、TFT駆動時に電荷が集中する。従って、ゲート絶縁膜の耐圧不良に繋がる根本的な原因の解消とはなっていない。
また、特許文献1には、平坦化絶縁膜を含む複数のゲート絶縁膜によって、ゲート耐圧を高める技術が開示されている。しかし、前述のように、TFT駆動時に電荷が集中するポリシリコン層の突起部は除去されないため、ゲート耐圧不良の根本的な解決にはなっていない。また、平坦化絶縁膜は、ポリシリコン層上にスピンナー法等を用いて形成される。これにより、コート材の酸化膜がポリシリコン層とゲート絶縁膜との界面に形成される。従って、この界面におけるトラップ準位密度の制御が難しくなり、TFT特性が不安定になる。
一方、特許文献2は、多結晶化後のポリシリコン層表面を化学的機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)することによって、突起を除去するものである。通常、ポリシリコン層の膜厚は約50nm程度である。このポリシリコン層表面にある約10〜40nm程度の突起を直接CMP処理する場合、ポリシリコン層の膜厚制御が難しい。従って、ポリシリコン層の膜厚がばらつき、TFTのVthもばらつく。
ここで、TFTの閾値電圧Vthは(1)式に表される(非特許文献1)。
Vth=VFB+2φB+qNAtSi/Cox
=V0+qNAtSi/Cox・・・(1)
VFB:フラットバンド電圧
φB :真性フェルミレベルを基準としたフェルミポテンシャル
q :電荷
NA :アクセプタ的挙動トラップの密度
tSi:ポリシリコン膜厚
Cox:ゲート絶縁膜容量
(1)式により、TFTの閾値電圧Vthはポリシリコン膜厚tSiによって変化することが分かる。
Vth=VFB+2φB+qNAtSi/Cox
=V0+qNAtSi/Cox・・・(1)
VFB:フラットバンド電圧
φB :真性フェルミレベルを基準としたフェルミポテンシャル
q :電荷
NA :アクセプタ的挙動トラップの密度
tSi:ポリシリコン膜厚
Cox:ゲート絶縁膜容量
(1)式により、TFTの閾値電圧Vthはポリシリコン膜厚tSiによって変化することが分かる。
TFTのポリシリコン層の断面は下部から上部にかけて幅が狭くなる台形状となっており、側壁面がテーパー状になっている。これは、ゲート電極のエッチング残渣や断線に関する不具合を解決するためのものであるが、同時に別の問題が発生する。つまり、チャネル領域の両端に膜厚の薄いテーパー部が形成される。これにより、通常膜厚部分のTFT特性に膜厚の薄いテーパー部のTFT特性が重畳して現れてしまう。
テーパー部では(1)式から明らかなようにTFTのVthが低くなる。従って、メインの通常膜厚部よりも低いゲート電圧において先にオン状態となる。そのため、図5に示すドレイン電流(対数)−ゲート電圧特性(Id(対数)−Vg特性:以下、サブスレッショールド特性と示す)では、Vgの低い領域でもテーパー部の影響によってIdが立ち上がる。しかし、テーパー部のチャネル幅は狭いので、飽和領域ではテーパー部に流れるIdは通常膜厚部に比べて小さくなる。よって、通常膜厚部のTFT特性が支配的になる。このように、サブスレッショールド特性ではドレイン電流(対数)上昇部に肩が現れる。そして、TFT特性が不安定になる。
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、高信頼性で性能の安定した薄膜トランジスタアレイ基板、その製造方法、及び表示装置を提供することを目的とする。
本発明にかかる薄膜トランジスタアレイ基板は、基板上に形成された所定のパターン形状を持つポリシリコン層と、前記ポリシリコン層を覆うように形成されたゲート絶縁膜と、を備えた薄膜トランジスタアレイ基板であって、前記ゲート絶縁膜は、前記基板及び前記ポリシリコン層の表面に設けられた第1のゲート絶縁膜と、前記ポリシリコン層、及び前記第1のゲート絶縁膜を覆うように形成された第2のゲート絶縁膜とを備え、前記ポリシリコン層の表面と第1のゲート絶縁膜の表面とが同じ研磨面となっているものである。
本発明にかかる薄膜トランジスタアレイ基板は、基板上に形成された所定のパターン形状を持つポリシリコン層と、前記ポリシリコン層を覆うように形成されたゲート絶縁膜と、を備えた薄膜トランジスタアレイ基板であって、前記ゲート絶縁膜は、前記基板及び前記ポリシリコン層の表面に設けられた第1のゲート絶縁膜と、前記ポリシリコン層、及び前記第1のゲート絶縁膜を覆うように形成された第2のゲート絶縁膜とを備え、前記第1のゲート絶縁膜の表面が前記ポリシリコン層の表面と略同じ高さであり、前記ポリシリコン層のパターン端部及びパターン周辺部における前記第1のゲート絶縁膜が、前記ポリシリコン層の表面と略同じ高さであるものである。
本発明によれば、高信頼性で性能の安定した薄膜トランジスタアレイ基板、その製造方法、及び表示装置を提供することができる。
始めに、図1を用いて、本発明に係るTFTアレイ基板が適用される表示装置について説明する。図1は、表示装置に用いられるTFTアレイ基板の構成を示す正面図である。本発明に係る表示装置は、液晶表示装置を例として説明するが、あくまでも例示的なものであり、有機EL表示装置等の平面型表示装置(フラットパネルディスプレイ)等を用いることも可能である。
本発明に係る液晶表示装置は、絶縁基板1を有している。絶縁基板1は、例えば、TFTアレイ基板等のアレイ基板である。絶縁基板1には、表示領域41と表示領域41を囲むように設けられた額縁領域42とが設けられている。この表示領域41には、複数のゲート配線(走査信号線)43と複数のソース配線(表示信号線)44とが形成されている。複数のゲート配線43は平行に設けられている。同様に、複数のソース配線44は平行に設けられている。ゲート配線43とソース配線44とは、互いに交差するように形成されている。ゲート配線43とソース配線44とは直交している。隣接するゲート配線43とソース配線44とで囲まれた領域が画素47となる。従って、絶縁基板1では、画素47がマトリクス状に配列される。
更に、絶縁基板1の額縁領域42には、走査信号駆動回路45と表示信号駆動回路46とが設けられている。ゲート配線43は、表示領域41から額縁領域42まで延設されている。そして、ゲート配線43は、絶縁基板1の端部で、走査信号駆動回路45に接続される。ソース配線44も同様に、表示領域41から額縁領域42まで延設されている。そして、ソース配線44は、絶縁基板1の端部で、表示信号駆動回路46と接続される。走査信号駆動回路45の近傍には、外部配線48が接続されている。また、表示信号駆動回路46の近傍には、外部配線49が接続されている。外部配線48、49は、例えば、FPC(Flexible Printed Circuit)等の配線基板である。
外部配線48、49を介して走査信号駆動回路45、及び表示信号駆動回路46に外部からの各種信号が供給される。走査信号駆動回路45は外部からの制御信号に基づいて、ゲート信号(走査信号)をゲート配線43に供給する。このゲート信号によって、ゲート配線43が順次選択されていく。表示信号駆動回路46は外部からの制御信号や、表示データに基づいて表示信号をソース配線44に供給する。これにより、表示データに応じた表示電圧を各画素47に供給することができる。
画素47内には、少なくとも1つのTFT50が形成されている。TFT50はソース配線44とゲート配線43の交差点近傍に配置される。例えば、このTFT50が画素電極に表示電圧を供給する。即ち、ゲート配線43からのゲート信号によって、スイッチング素子であるTFT50がオンする。これにより、ソース配線44から、TFT50のドレイン電極に接続された画素電極に表示電圧が印加される。そして、画素電極と対向電極との間に、表示電圧に応じた電界が生じるなお、絶縁基板1の表面には、配向膜(図示せず)が形成されている。
更に、絶縁基板1には、対向基板が対向して配置されている。対向基板は、例えば、カラーフィルタ基板であり、視認側に配置される。対向基板には、カラーフィルタ、ブラックマトリクス(BM)、対向電極、及び配向膜等が形成されている。なお、対向電極は、絶縁基板1側に配置される場合もある。そして、絶縁基板1と対向基板との間に液晶層が狭持される。即ち、絶縁基板1と対向基板との間には液晶が導入されている。更に、絶縁基板1と対向基板との外側の面には、偏光板、及び位相差板等が設けられる。また、液晶表示パネルの反視認側には、バックライトユニット等が配設される。
画素電極と対向電極との間の電界によって、液晶が駆動される。即ち、基板間の液晶の配向方向が変化する。これにより、液晶層を通過する光の偏光状態が変化する。即ち、偏光板を通過して直線偏光となった光は液晶層によって、偏光状態が変化する。具体的には、バックライトユニットからの光は、アレイ基板側の偏光版によって直線偏光になる。そして、この直線偏光が液晶層を通過することによって、偏光状態が変化する。
従って、偏光状態によって、対向基板側の偏光版を通過する光量が変化する。即ち、バックライトユニットから液晶表示パネルを透過する透過光のうち、視認側の偏光板を通過する光の光量が変化する。液晶の配向方向は、印加される表示電圧によって変化する。従って、表示電圧を制御することによって、視認側の偏光板を通過する光量を変化させることができる。即ち、画素ごとに表示電圧を変えることによって、所望の画像を表示することができる。
次に、TFT50の構成について、図2を用いて説明する。図2(a)は本発明に係るTFT50の構造を模式的に示した平面図である。図2(b)は、図2(a)におけるA−A断面図である。図2(c)は、図2(a)におけるB−B断面図である。ここで、TFT50をトップゲート構造であるとして例示的に説明をする。アクティブマトリクス型表示装置では、このTFT50が表示領域41内の画素47中に配置される。
図2において、絶縁基板1の上にポリシリコン層2が形成されている。ポリシリコン層2は第1導電型のソース領域21とドレイン領域22、及びソース領域21とドレイン領域22間に配置されたチャネル領域23によって構成される。そして、ポリシリコン層2を覆うようにゲート絶縁膜3が形成され、ゲート絶縁膜3を介してチャネル領域23の対面にゲート電極4が形成されている。層間絶縁層5は、ゲート絶縁膜3及びゲート電極4の上に形成される。回路を構成する配線層6が層間絶縁層5及びゲート絶縁膜3を貫通するコンタクトホールを介し、ソース領域21、ドレイン領域22、及びゲート電極4と電気的に接続される。
ポリシリコン層2は、40〜80nm程度のアモルファスシリコン膜をレーザアニーリングにより結晶化させて形成する。多結晶後のポリシリコン層2の表面には、ポリシリコンの結晶粒界に起因すると考えられる凹凸が形成されている。また、ポリシリコン層2の端部は、ゲート電極4とポリシリコン層2との耐圧確保、すなわちTFT50のゲート耐圧向上、及びゲート電極4の断線防止のため、テーパー形状となっている。
本発明においては、ゲート絶縁膜3は、ポリシリコン層2側にある第1のゲート絶縁膜31とゲート電極4側にある第2のゲート絶縁膜32との二層により形成されている。第1のゲート絶縁膜31は、ポリシリコン層2を覆うよう絶縁基板1の略全面に形成された後、CMP等の平坦化処理によりポリシリコン層2の表面がある程度露出するまで全面がほぼ平坦に除去されている。すなわち、ポリシリコン層2上では、突起がある程度除去されたポリシリコン層2の窪みを第1のゲート絶縁膜31が埋めるような形になっている。従って、ポリシリコン層2の凹凸表面の凸部が露出するよう凹部に第1のゲート絶縁膜31が埋設されている。そして、ポリシリコン層2の表面と第1のゲート絶縁膜31の表面とが同じ研磨面となっている。また、平坦化処理後の第1のゲート絶縁膜31を含むポリシリコン層2の表面は、テーパー状のポリシリコン層2端部の上及び絶縁基板1上に形成されている第1のゲート絶縁膜31とほぼ同じ高さとなる。従って、絶縁基板1の全面において第1のゲート絶縁膜31の表面はほぼ平坦となっている。そして、このポリシリコン層2及び第1のゲート絶縁膜31を含む平坦除去面上に第2のゲート絶縁膜32が形成されている。
また、ポリシリコン層2のパターン端部はテーパー形状になっている。従って、ポリシリコン層2はパターン端部の膜厚が中央部に比べて薄くなっている。このため、テーパー形状となるポリシリコン層2のパターン端部では、ポリシリコン層2が第1のゲート絶縁膜31から露出していない。そして、ポリシリコン層2のパターン端部上における第1のゲート絶縁膜31の表面と、ポリシリコン層2中央部の表面とは、略同じ高さとなっている。さらに、ポリシリコン層2のパターン端部上における第1のゲート絶縁膜31の表面と、ポリシリコン層2外側のパターン周辺部における第1のゲート絶縁膜31の表面とは、略同じ高さとなっている。第2のゲート絶縁膜32はポリシリコン層2表面と接するように設けられている。ここで、絶縁基板1の表面からの距離を高さとする。
次に、図3を用いて、本発明におけるTFT50の製造工程を説明する。図3は本発明における製造工程に係るTFTの断面図で、図2(a)のA−A断面の構成を示している。
初めに、例えばガラスによって形成された絶縁基板1上にCVD法によりアモルファスシリコン膜を形成する。減圧CVD(LPCVD:Low Pressure Chemical Vapor Deposition)法、又は、プラズマCVD(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法を用いる。一般に、LPCVD法は、PECVD法よりも安定したアモルファスシリコン膜を形成することができるが生産性の面においてPECVD法より劣る。PECVD法によって形成したアモルファスシリコン膜は水素を多く含み、レーザアニーリングの際に水素が突沸し、膜を破壊する可能性がある。従って、水素含有量を低減させるため、レーザアニーリング前に350℃以上の熱処理を行う。その後、アモルファスシリコン膜をレーザアニーリング等により多結晶化させる。
レーザアニーリングではパルスレーザーを複数回照射してシリコンを結晶化させる。レーザアニーリング時におけるシリコン結晶の光吸収率は、レーザーの波長が長くなるにつれ減少する。そのため、エキシマレーザ(波長:308nm)を用いた場合、前の照射で結晶化されたシリコンは再溶融する。他方、YAG2ωレーザ(波長:532nm)を用いると、前の照射で生成されたシリコン結晶の融解は遅く、これらの結晶を核にして、融解した未結晶化(アモルファス)部が結晶化していく。従って、より大粒径の結晶を得るためには、YAG2ωレーザーを使用することが望ましい(Crystallization of amorphous-Si films by pulsed YAG2ω green laser for polycrystalline Si TFT fablication、journal of the SID 13/10(2005)p.823-827、S.Yra, A.Sono, T.Okamoto, Y.Sato, T.Kojima, I.Nishimae, M.Inoue, K.Motonami:以下、参照文献1とする)。また、パルスレーザーを使うことも可能である。
このようにして多結晶化させたポリシリコン層2の表面には、図3(a)のように凹凸が形成される。特に、シリコンの結晶粒を大きくした場合、結晶粒界部の凹凸が激しくなる。このとき、ポリシリコン層2表面の凹凸はポリシリコン層2の膜厚と同程度まで大きくなることがある。レーザアニーリング前に、アモルファスシリコン膜表面の自然酸化膜を弗酸により除去すると、ポリシリコン層2表面に形成される凹凸が軽減する。また、レーザー照射時におけるアモルファスシリコン膜表面を窒素等の不活性雰囲気にすることによって、ポリシリコン層2表面の凹凸が軽減する。
なお、絶縁基板1とポリシリコン層2との間に、以下のような保護膜を有する構成とすることも可能である。絶縁基板1からの汚染物質の拡散を防ぐ第1の保護膜(図示せず)を絶縁基板1側に、ポリシリコン層2との界面でトラップ準位を発生しにくい第2の保護膜(図示せず)をポリシリコン層2側に形成することが好ましい。例えば、第1の保護膜はシリコン窒化膜、第2の保護膜はシリコン酸化膜とする。この場合、アモルファスシリコン膜形成の前に、これらの保護膜を形成する。
次に、図3(b)において、ポリシリコン層2をフォトエッチング等により所定の形状に加工する。例えば、CF4等のフッ素化合物ガスを用いたプラズマエッチングやリアクティブイオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)により行う。ここで、ポリシリコン層2の端部形状が図3(b)のようにテーパー形状となるよう、エッチング条件を調整する。ポリシリコン層2の端部をテーパー形状とすることで、TFT50におけるゲート耐圧の向上、及びゲート電極の断線に関する不具合が解決する。
その後、図3(c)に示すように、ポリシリコン層2が形成された絶縁基板1上に第1のゲート絶縁膜31を形成する。このとき、第1のゲート絶縁膜31はポリシリコン層2の膜厚より厚くする必要がある。例えば、ポリシリコン層2の平均膜厚を約60nmとし、第1のゲート絶縁膜31の膜厚は約80nmとする。また、第1のゲート絶縁膜31は、ポリシリコン層2との界面におけるトラップ準位密度を低減させるため、水素を多く含む酸化膜であることが好ましい。例えば、TEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate)と酸素によるプラズマCVDを用いると、4mol%程度の水素含有量を有するシリコン酸化膜を形成することができる(Properties of chemical vapor deposited tetraethylorthosilicate oxides: Correlation with deposition parameters, annealing, and hydrogen concentration、J.Vac.Sci.Technol.B8(1990)p.533-539、A.M.Nguyen and S.P.Muraka:以下、参照文献2とする)。このように、第1のゲート絶縁膜31はポリシリコン層2の凹部に埋設される。ポリシリコン層2が第1のゲート絶縁膜31によって覆われる。
そして、第1のゲート絶縁膜31の上から平坦化処理を行う。平坦化処理としては、例えばCMP法を用いる。CMP法で使用するスラリー(砥粒)は、第1のゲート絶縁膜31の材質に最適なものを選択する必要がある。第1のゲート絶縁膜31がシリコン酸化膜の場合は、例えばセリア(酸化セリウム)系のスラリーを使用する。CMP処理の終点を検出するには、ターンテーブル駆動モータの電流モニタを通常使用するが、その場検出(in situ)の光学式膜厚モニタを使用することが望ましい。第1のゲート絶縁膜31の表面粗さが100μm2領域におけるRMS(Root Mean Square)値で10nm以下、そしてポリシリコン層2の平均膜厚が50nmになるまで平坦化処理を行うことが望ましい。これにより、ポリシリコン層2の表面の凸部が露出して、図3(d)に示すような構成となる。このように、ポリシリコン層2の凸部は除去され、第1のゲート絶縁膜31上の凹凸は平滑となる。また、平坦化処理後の第1のゲート絶縁膜31を含むポリシリコン層2の表面は、テーパー状のポリシリコン層2のパターン端部上及びパターン周辺部における絶縁基板1上に形成されている第1のゲート絶縁膜31とほぼ同じ高さとなる。そして、ポリシリコン層2の凸部の表面と、ポリシリコン層2の凹部に設けられた第1のゲート絶縁膜31の表面と、テーパー状のポリシリコン層2のパターン端部及びパターン周辺部における第1のゲート絶縁膜31の表面とは、同じ高さの研磨面となる。すなわち、絶縁基板1と平行となる形で第1のゲート絶縁膜31の表面全体が平坦になる。
第1のゲート絶縁膜31の平坦化処理後、図3(e)のように、ポリシリコン層2及び第1のゲート絶縁膜31を含む除去面上に第2のゲート絶縁膜32を形成する。第2のゲート絶縁膜32の膜厚は例えば100nm程度とするが、TFTの性能から膜厚の最適化を行うことができる第2のゲート絶縁膜32は、第1のゲート絶縁膜31と同様にポリシリコン層2との界面におけるトラップ準位密度を低減させるため、水素を多く含む酸化膜であることが好ましい。例えば、TEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate)と酸素によるプラズマCVDを用いると、4mol%程度の水素含有量を有するシリコン酸化膜を形成することができる(参照文献2)。以上のようにして、第1のゲート絶縁膜31と第2のゲート絶縁膜31の二層から成るゲート絶縁膜3が形成される。ポリシリコン層2が露出しているため、第2のゲート絶縁膜32がポリシリコン層2と接するよう形成される。
ゲート絶縁膜3上にスパッタによりゲート電極となる金属材料を堆積し、図3(f)のようにゲート電極4を所定の形状にフォトエッチングする。ゲート電極4として、例えば、MoやTi等の高融点材料を用いる。あるいは、これらの高融点材料を上層に持ちAl等の低抵抗材料を主とする積層膜をゲート電極4として用いても良い。エッチングはドライエッチングまたはウェットエッチングのどちらかゲート電極4材質に適する方法を用いる。そして、ソース領域21とドレイン領域22に不純物が導入される。例えばnチャネル型TFTにおいて、導入される不純物はリン(P)等のn型不純物である。導入法としては、イオン注入法やイオンドーピング法を用いて行うことができる。ゲート電極4とソース領域21とのオーバーラップに起因した寄生容量を低減するため、セルフアライン構造とすることが望ましい。ゲート電極4をマスクにしてゲート絶縁膜3を介してポリシリコン層2に不純物導入を行う。チャネル領域23には、不純物は導入されない。
次に、図3(g)において、ゲート電極4及び第2のゲート絶縁膜32の上に層間絶縁層5を形成する。層間絶縁層5は、水素の拡散を抑制するために、例えばシリコン窒化膜とすることが好ましい。層間絶縁層5を形成した後、350〜500℃の熱処理を行う。この熱処理によって、ゲート絶縁膜3等の酸化膜中の水素が拡散し、ポリシリコン層2内に存在するシリコン原子のダングリングボンドに結合する。これにより、TFT特性劣化の原因となるトラップ準位が低減する。すなわち、Vthやキャリア移動度等のTFT特性が向上する。
さらに、ソース領域21やドレイン領域22が露出するようゲート絶縁膜3及び層間絶縁層5にコンタクトホールを形成する。そして、層間絶縁層5の上から、Alやその合金などの導電膜を成膜する。この導電膜を通常の写真製版法等によってパターニングすると、図3(h)のように配線層6が形成される。配線層6は、例えば図1に示したソース配線44となる。以上の工程を経て、本発明のTFT50が完成する。
このように、本発明では、ゲート絶縁膜3を第1のゲート絶縁膜31と第2のゲート絶縁膜31の二層から成る構成とする。そして、第1のゲート絶縁膜31は、ポリシリコン層2を覆うよう絶縁基板1の略全面に形成された後、平坦化処理によりポリシリコン層2の表面がある程度露出するまで全面がほぼ平坦に除去される。これにより、ポリシリコン層2表面は凸部が除去され、平坦化される。そして、ゲート絶縁膜3の膜厚をほぼ均一に形成することが可能となる。従って、ゲート耐圧が向上し、TFT製品の歩留まり及び信頼性が向上する。
また、平坦化処理後、絶縁基板1の略全面において第1のゲート絶縁膜31の表面はほぼ平坦となる。すなわち、ポリシリコン層2のテーパー部に形成されるゲート絶縁膜31と、ポリシリコン層2の中央部とは、ほぼ同じ高さとなる。そして、ポリシリコン層2及び第1のゲート絶縁膜31を含む除去面上に第2のゲート絶縁膜32が形成される。従って、ポリシリコン層2のテーパー部に形成されるゲート絶縁膜3は通常膜厚部より厚い膜厚となる。これにより、(1)式においてポリシリコン膜厚tSiのテーパー部における薄膜効果を抑制する。そして、サブスレッショールド特性において肩の発生が抑制され、安定したTFTの閾値電圧Vthを得ることができる。また、ポリシリコン層2を含むゲート絶縁膜31の表面全体がほぼ平坦となり、その上に第2のゲート絶縁膜32が形成されることで、ポリシリコン層2のテーパー部はゲート絶縁膜3によって完全に覆われる。これにより、ポリシリコン層2のテーパー部に起因するゲート絶縁耐圧不良が解決される。
さらに、本発明では、ポリシリコン層2上に直接平坦化処理を行わず、第1のゲート絶縁膜31上からポリシリコン層2の表面がある程度露出するまで平坦化処理を行う。従って、ポリシリコン層2の膜厚制御が容易になり、膜厚のばらつきが抑制される。そして、(1)式に示すように、Vthが安定する。
なお、本発明では、CMP法を用いて第1のゲート絶縁膜31及びポリシリコン層2を平坦化処理する場合について例示的に説明をしたが、エッチバックにより平坦化することも可能である。まず、第1のゲート絶縁膜31の上に平坦性の良い平坦化膜を塗布する。平坦化膜として転写工程で用いるフォトレジストを使用すると、特殊設備の導入が不要になる。パターニングが不要なため、感光剤を含まないベース樹脂を平坦化膜として使用しても良い。また、多層配線の絶縁膜材料に用いられる有機SOG、有機SOD、又は無機SOGを使用しても良い。そして、エッチバックについては、被エッチング材のエッチング速度がほぼ同等となる方法を選択する。例えば、ポリシリコン層2、ゲート絶縁膜31、及び平坦化膜のエッチング速度が近い方法として、C3F8、C2F6、及びCHF3ガスを用いたRIEを行う。但し、これらのガスを用いる場合は汚染物の付着が多くなるため、エッチバック後はゲート絶縁膜31表面を充分に洗浄する必要がある。これにより、CMP法と同様に、ポリシリコン層2の凸部を含むゲート絶縁膜31を平坦化することができる。
また、本発明では、層間絶縁層5を水素の拡散を抑制する膜によって形成する場合について例示的に説明をしたが、水素を多く含む膜によって形成しても良い。その場合は、層間絶縁層5及び配線層6を覆う上部絶縁層(図示せず)を水素の拡散を抑制する膜によって形成する。そして、上部絶縁層(図示せず)の形成後、350〜500℃の熱処理を行う。これにより、層間絶縁層5を水素の拡散を抑制する膜によって形成する場合と同様の効果が得られる。すなわち、トラップ準位が低減し、TFT特性が向上する。
本発明ではセルフアライン構造のTFTの場合について例示的に説明をしたが、GOLD構造を含むLDD構造のTFTとすることも可能である。いずれもセルフアライン構造のTFTと同様の効果を奏する。
1 絶縁基板、2 ポリシリコン層、3 ゲート絶縁膜、
4 ゲート電極、5 層間絶縁層、6 配線層、
21 ソース領域、22 ドレイン領域、23 チャネル領域
31 第1のゲート絶縁膜、32 第2のゲート絶縁膜、
41 表示領域、42 額縁領域、43 ゲート配線、44 ソース配線、
45 走査信号駆動回路、46 表示信号駆動回路、
47 画素、48、49 外部配線、50 TFT
4 ゲート電極、5 層間絶縁層、6 配線層、
21 ソース領域、22 ドレイン領域、23 チャネル領域
31 第1のゲート絶縁膜、32 第2のゲート絶縁膜、
41 表示領域、42 額縁領域、43 ゲート配線、44 ソース配線、
45 走査信号駆動回路、46 表示信号駆動回路、
47 画素、48、49 外部配線、50 TFT
Claims (13)
- 基板上に形成された所定のパターン形状を持つポリシリコン層と、
前記ポリシリコン層を覆うように形成されたゲート絶縁膜と、を備えた薄膜トランジスタアレイ基板であって、
前記ゲート絶縁膜は、
前記基板及び前記ポリシリコン層の表面に設けられた第1のゲート絶縁膜と、
前記ポリシリコン層、及び前記第1のゲート絶縁膜を覆うように形成された第2のゲート絶縁膜と、を備え、
前記ポリシリコン層の表面と前記第1のゲート絶縁膜の表面とが同じ研磨面となっている薄膜トランジスタアレイ基板。 - 前記ポリシリコン層のパターン周辺部における前記第1のゲート絶縁膜が、前記ポリシリコン層の表面と略同じ高さである請求項1記載の薄膜トランジスタアレイ基板。
- 基板上に形成された所定のパターン形状を持つポリシリコン層と、
前記ポリシリコン層を覆うように形成されたゲート絶縁膜と、を備えた薄膜トランジスタアレイ基板であって、
前記ゲート絶縁膜は、
前記基板及び前記ポリシリコン層の表面に設けられた第1のゲート絶縁膜と、
前記ポリシリコン層、及び前記第1のゲート絶縁膜を覆うように形成された第2のゲート絶縁膜と、を備え、
前記第1のゲート絶縁膜の表面が前記ポリシリコン層の表面と略同じ高さであり、
前記ポリシリコン層のパターン端部及びパターン周辺部における前記第1のゲート絶縁膜が、前記ポリシリコン層の表面と略同じ高さである薄膜トランジスタアレイ基板。 - 前記第1のゲート絶縁膜及び前記第2のゲート絶縁膜は酸化シリコンを含む請求項1、2又は3記載の薄膜トランジスタアレイ基板。
- 前記第2のゲート絶縁膜は、水素を1mol%以上含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタアレイ基板。
- 前記ポリシリコン層は、所定パターン形状の端部がテーパー形状を持つことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタアレイ基板。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタアレイ基板を有する表示装置。
- 基板上に凹凸の表面を有するポリシリコン層を形成する工程と、
前記ポリシリコン層を所定のパターン形状に加工する工程と、
前記ポリシリコン層を覆うように第1のゲート絶縁膜を堆積する工程と、
前記第1のゲート絶縁膜及び前記ポリシリコン層を前記ポリシリコン層表面が露出するまで除去して平坦化する工程と、
前記除去された第1のゲート絶縁膜上に、前記ポリシリコン層、及び前記第1のゲート絶縁膜を覆うように第2のゲート絶縁膜を形成する工程と、を備える薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法。 - 前記第1のゲート絶縁膜及び前記ポリシリコン層を平坦化する工程では、化学的機械研磨を用いることを特徴とする請求項8記載の薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法。
- 前記第1のゲート絶縁膜及び前記ポリシリコン層を平坦化する工程では、
前記第1のゲート絶縁膜上に平坦化膜を塗布し、
前記平坦化膜とともに前記第1のゲート絶縁膜及び前記ポリシリコン層を前記ポリシリコン層表面が露出するまでエッチングして平坦化することを特徴とする請求項8記載の薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法。 - 前記第1のゲート絶縁膜及び前記第2のゲート絶縁膜として、酸化シリコンを用いる請求項8、9又は10記載の薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法。
- 前記第2のゲート絶縁膜は、水素を1mol%以上含むことを特徴とする請求項8乃至11のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法。
- 前記第1のゲート絶縁膜及び第2のゲート絶縁膜は、TEOSを用いたCVDによって形成される請求項11又は12記載の薄膜トランジスタの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006216502A JP2008042044A (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | 薄膜トランジスタアレイ基板、その製造方法、及び表示装置 |
TW096125058A TW200814332A (en) | 2006-08-09 | 2007-07-10 | Thin film transistor array substrate, manufacturing method thereof and display device |
US11/833,586 US20080035933A1 (en) | 2006-08-09 | 2007-08-03 | Thin film transistor array substrate, manufacturing method thereof and display device |
KR1020070079361A KR100879040B1 (ko) | 2006-08-09 | 2007-08-08 | 박막 트랜지스터 어레이 기판, 그 제조 방법 및 표시장치 |
CN200710140718.0A CN101123276A (zh) | 2006-08-09 | 2007-08-09 | 薄膜晶体管阵列基板、其制造方法和显示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006216502A JP2008042044A (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | 薄膜トランジスタアレイ基板、その製造方法、及び表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008042044A true JP2008042044A (ja) | 2008-02-21 |
Family
ID=39049816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006216502A Pending JP2008042044A (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | 薄膜トランジスタアレイ基板、その製造方法、及び表示装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080035933A1 (ja) |
JP (1) | JP2008042044A (ja) |
KR (1) | KR100879040B1 (ja) |
CN (1) | CN101123276A (ja) |
TW (1) | TW200814332A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010204014A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Nissan Motor Co Ltd | 圧力センサーおよびその製造方法ならびにステアリング装置 |
JP2011134754A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Casio Computer Co Ltd | 薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタの製造方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110227075A1 (en) * | 2008-12-05 | 2011-09-22 | Dupont Displays, Inc. | Backplane structures for solution processed electronic devices |
KR20110106334A (ko) * | 2008-12-05 | 2011-09-28 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 용액 처리된 전자 소자용 백플레인 구조물 |
TWI570920B (zh) | 2011-01-26 | 2017-02-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置及其製造方法 |
US9611133B2 (en) * | 2014-09-11 | 2017-04-04 | Invensense, Inc. | Film induced interface roughening and method of producing the same |
KR102647695B1 (ko) * | 2016-08-12 | 2024-03-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
KR102619722B1 (ko) * | 2016-10-27 | 2024-01-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 트랜지스터 표시판의 제조 방법 및 이에 이용되는 연마 슬러리 |
KR102544980B1 (ko) * | 2018-03-08 | 2023-06-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 기판, 이를 구비한 디스플레이 장치, 박막트랜지스터 기판 제조방법 및 디스플레이 장치 제조방법 |
KR102596210B1 (ko) * | 2018-05-25 | 2023-10-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | Tft 기판 및 이를 포함한 표시장치 |
US20210343818A1 (en) * | 2018-09-06 | 2021-11-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing active matrix substrate, and active matrix substrate |
KR20200042971A (ko) * | 2018-10-16 | 2020-04-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시패널 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001274410A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JP4341062B2 (ja) * | 2003-02-12 | 2009-10-07 | 日本電気株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
KR100685421B1 (ko) * | 2004-11-18 | 2007-02-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막트랜지스터 및 그 제조 방법 |
-
2006
- 2006-08-09 JP JP2006216502A patent/JP2008042044A/ja active Pending
-
2007
- 2007-07-10 TW TW096125058A patent/TW200814332A/zh unknown
- 2007-08-03 US US11/833,586 patent/US20080035933A1/en not_active Abandoned
- 2007-08-08 KR KR1020070079361A patent/KR100879040B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-08-09 CN CN200710140718.0A patent/CN101123276A/zh active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100879040B1 (ko) | 2009-01-15 |
KR20080013804A (ko) | 2008-02-13 |
US20080035933A1 (en) | 2008-02-14 |
CN101123276A (zh) | 2008-02-13 |
TW200814332A (en) | 2008-03-16 |
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