JP2008042032A - ステージ駆動方法及び該方法を用いたレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ加工を行う加工対象物が載置されたステージを、第1の軸方向及び該第1の軸と垂直な第2の軸方向に移動させ、前記加工対象物に対する照射領域にレーザ光を照射させるためのステージ駆動方法において、前記照射領域内で前記レーザ光を照射する照射ステップと、前記第1の軸又は前記第2の軸に対して前記ステージを平行移動又は改行移動させながら、前記レーザ光が前記照射領域の全体を照射するようにステージを駆動する駆動ステップとを有し、前記駆動ステップは、前記レーザ光の照射位置が照射領域外に移動してから次の行の照射領域内へ改行移動する際、移動の軌跡に三角形状部分を有することにより、上記課題を解決する。
【選択図】図1
Description
本発明では、レーザ光の照射位置が照射領域外へ移動した場合における次の行への移動において、予め設定された第1の軸(例えばX軸、長軸)及び第1の軸に垂直な第2の軸(例えばY軸、短軸)を同時に移動させることにより、時間短縮を実現する。更に、基板等の加工対象物を移動させるステージを例えば第1の軸方向に往復移動させ、往路、復路の何れにおいても加工を行う。また、照射領域外における第1の軸、第2の軸の移動を所定の軌跡で移動させることにより、今までの進行方向に対して改行後の逆方向への移動をスムーズに行うことができ、無駄な移動時間を短縮させて、レーザ加工におけるスループットを向上することができる。
図1は、本発明におけるステージ駆動方法の第1の実施例を説明するための図である。図1に示すように、ステージ11上の所定位置に加工対象物としての基板12が載置されている。ここで、ステージ11は、少なくとも図1に示すX軸(第1の軸)、Y軸(第2の軸)の何れか一方向又は両方向への移動が可能な駆動手段を設けている。
次に、本発明におけるステージ駆動方法の第2の実施例について説明する。図2は、本発明におけるステージ駆動方法の第2の実施例を説明するための図である。図2も図1と同様に、ステージ11上の所定位置に加工対象物としての基板12が載置されている。
次に、本発明におけるステージ駆動方法の他の実施例について説明する。図3は、本発明におけるステージ駆動方法の他の実施例を説明するための図である。図3も上述した実施例と同様に、ステージ11上の所定位置に加工対象物としての基板12が載置されている。
次に、上述したステージ駆動方法によりレーザ加工を実現するためのレーザ加工装置について図を用いて説明する。図4は、本発明におけるレーザ加工装置の一構成例を示す図である。図4に示すレーザ加工装置20は、制御手段21と、レーザ発振器22と、遮断手段としてのシャッタ23と、反射ミラー24と、マスク25と、光学系としての結像レンズ26と、ステージ駆動手段27と、ステージ11とを有するよう構成されている。なお、ステージ11上には、上述と同様に加工対象物として基板12が所定位置に載置されている。
ここで、本発明における実施例を用いた場合における移動時間について説明する。なお、以下の説明では、所定の速度で照射領域へのレーザ光の照射を行い、その後照射領域外へ移動してから、次の行に改行移動し、照射領域内へ所定の速度で進入するまでの移動時間について従来と本実施例との比較を行う。
まず、本発明の効果を明確にするため、従来例として上述した特許文献1に示されるステージ移動における処理時間について説明する。
0=v0x−ax・t1
t1=v0x/ax
となり、このステップに要する時間は、v0x/axとなる。また、この間に進む距離x1は、以下に示す(1)式で求められる。
T1=2(v0x/ax)+2√(Sy/ay)
となる。
次に、上述した第1の実施例におけるレーザ光の照射領域外での処理時間について説明する。
次に、上述した第2の実施例におけるレーザ光の照射領域外での処理時間について説明する。
(1/2)ay(v0x/ax)2=(1/2)Sy
ay=ax 2Sy/v0x 2
の関係が成立する必要がある。
12 基板
13 移動開始点
14 移動終了点
15 移動経路
20 レーザ加工装置
21 制御手段
22 レーザ発振器
23 シャッタ
24 反射ミラー
25 マスク
26 結像レンズ
27 ステージ駆動手段
30 加工計画パラメータ
Claims (8)
- レーザ加工を行う加工対象物が載置されたステージを、第1の軸方向及び該第1の軸と垂直な第2の軸方向に移動させ、前記加工対象物に対する照射領域にレーザ光を照射させるためのステージ駆動方法において、
前記照射領域内で前記レーザ光を照射する照射ステップと、
前記第1の軸又は前記第2の軸に対して前記ステージを平行移動又は改行移動させながら、前記レーザ光が前記照射領域の全体を照射するようにステージを駆動する駆動ステップとを有し、
前記駆動ステップは、前記レーザ光の照射位置が照射領域外に移動してから、前記第1の軸及び前記第2の軸を同時に制御しながら、次の行の照射領域内へ改行移動することを特徴とするステージ駆動方法。 - 前記駆動ステップは、
前記改行移動する際、移動の軌跡に三角形状部分を有することを特徴とする請求項1に記載のステージ駆動方法。 - 前記駆動ステップは、
前記改行移動する際、移動の軌跡に半楕円形状又は半円形状部分を有することを特徴とする請求項1に記載のステージ駆動方法。 - 前記レーザ光の照射位置が前記照射領域外に移動した際、前記加工対象物への前記レーザ光の照射を遮断手段により遮断するよう制御する遮断制御ステップを有し、
前記駆動ステップは、前記遮断制御ステップによる遮断開始の制御信号を契機として、前記ステージを所定の軌跡で改行移動させることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のステージ駆動方法。 - レーザ加工を行う加工対象物が載置されたステージを、第1の軸方向及び該第1の軸と垂直な第2の軸方向に移動させ、前記加工対象物の照射領域にレーザ光を照射させるためのステージ駆動方法を用いたレーザ加工装置において、
前記加工対象物にレーザ光を照射するレーザ発振器と、
前記第1の軸又は第2の軸に対して前記ステージを平行移動又は改行移動させながら、前記レーザ光が前記照射領域の全体を照射するようにステージを駆動する駆動手段と、
前記レーザ発振器におけるレーザ光の照射及び前記駆動手段における前記ステージの移動を制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、前記レーザ光の照射位置が照射領域外に移動してから、前記第1の軸及び前記第2の軸を同時に制御しながら、次の行の照射領域内へ改行移動するように、前記駆動手段に前記ステージを駆動させることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記制御手段は、
前記改行移動する際、移動の軌跡に三角形状部分を有するように、前記駆動手段に前記ステージを駆動させることを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工装置。 - 前記制御手段は、
前記改行移動する際、移動の軌跡に半楕円形状又は半円形状部分を有するように、前記駆動手段に前記ステージを駆動させることを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ光の照射位置が前記照射領域外に移動した際、前記加工対象物への前記レーザ光の照射を遮断する遮断手段を有し、
前記制御手段は、前記遮断手段に遮断開始の制御信号を出力するのを契機として、前記ステージが所定の軌跡で改行移動するように前記駆動手段に前記ステージを駆動させることを特徴とする請求項5乃至7の何れか1項に記載のレーザ加工装置。
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