JP2014111259A - レーザ加工方法、レーザ加工装置及びレーザ加工プログラム - Google Patents
レーザ加工方法、レーザ加工装置及びレーザ加工プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014111259A JP2014111259A JP2012262216A JP2012262216A JP2014111259A JP 2014111259 A JP2014111259 A JP 2014111259A JP 2012262216 A JP2012262216 A JP 2012262216A JP 2012262216 A JP2012262216 A JP 2012262216A JP 2014111259 A JP2014111259 A JP 2014111259A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser processing
- processing method
- speed
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】板状のワークをレーザビームにより直線部と曲線部を交互に含む軌道にそって溝又は切断加工する場合、曲線部において減速させなくてはならなく、加工時間が長くなっていた。
【解決手段】減速領域(220)においてはXYテーブル(13)を減速し、曲線部(230)においては、XYテーブル(13)をそのまま減速させながらX方向のガルバノミラー(9)及びY方向のガルバノミラー(10)を駆動し、かつXYテーブル(13)をY方向への加速も開始させ、それらの合成速度でビームを円運動させ、円運動の終了と同時にXYステージが90°の円運動の終了と同時にXYステージが初期移動方向の移動を停止するような設定にする。
【選択図】図2
【解決手段】減速領域(220)においてはXYテーブル(13)を減速し、曲線部(230)においては、XYテーブル(13)をそのまま減速させながらX方向のガルバノミラー(9)及びY方向のガルバノミラー(10)を駆動し、かつXYテーブル(13)をY方向への加速も開始させ、それらの合成速度でビームを円運動させ、円運動の終了と同時にXYステージが90°の円運動の終了と同時にXYステージが初期移動方向の移動を停止するような設定にする。
【選択図】図2
Description
本発明は、曲線状の軌道を含む溝又は切断を板状のワークにレーザ加工する方法、レーザ加工装置及びレーザ加工プログラムに係るものである。
近年、携帯電話のガラス窓などのように、ガラスなどの板状の基板をレーザで溝あるいは切断加工する必要が出てきている。しかしながら、角部あるいは曲線状の溝加工においては、例えば、特許文献1又は2に開示されているように、角部や曲線状の部分ではワークを載置しているテーブル等を減速させなければならなく、エネルギー過多による加工品質の低下を防止するためにはレーザパワーやレーザパルス間隔を調整する必要のあることが知られている。
図4は、従来技術による曲線の溝加工の様子を示す。曲線部23は円弧状(半径R(m),4分の1円)とした。ワークの載置したテーブル又はレーザヘッドが相対的に駆動され、まず直線部21を等速(Vtx=V0(m/s))で溝加工される。その後減速領域22で減速され、円弧部では等速(接線速度Vr0(m/s))で加工され、直線部24で加速され、直線部25で等速加工(Vty=V0)される。図は、減速領域22の途中まで溝加工された状態を示す。この間、速度変化に応じて、照射されるレーザエネルギー密度を一定にするためにレーザパワー又はパルス間隔が調整される。
図4の加工における緒元の計算式は次のようになる。まず、円弧状の等速運動の速さVr0を求める。減速領域、加速領域での加速度を、この系において振動等の不具合の発生しない最大の値α(m/s2)とすると、等速円弧運動における加速度のX成分の最大値は、その終点におけるRω0 2=Vr0 2/R(∵Vr0=Rω0 ここで、ω0は等速円弧運動の角振動数)であるから、これをαに等しくしなければならない。即ち、Vr0 2/R=αであり、これによりVr0が次の式(1)のように求まる。
板状の基板をレーザで溝あるいは切断加工において、角部や曲線部での減速のために加工時間が延びるという問題があった。本願は、角部や曲線状部における減速をできるだけ抑え、加工速度を向上できるレーザ加工方法を提供することを目的とする。
図1〜2を参照して説明すると、板状のワーク(12)を載置しX及びY方向に駆動可能なXYテーブル(13)と、レーザ発振器(1)から出射されたレーザビーム(5)をX及びY方向に偏向できるガルバノミラー(9,10)を有し、レーザビーム(5)をワーク(12)上に集光できる集光レンズ(11)を有するレーザ加工装置を用い、レーザビーム(5)により直線部(210,220,240,250)と曲線部(230)を交互に含む軌道にそって溝又は切断加工するレーザ加工方法において、減速領域(220)においてはXYテーブル(13)を減速し、曲線部(230)においては、XYテーブル(13)をそのまま減速させながらX方向のガルバノミラー(9)及びY方向のガルバノミラー(10)を駆動し、かつXYテーブル(13)をY方向への加速も開始させ、それらの合成速度でビームを円運動させ、90°の円運動の終了と同時にXYステージが初期移動方向の移動を停止するような設定にして、レーザビーム(5)を照射することにより溝加工を行うと良い。
なお、上記カッコ内の符号は、図面と対照するためのものであるが、これにより特許請求の範囲の記載に何等影響を及ぼすものではない。
板状の基板をレーザで溝あるいは切断加工において、曲線部の加工速度を向上できるので、加工時間を短縮できる。
以下、本発明に好適な実施の形態について図面を用いて説明する。図1は、本発明に係るレーザ加工装置の模式図である。レーザ発振器1から出射されたレーザビーム2はコリメータ3によりビーム径及拡がり角を調整され、音響光学変調器(AOM)4により強度調整されたレーザビーム5となる。この後、レーザビーム5はシャッタ8を経由してX方向に偏向可能なガルバノミラー9及びY方向に偏向可能なガルバノミラー10で偏向され、集光レンズ(fθレンズ)11で、X及びY方向に駆動可能なXYテーブル13に載置された板状のワーク12上に集光される。ここで、本実施の形態によるレーザ加工装置においてはAOM4の0次回折光5を使用するため、超音波がONになっていても透過してしまう20%程度のパワーを遮断するためにシャッタ8を設けてある。AOM4の1次回折光を加工に用いる場合は、シャッタ8は必要ない。また、本例においては、AOM4に印加する超音波の強度を調節することによってレーザビーム5の強度を加工に適した値に調整できる。制御部(図示せず)は記憶したプログラムに基づいてこれら全ての要素を制御している。
図2は、本発明のレーザ加工方法の一実施例を説明する図である。図は加工軌道の一部を示し、前側の直線部210、減速領域220、曲線部230、加速領域240、後側の直線部250からなり、曲線部230は半径Rの円弧状(4分の1円)である。ワーク12として樹脂層が間に挟まれたガラス板を用いた。このように、樹脂層が間に挟まれたガラス板の場合、UVやグリーンレーザを用いると間の樹脂層だけが加工されてしまうため、炭酸ガスレーザを用いると良いことがわかった。本実施例においてはレーザ発振器1として連続発振の炭酸ガスレーザを用いた。また、fθレンズ11の加工領域は70mm角である。
ここで、レーザ加工に通常用いられるAOM4の1次回折光6を使用することも考えられるが、次のような理由により大パワーを必要とする溝又は切断加工には0次回折光5の方が適している。まず、AOM4の1次回折光6はレーザ発振器1から出射されたレーザ強度の80%程度しか使用できない。しかも炭酸ガスレーザ発振器から出射されたレーザビーム2には9.2〜10.8μmの複数の波長が含まれているため、1次回折光6は波長に依存して回折角が変化するため1次回折光6を用いて精度の良い加工を行なうためにはフィルタ等で波長限定せざるを得ないため、さらに加工エネルギーが低下してしまうことによる。
直線部210においては一定の移動速さV0=VtxでXYテーブル13をX方向(初期移動方向)に駆動し、減速領域220においてはXYテーブル13を減速(Vtx)し、曲線部230においては、XYテーブル13をそのまま減速させながらX方向のガルバノミラー9(ビームの移動速度Vgx)及びY方向のガルバノミラー10(ビームの移動速度Vgy)を駆動し、かつXYテーブル13をY方向への加速(Vty)も開始させ、それらの合成速度でビームを円運動させる。即ち、Vtx+Vgx=Vr1cosω1t,Vty+Vgy=Vr1sinω1tとなるようにする。ここで、Vr1は等速円弧運動の接線速度であり、ω1はその角振動数である。言うまでもないが、Vr1=Rω1の関係がある。そして、円運動の終了とXYステージのX方向の移動停止を一致させる。加速領域240においてはXYテーブル13をY方向に加速し、直線部250においては移動速さを同じ(V0=Vty)になるようにしてXYテーブル13を駆動して、レーザビーム5を照射することにより溝加工を行う。レーザパワーはその速さ変化に同期させて照射エネルギー密度が一定になるように調節する。
本実施例で加工を行う際の諸元の計算式を次に示す。減速領域、加速領域での加速度を、この系において振動等の不具合の発生しない最大の値α(m/s2)とし、まず、減速開始からX方向の移動停止までの距離s1(m)は次の(5)のようになる。
これを用いて、減速に要する距離x11(m)は、
と求まる。また、等速円弧運動の接線速度Vr1(m/s)は、(4)式と同様に考えれば、x11=(V0 2−Vr1 2)/2αであることより、
と求まり、減速に要する時間t11(s)はt11=(V0−Vr1)/αより求まる。また、この接線速度で4分の1回転するのに要する時間tr1(s)は、
と求まる。
表1は、直線速度V0,加減速加速度α,円弧半径Rを変えたときの本実施例の諸元、即ち円弧部速さ(接線速度)Vr1,円弧部時間tr1,減速時間t11,減速距離x11,円弧部及びその前後の加減速時間tr1+2t11,減速開始から初期移動方向の移動停止までの距離s1を示す。
ここで、V0=1 m/s,α=1G(9.8m/s2)はXYテーブル13がボールねじ駆動の場合、V0=2m/s,α=2GはXYテーブル13がリニアモータ駆動の場合を示す。ここで、V0=1m/s,α=1Gにおいて、円弧半径Rが約51mm以上の場合には円弧部において全く減速すること無しに加工が可能である(即ち、V0=Vr1)。また、円弧半径の上限はfθレンズ11の加工領域の広さ(本実施例の場合70mm角)で決定される。
図3は、本発明のレーザ加工方法の他の実施例を説明する図であり、前側直線部210と後側の直線部251が90度以外の角度をなす場合を示す。用いるレーザ加工装置、ワークは実施例1で用いたものと同じである。曲線部231を実施例1と同様に半径Rの円弧状とした。直線部210においては一定の移動速さV0=VtxでXYテーブル13をX方向に駆動し、減速領域220においてはXYテーブル13を減速(Vtx)し、曲線部231においては、XYテーブル13をそのまま減速させながらX方向のガルバノミラー9(ビームの移動速度Vgx)及びY方向のガルバノミラー10(ビームの移動速度Vgy)を駆動し、かつXYテーブル13をY方向への加速(Vty)も開始させ、それらの合成速度でビームを円運動させる。本実施例においては円弧運動の途中で円弧が終了するため、Vtx、Vgx、Vgyは0m/sにならないが、90°の円運動の終了と同時にXYステージが初期移動方向の移動を停止するような設定にする点は同様である。次の加速領域241においては、その領域の終了までにVgx、Vgyを0m/sになるようにし、またXYテーブル13のX方向とY方向の速度も調整し、レーザビーム5を照射することにより溝加工を行う。レーザパワーはその速さ変化に同期させて照射エネルギー密度が一定になるように調節する。
本発明において、大きな曲線部を複数個所設ける場合はガルバノミラーの動作のためのfθレンズ11の加工領域を確保しなければならないので、加工領域が足りなくなる可能性がある。このような場合、直線部の加工時においてXYテーブル13とガルバノミラー9,10の動作を相殺させながらガルバノミラー9,10の照射位置(角度)を移動させ、次の曲線部と加減速領域を考慮した位置にしておくと良い。
上記実施例では曲線部として円弧状を用いたが、曲線部は動作の速いガルバノミラーを用いるため、円弧以外の曲線でも問題なく加工できることは容易に理解できる。
1 レーザ発振器
2 レーザビーム
3 コリメータ
4 AOM
5 0次ビーム
6 1次ビーム
7 ビームダンパー
8 シャッタ
9 第1ガルバノミラー
10 第2ガルバノミラー
11 fθレンズ
12 ワーク
13 テーブル
21,210 等速領域
22,220 減速領域
23,230,231 等速領域
24,240,241 加速領域
25,250,251 等速領域
2 レーザビーム
3 コリメータ
4 AOM
5 0次ビーム
6 1次ビーム
7 ビームダンパー
8 シャッタ
9 第1ガルバノミラー
10 第2ガルバノミラー
11 fθレンズ
12 ワーク
13 テーブル
21,210 等速領域
22,220 減速領域
23,230,231 等速領域
24,240,241 加速領域
25,250,251 等速領域
Claims (5)
- 板状のワークを載置しX及びY方向に駆動可能なXYテーブルと、
レーザ発振器から出射されたレーザビームをX及びY方向に偏向できるガルバノミラーを有し、
レーザビームをワーク上に集光できる集光レンズを有するレーザ加工装置を用い、
レーザビームにより直線部と曲線部を交互に含む軌道にそって溝又は切断加工するレーザ加工方法において、
減速領域においてはXYテーブルを減速し、
曲線部においては、XYテーブルをそのまま減速させながらX方向のガルバノミラー及びY方向のガルバノミラーを駆動し、かつXYテーブルをY方向への加速も開始させ、それらの合成速度でビームを円運動させ、90°の円運動の終了と同時にXYステージが初期移動方向の移動を停止するような設定にして、レーザビームを照射する
ことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記レーザ発振器を連続発振式の炭酸ガスレーザとすることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工方法。
- 前記加減速領域以外の直線部の加工時において、XYテーブルとガルバノミラーの動作を相殺させながらガルバノミラーの照射位置(角度)を次の曲線部に関する加減速領域を考慮した位置に移動しておくことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工方法。
- 請求項1〜4記載の加工方法を実行する制御部を有することを特徴とするレーザ加工装置。
- レーザ加工装置の制御部に請求項1〜4記載のレーザ加工方法を実行させるプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012262216A JP2014111259A (ja) | 2012-11-09 | 2012-11-30 | レーザ加工方法、レーザ加工装置及びレーザ加工プログラム |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012247080 | 2012-11-09 | ||
JP2012247080 | 2012-11-09 | ||
JP2012262216A JP2014111259A (ja) | 2012-11-09 | 2012-11-30 | レーザ加工方法、レーザ加工装置及びレーザ加工プログラム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014111259A true JP2014111259A (ja) | 2014-06-19 |
Family
ID=51168818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012262216A Pending JP2014111259A (ja) | 2012-11-09 | 2012-11-30 | レーザ加工方法、レーザ加工装置及びレーザ加工プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014111259A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101608189B1 (ko) | 2014-06-30 | 2016-04-01 | 삼성중공업 주식회사 | 레이저 용접장치 및 레이저 용접방법 |
KR101745467B1 (ko) * | 2015-10-22 | 2017-06-09 | 이노6 주식회사 | 기판 가공 방법 |
-
2012
- 2012-11-30 JP JP2012262216A patent/JP2014111259A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101608189B1 (ko) | 2014-06-30 | 2016-04-01 | 삼성중공업 주식회사 | 레이저 용접장치 및 레이저 용접방법 |
KR101745467B1 (ko) * | 2015-10-22 | 2017-06-09 | 이노6 주식회사 | 기판 가공 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101419336B (zh) | 一种振镜式激光三维扫描系统 | |
JP6362130B2 (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
US11420288B2 (en) | Laser machining systems and methods | |
KR20150126603A (ko) | 테이퍼 제어를 위한 빔 각도 및 작업물 이동의 공조 | |
JP2013010113A (ja) | レーザ光によるワーク加工装置 | |
JP5861494B2 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP5392943B2 (ja) | レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法 | |
CN105269146A (zh) | 分割薄半导体衬底的方法 | |
WO2020036021A1 (ja) | レーザ加工機及びレーザ加工方法 | |
JP2009178720A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2023552942A (ja) | レーザ加工システムおよび方法 | |
JP2014111259A (ja) | レーザ加工方法、レーザ加工装置及びレーザ加工プログラム | |
JP6030747B2 (ja) | レーザビームによるガラス基板加工装置 | |
KR20170025997A (ko) | 레이저 가공장치 및 이를 이용한 레이저 가공방법 | |
JP6422182B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
WO2020075632A1 (ja) | レーザ加工機及びレーザ加工方法 | |
JP2017051961A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2011036869A (ja) | レーザ加工方法 | |
CN110899964A (zh) | 轴调光斑方法及其系统 | |
JP6622876B1 (ja) | レーザ加工機及びレーザ加工方法 | |
JPS5913589A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
KR20180055293A (ko) | 레이저 가공 장치 및 방법 | |
JP7144119B2 (ja) | レーザー加工装置およびレーザー加工装置による長尺状の被加工物の加工方法 | |
JP2017104875A (ja) | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 | |
JP4376221B2 (ja) | スキャン光学ユニット及びその制御方法並びにレーザ加工装置 |