JP2011167723A - レーザ照射装置およびレーザ照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ照射装置は、レーザ光Lを発振するレーザ発振器21と、レーザ発振器21から発振されるレーザ光Lを案内するとともに当該レーザ光Lを端面から外部に照射する複数の光ファイバ25と、光ファイバ25の端面を被処理体60に対して相対的に加工進行方向PDに沿って移動させる加工移動部35と、を備えている。レーザ照射装置は、複数の光ファイバ25のうちの少なくとも一つに連結され、当該光ファイバ25の端面を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させるファイバ移動部10と、光ファイバ25の端面から照射されるレーザ光Lの各々が入射される一つの結像レンズ17も備えている。
【選択図】図1
Description
レーザ光を発振するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から発振されるレーザ光を案内するとともに当該レーザ光を端面から外部に照射する複数の光ファイバと、
前記光ファイバの端面を被処理体に対して相対的に加工進行方向に沿って移動させる加工移動部と、
前記光ファイバの端面から照射されるレーザ光の各々が入射される一つの結像レンズと、
前記複数の光ファイバのうちの少なくとも一つに連結され、該光ファイバの端面を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させるファイバ移動部と、
を備えている。
前記ファイバ移動部は、光ファイバの端面を、前記結像レンズの光軸に対して軸対称の位置関係を保ちつつ移動させてもよい。
前記ファイバ移動部は光ファイバの各々に連結され、該光ファイバの端面の各々を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させてもよい。
前記複数の光ファイバのうちの少なくとも一つは前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動せず固定されてもよい。
前記光ファイバの端面が矩形状からなってもよい。
前記光ファイバの端面の各々は、加工進行方向に沿って互いにずれた位置に配置されており、
前記光ファイバの端面から照射されるレーザ光による被処理体上の加工箇所は、前記加工進行方向に直交する方向で重複してもよい。
複数の光ファイバ内でレーザ発振器から発振されるレーザ光を案内し、当該光ファイバの端面の各々からレーザ光を外部に照射させた後、当該レーザ光を一つの結像レンズに入射させ、その後、当該レーザ光を前記被処理体で結像させる工程と、
前記光ファイバの端面を被処理体に対して相対的に加工進行方向に沿って移動させる工程と、
前記複数の光ファイバのうちの少なくとも一つの端面を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させる工程と、
を備えている。
前記光ファイバの端面を、前記結像レンズの光軸に対して軸対称の位置関係を保ちつつ移動させてもよい。
以下、本発明に係るレーザ照射装置およびレーザ照射方法の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図7は本発明の実施の形態を示す図である。
10 ファイバ移動部(アクチュエータ)
17 結像レンズ
21 レーザ発振器
25 光ファイバ
35 加工移動部
50 制御装置
60 被加工基板
61 ガラス基板(基板)
62 薄膜
L レーザ光
Claims (8)
- レーザ光を発振するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から発振されるレーザ光を案内するとともに当該レーザ光を端面から外部に照射する複数の光ファイバと、
前記光ファイバの端面を被処理体に対して相対的に加工進行方向に沿って移動させる加工移動部と、
前記光ファイバの端面から照射されるレーザ光の各々が入射される一つの結像レンズと、
前記複数の光ファイバのうちの少なくとも一つに連結され、該光ファイバの端面を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させるファイバ移動部と、
を備えたレーザ照射装置。 - 前記ファイバ移動部は、光ファイバの端面を、前記結像レンズの光軸に対して軸対称の位置関係を保ちつつ移動させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ照射装置。
- 前記ファイバ移動部は光ファイバの各々に連結され、該光ファイバの端面の各々を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載のレーザ照射装置。
- 前記複数の光ファイバのうちの少なくとも一つは前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動せず固定されていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載のレーザ照射装置。
- 前記光ファイバの端面が矩形状からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のレーザ照射装置。
- 前記光ファイバの端面の各々は、加工進行方向に沿って互いにずれた位置に配置されており、
前記光ファイバの端面から照射されるレーザ光による被処理体上の加工箇所は、前記加工進行方向に直交する方向で重複することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のレーザ照射装置。 - 複数の光ファイバ内でレーザ発振器から発振されるレーザ光を案内し、当該光ファイバの端面の各々からレーザ光を外部に照射させた後、当該レーザ光を一つの結像レンズに入射させ、その後、当該レーザ光を前記被処理体で結像させる工程と、
前記光ファイバの端面を被処理体に対して相対的に加工進行方向に沿って移動させる工程と、
前記複数の光ファイバのうちの少なくとも一つの端面を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させる工程と、
を備えたレーザ照射方法。 - 前記光ファイバの端面を、前記結像レンズの光軸に対して軸対称の位置関係を保ちつつ移動させることを特徴とする請求項7に記載のレーザ照射方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5534853B2 JP5534853B2 (ja) | 2014-07-02 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5534853B2 (ja) |
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