JP7278868B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
マスクを介された加工用レーザ光を被加工物に照射する投影光学系と、
被加工物が載置されると共に、x-y方向に被加工物を移動させる被加工物載置テーブルと、
一体で変位するように、照明光学系、マスクの支持部、投影光学系及び前
記被加工物載置テーブルが固定される支持体と、
支持体の振動を抑制する制振装置とを備え、
照明光学系がライン状の加工用レーザ光を出射し、走査機構が加工用レーザ光をライン方向と直交する方向に直線的に変位させるようにしたレーザ加工装置である。
13・・・マスク、14・・・投影光学系、15・・・載置テーブル、
16・・・走査機構、17・・・照明光学系、18・・・マスクステージ、
25・・・ガイドビーム光源、27・・・ビーム位置補正部、32・・・センサ
Claims (5)
- ライン状の加工用レーザ光をマスクに照射すると共に、走査機構によって前記マスクを走査する照明光学系と、
前記マスクを介された前記加工用レーザ光を被加工物に照射する投影光学系と、
前記被加工物が載置されると共に、x-y方向に前記被加工物を移動させる被加工物載置テーブルと、
一体で変位するように、前記照明光学系、前記マスクの支持部、前記投影光学系及び前
記被加工物載置テーブルが固定される支持体と、
前記支持体の振動を抑制する制振装置とを備え、
前記照明光学系がライン状の前記加工用レーザ光を出射し、前記走査機構が前記加工用レーザ光をライン方向と直交する方向に直線的に変位させるようにしたレーザ加工装置。 - 前記加工用レーザ光を発生するレーザ光源が前記支持体と別個に設けられ、
ビーム位置補正部によって、前記加工用レーザ光の前記照明光学系に対する入射位置及び入射角度が所定のものに制御されるようにした請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記加工用レーザ光及び前記加工用レーザ光の位置調整のためのガイド用レーザ光を発生するレーザ光源が前記支持体と別個に設けられ、
前記加工用レーザ光が前記照明光学系に対して入射され、
前記加工用レーザ光及び前記ガイド用レーザ光がビーム位置補正部に供給され、
前記ビーム位置補正部によって、前記加工用レーザ光の前記照明光学系に対する入射位置及び入射角度が所定のものに補正されるようにした請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。 - 前記ビーム位置補正部は少なくとも1つの光学素子を備え、
前記光学素子は、前記加工用レーザ光に対応した表面処理と前記ガイド用レーザ光に対応した表面処理とが1つの面内に施されていることを特徴とする請求項3に記載のレーザ加工装置。 - 被加工物載置テーブルが、前記ライン方向に間欠的に移動することで、前記被加工物の複数の領域に逐次加工を行なうことを特徴とする前記請求項1に記載のレーザ加工装置。
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