KR100556586B1 - 오차 보정이 가능한 폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치 - Google Patents

오차 보정이 가능한 폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치 Download PDF

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Abstract

오차 보정이 가능한 폴리곤 미러를 구비한 레이저 가공장치를 제시한다.
본 발명의 레이저 가공 장치는 레이저 빔을 생성하여 출력하는 레이저 발생수단, 복수의 반사면을 가지고 축을 중심으로 회전하며, 레이저 발생수단에서 생성되어 반사면으로 입사되는 레이저를 반사하는 폴리곤 미러, 폴리곤 미러에 장착되어 폴리곤 미러의 위치 및 속도 정보를 전기적 신호로 변환하여 출력하는 인코더, 폴리곤 미러의 각 반사면에 대한 오차값을 입력받아 각 반사면에서의 오차 보상값을 산출하기 위한 오차 보정부, 인코더로부터 폴리곤 미러의 반사면 정보를 입력받아, 각 반사면에 대한 오차 보상값을 참조하여 미러를 구동하여, 레이저 발생수단으로부터 출력되는 레이저 빔의 각 반사면에서의 입사 방향을 변경하기 위한 엑츄에이터 및 폴리곤 미러로부터 반사되는 레이저를 집광하여 가공 대상물에 조사하기 위한 렌즈를 포함한다.
본 발명에 의하면 폴리곤 미러의 반사면에 대한 레이저 빔의 반사각이 항상 동일하도록 제어할 수 있어 대상물 가공 수율 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
레이저 가공, 폴리곤 미러, 보정

Description

오차 보정이 가능한 폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치{Laser Processing Apparatus using Polygon Mirror with Error Correction Function}
도 1은 폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치를 설명하기 위한 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 가공장치의 구성도,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 레이저 가공장치의 구성도,
도 4는 본 발명에 의한 레이저 가공 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
10 : 폴리곤 미러 11 : 회전축
12 : 반사면 20 : 렌즈
30 : 스테이지 40 : 대상물
110 : 제어부 120 : 입력부
130 : 폴리곤 미러 구동수단 140 : 레이저 발생수단
150 : 스테이지 이송수단 160 : 표시부
170 : 저장부 180 : 인코더
190 : 오차 보정부 200 : 엑츄에이터
202 : 미러 210 : 빔 확장부
220 : 빔 변환부
본 발명은 레이저 가공장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 오차 보정이 가능한 폴리곤 미러를 구비한 레이저 가공장치에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼, 금속, 플라스틱 등과 같은 다양한 재료를 이용하여 물질을 제조하기 위해서는 절단, 그루빙 등과 같은 가공 절차가 필요하다. 일 예로, 반도체 제조 공정을 완료한 후에는 웨이퍼 상에 형성된 복수의 칩을 개별적인 칩 단위로 절단하기 위한 공정이 후속된다. 웨이퍼의 절단 공정은 후속 공정에서의 품질 및 생산성에 큰 영향을 미치기 때문에 매우 중요한 의미를 가지며, 현재, 웨이퍼의 절단에는 기계적 절단 방법, 레이저를 이용한 절단 방법 등이 이용되고 있으며, 특히 레이저를 이용한 가공장치는 기계적 장치에 비해 많은 장점이 있어 현재 활발히 연구되어 지고 있다.
레이저를 이용한 웨이퍼 절단 방법은 높은 자외선 영역(250~360nm)의 레이저 빔을 웨이퍼 표면에 집속시킴으로써 가열 및 화학 작용을 유발시켜 집속 부위가 제거되도록 하는 방법이다. 즉, 레이저 빔이 집속되어 웨이퍼에 가해지면 집속 부위는 순식간에 온도가 상승하게 되고, 빔의 집속도에 따라 웨이퍼 재료의 용융 뿐 아니라 승화가 발생하게 되며, 재료의 기화에 따라 압력이 상승하여 집속 부위가 폭발적으로 제거되게 된다. 이러한 제거 현상이 연속적으로 일어남에 따라 웨이퍼의 절단이 이루어지며, 이동 경로에 따라 선형 또는 곡선 절단이 가능한 이점이 있다.
레이저를 이용한 일반적인 가공장치로써, 레이저 빔을 조사함과 동시에 고압 워터 제트 노즐을 통하여 분사되는 물로 가이딩하면서 가공하는 장치를 들 수 있다. 그런데, 이 장치는 고압에 의해 워터 제트 노들의 기계적인 마모가 심하기 때문에 일정 주기로 노즐을 교환해야 하고, 이에 따라 공정상 번거로움이 있음은 물론 생산성이 저하되고 비용이 상승하는 등의 문제가 있다.
현재 사용되고 있는 레이저 가공장치의 문제를 해결하기 위하여 안출된 방법 중의 하나가 레이저 가공장치에 폴리곤 미러를 적용하는 방식이며, 폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치는 본 발명의 출원인에 의해 2004년 3월 31일자로 대한민국에 출원된 바 있다(출원번호 : 10-2004-0022270). 폴리곤 미러는 각각의 길이가 동일한 복수의 반사면을 구비하고 회전축을 중심으로 회전하는 미러로서, 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치를 설명하기 위한 도면이다.
폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치는 전체적인 동작을 제어하기 위한 제어부(110), 제어 파라미터 및 제어 명령을 입력하기 위한 입력부(120), 폴리곤 미러(10)를 구동하기 위한 폴리곤 미러 구동수단(130), 레이저 빔을 생성하기 위한 레이저 발생수단(140), 웨이퍼와 같은 가공 대상물(40)이 안착되는 스테이지(30)를 지정된 방향으로 이송하기 위한 스테이지 이송수단(150), 작동 상태 등의 정보를 표시하기 위한 표시부(160) 및 데이터 저장을 위한 저장부(170)를 포함한다.
폴리곤 미러 구동수단(130)은 복수의 반사면(12)을 구비하고 회전축(11)을 중심으로 회전하는 회전 다면경인 폴리곤 미러(10)를 지정된 속도로 회전시키기 위 한 것으로, 제어부(110)의 제어에 의해 모터(도시하지 않음)를 이용하여 폴리곤 미러(10)를 설정된 속도로 정속 회전시킨다.
레이저 발생수단(140)은 스테이지(30)에 안착되는 대상물(40)을 가공하기 위한 소스인 레이저 빔을 생성하는 수단으로, 예를 들어 자외선 레이저를 생성한다. 또한, 스테이지 이송수단(150)은 가공 대상물(40)이 안착되는 스테이지(30)를 기 설정된 속도로 이송한다.
이러한 구성을 갖는 레이저 가공장치에서, 제어부(110)의 제어에 따라서 레이저 발생수단(140)에서 발생된 레이저 빔은 폴리곤 미러(10)로 입사된다. 폴리곤 미러(10)로 입사되는 레이저 빔은 폴리곤 미러 구동수단(130)에 의해 회전하는 폴리곤 미러(10)의 반사면(12)에서 렌즈(20) 방향으로 반사된다. 이어서, 렌즈(20)는 반사면(12)으로부터 반사되는 레이저 빔을 집광하여 대상물(40)에 수직 조사한다.
이상에서 설명한 폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치에서, 레이저 빔은 폴리곤 미러 반사면의 길이방향 중앙으로 정확히 입사되어야 대상물을 오차 없이 가공할 수 있다. 그런데, 레이저 빔이 폴리곤 미러로 정확히 입사되더라도 폴리곤 미러의 반사면이 균일하지 않으면 반사각이 틀어지는 현상이 발생하게 된다. 즉, 폴리곤 미러가 갖고 있는 다이나믹 트랙(Dynamic track)에 의하여 폴리곤 미러로부터 반사되는 레이저 빔이 대상물에 정확히 조사되지 않게 된다. 이에 따라 대상물 가공시 에러가 발생하여, 생산 수율이 저하되고 신뢰성이 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 폴리곤 미러의 에러를 미리 측정하여 오차를 분석하고, 실제 대상물 가공시 폴리곤 미러로 입사되는 레이저 빔의 방향을 기 분석된 오차값에 따라 조정함으로써, 레이저 가공장치의 에러를 보상할 수 있는 레이저 가공장치를 제공하는 데 그 기술적 과제가 있다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은 레이저를 이용하여 대상물을 가공하기 위한 장치로서, 레이저 빔을 생성하여 출력하는 레이저 발생수단; 복수의 반사면을 가지고 축을 중심으로 회전하며, 상기 레이저 발생수단에서 생성되어 상기 반사면으로 입사되는 레이저를 반사하는 폴리곤 미러; 상기 폴리곤 미러에 장착되어 상기 폴리곤 미러의 위치 및 속도 정보를 전기적 신호로 변환하여 출력하는 인코더; 상기 폴리곤 미러의 각 반사면에 대한 오차값을 입력받아 각 반사면에서의 오차 보상값을 산출하기 위한 오차 보정부; 상기 인코더로부터 상기 폴리곤 미러의 반사면 정보를 입력받아, 상기 각 반사면에 대한 상기 오차 보상값을 참조하여 미러를 구동하여, 상기 레이저 발생수단으로부터 출력되는 상기 레이저 빔의 상기 각 반사면에서의 입사 방향을 변경하기 위한 엑츄에이터; 및 상기 폴리곤 미러로부터 반사되는 레이저를 집광하여 가공 대상물에 조사하기 위한 렌즈;를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 레이저 가공장치의 구성도이다.
도시한 것과 같이, 본 발명에 의한 레이저 가공장치는 전체적인 동작을 제어하기 위한 제어부(110), 제어 파라미터 및 제어 명령을 입력하기 위한 입력부(120), 폴리곤 미러(10)를 구동하기 위한 폴리곤 미러 구동수단(130), 레이저 빔을 생성하기 위한 레이저 발생수단(140), 웨이퍼와 같은 가공 대상물(40)이 안착되는 스테이지(30)를 지정된 방향으로 이송하기 위한 스테이지 이송수단(150), 작동 상태 등의 정보를 표시하기 위한 표시부(160) 및 데이터 저장을 위한 저장부(170)를 포함한다.
여기에서, 폴리곤 미러 구동수단(130)은 복수의 반사면(12)을 구비하고 회전축(도시하지 않음)을 중심으로 회전하는 회전 다면경인 폴리곤 미러(10)를 지정된 속도로 회전시키기 위한 것으로, 제어부(110)의 제어에 의해 모터(도시하지 않음)를 이용하여 폴리곤 미러(10)를 설정된 속도로 정속 회전시킨다.
또한, 레이저 발생수단(140)은 스테이지(30)에 안착되는 대상물(40)을 가공하기 위한 소스인 레이저 빔을 생성하는 수단으로, 예를 들어 자외선 레이저를 생성하며, 또한, 스테이지 이송수단(150)은 가공 대상물(40)이 안착되는 스테이지(30)를 기 설정된 속도로 이송한다.
아울러, 본 발명에 의한 레이저 가공 수단은 폴리곤 미러(10)에 장착되는 인코더(180), 제어부(110)의 제어에 따라 폴리곤 미러(10)의 오차를 분석하기 위한 오차 보정부(190) 및 오차 보정부(190)에서 분석한 오차값에 따라 제어부(110)의 제어에 의해 레이저 발생수단(140)에서 출사되는 레이저 빔의 조사 방향을 조절하 기 위한 미러(202)가 장착되는 엑츄에이터(200)를 포함한다.
이러한 구성을 갖는 레이저 가공장치에서, 폴리곤 미러(10)의 오차를 미리 측정하기 위하여 레이저 가공장치를 시험 가동한다. 즉, 제어부(110)의 제어에 따라서 폴리곤 미러 구동수단(130)에 의해 폴리곤 미러(10)를 회전시키고, 레이저 발생 수단(140)을 구동하여 낮은 에너지(실제 대상물 가공시의 에너지보다 낮은 에너지)의 레이저 빔을 폴리곤 미러(10)로 주사한다.
이에 따라, 폴리곤 미러(10)로 입사되는 레이저 빔은 폴리곤 미러 구동수단(130)에 의해 회전하는 폴리곤 미러(10)의 반사면(12)에서 렌즈(20) 방향으로 반사된다. 이어서, 렌즈(20)는 반사면(12)으로부터 반사되는 레이저 빔을 집광하여 시험 대상물에 수직 조사된다.
폴리곤 미러(10)의 반사면에 오차가 존재하는 경우 시험 대상물에는 레이저 빔이 직선으로 조사되지 않는 결과를 얻게 될 것이며, 운용자는 시험 대상물 가공 결과를 이용하여 폴리곤 미러의 각 반사면에서의 에러를 측정하고, 그 결과를 입력부(120)를 통해 오차 보정부(190)로 입력한다. 이때, 폴리곤 미러의 오차를 정확하게 측정하기 위하여, 시험 가동을 다수회 실시하여 오차를 측정하는 것이 바람직하다. 한편, 레이저 빔의 에너지를 매우 낮게 제어하여 조사하는 경우에는 시험 대상물의 가공 결과가 아닌, 시험 대상물에 조사되는 레이저 빔의 파형을 이용하여 에러를 측정할 수 있다.
오차 보정부(190)는 측정된 폴리곤 미러의 오차값을 참조하여 폴리곤 미러 각 반사면에서의 오차 보상값, 즉 레이저 빔의 입사각 조정값을 산출하고, 이를 저 장부(170)에 저장한다.
이와 같이, 시험 가동을 통해 폴리곤 미러의 오차를 분석해 둔 후에는 실제 대상물 가공을 수행할 수 있게 된다. 실제 대상물 가공시 폴리곤 미러(10)에 부착된 인코더(180)는 폴리곤 미러(10)의 위치 및 속도 정보를 전기적 신호로 변환하여 제어부(110)로 출력하며, 제어부(110)는 인코더(180)로부터 입력되는 폴리곤 미러의 반사면에 대응하는 오차 보상값을 추출하여 엑츄에이터(200)를 구동한다. 즉, 레이저 빔이 조사될 폴리곤 미러의 반사면에 오차가 존재하여 레이저 빔의 반사각이 틀어져 가공 대상물에 정확히 조사되지 않는 것을 방지하기 위하여, 엑츄에이터(200)에 의해 미러(202)의 방향을 변경하여 폴리곤 미러 반사면에 대한 레이저 빔의 입사각을 조정함으로써, 반사면에서 반사되는 레이저 빔의 각도가 항상 동일하도록 제어하는 것이다.
여기에서, 인코더(180)는 회전운동 검출용 센서인 로터리 인코더로 구현할 수 있다. 로터리 인코더에는 광원과 광전소자를 이용하여 회전하는 회전축에 스케일판을 부착해 회전 변위를 검출하는 센서인 광학식 로터리 인코더, 또는 자기식 회전 센서를 장착하여 회전 변위를 검출하는 센서인 자기식 로터리 인코더가 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 레이저 가공장치의 구성도이다.
본 실시예에 의한 레이저 가공장치는 도 2에서 설명한 레이저 가공장치의 구성에 더하여 빔 확장부(210) 및 빔 변환부(220)를 더 구비한다. 빔 확장부(210)는 레이저 발생수단(140)에서 생성된 레이저 빔의 구경을 확장하여 폴리곤 미러(10)로 조사하며, 빔 변환부(220)는 폴리곤 미러(10)에서 반사되어 렌즈(20)에서 집광된 레이저 빔을 타원 형태로 변환한다. 여기에서, 빔 변환부(220)는 실린더리컬 렌즈를 이용하여 구현할 수 있다.
빔 확장부(210) 및 빔 변환부(220)를 추가함에 의해, 대상물(40)에 조사되는 레이저 빔은 그 단면형상이 타원 형태가 되며 이때, 타원의 장축은 가공 방향과 일치되도록 제어하여야 하고, 단축 방향은 레이저 빔에 의한 가공 너비가 된다.
본 실시예에서와 같이 레이저 빔을 타원 형태로 변환하여 조사하는 경우 대상물(40)의 가공면이 충분한 기울기를 갖게 되어, 대상물(40) 가공시 발생하는 부산물이나 증기가 가공면에 침착되지 않고 외부로 용이하게 배출되게 된다.
도 4는 본 발명에 의한 레이저 가공 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치를 이용하여 대상물을 가공할 때 오차를 보상하기 위하여, 시험 대상물을 스테이지(30)에 안착시킨 후 폴리곤 미러 구동수단(130)에 의해 폴리곤 미러(10)를 구동하는 한편, 레이저 발생 수단(140)에 의해 레이저 빔을 폴리곤 미러(10)의 반사면으로 조사한다(S10). 이와 같이 하여 폴리곤 미러(10)를 적어도 1회 회전하여 시험 대상물을 가공한 후에는, 시험 대상물의 가공 결과를 이용하여 폴리곤 미러의 각 반사면에서의 에러를 측정하고, 그 결과를 오차 보정부(190)로 입력하여 폴리곤 미러의 각 반사면에서의 오차 보상값, 즉 레이저 빔의 입사각 조정값을 산출한다(S20).
이와 같이 하여, 폴리곤 미러(10)의 각 반사면에서의 오차 보상값을 산출해 둔 후에 실제 가공 대상물을 가공하기 위하여, 입력부(120)를 통하여 가공하고자 하는 대상물에 따른 폴리곤 미러(10)의 회전속도와 스테이지(30) 이송 속도 등의 제어 파라미터를 설정한다(S30). 이러한 설정 과정은 가공하고자 하는 웨이퍼의 종류 및 가공 형태(절단, 그루빙 등)에 따라 기 설정된 메뉴로 등록하여 저장부(170)에 저장하여 두고, 메뉴를 호출함으로써 용이하게 이루어질 수 있다.
제어 파라미터 설정이 완료되면, 폴리곤 미러 구동수단(130)을 제어하여 폴리곤 미러(10)를 기 설정한 회전속도에 따라 정속 회전시키는 동시에 폴리곤 미러의 각 반사면에서의 오차 보상값에 따라 엑츄에이터(200)를 구동한다(S40). 또한, 스테이지 이송 수단(150)을 구동하여 스테이지(30)를 기 설정된 속도로 이송한다(S50). 이때, 제어부(110)는 레이저 발생수단(140)을 제어하여 레이저를 발생시킨다(S60).
이에 따라, 레이저 발생수단(140)에서 생성된 레이저 빔이 엑츄에이터(200)에 장착된 미러(202)에 의해 반사된 후 폴리곤 미러(10)의 반사면으로 입사되고, 폴리곤 미러(10)의 반사면에서 반사된 레이저 빔은 렌즈(20)에서 집광된 후, 대상물에 수직 조사되게 된다(S70).
만약, 도 4에 도시한 것과 같이, 레이저 가공장치에 빔 확장부(210) 및 빔 변환부(220)를 추가로 구성하는 경우, 대상물에는 타원 형태로 변환된 레이저 빔이 조사될 것이며, 타원의 장축 방향은 대상물의 가공 방향과 일치하도록 제어하고, 단축의 길이는 대상물의 가공 폭이 된다.
레이저 발생수단(140)에서 생성된 레이저 빔이 미러(202)에 조사될 때, 제어부(110)는 오차 보정부(190)에서 미리 산출해 둔 오차 보상값을 참조하여 엑츄에이터(200)를 구동함으로써, 미러(202)의 방향을 변경하도록 하며, 이에 따라 오류가 존재하는 폴리곤 미러 반사면 부분에서 레이저 빔의 입사각을 변경하여 조사함으로써 레이저 빔이 항상 폴리곤 미러로부터 동일한 각도로 반사되도록 한다.
이와 같은 레이저 가공 방법에서, 폴리곤 미러(10)는 정속 회전을 하므로 레이저 빔은 대상물의 동일한 가공면에 중첩 조사되게 된다. 또한, 대상물이 안착되는 스테이지(30)를 폴리곤 미러(10)의 회전방향에 대하여 역방향으로 이송함으로써, 레이저 빔에 의한 가공 속도가 더욱 빨라지게 된다.
이상에서 설명한 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
상술한 것과 같이, 본 발명에 의하면 폴리곤 미러를 이용한 레이저 가공장치를 이용하여 대상물을 가공하기 전 폴리곤 미러의 각 반사면에서의 오차를 측정하고, 이에 대한 보상값을 산출한 후, 실제 대상물 가공시 레이저 빔이 폴리곤 미러의 반사면에 조사될 때 기 산출한 오차 보상값에 의해 레이저 빔의 조사 방향을 변경함으로써, 폴리곤 미러의 반사면에 대한 레이저 빔의 반사각이 항상 동일하도록 제어할 수 있다.
이에 따라 레이저 빔을 대상물에 정확히 조사할 수 있어, 대상물 가공 수율 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Claims (7)

  1. 레이저를 이용하여 대상물을 가공하기 위한 장치로서,
    레이저 빔을 생성하여 출력하는 레이저 발생수단;
    복수의 반사면을 가지고 축을 중심으로 회전하며, 상기 레이저 발생수단에서 생성되어 상기 반사면으로 입사되는 레이저를 반사하는 폴리곤 미러;
    상기 폴리곤 미러에 장착되어 상기 폴리곤 미러의 위치 및 속도 정보를 전기적 신호로 변환하여 출력하는 인코더;
    상기 폴리곤 미러의 각 반사면에 대한 오차값을 입력받아 각 반사면에서의 오차 보상값을 산출하기 위한 오차 보정부;
    상기 인코더로부터 상기 폴리곤 미러의 반사면 정보를 입력받아, 상기 각 반사면에 대한 상기 오차 보상값을 참조하여 미러를 구동하여, 상기 레이저 발생수단으로부터 출력되는 상기 레이저 빔의 상기 각 반사면에서의 입사 방향을 변경하기 위한 엑츄에이터; 및
    상기 폴리곤 미러로부터 반사되는 레이저를 집광하여 가공 대상물에 조사하기 위한 렌즈;
    를 포함하는 레이저 가공장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저 가공장치는 상기 폴리곤 미러를 지정된 각속도로 회전시키는 폴 리곤 미러 구동수단;
    상기 대상물이 안착되는 스테이지; 및
    상기 스테이지를 지정된 방향으로 이송하기 위한 스테이지 이송수단;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 스테이지 이송수단은 상기 폴리곤 미러의 회전방향에 대하여 역방향이 되도록 상기 스테이지를 이송하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저 가공장치는 상기 렌즈에서 집광된 레이저 빔의 단면 형상을 타원 형태로 변환하기 위한 빔 변환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 빔 변환부는 타원 형태의 레이저 빔의 장축이 대상물이 가공 방향이 되도록 상기 레이저 빔의 형상을 변환하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 타원 형태의 레이저 빔의 단축의 길이는 상기 레이저 빔에 의해 가공되 는 너비이며, 상기 대상물의 종류 및 가공 형태에 따라 상기 단축의 길이를 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 인코더는 로터리 인코더인 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
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