JP2008041982A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】LCD製品に備わるドライバIC1Aの一部を構成する出力回路部5の長手方向の側縁部に沿って複数個の出力バンプ7を形成し、作業者が出力バンプ7の数を間違えることなく容易に数えることのできる個数置き、例えば10の倍数、20の倍数、25の倍数または50の倍数の出力バンプ7の個数置きに最上層配線と同一層からなる目印パターン8を配置し、目印パターン8を数えることによって外観不良9の位置を特定する。
【選択図】図1
Description
2 ロジック回路部
3 メモリ部
4 入力回路部
5 出力回路部
6 入力バンプ
7 出力バンプ
8 目印パターン
9 外観不良
11 半導体基板
12 分離部
13 pウェル
14 nウェル
15 ゲート絶縁膜
16n,16p ゲート電極
17 サイドウォール
18 n型半導体領域
19 p型半導体領域
20 絶縁膜
21 接続孔
22 プラグ
23 ストッパ絶縁膜
24 絶縁膜
25 配線溝
26 バリアメタル膜
27 ストッパ絶縁膜
28 絶縁膜
29 接続孔
30 配線溝
31 バリアメタル膜
32 絶縁膜
33 接続孔
34 プラグ
35 絶縁膜
L1 1列目
L2 2列目
M1,M2,M3,M4 配線
Claims (5)
- 側縁部に沿って複数個の出力バンプを配列した駆動用集積回路の外観不良の検査工程を含む半導体装置の製造方法であって、所定数の出力バンプ置きに、前記駆動用集積回路に備わる多層配線のうちのいずれか1層と同一層により目印パターンを形成し、前記目印パターンを数えることによって前記外観不良の位置を特定することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記駆動用集積回路は、LCD製品に備わり、LCD素子を駆動させることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記目印パターンは、10の倍数、20の倍数、25の倍数または50の倍数の出力バンプの個数置きに配置されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記目印パターンは、前記駆動用集積回路に備わる最上層配線と同一層により形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記出力バンプは千鳥状に配置されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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