JP2008028140A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理室と、処理室にガスを供給する手段と、処理室を減圧する排気手段と、プラズマ生成用高周波電源と、磁場を生成するためのコイルと、被処理体を載置するための載置電極とを有する半導体製造装置において、被処理体への所定の処理を行っている時のプラズマ分布に比べて、プラズマ着火時または所定の処理終了後の被処理体面内のプラズマ分布が凸型になるように、磁場分布を変更することにより、被処理体直上の処理ガスの温度勾配を発生させ、熱泳動力によって異物粒子を前記被処理体の外周方向に輸送した。
【選択図】図1
Description
31が整合器34−1とフィルタユニット37−1を介して接続されている。処理室1の外側には磁場生成のため、コイル11とヨーク12が設置されている。プラズマは該アンテナ3から放射されるプラズマ生成用高周波電力と磁場との相互作用による電子サイクロトロン共鳴により効率的に生成される。また磁場分布を制御することでプラズマの生成分布とプラズマの輸送を制御することができる。アンテナ3には該アンテナ3に高周波バイアス電力を印加するためのアンテナバイアス用高周波電源32が整合器34−2とフィルタユニット37−1を介して接続されている。該フィルタユニット37−1はプラズマ生成用高周波電力がアンテナバイアス用高周波電源32に流れ込まないようにするためと、アンテナバイアス用高周波電力がプラズマ生成用高周波電源31側に流入しないようにするためのものでる。載置電極4には被処理体2に入射するイオンを加速するため、載置電極バイアス用高周波電源33が整合器34−3を介して接続されている。
(磁場制御B)、次に載置電極バイアス用高周波電力を印加し、次にプラズマ生成用高周波電力投入する。このとき投入する磁場、載置電極バイアス用高周波電力及びプラズマ生成用高周波電力は、被処理体2に所定の処理を施すときに比べて弱めに設定する。そしてプラズマ着火後、被処理体2に所定の処理を施すために必要な磁場、プラズマ生成用高周波電力及び載置電極バイアス用高周波電力を投入する。
OFFにする。
20の概要を示している。図11Aは上方から、図11Bは横方向から見た概略を示している。また図12は搬送ロボット20において被処理体2を載置するための搬送アーム
21付近を示している。図12Aは上方からみた概略図、図12BとCは図11Aのa−a′間の断面例を2種類示している。搬送アーム21には該搬送アーム21に載置された被処理体2を加熱するためのヒーター14が設置されている。ヒーター14の配置は例えば図12A中に点線で示すようにウエハの載置される部分に沿って設置する。またヒーター14は図12Bまたは図12Cに示すように搬送アーム21の中に埋め込んである構造とする。被処理体2を載置する面は図12Bに示したように平面にするか、あるいは図
12Cに示したように台座22により、被処理体2の裏面外周部が搬送アーム21に接触しないようにする。図12Bでは被処理体2と搬送アーム21の設置面積が大きくなるため、ヒーター14による被処理体2の加熱力が図12Cに比べて大きいが、図12Cでは、被処理体2裏面外周に付着した堆積物61が搬送アーム21と接触しないため、概付着物が搬送アーム21との接触によって剥がれ落ち異物粒子が発生するのを防止することができる。また図11に示したように搬送アーム21に載せられた被処理体2の加熱を促進するため、搬送アーム21の下部にランプ23を設置した。このランプ23から発せられる光によって被処理体2を加熱する。ヒーター14による加熱と組みあわせることで被処理体2の加熱力を上げている。このようにして被処理体2を加熱して、処理室1の内壁や構造物、及び搬送ロボット20の温度に比べて被処理体2の温度を高くすることにより、熱泳動力によって異物粒子が被処理体2に付着しないようにした。
52にはチラーユニット54を接続することにより処理室1や搬送室51やロック室52の内壁や構造物を冷却できるようにしてある。これにより被処理体2の温度が処理室1や搬送室51やロック室52の内壁や構造物の温度に対してより高くなるようにしている。
21…搬送アーム、22…台座、23…ランプ、24…ウエハステージ、25…反射板、26…大気側搬送口、31…プラズマ生成用高周波電源、32…アンテナバイアス用高周波電源、33…載置電極バイアス用高周波電源、38…DC電源、39…位相制御器、
49…O−リング、51…搬送室、52…ロック室、54…チラーユニット、60…異物粒子、61…堆積物。
Claims (10)
- 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、プラズマ生成用高周波電源と、磁場を生成するためのコイルと、被処理体を載置するための載置電極とを有する半導体製造装置において、
前記被処理体への所定の処理を行っている時のプラズマ分布に比べて、プラズマ着火時または前記所定の処理終了後の被処理体面内のプラズマ分布が凸型になるように、磁場分布を変更することにより、前記被処理体直上の処理ガスの温度勾配を発生させ、熱泳動力によって異物粒子を前記被処理体の外周方向に輸送することを特徴とする半導体製造装置。 - 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、内部が内側部分と外側部分に電気的に分割されたアンテナと、前記アンテナに接続されたプラズマ生成用高周波電源と、前記プラズマ生成用高周波電源から出力されたプラズマ生成用高周波電力を所定の比で分配する電力分配手段と、被処理体を載置するための載置電極とを有する半導体製造装置において、
前記被処理体への所定の処理を行っている時のプラズマ分布に比べて、プラズマ着火時または前記所定の処理終了後の被処理体面内のプラズマ分布が凸型になるように、内側のアンテナに印加するプラズマ生成用高周波電力と外側のアンテナに部分に印加するプラズマ生成用高周波電力の比を変更することにより、前記被処理体直上の処理ガスに温度勾配を発生させ、熱泳動力によって異物粒子を前記被処理体の外周方向に輸送することを特徴とする半導体製造装置。 - 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、内部が内側部分と外側部分で独立に高周波電力を印加できるように電気的に分割された被処理体を載置するための載置電極と、前記載置電極に接続されたプラズマ生成用高周波電源と、前記プラズマ生成用高周波電源から出力されたプラズマ生成用高周波電力を所定の比で分配する手段とを有する半導体製造装置において、
前記被処理体への所定の処理を行っている時のプラズマ分布に比べて、プラズマ着火時または前記所定の処理終了後の被処理体面内のプラズマ分布が凸型になるように、前記載置電極の内側部分に印加するプラズマ生成用高周波電力と前記載置電極の外側部分に印加するプラズマ生成用高周波電力の比を変更することにより、前記被処理体直上の処理ガスに温度勾配を発生させ、熱泳動力によって異物粒子を前記被処理体の外周方向に輸送することを特徴とする半導体製造装置。 - 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、プラズマ生成用高周波電源と、アンテナもしくは天板と、被処理体を載置するための載置電極とを有する半導体製造装置において、
前記アンテナもしくは天板に内側部分と外側部分を独立に温調するための冷媒の流路を設け、前記内側の冷媒の流路と外側の冷媒の流路にはお互いに異なる温度の冷媒を流すことによって前記アンテナもしくは天板の内側と外側で温度差を生じさせ、これにより前記処理室内のガスに温度勾配を発生させ、熱泳動力によって異物粒子の輸送を制御することを特徴とする半導体製造装置。 - 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、プラズマ生成用高周波電源と、被処理体を載置するための載置電極とを有する半導体製造装置において、
前記載置電極の内側部分と外側部分を独立に温調するための冷媒の流路を設け、被処理体に対して所定の処理を施しているとき以外は、前記所定の処理を施しているときに比べて被処理体の温度分布が凸型の分布になるように、前記内側の流路に流す冷媒と前記外側に流す冷媒の流量もしくは温度を変更し、これにより前記処理室内のガスの温度勾配を制御することによって熱泳動力で異物粒子の輸送を制御することを特徴とする半導体製造装置。 - 処理室と、前記処理室にガスを供給する手段と、前記処理室を減圧する排気手段と、プラズマ生成用高周波電源と、内部が内側部分と外側部分に分離された分散板と、被処理体を載置するための載置電極と、前記分散板の内側に処理ガスを供給するガス配管と、外側に処理ガスを供給するガス配管とを備えた半導体製造装置において、
前記ガス配管にヒーターを取り付け、内側から供給するガスと外側から供給するガスの温度をお互いに独立に制御することにより、前記処理室内のガスに温度勾配を発生させ、熱泳動力によって異物粒子の輸送を制御することを特徴とした半導体製造装置。 - 処理室と、搬送室と、搬送ロボットと、ロック室とを備えた半導体製造装置において、
被処理体を搬送する際に、前記処理室または前記搬送室または前記搬送ロボットまたは前記ロック室の内壁や構造物の温度よりも被処理体の温度を高くし熱泳動力によって被処理体への異物粒子の付着を低減するための加熱手段を有したことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項7に記載の半導体製造装置において、前記搬送室内に設置された前記搬送ロボットに、被処理体を加熱するためのヒーターまたはランプを備えたことを特徴とする半導体製造装置。
- 請求項7に記載の半導体製造装置において、前記ロック室に設置された被処理体を載置するためのステージに被処理体を加熱するためのヒーターまたはランプを設置したことを特徴とする半導体製造装置。
- 処理室と、搬送室と、ロック室とを有した半導体製造装置において、
被処理体を搬送する際に、被処理体の温度よりも前記処理室または前記搬送室または前記ロック室の内壁や構造物の温度を低くし熱泳動力によって被処理体への異物粒子の付着を低減するための温調手段を有したことを特徴とする半導体製造装置。
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