JP5494405B2 - 半導体製造装置および半導体製造方法 - Google Patents
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Description
したがって、半導体ウエハに対する加工特性に影響することなく異物を好適に除去することができる。
以下、本発明の半導体製造装置および半導体製造方法をエッチング装置10に適用した第1実施形態について、図面を参照して説明する。図1は、第1実施形態に係るエッチング装置10の構成を概略的に示す断面図である。図2は、図1の2−2線相当の切断面を概略的に示す断面図である。
まず、図3のステップS101の半導体ウエハ搬入工程に応じて、所定の状態まで加工された半導体ウエハWを処理室11内に収容するとともに下部電極12上に載置する。このとき、半導体ウエハWは、上述のように静電気を帯電させることで、下部電極12に対して固定されている。
したがって、半導体ウエハWに対する加工特性に影響することなく異物を好適に除去することができる。
次に、本発明の第2実施形態に係る半導体製造装置および半導体製造方法について図6を参照して説明する。図6(A)は、第2実施形態に係るエッチング装置10aの構成を概略的に示す断面図であり、図6(B)は、半導体ウエハW近傍での排気圧力Pの圧力勾配を示すグラフである。
次に、本発明の第3実施形態に係る半導体製造装置および半導体製造方法について図7および図8を参照して説明する。図7は、第3実施形態に係るエッチング装置10bの構成を概略的に示す断面図である。図8は、半導体ウエハWおよび下部電極12の温度変化T1と内壁11aおよび上部電極13の温度変化T2とを示すグラフである。なお、図7では、便宜上、各ガス供給孔13a,13bを省略して図示している。
(1)本発明の半導体製造装置および半導体製造方法は、ドライエッチングを実施するエッチング装置10に適用されることに限らず、処理室11内を低圧化するとともに当該処理室11内に除去加工用ガスを流入させた状態で両電極12,13間に高周波電力を印加することで、半導体ウエハWの所定の部位を除去する除去加工を実施する製造装置および製造方法に適用されてもよい。
11…処理室
11a…内壁
12…下部電極
13…上部電極
13a,13b…ガス供給孔
15a,15b…ガス供給源(流入手段)
17a,17b…マスフローコントローラ(流入手段)
18…排気管
19…圧力調整手段
20…マスフローコントローラ(流入手段)
30…加熱用媒体供給源(温度調整手段)
31,32…加熱用ライン(温度調整手段)
40…冷却用媒体供給源(温度調整手段)
41,42…冷却用ライン(温度調整手段)
P…排気圧力
Qa,Qb…流入ガス流量
X1,X2…異物指数
W…半導体ウエハ
Claims (10)
- 対向して配置される一対の電極とこれら両電極が収容される処理室とを有し、
前記両電極間に半導体ウエハを配置し、前記処理室内を低圧化するとともに当該処理室内に除去加工用ガスを第1流入手段により流入させた状態で前記両電極間に高周波電力を印加することで、前記半導体ウエハの所定の部位を除去する除去加工を実施する半導体製造装置において、
前記処理室内の圧力を調整可能な圧力調整手段と、
前記処理室内に流量が調整された排気用ガスを前記半導体ウエハの外周に向けて流入させる第2流入手段と、を備え、
前記除去加工後に、前記圧力調整手段により前記処理室内の圧力を前記除去加工時における圧力よりも高くし、かつ、前記第2流入手段による前記処理室内へのガスの流量を、前記第1流入手段により前記処理室内に流入されているガスの流量よりも高くすることで、前記半導体ウエハの外周近傍に設けられる排気口を介した前記処理室内の排気を促進させることを特徴とする半導体製造装置。 - 対向して配置される一対の電極とこれら両電極が収容される処理室とを有し、
前記両電極間に半導体ウエハを配置し、前記処理室内を低圧化するとともに当該処理室内に除去加工用ガスを第1流入手段により流入させた状態で前記両電極間に高周波電力を印加することで、前記半導体ウエハの所定の部位を除去する除去加工を実施する半導体製造装置において、
前記処理室内に流量が調整された排気用ガスを前記半導体ウエハの外周に向けて流入させる第2流入手段を備え、
前記除去加工後に、前記第2流入手段による前記処理室内へのガスの流量を、前記第1流入手段により前記処理室に流入されているガスの流量よりも高くすることで、前記半導体ウエハの外周近傍に設けられる排気口を介した前記処理室内の排気を促進させることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記半導体ウエハと前記処理室の内壁との温度をそれぞれ調整可能な温度調整手段を備え、
前記排気時には、前記温度調整手段により前記半導体ウエハの温度を前記内壁の温度以上にすることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体製造装置。 - 前記除去加工は、ドライエッチングにより前記所定の部位を除去することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体製造装置。
- 前記半導体ウエハに対して静電気を帯電させることで前記両電極の一方に対して当該半導体ウエハを固定するとともにこの静電気を除去することで前記固定を解除する固定手段を備え、
前記固定手段は、前記排気時には、前記半導体ウエハに対する静電気を除去することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体製造装置。 - 対向して配置される一対の電極間に半導体ウエハを配置し、これら両電極および半導体ウエハが収容される処理室内を低圧化するとともに前記両電極間に高周波電力を印加することで、前記半導体ウエハの所定の部位を除去する半導体製造方法において、
前記半導体ウエハが配置された前記処理室内を低圧化するとともに当該処理室内に除去加工用ガスを第1流入手段により流入させた状態で前記両電極間に高周波電力を印加することで、前記所定の部位を除去する第1工程と、
前記第1工程後に、前記処理室内の圧力を前記第2工程における前記処理室内の圧力よりも高くするとともに、前記半導体ウエハの外周に向けて流入させる排気用ガスの流量を、前記第1流入手段により前記処理室内に流入されているガスの流量よりも高くすることで、前記半導体ウエハの外周近傍に設けられる排気口を介した前記処理室内の排気を促進させる第2工程と、
を備えることを特徴とする半導体製造方法。 - 対向して配置される一対の電極間に半導体ウエハを配置し、これら両電極および半導体ウエハが収容される処理室内を低圧化するとともに前記両電極間に高周波電力を印加することで、前記半導体ウエハの所定の部位を除去する半導体製造方法において、
前記半導体ウエハが配置された前記処理室内を低圧化するとともに当該処理室内に除去加工用ガスを第1流入手段により流入させた状態で前記両電極間に高周波電力を印加することで、前記所定の部位を除去する第1工程と、
前記第1工程後に、前記半導体ウエハの外周に向けて流入させる排気用ガスの流量を、前記第1流入手段により前記処理室内に流入されているガスの流量よりも高くすることで、前記半導体ウエハの外周近傍に設けられる排気口を介した前記処理室内の排気を促進させる第2工程と、
を備えることを特徴とする半導体製造方法。 - 前記第2工程では、さらに、前記半導体ウエハの温度を前記処理室の内壁の温度以上にすることを特徴とする請求項6または7に記載の半導体製造方法。
- 前記第1工程では、ドライエッチングにより前記所定の部位が除去されることを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項に記載の半導体製造方法。
- 前記第1工程では、前記半導体ウエハに対して静電気を帯電させることで前記両電極の一方に対して当該半導体ウエハが固定され、
前記第2工程では、前記半導体ウエハに対する静電気が除去されることを特徴とする請求項6〜9のいずれか一項に記載の半導体製造方法。
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